JP5085452B2 - テープ拡張装置 - Google Patents
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Description
4 フレーム載置台
8 長穴
10 ピン
12 ガイドレール
14 プレート
18 長穴
20 エアーシリンダ
24 フレーム搬送アーム
26 吸着パッド
28 環状フレーム
30 粘着テープ
32 半導体ウエーハ
38 レーザヘッド
40 変質層
42 エアーシリンダ
46 保持テーブル移動機構
50 保持テーブル
52 ポーラス吸着部
56 真空吸引源
62,70 ボールねじ
64,72 パルスモータ
76 環状ヒータ
Claims (3)
- 外周縁部が環状フレームに装着され表面にワークが貼着されたテープを拡張するテープ拡張装置であって、
中心部に開口部を有し、前記環状フレームが載置される載置表面を有するフレーム載置台と、
該フレーム載置台の両側上方に固定された該載置表面と平行に伸長する一対のガイドレールと、
前記環状フレームの開口部と略同一形状の開口領域を有し、前記フレーム載置台に対向した保持位置と該フレーム載置台から退避した退避位置との間で前記ガイドレールに案内されて移動可能なプレートと、
該プレートを前記保持位置と前記退避位置との間で移動するプレート移動手段と、
前記フレーム載置台の開口部に挿入されるように配設され、前記環状フレームが該フレーム載置台上に載置されたとき、前記ワークに当接するように適合したポーラス吸着部を有するテーブルと、
前記プレートが前記保持位置に移動されているときに、前記フレーム載置台を移動して該環状フレームを該プレートと該フレーム載置台とで挟持するフレーム載置台移動機構と、
該環状フレームが前記プレートと前記フレーム載置台とで挟持されているときに、前記テーブルを前記プレートを越えて移動して、該テーブルで前記テープを突き上げることによりテープを拡張するテーブル移動機構と、
前記環状フレームの内周と前記ワークの外周との間の拡張されて弛んだテープ領域を外的刺激によって矯正する外的刺激付与手段と、
該ポーラス吸着部を選択的に吸引する真空吸引源と、を具備し、
前記外的刺激付与手段で拡張されて弛んだテープを矯正中は前記ポーラス吸着部を前記真空吸引源に接続して該テープを介して該ワークを吸引保持し、該ワークを半径方向に拡張されたままの状態に維持することを特徴とするテープ拡張装置。 - 前記フレーム載置台は、前記環状フレームに突き当てて移動することにより、前記フレーム載置台に載置された該環状フレームの位置合わせを行う少なくとも3本のピンを有することを特徴とする請求項1記載のテープ拡張装置。
- 前記プレートは前記ピンに対応する少なくとも3個の長穴を有し、前記ピンによって前記環状フレームが位置決めされた状態で、前記フレーム載置台と前記プレートによって前記環状フレームが保持されるのを許容することを特徴とする請求項2記載のテープ拡張装置。
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