JP4684569B2 - テープ拡張装置 - Google Patents
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Description
該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保持テープにおける該環状のフレームの内周と該円板形状のウエーハとの間の領域を挟持する複数のテープ挟持手段と、該複数のテープ挟持手段を径方向に移動せしめるテープ拡張手段と、を具備しており、
該テープ挟持手段は、該テープ拡張手段によって径方向へ移動可能な移動部と該移動部から立設して形成された支持部とからなるL字状の可動基台と、
該可動基台の該支持部に上下方向に移動可能に装着されて該保持テープを挟持する第1の挟持機構および第2の挟持機構と、
該第1の挟持機構および該第2の挟持機構をそれぞれ上下方向に移動せしめる第1の移動機構および第2の移動機構とを具備し、
該第1の挟持機構は、上端面に摩擦係数の大きい摩擦部材が装着されているとともに、該摩擦部材を介して該保持テープと接する該上端面の形状が該円板形状のウエーハの半径より大きい曲率半径を持って形成された挟持部材を有し、
該第2の挟持機構は、下端面に保持テープの表面に塗布された糊の付着を防止するためのプラスチック部材が装着されているとともに、該プラスチック部材を介して該保持テープと接する該下端面の形状が該円板形状のウエーハの半径より大きい曲率半径を持って形成された挟持部材を有している、ことを特徴とするテープ拡張装置が提供される。
図示の実施形態におけるウエーハ10は、図9および図10の(a)に示すように表面10aに複数の分割予定ライン101が格子状に形成されているとともに、該複数の分割予定ライン101によって区画された複数の領域にそれぞれ回路102が形成された半導体ウエーハからなっている。このウエーハには、図10の(a)に示すように表面10aに保護部材11を装着して、裏面10b側から内部に集光点を合わせウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を分割予定ライン101に沿って照射することにより、分割予定ライン101に沿って変質層103が形成されている。この変質層103が形成されることにより、ウエーハ10は分割予定ライン101に沿って強度が低下せしめられている。このように、分割予定ライン101に沿って強度が低下されたウエーハ10は、図10の(b)に示すように上記保持テープ13の上面に裏面10b側を貼着する。そして、ウエーハ10の表面10aに装着されている保護部材11を剥離することにより、図10の(c)に示すように分割予定ライン102に沿って変質層103が形成され強度が低下されたウエーハ10は、環状のフレーム12に装着された保持テープ13の上面に表面10aを上にして貼着された状態となる。
図1には本発明にしたがって構成されたテープ拡張装置の一実施形態の斜視図が示されており、図2には図1に示すテープ拡張装置の分解斜視図が示されている。
図1および図2に示す実施形態におけるテープ拡張装置2は、固定基台20と、該固定基台20の中央部上面に配設され上記環状のフレーム12を保持するフレーム保持手段3と、該フレーム保持手段3に保持された上記環状のフレーム12に装着された上記保持テープ13を挟持する複数(図示の実施形態においては4個)のテープ挟持手段4と、該複数のテープ挟持手段4をそれぞれ径方向に移動せしめる複数(図示の実施形態においては4個)のテープ拡張手段5とを具備している。
上記図9に示すように分割予定ライン101に沿って強度が低下せしめられた半導体ウエーハ10を保持テープ13を介して支持した環状のフレーム12を、図3の(a)に示すように上記フレーム保持手段3を構成する環状のフレーム保持部材32の載置面321上に載置し、クランプ33によってフレーム保持部材32に固定する。このとき、テープ挟持手段4を構成する第1の挟持機構42および第2の挟持機構43は、図3の(a)に示す待機位置に位置付けられている。
図5および図6に示す実施形態におけるテープ拡張装置2aは、テープ挟持手段4を2個にして、フレーム保持手段3を構成する環状のフレーム保持部材32を回動可能に構成したものである。即ち、2個のテープ挟持手段4、4は、互いに対向して配設されている。また、フレーム保持手段3を構成する4本の支持柱31の上端には、図6に示すようにボールベアリング311がそれぞれ配設されており、このボールベアリング311上に環状のフレーム保持部材32の被支持面322を載置することにより、フレーム保持部材32が4本の支持柱31に回動可能に支持される。なお、4本の支持柱31上に載置されたフレーム保持部材32は、4本の支持柱31の外側に規制部323が位置付けられるので、水平方向に移動が規制される。
なお、分割予定ライン101に沿って強度が低下せしめられた半導体ウエーハ10を支持した環状のフレーム12をフレーム保持手段3に保持し、テープ挟持手段4によって保持テープ13を挟持する動作は、上記図1乃至図4に示す実施形態と同様である。そして、テープ拡張手段5を作動して図7に示すように2個のテープ挟持手段4をそれぞれ矢印で示す径方向外方に移動する。従って、環状のフレーム12に装着された保持テープ13は、図7において矢印で示す方向に拡張される(第1の拡張工程)。この結果、保護テープ13に貼着されている半導体ウエーハ10には図7において矢印で示す方向に引っ張り力が作用し、半導体ウエーハ10は一部の分割予定ライン101に沿って破断される。次に、上記テープ挟持手段4を作動して保持テープ13の挟持を解除し、回動手段6を作動してフレーム保持部材32を90度回動する。そして、再度2個のテープ挟持手段4によって保持テープ13を挟持する。次に、テープ拡張手段5を作動することにより、保持テープ13は上記第1の拡張工程によって拡張された方向と90度の位相を持った方向に拡張される(第2の拡張工程)。この結果、保持テープ13に貼着された半導体ウエーハ10は上記第1の拡張工程によって破断されていない分割予定ライン101に沿って破断され、個々の半導体チップに分割される。
図8に示す実施形態においては、第1の挟持機構42を構成する挟持部材422の上端面にはポリテトラフルオロエチレン等からなる第1のプラスチック部材424が装着されており、第2の挟持機構を構成する挟持部材43の下端面にはポリテトラフルオロエチレン等からなる第2のプラスチック部材434が装着されている。第1のプラスチック部材424の上面には上方に向けて外側に開く凹部424aが形成されており、第2のプラスチック部材434の下端部には上記凹部424aと嵌合する凸部434aが形成されている。従って、図8に示すテープ挟持手段においては、第1のプラスチック部材424の凹部424aと第2のプラスチック部材434の凸部434aとの間で保持テープ13を挟持する。
20:固定基台
3:フレーム保持手段
31:支持柱
32:環状のフレーム保持部材
33:クランプ
4:テープ保持手段
41:可動基台
42:第1の挟持機構
421:支持アーム
422:挟持部材
423:摩擦部材
43:第2の挟持機構
431:支持アーム
432:挟持部材
433:摩擦部材
44:第1の移動機構
441:雄ネジロッド
443:パルスモータ
45:第2の移動機構
451:雄ネジロッド
453:パルスモータ
5:テープ拡張手段
51:雄ネジロッド
53:パルスモータ
6:回動手段
61:パルスモータ
62:ユーリ
63:無端ベルト
10:ウエーハ(半導体ウエーハ)
11:保護部材
12:環状のフレーム
13:保持テープ
Claims (4)
- 環状のフレームに装着され複数の分割予定ラインによって区画された複数の領域を有する円板形状のウエーハが貼着された保持テープを拡張するテープ拡張装置において、
該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該環状のフレームに装着された該保持テープにおける該環状のフレームの内周と該円板形状のウエーハとの間の領域を挟持する複数のテープ挟持手段と、該複数のテープ挟持手段を径方向に移動せしめるテープ拡張手段と、を具備しており、
該テープ挟持手段は、該テープ拡張手段によって径方向へ移動可能な移動部と該移動部から立設して形成された支持部とからなるL字状の可動基台と、
該可動基台の該支持部に上下方向に移動可能に装着されて該保持テープを挟持する第1の挟持機構および第2の挟持機構と、
該第1の挟持機構および該第2の挟持機構をそれぞれ上下方向に移動せしめる第1の移動機構および第2の移動機構とを具備し、
該第1の挟持機構は、上端面に摩擦係数の大きい摩擦部材が装着されているとともに、該摩擦部材を介して該保持テープと接する該上端面の形状が該円板形状のウエーハの半径より大きい曲率半径を持って形成された挟持部材を有し、
該第2の挟持機構は、下端面に保持テープの表面に塗布された糊の付着を防止するためのプラスチック部材が装着されているとともに、該プラスチック部材を介して該保持テープと接する該下端面の形状が該円板形状のウエーハの半径より大きい曲率半径を持って形成された挟持部材を有している、ことを特徴とするテープ拡張装置。 - 該フレーム保持手段は、複数の支持柱と、該複数の支持柱の上端に配設され該環状のフレームを載置するために載置面を備えた環状のフレーム保持部材とを具備している、請求項1記載のテープ拡張装置。
- 該フレーム保持手段は、該環状のフレーム保持部材を該複数の支持柱上で回動可能に構成するとともに、該環状のフレーム保持部材を回動する回動手段を備えている、請求項2記載のテープ拡張装置。
- 該複数のテープ挟持手段の挟持部材は、周方向に互いに等角度をもって配設されている、請求項1から3のいずれかに記載のテープ拡張装置。
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