JP6629096B2

JP6629096B2 - 板状物の分割装置

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Publication number: JP6629096B2
Application number: JP2016033075A
Authority: JP
Inventors: ミハイクリス
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Priority date: 2016-02-24
Filing date: 2016-02-24
Publication date: 2020-01-15
Anticipated expiration: 2036-02-24
Also published as: JP2017152524A

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の板状物を所定の分割予定ラインに沿って外力を付与して分割する板状物の分割装置に関する。

特許文献１には、半導体ウエーハ等の板状物を分割して所望形状のチップを形成する際に行われるレーザー加工方法が開示されている。かかるレーザー加工方法では、例えば、板状物に対して透過性を有する赤外光領域のレーザー光線が用いられ、このレーザー光線が分割すべき領域の内部に集光点を合わせて照射される。そして、レーザー光線の照射によって、板状物の内部に分割予定ラインに沿って変質層が連続的に形成される。変質層によって強度が低下した分割予定ラインは、板状物の裏面側から片状の押圧部によって押圧されて板状物が分割される。

また、特許文献２では、レーザー光線を板状物の円形ストリートに沿って照射した後、その照射位置に外力を加えて板状物を分割し、円形チップを生成する方法が開示されている。

特開２００５−１９７６９号公報特開２０１５−２２６９２４号公報

しかしながら、特許文献１のように板状物の裏面側から押圧するだけでは、チップの外縁となる分割予定ラインに十分な力が加わらず、良好に分割することが困難になる、という問題がある。特に、特許文献２のように円形チップを生成する場合、分割予定ラインに沿って力がより加わり難くなり、板状物を分割することがより一層困難になる、という問題がある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、分割予定ラインに沿って板状物を複数のチップに良好に分割することができる板状物の分割装置を提供することを目的とする。

本発明の板状物の分割装置は、環状フレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置であって、環状フレームを保持する保持面を有するフレーム保持手段と、保護テープに貼着された板状物の分割予定ラインを検出する検出手段と、検出手段によって検出された板状物の分割予定ラインを保護テープを介して押圧し、板状物を分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、フレーム保持手段と分割手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、分割手段は、保護テープを介して板状物の裏面側から板状物を突き上げて分割する突き上げ手段と、突き上げ手段を板状物に対して進退させる突き上げ進退手段と、板状物に対して突き上げ手段と対向して板状物の上方に配設され且つ板状物を上方から押圧する押圧手段と、押圧手段を板状物に対して進退させる押圧進退手段と、を備え、突き上げ手段と押圧手段とで板状物を上下方向から挟んで押圧して分割予定ラインに沿って分割し、該フレーム保持手段の下方に配設され、該突き上げ手段及び該押圧手段の進退方向に対する該フレーム保持手段の該保持面の角度を変更する角度変更手段を備え、該板状物の分割予定ラインに対して斜め方向で該突き上げ手段及び該押圧手段で挟んで押圧して分割することを特徴とする。また、本発明の板状物の分割装置は、環状フレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置であって、環状フレームを保持する保持面を有するフレーム保持手段と、保護テープに貼着された板状物の分割予定ラインを検出する検出手段と、検出手段によって検出された板状物の分割予定ラインを保護テープを介して押圧し、板状物を分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、フレーム保持手段と分割手段とを相対的に移動させる移動手段と、を備え、分割手段は、保護テープを介して板状物の裏面側から板状物を突き上げて分割する突き上げ手段と、突き上げ手段を板状物に対して進退させる突き上げ進退手段と、板状物に対して突き上げ手段と対向して板状物の上方に配設され且つ板状物を上方から押圧する押圧手段と、押圧手段を板状物に対して進退させる押圧進退手段と、を備え、突き上げ手段と押圧手段とで板状物を上下方向から挟んで押圧して分割予定ラインに沿って分割し、該フレーム保持手段の下方に配設され、該突き上げ手段及び該押圧手段の進退方向に対する該フレーム保持手段の該保持面の角度を変更する角度変更手段を備え、該板状物の分割予定ラインに対して斜め方向で該突き上げ手段及び該押圧手段で挟んで押圧して分割することを特徴とする。

この構成によれば、板状物の裏面（下面）側から分割予定ラインに沿って突き上げ手段で突き上げながら、突き上げた領域を板状物の上方から押圧手段で押圧し、板状物を上下両側から挟んで分割することができる。これにより、分割予定ラインに沿う位置に良好に押圧力を付与することができ、例えば、板状物から円形のチップを生成する場合でも良好に分割することが可能となる。

本発明によれば、板状物を上下両側から挟んで分割するので、分割予定ラインに沿って板状物を複数のチップに良好に分割することができる。

本実施の形態に係る板状物の平面図である。本実施の形態に係る分割装置の概略斜視図である。上記分割装置の一部構成の分解概略斜視図である。図４Ａは、押圧手段の正面図であり、図４Ｂは押圧手段の底面図である。板状物を分割する直前状態の説明図である。板状物を分割している状態の説明図である。板状物の分割中における押圧手段及び突き上げ手段の位置関係を示す説明図である。板状物を分割している状態の説明図である。変形例に係る分割装置で板状物を分割している状態の説明図である。他の変形例に係る分割装置の概略斜視図である。図１０の変形例で板状物を分割している状態の説明図である。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る分割装置について説明する。先ず、図１を参照して、本実施の形態に係る分割装置によって分割される板状物について説明する。図１は、本実施の形態に係る板状物の平面図である。

図１に示すように、板状物Ｗは、石英ガラス基板やサファイア基板等からなる円板状に形成され、形成すべき複数のチップＷ１の輪郭に沿う円形の分割予定ラインＷ２によって区画される。なお、板状物Ｗは、後述するように変質層を形成できるものであればよく、上記以外の材質となる半導体基板を備えた半導体ウエーハでもよいし、他の材質で形成された基板でもよい。板状物Ｗは、環状フレームＦに装着された保護テープＴの上面に下面側が貼着され、環状フレームＦに保持される。

続いて、図２及び図３を参照して、本実施の形態に係る分割装置について説明する。図２は、本実施の形態に係る分割装置の概略斜視図である。図３は、上記分割装置の一部構成の分解概略斜視図である。なお、本実施の形態に係る分割装置は、図２及び図３に示す構成に限定されない。分割装置は、板状物を分割可能であれば、どのような構成でもよい。

図２に示すように、分割装置１０は、フレーム保持手段１１と、板状物Ｗを分割予定ラインＷ２に沿ってチップＷ１（図１参照）に分割する分割手段１２と、フレーム保持手段１１と分割手段１２とを相対的に移動させる移動手段１３とを備えている。

フレーム保持手段１１は、環状に形成されたフレーム保持部材１５を備え、フレーム保持部材１５の上面は環状フレームＦ（図１参照）が載置される保持面１５ａとされる。フレーム保持部材１５は磁力を有する材質であり、保持面１５ａに載置された環状フレームＦが磁力によって吸着されて保持される。なお、フレーム保持手段１１による環状フレームＦの保持は、フレーム保持部材１５の外周に複数のクランプ機構を設け、かかるクランプ機構によって環状フレームＦを挟持してもよい。

分割手段１２は、フレーム保持部材１５の内側下方に設けられる突き上げ手段１８及び突き上げ進退手段１９を備えている。また、分割手段１２は、フレーム保持部材１５の上方に設けられる押圧手段２１と、押圧手段２１を先端側で支持するＬ型のフレーム２２と、フレーム２２の下端側を支持してフレーム２２及び押圧手段２１を上下方向に移動させるエアシリンダからなる押圧進退手段２３とを備えている。

図３に示すように、突き上げ進退手段１９は、基台２５上から起立するように配設されたエアシリンダにより構成される。突き上げ手段１８は、突き上げ進退手段１９によって上下方向に進退されるピストンロッド１８ａと、ピストンロッド１８ａの先端に回転可能に装着されたボール部材１８ｂとを備えている。

移動手段１３は、基台２５のＸ方向両側に設けられてＹ方向に平行となる一対のガイドレール３０、３１と、一対のガイドレール３０、３１にスライド可能に設置されるモータ駆動のＹテーブル３２とを有している。また、移動手段１３は、Ｙテーブル３２のＹ方向両側に設けられてＸ方向に平行となる一対のガイドレール３４、３５と、一対のガイドレール３４、３５にスライド可能に設置されるモータ駆動のＸテーブル３６とを有している。

Ｙテーブル３２は、中央部に矩形状の開口を備えた枠状に形成され、Ｘテーブル３６は、中央部に円形の開口３７（図３に図示）を備えた板状に形成されている。Ｙ方向に平行なガイドレール３０、３１のうちの一方のガイドレール３０には、その上面に断面がＶ字状の案内溝３０ａが形成されている。この案内溝３０ａにＹテーブル３２の下面に設けられた突出部３８が摺動可能に嵌合する（図２参照）。また、Ｘ方向に平行なガイドレール３４、３５のうちの一方のガイドレール３４には、その上面に断面がＶ字状の案内溝３４ａが形成されている。この案内溝３４ａにＸテーブル３６の下面に設けられた突出部３９が摺動可能に嵌合する。

Ｙテーブル３２及びＸテーブル３６の下面側には、ナット部４１、４２が設けられ、これらナット部４１、４２にボールネジ４３、４４が螺合されている。Ｙテーブル３２用のボールネジ４３、Ｘテーブル３６用のボールネジ４４の一端部には、それぞれ駆動モータ４７、４８が連結されている。駆動モータ４７、４８によりボールネジ４３、４４が回転駆動され、Ｘテーブル３６上のフレーム保持手段１１がガイドレール３０、３１、３４、３５に沿ってＸ方向及びＹ方向に移動される。

図２に戻り、移動手段１３は、フレーム保持手段１１をＺ軸回りに回転させる回転手段５０を更に備えている。回転手段５０は、Ｘテーブル３６の開口３７（図３参照）の内周面に回動可能に嵌合する支持フランジ５１と、Ｘテーブル３６に設けられた駆動モータの回転軸（いずれも不図示）に装着されたプーリ５３と、プーリ５３と支持フランジ５１とに掛け回された無端ベルト５５とを有している。回転手段５０は、駆動モータを駆動することにより、プーリ５３及び無端ベルト５５を介して支持フランジ５１を回転させる。そして、支持フランジ５１に角度変更手段５７を介して支持されるフレーム保持手段１１を回転させる。

角度変更手段５７は、支持フランジ５１上に設けられてフレーム保持手段１１を支持する複数（本実施の形態では３体）のエアシリンダ５８を備えている。各エアシリンダ５８は、フレーム保持手段１１の下方に配設され、そのピストンロッドの上端側にボールジョイント構造等（不図示）を介して連結されてフレーム保持手段１１を上下方向に進退させる。また、各エアシリンダ５８は、それぞれ独立してピストンロッドの上下方向の進退量が制御される。これにより、全てのエアシリンダ５８の上下方向の進退量が同一であれば、フレーム保持部材１５の保持面１５ａが上下方向に直交する面（ＸＹ平面）との平行を維持して上下動される。一方、エアシリンダ５８の上下方向の進退量を変えることで、保持面１５ａの上下方向に対する角度を変更できるようになっている。このとき、エアシリンダ５８のピストンロッドとフレーム保持部材１５との相対角度が上記ボールジョイント構造等によって変化される。

分割装置１０においては、フレーム保持部材１５に保持された環状フレームＦに保護テープＴを介して支持されている板状物Ｗの分割予定ラインＷ２（図１参照）を検出するための検出手段６０を更に備えている。検出手段６０は、光学系および撮像素子（ＣＣＤ）等で構成され、Ｌ字状の支持柱６１に取り付けられている。支持柱６１は、図２中の矢印で示すように上下動及び回動可能に設けられ、フレーム保持部材１５に保持された板状物Ｗに対する検出手段６０の相対位置を調整可能に設けられる。

続いて、図４Ａ及び図４Ｂを参照して押圧手段について説明する。図４Ａは、押圧手段の正面図であり、図４Ｂは押圧手段の底面図である。図４Ａ及び図４Ｂに示すように、押圧手段２１は、中心軸位置Ｃが上下方向に向けられた円柱状部６５と、円柱状部６５の下面から下方に突出して設けられる４体の接触体６６とを備えている。接触体６６は、樹脂等の軟質部材によって形成され、板状物Ｗ（図４Ｂで不図示）を分割するときに、板状物Ｗの上面に接触して上方から押さえ付けつつ容易に変形して緩衝作用を奏するように設けられる。接触体６６の下面は、円柱状部６５の中心軸位置Ｃに近付くに従って上昇する傾斜面によって形成され、分割される板状物Ｗの図４Ａに示すような変位若しくは変形に応じて接触面積が拡大するように形成されている。

次いで、本実施の形態の分割装置１０による板状物Ｗの分割方法について図５ないし図８を参照して説明する。図５は、板状物を分割する直前状態の説明図である。図６及び図８は、板状物を分割している状態の説明図である。図７は、板状物の分割中における押圧手段及び突き上げ手段の位置関係を示す説明図である。

分割装置１０による分割を行う前に、板状物Ｗにおいては、予めレーザー光線の照射によって分割予定ラインＷ２に沿う内部に変質層が連続的に形成される。この変質層によって分割予定ラインＷ２に沿って強度が低下された状態となっている。また、板状物Ｗは、環状フレームＦに装着された保護テープＴに貼着されて保持される。

先ず、図５に示すように、板状物Ｗと一体として環状フレームＦがフレーム保持部材１５の保持面１５ａに載置され、磁力によって環状フレームＦが保持される。この状態で、検出手段６０（図２参照）によって板状物Ｗの分割予定ラインＷ２を検出し、この検出結果に応じて移動手段１３（図２参照）を駆動させ、フレーム保持部材１５及び板状物ＷをＸ、Ｙ方向に移動させて板状物Ｗのアライメントが行われる。このアライメントによって板状物Ｗの最初に分割位置の上方に押圧手段２１、下方に突き上げ手段１８が配設され、板状物Ｗに対して押圧手段２１と突き上げ手段１８とが対向するように位置付けられる。

この位置付け後、図６に示すように、突き上げ進退手段１９を駆動させ、突き上げ手段１８を上昇させて板状物Ｗに対して進行させる。これにより、保護テープＴを介して板状物Ｗの裏面（下面）側から板状物Ｗが突き上げられ、表面（上面）側が山側となるように分割予定ラインＷ２で折り曲げられて分割される力が加えられる。これと同時に、押圧進退手段２３を駆動させ、押圧手段２１を下降させて板状物Ｗに対して進行させる。これにより、板状物Ｗに上方から押圧される力が加えられ、突き上げ手段１８と押圧手段２１とで板状物Ｗを上下方向から挟むように押圧して分割予定ラインＷ２に沿って板状物Ｗが分割される。このとき、押圧手段２１が板状物Ｗを上方から押さえ付けるので、突き上げ手段１８による分割予定ラインＷ２での折り曲げ角度を小さくさせ、分割予定ラインＷ２での亀裂を生じさせ易くすることができる。

このように分割する際、図７に示すように、例えば、４体の接触体６６は２行２列となって並ぶ４枚のチップＷ１に接触するように位置付けられ、これらを上方から押さえ付ける。これに対し、突き上げ手段１８のボール部材１８ｂは、それら４枚のチップＷ１の外縁によって囲まれる部分Ｗ３に点状に接触される。従って、突き上げ手段１８による突き上げによって各チップＷ１が持ち上げられるものの、各接触体６６によって上から押さえ付けられ、部分Ｗ３を形成する分割予定ラインＷ２に亀裂を生じさせる力を増大させて板状物Ｗが分割される。なお、チップＷ１の形成数が図７に示す状態より１枚ないし３枚少なくなる場合には、これに応じて接触体６６が接触するチップＷ１も少なくなる。

また、図６のように板状物Ｗを押圧している状態で、移動手段１３によって板状物Ｗに対して突き上げ手段１８を相対移動させてもよい。例えば、図７の矢印で示すように、ボール部材１８ｂの接触位置の軌跡が部分Ｗ３の外縁を形成する分割予定ラインＷ２に沿うようにしてもよい。この場合、分割予定ラインＷ２の近傍をボール部材１８ｂが転動するので、突き上げ手段１８の相対移動方向に制約を受けずに円滑に突き上げ力を加えることができる。従って、移動方向として分割予定ラインＷ２に亀裂が入り易くなるよう種々のボール部材１８ｂの移動方向を採用することができる。

更に、図８に示すように、突き上げ手段１８と押圧手段２１とで板状物Ｗを押圧中、複数のエアシリンダ５８の上下方向の進退量を変え、それらの進退方向すなわち上下方向に対する板状物Ｗの角度を変更してもよい。このとき、突き上げ手段１８及び押圧手段２１の挟み方向となる上下方向に対し、板状物Ｗの角度変化に応じて分割予定ラインＷ２も傾いた斜め方向となって押圧力を受ける。これにより、突き上げ手段１８と押圧手段２１とによって挟み込み力が付与されるチップＷ１の角度を変化させ、分割予定ラインＷ２に加わる力を増大させてより良く分割させることができる。

突き上げ手段１８で突き上げた位置周辺の分割予定ラインＷ２にて分割された後、突き上げ進退手段１９及び押圧進退手段２３を駆動させ、突き上げ手段１８及び押圧手段２１を板状物Ｗに対して退行させる。そして、フレーム保持部材１５及び板状物ＷをＸ、Ｙ方向に移動させ、隣接する領域で未分割となる分割予定ラインＷ２に対して押圧手段２１と突き上げ手段１８とを位置付け、上述と同様となる分割が繰り返し行われる。

このような実施の形態によれば、板状物Ｗを上下両側から挟むように押圧して分割するので、下側からだけ押圧して分割する場合に比べ、分割予定ラインＷ２に加わる力を増大させることができる。これにより、分割予定ラインＷ２が円形になる場合でも、複数のチップＷ１に良好に分割することができる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状、方向などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、突き上げ手段１８では、ボール部材１８ｂが保護テープＴを介して板状物Ｗを突き上げる構成としたが、これに限られるものでなく、先端側がローラやブレード状となる部材で突き上げる等、種々の変更が可能である。但し、ボール部材１８ｂとすると、保護テープＴに接触しながら様々な方向に転動させることができ、板状物Ｗを突き上げながら突き上げ手段１８の位置変更を円滑に行うことができる。

また、上記の押圧部材２１の形態等は、一例に過ぎないものであり、上記実施の形態と同様の機能を発揮するものであれば、他の形状等に変更してもよい。

また、押圧手段２１及び突き上げ手段１８は、種々の変更が可能であり、例えば、図９及び図１０に示す構成としてもよい。図９は、変形例に係る分割装置で板状物を分割している状態の説明図であり、図１０は、他の変形例に係る分割装置の概略斜視図である。図９の変形例において、押圧手段２１は、ボール部材７１と、これを保持するボール保持体７２とを備え、先端にボール部材７１が回転可能に形成されている。突き上げ手段１８は、板状物Ｗに貼着された保護テープＴに面接触し、保護テープＴを介して板状物Ｗの裏面（図中下面）全面を支持するゴム等からなる弾性部材７４を備えている。なお、図９では、弾性部材７４によって環状フレームＦも下側から保持し、フレーム保持手段として機能するように構成したが、弾性部材７４の外周に複数のクランプ機構を設け、かかるクランプ機構によって環状フレームＦを挟持してもよい。

図９の変形例において板状物Ｗを分割する場合、分割予定ラインＷ２に押圧手段２１のボール部材７１を位置付けた後、分割予定ラインＷ２に沿ってボール部材７１を転動させながら押圧させる。このとき、板状物Ｗの変形に応じて弾性部材７４が凹むように弾性変形される。これにより、ボール部材７１と弾性部材７４とで板状物Ｗが上下方向から挟まれるよう押圧力が加わり、分割予定ラインＷ２に沿って板状物Ｗが分割される。

図１０の変形例では、板状物Ｗの分割予定ラインＷ２が格子状となり、矩形状のチップＷ１を形成する。図１０の変形例において、押圧手段２１は、板状物Ｗ側となる下面を押圧面７６ａとする長尺物からなる押圧体７６を備えている。また、突き上げ手段１８は、板状物Ｗ側となる上面を突き上げ面７７ａとする長尺物からなる突き上げ体７７を備えている。押圧面７６ａ及び突き上げ面７７ａは矩形形状に形成され、その長尺方向の長さが板状物Ｗの直径寸法と同一又は直径寸法より長く形成され、少なくとも板状物Ｗの外径と同等長さとなっている。

環状をなすフレーム保持部材１５は、移動手段１３のＸテーブル３６に支持されずに、不図示の支持構造を介してＸテーブル３６より上方の所定高さ位置に支持される。押圧体７６は、不図示の押圧進退手段によって上下方向に移動可能に設けられる。突き上げ体７７は、Ｘテーブル３６に設けられてＺ方向の位置が固定されたまま、移動手段１３の駆動によってＸ方向及びＹ方向に移動される。突き上げ体７７の突き上げ面７７ａにおけるＺ方向の位置は、フレーム保持手段１５の保持面１５ａと略同一に設定されている。

図１１は、図１０の変形例で板状物を分割している状態の説明図である。図１１に示すように、押圧面７６ａ及び突き上げ面７７ａは、板状物Ｗの上下各面と平行となる方向から見たときに、図１０中右上がりに傾斜しつつ緩やかにカーブする曲面形状に形成されている。突き上げ面７７ａには、図中左右方向中央から右側に掛けて膨らむ凸形状の面７７ｂが形成されている。押圧面７６ａには、その凸形状の面７７ｂとなった部分と対向する位置が凹形状の面７６ｂに形成されており、凹形状の面７６ｂと凸形状の面７７ｂとが対応して形成されている。

図１０の変形例において板状物Ｗを分割する場合、分割予定ラインＷ２に押圧体７６及び突き上げ体７７を位置付けた後、押圧体７６を下方に移動させて板状物Ｗを分割予定ラインＷ２に沿って上下方向から挟み込む。これにより、凹形状の面７６ｂ及び凸形状の面７７ｂの形状に沿うように分割予定ラインＷ２に折り曲げる押圧力が加わり、分割予定ラインＷ２に沿って板状物Ｗが分割される。

また、押圧手段２１にロードセル（荷重検知部）を設け、押圧手段２１による板状物Ｗへの押圧力をロードセルで測定してもよい。この場合、ロードセルの測定結果に応じて押圧進退手段２３の駆動量を制御することで、押圧手段２１の押圧力を一定としたり変化したりするよう調整することができる。

