JP6723643B2 - エキスパンドシート - Google Patents
エキスパンドシート Download PDFInfo
- Publication number
- JP6723643B2 JP6723643B2 JP2016098226A JP2016098226A JP6723643B2 JP 6723643 B2 JP6723643 B2 JP 6723643B2 JP 2016098226 A JP2016098226 A JP 2016098226A JP 2016098226 A JP2016098226 A JP 2016098226A JP 6723643 B2 JP6723643 B2 JP 6723643B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- expanded
- frame
- holding unit
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
3 基材
3a 第1面(上面)
3b 第2面(下面)
5 糊層(粘着層、接着層)
5a,5c,5e 第1糊層
5b,5d,5f 第2糊層
7 セパレータフィルム
11 被加工物
11a 第1面(表面)
11b 第2面(裏面)
13 デバイス
15 改質層
21 フレーム
31 エキスパンドシート
41 エキスパンドシート
2 拡張装置
4 第1保持ユニット(第1保持手段)
6 第2保持ユニット(第2保持手段)
8 第3保持ユニット(第3保持手段)
10 第4保持ユニット(第4保持手段)
12 上側支持部材
14 下側支持部材
16 接触部材
22 拡張装置
24 支持構造
26 拡張ドラム
28 フレーム支持テーブル
30 クランプ
32 昇降機構
34 シリンダケース
36 ピストンロッド
A1 第1貼着領域
A2 第2貼着領域
D1 第1方向
D2 第2方向
Claims (1)
- 板状の被加工物が貼着された状態で拡張された後に環状のフレームに貼り付けて固定され、該フレームに沿って切断されるエキスパンドシートであって、
該フレームの大きさより大きい基材と、
該基材上に形成され、該被加工物が貼着される第1貼着領域と、
該基材上に形成され、該第1貼着領域を囲繞し、該フレームが貼着される第2貼着領域と、を有し、
該第2貼着領域は、その外側の縁が該フレームの内側の縁より外側に位置し、且つ、該フレームの外側の縁より内側に位置するように、該拡張による変形が考慮された形状及び大きさを有し、
該第2貼着領域の粘着力は、該第1貼着領域の粘着力よりも強いことを特徴とするエキスパンドシート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016098226A JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016098226A JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017208389A JP2017208389A (ja) | 2017-11-24 |
JP6723643B2 true JP6723643B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=60417052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016098226A Active JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6723643B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020174100A (ja) * | 2019-04-10 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
-
2016
- 2016-05-16 JP JP2016098226A patent/JP6723643B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017208389A (ja) | 2017-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101942108B1 (ko) | 테이프 확장 장치 | |
JP2014236034A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR102247838B1 (ko) | 수지 시트의 분단 방법 및 분단 장치 | |
JP2006344910A (ja) | ウェーハ分割方法およびウェーハ分割治具 | |
JP2009045926A (ja) | レーザーによって脆い物質で作られた平行平面板を複数の個々のプレートに分割する方法及び装置 | |
JP6844992B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP2010147317A (ja) | テープ拡張方法およびテープ拡張装置 | |
JP6033116B2 (ja) | 積層ウェーハの加工方法および粘着シート | |
JP6723643B2 (ja) | エキスパンドシート | |
KR20210058606A (ko) | 웨이퍼 확장 장치 | |
JP6723644B2 (ja) | エキスパンドシート | |
JP6611130B2 (ja) | エキスパンドシート | |
JP6047392B2 (ja) | 分割装置および分割方法 | |
JP6710457B2 (ja) | エキスパンドシート、エキスパンドシートの製造方法、及びエキスパンドシートの拡張方法 | |
JP5953113B2 (ja) | 被加工物の分割方法 | |
JP2016021513A (ja) | 半導体ウエハエキスパンド装置及び方法 | |
JP2023032665A (ja) | 基板の分割方法 | |
JP5988686B2 (ja) | 被加工物の分割方法 | |
TWI807124B (zh) | 晶圓擴張方法以及晶圓擴張裝置 | |
JP2014107292A (ja) | チップ間隔維持装置 | |
WO2020137543A1 (ja) | 保持テーブル | |
JP6061788B2 (ja) | チップ間隔維持方法 | |
JP2015201529A (ja) | 加工方法 | |
KR20200049513A (ko) | 웨이퍼의 확장 방법 및 웨이퍼의 확장 장치 | |
JP2021068762A (ja) | シートの拡張方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190320 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200623 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6723643 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |