JP6818933B1 - 積層体製造方法および積層体製造装置 - Google Patents
積層体製造方法および積層体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6818933B1 JP6818933B1 JP2020180406A JP2020180406A JP6818933B1 JP 6818933 B1 JP6818933 B1 JP 6818933B1 JP 2020180406 A JP2020180406 A JP 2020180406A JP 2020180406 A JP2020180406 A JP 2020180406A JP 6818933 B1 JP6818933 B1 JP 6818933B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- adhesive sheet
- sheet
- adhesive
- laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 123
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 122
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 122
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 7
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- -1 qualities Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
また、不要シート部分と基材シートとの接着力を向上させれば、基材シートを除去する際、不要シート部分が当該基材シートから脱落することをよりよく防止することができる。
また、接着シート母材を冷却すれば、接着シート母材に切込を形成し易くなる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
離間手段27は、凹部26Aの底面に支持され、出力軸27Bで支持テーブル28を支持する駆動機器としての直動モータ27Aと、凹部26Aの側面に支持され、一対の把持部材27Dを有する保持手段であって駆動機器としてのチャックシリンダ27Cとを備えている。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置された積層体製造装置EAに対し、当該積層体製造装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、接着シート母材ASBが積層された基材シートBSを保持面12Aに当接させると、貼付手段10が図示しない減圧手段を駆動し、保持面12Aでの基材シートBSの吸着保持を開始する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、保持用シートASKを介して被着体母材WKBがフレーム部材としてのリングフレームRFに支持された一体物UPを、支持テーブル28上の所定の位置に載置する。次に、変形手段20がチャックシリンダ27Cおよび直動モータ27Aを駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、把持部材27DでリングフレームRFを把持した後、支持テーブル28を上昇させて保持用シートASKに張力を付与し、被着体WKの相互間隔を広げて間隙CLを形成する。そして、間隙CLが所定の間隔となったことがカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された図示しない間隙検知手段に検知されると、変形手段20が直動モータ27Aの駆動を停止する。
被着体WKは、保持用シートASKに支持されていなくてもよいし、被着体母材WKBから形成されたものでなく、予め所定の間隙CLを空けて配置されたものであってもよい。
一体物UPは、保持用シートASKがフレーム部材に支持されていなくてもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
接着シート母材ASBがダイアタッチフィルムの場合、冷却手段50または冷却工程で接着シート母材ASBを冷却する温度は、20度以下とすることが好ましく、0度以下がより好ましく、−5度以下がさらに好ましく、−10度以下が特に好ましい。
前記実施形態において、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10…貼付手段
20…変形手段
30…除去手段
40…接着力向上手段
50…冷却手段
AS…接着シート
ASB…接着シート母材
BS…基材シート
CL…間隙
CU…切込
LM…積層体
US…不要シート部分
WK…被着体
WK1…角部
Claims (4)
- 被着体に接着シートが貼付された積層体を製造する積層体製造方法であって、
所定間隔の間隙を空けて配置された複数の前記被着体に跨るように、基材シートに積層された接着シート母材を貼付する貼付工程と、
前記間隙に前記接着シート母材を入り込ませる変形工程と、
前記接着シート母材から前記基材シートを除去する除去工程とを実施し、
前記変形工程では、前記接着シート母材を前記間隙に入り込ませることで、前記被着体の角部によって当該接着シート母材に切込を形成し、
前記除去工程では、前記切込で仕切られ前記間隙に位置する前記接着シート母材の一部である不要シート部分を前記基材シートと共に除去することで、当該接着シート母材から前記接着シートを形成して前記積層体を形成することを特徴とする積層体製造方法。 - 前記不要シート部分と前記基材シートとの接着力を向上させる接着力向上工程を実施することを特徴とする請求項1に記載の積層体製造方法。
- 前記接着シート母材を冷却する冷却工程を実施することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の積層体製造方法。
- 被着体に接着シートが貼付された積層体を製造する積層体製造装置であって、
所定間隔の間隙を空けて配置された複数の前記被着体に跨るように、基材シートに積層された接着シート母材を貼付する貼付手段と、
前記間隙に前記接着シート母材を入り込ませる変形手段と、
前記接着シート母材から前記基材シートを除去する除去手段とを備え、
前記変形手段は、前記接着シート母材を前記間隙に入り込ませることで、前記被着体の角部によって当該接着シート母材に切込を形成し、
前記除去手段は、前記切込で仕切られ前記間隙に位置する前記接着シート母材の一部である不要シート部分を前記基材シートと共に除去することで、当該接着シート母材から前記接着シートを形成して前記積層体を形成することを特徴とする積層体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020180406A JP6818933B1 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 積層体製造方法および積層体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020180406A JP6818933B1 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 積層体製造方法および積層体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6818933B1 true JP6818933B1 (ja) | 2021-01-27 |
JP2022071441A JP2022071441A (ja) | 2022-05-16 |
Family
ID=74200179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020180406A Active JP6818933B1 (ja) | 2020-10-28 | 2020-10-28 | 積層体製造方法および積層体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6818933B1 (ja) |
-
2020
- 2020-10-28 JP JP2020180406A patent/JP6818933B1/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022071441A (ja) | 2022-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7267923B2 (ja) | 薄型化板状部材の製造方法、及び薄型化板状部材の製造装置 | |
JP5883250B2 (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP6818933B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP6827144B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP5767052B2 (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP2015191993A (ja) | 半導体製造装置及び半導体の製造方法 | |
JP7421950B2 (ja) | シート剥離方法およびシート剥離装置 | |
JP6818932B1 (ja) | 積層体製造方法および積層体製造装置 | |
JP6831035B1 (ja) | 個片体製造方法および個片体製造装置 | |
CN108933094B (zh) | 分离装置及分离方法 | |
JP3210743U (ja) | シート貼付装置 | |
JP2022049272A (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 | |
JP7022570B2 (ja) | 基材除去方法および基材除去装置、並びに、転写方法および転写装置 | |
JP2020004829A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP3235024U (ja) | 支持装置 | |
JP2020115502A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP6437343B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
KR20180132510A (ko) | 정렬 기구 및 전사 장치 | |
JP2020068326A (ja) | 被着体処理方法 | |
WO2021153264A1 (ja) | 薄化ウエハの製造方法および薄化ウエハの製造装置 | |
JP3234507U (ja) | 支持装置 | |
JP7085919B2 (ja) | 実装装置および実装方法 | |
WO2021153265A1 (ja) | 薄化ウエハの製造方法および薄化ウエハの製造装置 | |
JP2017130638A (ja) | 加工装置および加工方法 | |
JP7045838B2 (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201028 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20201028 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20201208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201228 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6818933 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |