JP6579084B2 - ブレーキング装置 - Google Patents
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Description
上記した実施形態では、撮像部が撮像した画像からブレード52が曲げ応力を付与する前後において分割予定線2を挟んで隣り合う一対の目印Pの距離を測定し、曲げ応力を付与した前後での基板1の距離の変化量に基づいて基板1が分割されたか否かを検出したが、本発明はこれに限定されない。
上記した実施形態では、制御部90は、ブレード52を検出位置に停止させた状態で基板1の分割予定線2と目印Pを撮像したが、分割位置から待機位置に向けて上方へ移動させながら、基板1の分割予定線2と目印Pを撮像部78に撮像させてもよい。このようにブレード52を移動させながら撮像部78が撮像することで、分割位置から待機位置へ移動させる途中でブレード78を停止させる必要がないため、タクトタイムを短縮することができる。
Claims (7)
- 分割予定線が形成された基板を支持する基板支持台と、
前記基板に当接して曲げ応力を付与するブレードと、前記ブレードを前記基板に対して近接及び離隔移動するブレード駆動部と、前記ブレード駆動部の動作を制御するブレード制御部と、前記基板支持台に支持された前記基板を撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像した画像から前記基板の分割を検出する分割検出部とを備え、
前記ブレード制御部は、前記ブレードが前記基板に当接する当接位置から前記基板を押圧する方向へ所定距離移動した分割位置に前記ブレードを移動させ、前記基板に曲げ応力を付与して前記基板を分割するブレーキング装置において、
前記ブレード制御部は、前記ブレードを前記分割位置に移動させた後、前記分割位置と前記当接位置との間に設定された検出位置に前記ブレードを移動させ、
前記分割検出部は、前記ブレードが前記検出位置に位置する時に前記撮像部が撮像した画像から前記基板の分割を検出するブレーキング装置。 - 前記分割検出部は、前記撮像部が撮像した画像から分割予定線を挟んだ両側の前記基板の距離の変化量を検出し、その変化量に基づいて前記基板の分割を検出する請求項1に記載のブレーキング装置。
- 前記分割検出部は、前記撮像部が撮像した画像から分割予定線を挟んだ両側の前記基板の間から検出される光強度の変化量を検出し、その変化量に基づいて前記基板の分割を検出する請求項1に記載のブレーキング装置。
- 前記分割検出部は、前記撮像部が撮像した画像全体の明度の変化量を検出し、その変化量に基づいて前記基板の分割を検出する請求項1に記載のブレーキング装置。
- 前記撮像部を囲むリング状に配置され前記基板を照明する照明装置を備える請求項1〜4のいずれか1項に記載のブレーキング装置。
- 前記分割検出部は、前記ブレードを前記検出位置に停止させた状態で前記撮像部が撮像した画像から前記基板の分割を検出する請求項1〜5のいずれか1項に記載のブレーキング装置。
- 前記分割検出部は、前記ブレード制御部が前記ブレードを移動させながら、前記撮像部が撮像した画像から前記基板の分割を検出する請求項1〜5のいずれか1項に記載のブレーキング装置。
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