JP2017208389A - エキスパンドシート - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 31
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 30
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
3 基材
3a 第1面(上面)
3b 第2面(下面)
5 糊層(粘着層、接着層)
5a,5c,5e 第1糊層
5b,5d,5f 第2糊層
7 セパレータフィルム
11 被加工物
11a 第1面(表面)
11b 第2面(裏面)
13 デバイス
15 改質層
21 フレーム
31 エキスパンドシート
41 エキスパンドシート
2 拡張装置
4 第1保持ユニット(第1保持手段)
6 第2保持ユニット(第2保持手段)
8 第3保持ユニット(第3保持手段)
10 第4保持ユニット(第4保持手段)
12 上側支持部材
14 下側支持部材
16 接触部材
22 拡張装置
24 支持構造
26 拡張ドラム
28 フレーム支持テーブル
30 クランプ
32 昇降機構
34 シリンダケース
36 ピストンロッド
A1 第1貼着領域
A2 第2貼着領域
D1 第1方向
D2 第2方向
Claims (1)
- 板状の被加工物が貼着された状態で拡張されるエキスパンドシートであって、
被加工物が貼着される第1貼着領域と、
該第1貼着領域を囲繞し、環状のフレームが貼着される第2貼着領域と、を有し、
該第2貼着領域の粘着力は、該第1貼着領域の粘着力よりも強いことを特徴とするエキスパンドシート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016098226A JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016098226A JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017208389A true JP2017208389A (ja) | 2017-11-24 |
JP6723643B2 JP6723643B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=60417052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016098226A Active JP6723643B2 (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | エキスパンドシート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6723643B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020174100A (ja) * | 2019-04-10 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
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2016
- 2016-05-16 JP JP2016098226A patent/JP6723643B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020174100A (ja) * | 2019-04-10 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
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JP6723643B2 (ja) | 2020-07-15 |
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