JP2018116956A - 切断装置および切断方法 - Google Patents
切断装置および切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018116956A JP2018116956A JP2017004928A JP2017004928A JP2018116956A JP 2018116956 A JP2018116956 A JP 2018116956A JP 2017004928 A JP2017004928 A JP 2017004928A JP 2017004928 A JP2017004928 A JP 2017004928A JP 2018116956 A JP2018116956 A JP 2018116956A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- cutting medium
- medium
- generating means
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【課題】複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供すること。
【解決手段】切断対象物WFを支持する支持手段20と、切断媒体LBを生成して出力する切断媒体生出手段30と、支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させ、切断対象物WFに所定形状の切断予定線MLを形成する移動手段40とを備え、支持手段20は、複数で構成されるとともに、切断媒体生出手段30は、単数で構成され、切断媒体生出手段30は、切断媒体LBを出力する複数の切断媒体出力部32A、32Bを有し、移動手段40は、複数の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させ、複数の切断対象物WFそれぞれに同時に所定形状の切断予定線MLを形成する。
【選択図】図1
【解決手段】切断対象物WFを支持する支持手段20と、切断媒体LBを生成して出力する切断媒体生出手段30と、支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させ、切断対象物WFに所定形状の切断予定線MLを形成する移動手段40とを備え、支持手段20は、複数で構成されるとともに、切断媒体生出手段30は、単数で構成され、切断媒体生出手段30は、切断媒体LBを出力する複数の切断媒体出力部32A、32Bを有し、移動手段40は、複数の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させ、複数の切断対象物WFそれぞれに同時に所定形状の切断予定線MLを形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、切断装置および切断方法に関する。
従来、切断媒体を介して複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する切断装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載された従来のダイシング装置(切断装置)では、レーザL(切断媒体)を介して複数のワークW(切断対象物)に改質層P(切断予定線)を形成するレーザヘッド41(切断媒体生出手段)を開示しているが、当該切断媒体生出手段は、切断媒体を出力するレーザ出力部41D(切断媒体出力部)を1つしか備えていないため、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断予定線を形成する場合、装置が大型化するという不都合がある。
本発明の目的は、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、切断媒体生出手段が複数の切断媒体出力部を有し、単数の切断媒体生出手段に対して複数の支持手段を相対移動させる構成なので、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
また、塵埃遮蔽手段を備えれば、切断線または切断予定線の形成によって切断対象物から発せられた塵埃が、他の切断対象物を損傷させることを防止することができる。
また、塵埃遮蔽手段を備えれば、切断線または切断予定線の形成によって切断対象物から発せられた塵埃が、他の切断対象物を損傷させることを防止することができる。
ここで、本発明でいう切断線とは、切断対象物を貫通する切込が連続的に続く完全な切断のことであり、切断予定線とは、切断線とは異なり、当該切断予定線が形成された切断対象物に、例えば、張力や振動等の外力を付与することで、当該切断予定線を境にして切断対象物を完全に切断することができる擬似的な切断のことである。このような切断予定線は、例えば、切断対象物を貫通する切込が断続的に続く擬似的な切断、切断対象物の厚み方向の途中までの深さであって当該切断対象物を貫通することのない切込が連続的または断続的に続く擬似的な切断、切断対象物の組成、特性、性質、材質、形状、組織等を変更させた改質層が連続的または断続的に続く擬似的な切断および、切断対象物を貫通する切込と当該切断対象物を貫通することのない切込と改質層との少なくとも2つが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続く擬似的な切断等をも含むものとする。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の切断装置10は、切断対象物としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFを支持する支持手段20と、切断媒体としてのレーザ光LBを生成して出力する切断媒体生出手段30と、支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させ、ウエハWFに所定形状の切断予定線MLを形成する移動手段40と、切断予定線MLの形成によって、ウエハWFから発せられた塵埃が他のウエハWFに当たることを抑制する塵埃遮蔽手段50とを備えている。
なお、本実施形態の場合、ウエハWFは、接着シートASを介してフレーム部材としてのリングフレームRFと一体化され一体物WKとされている。
なお、本実施形態の場合、ウエハWFは、接着シートASを介してフレーム部材としてのリングフレームRFと一体化され一体物WKとされている。
支持手段20は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって一体物WKを支持可能な支持面21Aを有する支持テーブル21を備え、図1中右側に配置された第1支持手段20Aと、同図左側に配置された第2支持手段20Bとの複数で構成されている。
切断媒体生出手段30は、レーザ光LBを生成する切断媒体生成部としてのレーザ発振器31と、当該レーザ発振器31で生成されたレーザ光LBを出力する切断媒体出力部としての対物レンズ32とを備え、対物レンズ32は、図1中上側に配置された第1対物レンズ32Aと、同図下側に配置された第2対物レンズ32Bとの複数で構成されている。このような構成により、切断媒体生出手段30は、レーザ発振器31で生成したレーザ光LBを第1、第2対物レンズ32A、32Bによって、それぞれ所定の集光位置に集光するようになっている。
移動手段40は、第1〜第6アーム41A〜41Fによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第6アーム41Fで支持した第1支持手段20Aを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット41と、第1〜第6アーム42A〜42Fによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第6アーム42Fで支持した第2支持手段20Bを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット42とを備えている。このような構成により、移動手段40は、複数の支持手段としての第1、第2支持手段20A、20Bと単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断予定線MLを形成するようになっている。
塵埃遮蔽手段50は、第1、第2対物レンズ32A、32Bから出力されたレーザ光LBの透過を許容する遮蔽板51を備え、第1対物レンズ32Aの上方と、第2対物レンズ32Bの下方とに2体配置されている。
以上の切断装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している切断装置10に対し、当該切断装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、2体の一体物WKがそれぞれ位置決めされて各支持面21A上に載置されると、第1、第2支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、各一体物WKの吸着保持を開始する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している切断装置10に対し、当該切断装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、2体の一体物WKがそれぞれ位置決めされて各支持面21A上に載置されると、第1、第2支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、各一体物WKの吸着保持を開始する。
次いで、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、図1中二点鎖線および図2(A)に示すように、第1支持手段20Aを第1対物レンズ32Aの右側上方へ移動させるとともに、第2支持手段20Bを第2対物レンズ32Bの左側下方へ移動させる。そして、移動手段40が多関節ロボット41、42を駆動し、第1支持手段20Aを左方へ移動させるとともに、第2支持手段20Bを右向へ移動させる。
そして、第1、第2対物レンズ32A、32Bの集光位置に、各ウエハWFにおける搬送方向先端部が到達する直前に、切断媒体生出手段30がレーザ発振器31を駆動し、レーザ光LBを生成して第1、第2対物レンズ32A、32Bからそれぞれレーザ光LBを出力する。移動手段40は、図2中BBで示す図のように、各レーザ光LBの集光位置が各ウエハWFの厚み方向中央部を通過するように、第1、第2支持手段20A、20Bそれぞれを移動させる。なお、ウエハWFの厚み方向中央部とは、当該ウエハWFの厚み方向中心部でもよいし、支持面21A側に片寄った中央部でもよいし、当該支持面21Aの反対側に片寄った中央部でもよい。そして、各ウエハWFにおける搬送方向後端部がそれぞれ第1、第2対物レンズ32A、32Bの集光位置を通過した直後に、切断媒体生出手段30がレーザ発振器31の駆動を停止する。これにより、レーザ光LBの集光位置となった各ウエハWFの厚み方向中央部には、当該レーザ光LBによって改質されて脆弱となった改質層がそれぞれ形成され、この改質層が切断予定線MLとなる(以降、移動手段40が複数のウエハWFそれぞれに同時に切断予定線MLを形成する動作を「同時形成動作」という)。その後も、移動手段40が同時形成動作を繰り返し行うことで、2体のウエハWFそれぞれに同時に第1方向に延出した所定本数の切断予定線MLが形成される(図2(B)参照)。
各ウエハWFそれぞれに第1方向に延出した所定本数の切断予定線MLが形成されると、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、図2(B)に示すように、第1方向に延出した切断予定線MLがY軸方向と平行となるように各支持手段20A、20Bを変位させる。次いで、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、上記と同様にして第1支持手段20Aを左方へ移動させるとともに、第2支持手段20Bを右方へ移動させ、再び同時形成動作を繰り返し行う。これにより、2体のウエハWFそれぞれに同時に第2方向に延出した所定本数の切断予定線MLが形成され、各ウエハWFそれぞれに格子状の切断予定線MLが形成される。各ウエハWFそれぞれに格子状の切断予定線MLが形成されると、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段の駆動を停止し、一体物WKの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、各ウエハWFに格子状の切断予定線MLが形成された一体物WKそれぞれを別の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、切断媒体生出手段30が複数の対物レンズ32A、32Bを有し、単数の切断媒体生出手段30に対して複数の支持手段20A、20Bを相対移動させる構成なので、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断予定線MLを形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、複数であって、それぞれが切断対象物を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程も同様でありその説明は省略する)。
支持手段20は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物WKを支持する構成としてもよいし、一体物WKにおけるウエハWF側から当該一体物WKを支持してもよいし、ウエハWFのみからなる切断対象物を直接支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を当該接着シートAS側から支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を当該ウエハWF側から支持してもよいし、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよい。なお、本発明の切断装置10に支持手段20が備わっていない場合、他の装置で複数のウエハWFを支持しておき、移動手段40が単数の切断媒体生出手段30を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に切断線や切断予定線MLを形成するように構成すればよい。
切断媒体生出手段30は、ウエハWFを貫通する切込を形成することで、当該ウエハWFに切断線の基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込を形成することで、当該ウエハWFに切断予定線MLの基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハWFを貫通し断続的に続く切込や、ウエハWFを貫通することなく連続的または断続的に続く切込からなる切断予定線MLの基となる切れ目を形成するものでもよいし、移動手段40による支持手段20の移動に合わせて切断媒体の出力のON−OFF動作を繰り返すことで、切断線または切断予定線MLの基となる切れ目を形成するものでもよいし、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよく、本発明の切断装置10に切断媒体生出手段30が備わっていない場合、複数の切断媒体出力部を有する単数の切断媒体生出手段を備えた他の装置に対し、移動手段40がウエハWFを支持している複数の支持手段20を移動させ、これら複数のウエハWFそれぞれに同時に切断線または切断予定線MLを形成するように構成すればよい。
切断媒体生出手段30は、単数のレーザ発振器31から取り出した1つのレーザ光を複数に分割し、分割されたレーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよいし、単数のレーザ発振器31から複数のレーザ光を取り出し、取り出したレーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよいし、複数のレーザ発振器31から取り出した各レーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよい。
切断媒体生出手段30は、切断媒体として、エネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を生成する切断媒体生成部31と、当該切断媒体生成部31で生成されたエネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を出力する複数の切断媒体出力部とを備えた構成でもよく、複数の切断媒体出力部を備え、複数の切断対象物それぞれに同時に切断線または切断予定線MLの基となるものが形成できればどのようなものでもよいし、切断媒体出力部を3以上備えていてもよい。
切断媒体生出手段30は、単数のレーザ発振器31から取り出した1つのレーザ光を複数に分割し、分割されたレーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよいし、単数のレーザ発振器31から複数のレーザ光を取り出し、取り出したレーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよいし、複数のレーザ発振器31から取り出した各レーザ光それぞれを複数の対物レンズ32から出力してもよい。
切断媒体生出手段30は、切断媒体として、エネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を生成する切断媒体生成部31と、当該切断媒体生成部31で生成されたエネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を出力する複数の切断媒体出力部とを備えた構成でもよく、複数の切断媒体出力部を備え、複数の切断対象物それぞれに同時に切断線または切断予定線MLの基となるものが形成できればどのようなものでもよいし、切断媒体出力部を3以上備えていてもよい。
移動手段40は、複数の支持手段20を停止または移動させながら単数の切断媒体生出手段30を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線MLを形成するように構成してもよいし、所定の位置に載置または保持されている一体物WKを第1、第2支持手段20A、20Bでそれぞれ支持し、単数の切断媒体生出手段30と相対移動させて複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線MLを形成するようにしてもよいし、複数の支持手段20A、20Bと単数の切断媒体生出手段30との相対移動方向を水平方向としたり、重力方向としたり、水平方向に対して傾斜する方向としたりしてもよいし、図3(A)に示すように、支持手段20と切断媒体生出手段30との相対移動方向を水平方向HDに対して傾斜角α1傾斜する方向とし、切断媒体生出手段30で切断線または切断予定線MLを形成している部位の重力方向上方から冷却水やオイル等の切断補助液SLを流す切断補助液供給手段60を備えてもよく、この場合、切断補助液SLの粘度によって、傾斜角α1の角度を15度〜90度の間とすれば、切断補助液SLがウエハWF上で滞留することなく重力方向下方へ流れるので効果的であり、傾斜角α1の角度を30度〜60度の間とすれば、切断補助液SLのウエハWF上での滞留と、重力方向下方への流れとの両方のバランスがよくなり、さらに効果的である。なお、第1支持手段20Aの傾斜角α1と第2支持手段20Bの傾斜角α1とは、同じでもよいし異なっていてもよい。
移動手段40は、図3(B)に示すように、3体以上(同図では4体)の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させ、3体以上のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線MLを形成する構成でもよいし、同図に示すように、各ウエハWFに対してそれぞれ半分の位置にまで切断線または切断予定線MLが形成された際、支持手段20で支持しているもの同士が当接しないタイミングで複数の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよく、この場合、一度に多くのウエハWFに切断線または切断予定線MLを形成することができる。
移動手段40は、チャックモータやチェックシリンダ等の把持手段を備え、当該把持手段で支持手段20を着脱可能な構成としてもよいし、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、6軸以下の多関節ロボット、7軸以上の多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできるし、第1方向に延出した切断線または切断予定線MLのみを形成してもよいし、第2方向に延出した切断線または切断予定線MLのみを形成してもよいし、第1、第2方向以外のその他の方向に延出した切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、切断線または切断予定線MLを1本だけ形成してもよいし、直線でなく曲線や他の図柄さらには円形、楕円形、多角形等の切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、ウエハWFの端縁にまで至らない切断線または切断予定線MLを形成してもよい。
移動手段40は、切断線または切断予定線MLが連続的に続くように支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよいし、切断線または切断予定線MLが断続的に続くように、支持手段20と切断媒体生出手段30とを離間接近させながらそれらを相対移動させてもよいし、切断線と切断予定線MLとが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続くように支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよいし、第1支持手段20Aを第1対物レンズ32Aの左側上方から右方へ移動させ、且つ、第2支持手段20Bを第2対物レンズ32Bの右側下方から左方へ移動させたり、第1、第2支持手段20A、20Bを同じ方向に移動させたりして、両ウエハWFそれぞれに切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、各ウエハWFに形成される切断線または切断予定線MLの形状が全て同じとなるように、全てが異なるように、または、一部が同じで他が異なるように、各支持手段20A、20Bと切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよい。
移動手段40は、図3(B)に示すように、3体以上(同図では4体)の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させ、3体以上のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線MLを形成する構成でもよいし、同図に示すように、各ウエハWFに対してそれぞれ半分の位置にまで切断線または切断予定線MLが形成された際、支持手段20で支持しているもの同士が当接しないタイミングで複数の支持手段20と単数の切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよく、この場合、一度に多くのウエハWFに切断線または切断予定線MLを形成することができる。
移動手段40は、チャックモータやチェックシリンダ等の把持手段を備え、当該把持手段で支持手段20を着脱可能な構成としてもよいし、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、6軸以下の多関節ロボット、7軸以上の多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできるし、第1方向に延出した切断線または切断予定線MLのみを形成してもよいし、第2方向に延出した切断線または切断予定線MLのみを形成してもよいし、第1、第2方向以外のその他の方向に延出した切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、切断線または切断予定線MLを1本だけ形成してもよいし、直線でなく曲線や他の図柄さらには円形、楕円形、多角形等の切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、ウエハWFの端縁にまで至らない切断線または切断予定線MLを形成してもよい。
移動手段40は、切断線または切断予定線MLが連続的に続くように支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよいし、切断線または切断予定線MLが断続的に続くように、支持手段20と切断媒体生出手段30とを離間接近させながらそれらを相対移動させてもよいし、切断線と切断予定線MLとが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続くように支持手段20と切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよいし、第1支持手段20Aを第1対物レンズ32Aの左側上方から右方へ移動させ、且つ、第2支持手段20Bを第2対物レンズ32Bの右側下方から左方へ移動させたり、第1、第2支持手段20A、20Bを同じ方向に移動させたりして、両ウエハWFそれぞれに切断線または切断予定線MLを形成してもよいし、各ウエハWFに形成される切断線または切断予定線MLの形状が全て同じとなるように、全てが異なるように、または、一部が同じで他が異なるように、各支持手段20A、20Bと切断媒体生出手段30とを相対移動させてもよい。
塵埃遮蔽手段50は、上側の遮蔽板51だけでもよいし、下側の遮蔽板51だけでもよいし、上側の遮蔽板51や下側の遮蔽板51に代えてまたは併用して、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段で塵埃を吸引するものを採用してもよいし、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよい。
切断装置10は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハWFに切断線または切断予定線MLを形成してもよい。
一体物WKの位置決めは、例えば、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のV型、U型等の切欠に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を当て嵌めてもよいし、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のフラット部に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を押し当ててもよい。
切断装置10は、位置決めすることなく支持面21A上に載置された一体物WKやウエハWFを吸着保持した後、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段でウエハWFの位置を検知し、当該図示しない検知手段の検知結果を基に、移動手段40が同時形成動作を行ってもよい。
切断装置10は、切断予定線MLが形成された切断対象物に、例えば張力や振動等の外力を付与して当該切断対象物を完全に切断する張力付与手段や振動付与手段を備えていてもよく、このような、張力付与手段としては、例えば、切断対象物を引っ張るエキスパンド装置や、切断対象物を繰り出す繰出装置等が例示でき、振動付与手段としては、例えば、切断対象物に所定波長の振動を付与するバイブレータや、切断対象物を研削するグラインダ等が例示できる。
フレーム部材は、円形や多角形の環状のものでもよいし、閉ループ状のものでもよいし、一部が繋がっていない環状のものでもよい。
一体物WKの位置決めは、例えば、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のV型、U型等の切欠に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を当て嵌めてもよいし、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のフラット部に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を押し当ててもよい。
切断装置10は、位置決めすることなく支持面21A上に載置された一体物WKやウエハWFを吸着保持した後、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段でウエハWFの位置を検知し、当該図示しない検知手段の検知結果を基に、移動手段40が同時形成動作を行ってもよい。
切断装置10は、切断予定線MLが形成された切断対象物に、例えば張力や振動等の外力を付与して当該切断対象物を完全に切断する張力付与手段や振動付与手段を備えていてもよく、このような、張力付与手段としては、例えば、切断対象物を引っ張るエキスパンド装置や、切断対象物を繰り出す繰出装置等が例示でき、振動付与手段としては、例えば、切断対象物に所定波長の振動を付与するバイブレータや、切断対象物を研削するグラインダ等が例示できる。
フレーム部材は、円形や多角形の環状のものでもよいし、閉ループ状のものでもよいし、一部が繋がっていない環状のものでもよい。
本発明における切断対象物、接着シートASおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、切断対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。切断対象物が接着シートASの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、1層または2層以上のものであってよい。また、切断対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板、紙、ゴムまたは樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
10…切断装置
20…支持手段
30…切断媒体生出手段
32…対物レンズ(切断媒体出力部)
40…移動手段
50…塵埃遮蔽手段
LB…レーザ光(切断媒体)
ML…切断予定線
WF…ウエハ(切断対象物)
20…支持手段
30…切断媒体生出手段
32…対物レンズ(切断媒体出力部)
40…移動手段
50…塵埃遮蔽手段
LB…レーザ光(切断媒体)
ML…切断予定線
WF…ウエハ(切断対象物)
Claims (7)
- 切断対象物を支持する支持手段と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 切断対象物を支持する支持手段と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と、
前記支持手段と切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 前記切断線または前記切断予定線の形成によって、前記切断対象物から発せられた塵埃が他の切断対象物に当たることを抑制する塵埃遮蔽手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の切断装置。
- 切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを有し、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。 - 切断媒体を切断媒体生出手段で生成して出力する切断媒体生出工程と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。 - 切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
切断媒体を切断媒体生出手段で生成して出力する切断媒体生出工程と、
前記支持手段と切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017004928A JP2018116956A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017004928A JP2018116956A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018116956A true JP2018116956A (ja) | 2018-07-26 |
Family
ID=62985366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017004928A Pending JP2018116956A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018116956A (ja) |
-
2017
- 2017-01-16 JP JP2017004928A patent/JP2018116956A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7267923B2 (ja) | 薄型化板状部材の製造方法、及び薄型化板状部材の製造装置 | |
KR102392848B1 (ko) | 정렬 장치 및 정렬 방법 | |
JP2007242787A (ja) | ウエーハの分割方法 | |
CN102672347B (zh) | 激光加工装置 | |
JP2016035965A (ja) | 板状部材の分割装置および板状部材の分割方法 | |
JP6047392B2 (ja) | 分割装置および分割方法 | |
JP2015191993A (ja) | 半導体製造装置及び半導体の製造方法 | |
JP7073606B2 (ja) | 離間装置および離間方法 | |
JP2018116956A (ja) | 切断装置および切断方法 | |
CN108933094B (zh) | 分离装置及分离方法 | |
JP2015191992A (ja) | 半導体製造装置及び半導体の製造方法 | |
JP6420623B2 (ja) | 離間装置および離間方法 | |
JP2021136257A (ja) | シート剥離方法およびシート剥離装置 | |
JP6818932B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP6818933B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP2016154198A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2018116955A (ja) | 切断装置および切断方法 | |
JP6827144B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP3244402U (ja) | 撮像装置 | |
JP6820099B2 (ja) | 離間装置および離間方法 | |
JP6884961B2 (ja) | 離間装置および離間方法 | |
JP7022570B2 (ja) | 基材除去方法および基材除去装置、並びに、転写方法および転写装置 | |
JP2017130638A (ja) | 加工装置および加工方法 | |
JP4968849B2 (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2016081973A (ja) | 離間装置および離間方法 |