また、回転手段５０は、上記のようにプーリ５３及ぶ無端ベルト５５を用いた構成に限られず、種々の変更が可能である。例えば、環状のフレーム保持部材１５の外周に沿って従動ギヤを形成し、この従動ギヤに噛み合ってモータ等の駆動力を従動ギヤに伝達する駆動ギヤを備えた構成としてもよい。

以上説明したように、本発明は、分割予定ラインに沿って板状物を複数のチップに良好に分割することができるという効果を有し、特に、板状物から複数のチップを分割して生成する分割装置に有用である。

１０分割装置
１１フレーム保持手段
１２分割手段
１３移動手段
１８突き上げ手段
１８ｂボール部材
１９突き上げ進退手段
２１押圧手段
２３押圧進退手段
５７角度変更手段
６０検出手段
Ｆ環状フレーム
Ｔ保護テープ
Ｗ板状物
Ｗ１チップ
Ｗ２分割予定ライン

Claims

環状フレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、該分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置であって、
該環状フレームを保持する保持面を有するフレーム保持手段と、該保護テープに貼着された該板状物の分割予定ラインを検出する検出手段と、該検出手段によって検出された該板状物の該分割予定ラインを該保護テープを介して押圧し、該板状物を該分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、該フレーム保持手段と該分割手段とを相対的に移動させる移動手段と、
を備え、
該分割手段は、該保護テープを介して該板状物の裏面側から板状物を突き上げて分割する突き上げ手段と、板状物に対して該突き上げ手段と対向して板状物の上方に配設され且つ板状物を上方から押圧する押圧手段と、を備え、
該突き上げ手段と該押圧手段とで板状物を上下方向から挟んで押圧して該分割予定ラインに沿って分割し、
該押圧手段は、先端にボール部材が回転可能に形成されており、
該突き上げ手段は、少なくとも板状物裏面全面に支持する弾性部材からなり、
該板状物の分割予定ラインに沿って該押圧手段の該ボール部材を押圧し、該突き上げ手段の該弾性部材と挟んで分割することを特徴とする板状物の分割装置。
環状フレームに装着された保護テープの上面に貼着され分割予定ラインに沿って強度が低下して形成されている板状物を、該分割予定ラインに沿って分割する板状物の分割装置であって、
該環状フレームを保持する保持面を有するフレーム保持手段と、該保護テープに貼着された該板状物の分割予定ラインを検出する検出手段と、該検出手段によって検出された該板状物の該分割予定ラインを該保護テープを介して押圧し、該板状物を該分割予定ラインに沿ってチップに分割する分割手段と、該フレーム保持手段と該分割手段とを相対的に移動させる移動手段と、
を備え、
該分割手段は、該保護テープを介して該板状物の裏面側から板状物を突き上げて分割する突き上げ手段と、板状物に対して該突き上げ手段と対向して板状物の上方に配設され且つ板状物を上方から押圧する押圧手段と、を備え、
該突き上げ手段と該押圧手段とで板状物を上下方向から挟んで押圧して該分割予定ラインに沿って分割し、
該フレーム保持手段の下方に配設され、該突き上げ手段及び該押圧手段の進退方向に対する該フレーム保持手段の該保持面の角度を変更する角度変更手段を備え、
該板状物の分割予定ラインに対して斜め方向で該突き上げ手段及び該押圧手段で挟んで押圧して分割することを特徴とする板状物の分割装置。
該押圧手段及び該突き上げ手段は、少なくとも板状物の外径と同等長さの押圧面及び突き上げ面を有し、該押圧面又は該突き上げ面が対応した凹形状の面又は凸形状の面に形成され、板状物の該分割予定ラインに沿って該凹形状の面及び該凸形状の面で挟んで押圧して分割する、請求項２記載の板状物の分割装置。
該突き上げ手段は、先端にボール部材が回転可能に装着されていること、を特徴とする請求項２記載の板状物の分割装置。