JP2008140874A - テープ拡張装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハ10が環状のダイシングフレームFに装着され、粘着テープTを拡張するテープ拡張装置において、ダイシングフレームFを保持するダイシングフレーム保持手段3と、ダイシングフレームFの内径より小さくウエーハ10の外径より大きい押圧部材41と、押圧部材41とフレーム保持手段3を軸方向に相対移動する移動手段とを具備する張力付与手段と、ダイシングフレームFの内径より小さくウエーハ10の外径より大きい内径を有する環状の移し替えフレーム8を粘着テープTの表面にウエーハ10を囲繞して貼着するフレーム移し替え手段と、移し替えフレーム8に貼着された粘着テープを移し替えフレームに沿って切断するテープカッター手段5とを具備している。
【選択図】図6
Description
該環状のダイシングフレームを保持するダイシングフレーム保持手段と、
該環状のダイシングフレームの内径より小さく該粘着テープに貼着されたウエーハの外径より大きい外径を有する押圧部材と、該押圧部材と該フレーム保持手段を軸方向に相対移動する移動とを具備する張力付与手段と、
該環状のダイシングフレームの内径より小さい外径を有しウエーハの外径より大きい内径を有する環状の移し替えフレームを、該ダイシングフレーム保持手段に保持された環状のダイシングフレームに装着されている粘着テープの表面にウエーハを囲繞して貼着するフレーム移し替え手段と、
該環状の移し替えフレームに貼着された粘着テープを該環状の移し替えフレームに沿って切断するテープカッター手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ拡張装置が提供される。
上記テープカッター手段は、上記移し替えフレーム保持部材に着脱可能に支持された移し替えフレームに対して進退する切れ刃と、該切れ刃を進退する進退手段とからなっている。また、上記テープカッター手段は上記押圧部材に配設され、押圧部材を回動する回動手段を備えていることが望ましい。
図8に示すウエーハ10は、表面10aに複数の分割予定ライン101が格子状に形成されているとともに、該複数の分割予定ライン101によって区画された複数の領域にそれぞれデバイス102が形成された半導体ウエーハからなっている。このように構成されたウエーハ10は、複数の分割予定ライン101に沿って破断され、個々のデバイス102に分割されている。ウエーハ10を複数の分割予定ライン101に沿って分割する方法としては、切削装置やレーザー加工装置によって切断する方法を用いることができる。なお、後述する本発明によるテープ拡張装置は、ウエーハの分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射し、ウエーハの内部に分割予定ラインに沿って変質層が形成されたウエーハを、分割予定ラインに沿って破断し個々のデバイスに分割する機能を備えている。
図1には本発明に従って構成されたテープ拡張装置の斜視図が示されている。
図1に示すテープ拡張装置は、直方体状の装置ハウジング2を具備している。装置ハウジング2を構成する上壁21の中央部には、図2に示すように円形の穴211が設けられている。図示の実施形態におけるテープ拡張装置2は、装置ハウジング2を構成する上壁21上に配設され上記環状のダイシングフレームFを保持するダイシングフレーム保持手段3と、該ダイシングフレーム保持手段3に保持された環状のダイシングフレームFに装着された粘着テープTに張力を付与して拡張する張力付与手段4を具備している。
なお、テープ拡張装置を作動するに際しては、フレーム移し替え手段7を構成する移し替えフレーム保持部材71の環状の保持部711に移し替えフレーム8を位置付け、図示しない吸引手段を作動して環状の保持部711に形成された複数の吸引孔712に負圧を作用せしめることにより、移し替えフレーム8を移し替えフレーム保持部材71の環状の保持部711に吸引保持する。
3:ダイシングフレーム保持手段
31:環状のダイシングフレーム保持部材
32:クランプ
4:テープ拡張手段
41:押圧部材
43:支持手段
431:環状の支持基台
432:エアシリンダ
5:テープカッター手段
51:切れ刃
52:進退手段
521:エアシリンダ
6:回動手段
61:パルスモータ
62:プーリ
63:無端ベルト
7:フレーム移し替え手段
71:移し替えフレーム保持部材
72:作動手段
721:エアシリンダ
8:移し替えフレーム
10:ウエーハ
F:環状のフレーム
T:粘着テープ
Claims (4)
- 格子状に形成された複数の分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されたウエーハが環状のダイシングフレームに装着された粘着テープの表面に貼着されており、該粘着テープを拡張して該デバイス間に所定の間隔を設けるとともに該間隔を維持するテープ拡張装置において、
該環状のダイシングフレームを保持するダイシングフレーム保持手段と、
該環状のダイシングフレームの内径より小さく該粘着テープに貼着されたウエーハの外径より大きい外径を有する押圧部材と、該押圧部材と該フレーム保持手段を軸方向に相対移動する移動とを具備する張力付与手段と、
該環状のダイシングフレームの内径より小さい外径を有しウエーハの外径より大きい内径を有する環状の移し替えフレームを、該ダイシングフレーム保持手段に保持された環状のダイシングフレームに装着されている粘着テープの表面にウエーハを囲繞して貼着するフレーム移し替え手段と、
該環状の移し替えフレームに貼着された粘着テープを該環状の移し替えフレームに沿って切断するテープカッター手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ拡張装置。 - 該フレーム移し替え手段は、上該押圧部材の上方に対向して配設され下面に上記移し替えフレームを着脱可能に支持する移し替えフレーム保持部材と、該移し替えフレーム保持部材を上下方向に移動する作動手段を具備している、請求項1記載のテープ拡張装置。
- 該テープカッター手段は、該移し替えフレーム保持部材に着脱可能に支持された該移し替えフレームに対して進退する切れ刃と、該切れ刃を進退する進退手段とからなっている、請求項1又は2記載のテープ拡張装置。
- 該テープカッター手段は該押圧部材に配設され、押圧部材を回動する回動手段を備えている、請求項3記載のテープ拡張装置。
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