JPH09190988A - シートの引き伸し装置 - Google Patents

シートの引き伸し装置

Info

Publication number
JPH09190988A
JPH09190988A JP1926496A JP1926496A JPH09190988A JP H09190988 A JPH09190988 A JP H09190988A JP 1926496 A JP1926496 A JP 1926496A JP 1926496 A JP1926496 A JP 1926496A JP H09190988 A JPH09190988 A JP H09190988A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ring
sheet
wafer
expand
screws
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1926496A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasushi Takeda
泰 武田
Original Assignee
Toshiba Mechatronics Kk
東芝メカトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Mechatronics Kk, 東芝メカトロニクス株式会社 filed Critical Toshiba Mechatronics Kk
Priority to JP1926496A priority Critical patent/JPH09190988A/ja
Publication of JPH09190988A publication Critical patent/JPH09190988A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置の小型化を図りつつ、適切なエキスパン
ド力を発生できるようにすること。 【解決手段】 エキスパンドリング13とプレスリング
14との相対移動にて、ウエハリング2に保持されたシ
ート3を引き伸し、上記シート上に格子状に配置され貼
付された各半導体ペレット5間に隙間を形成するシート
の引き伸し装置17であって、上記エキスパンドリング
とプレスリングとの相対移動をねじ15(15A〜15
D)により行なうものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいて、ウエハリングに支持されてウエハを貼着したシ
ートを引き伸すシートの引き伸し装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体の製造工程の1つにペレットボン
ディング工程がある。この工程では、ウエハから1個ず
つ半導体ペレットをピックアップし、その後直接、ある
いは必要に応じて位置決めポジションを経由して、上記
半導体ペレットをリードフレームへ移送し、このリード
フレームの所定位置にボンディングする作業が行なわれ
る。
【0003】この作業に用いられるペレットボンディン
グ装置では、例えば、特公平1-44018 号公報記載の発明
(従来技術)のように、ウエハリングにシートを介して
ウエハを保持したウエハリングユニットをウエハステー
ジに設置し、このウエハステージのシート引き伸し装置
にてウエハリングユニットのシートを引き伸ばし、上記
ウエハが予めダイシングされて格子状に配置された各半
導体ペレット間に間隙を形成する作業が実施される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、ウエハリングユニットのシートを引き伸すため
に必要とされるエキスパンド力は、エアシリンダ等にて
発生したものを用いる。このため、ウエハリングユニッ
トのウエハの大径化に伴い大きなエキスパンド力が必要
となると、上記エアシリンダ等のエキスパンド力発生装
置が大型化し、その結果として装置全体が大型化してし
まう。
【0005】本発明の課題は、上述の事情を考慮してな
されたものであり、装置の小型化を図りつつ、適切なエ
キスパンド力を発生できるシートの引き伸し装置を提供
することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動に
て、ウエハリングに保持されたシートを引き伸し、上記
シート上に格子状に配置され貼付けられた各半導体ペレ
ット間に間隙を形成するシートの引き伸し装置であっ
て、上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移
動をねじによって行なうようにしたものである。
【0007】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、上記ねじがエキスパンドリング及びプ
レスリングの周方向に複数本設けられたものである。
【0008】請求項3に記載の発明は、請求項2に記載
の発明において、複数本の上記ねじのうち、少なくとも
一本が他のねじに対して逆ねじ構造であるようにしたも
のである。
【0009】請求項1に記載の発明には、次の作用があ
る。シートを引き伸すエキスパンド力を発生するエキス
パンドリングとプレスリングの相対移動がねじにて実施
されたことから、上記エキスパンド力をエアシリンダや
油圧シリンダ等を用いて発生する場合に比べ、装置構造
を小型化でき、然も適切なエキスパンド力を発生させる
ことができる。
【0010】請求項2に記載の発明には、次の作用があ
る。ねじがエキスパンドリング及びプレスリングの周方
向に複数本設置されたことから、エキスパンドリングと
プレスリングとの平行度を良好に確保でき、更にエキス
パンドリングとプレスリングにより発生するエキスパン
ド力を、両リングの周方向で均等に分散させることがで
きる。
【0011】請求項3に記載の発明には、次の作用があ
る。複数本のねじの少なくとも一本が他のねじに対し逆
ねじ構造に構成されたので、他のねじによりエキスパン
ドリングとプレスリング間に生ずる回転モーメントを、
上記逆ねじ構造のねじにより生ずる回転モーメントによ
って相殺でき、ねじの回転による両リングの相対回転が
抑制される。そのため、両リングの相対回転によるねじ
の傾きや、これに伴うねじの回転抵抗の増大が防止で
き、シートの引き伸しを良好に行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図1は、本発明に係るシートの
引き伸し装置の一つの実施の形態が適用されたウエハス
テージを示す縦断面図である。図2は、図1のエキスパ
ンドリング及びプレスリングを備えて構成されたシート
引き伸し装置を示す斜視図である。図3は、図1のIII-
III 線に沿う断面図である。
【0013】図1に示すように、ペレットボンディング
装置のウエハステージ10は、図示しないウエハマガジ
ンから供給されたウエハリングユニット1を固定保持す
るものである。このウエハリングユニット1は、ウエハ
リング2にシート3を介してウエハ4が貼着されたもの
であり、ウエハステージ10に供給される前段階でウエ
ハ4が格子状にダイシングされて、多数の半導体ペレッ
ト5に分割されている。
【0014】上記ウエハステージ10は、ウエハリング
ユニット1の固定保持に際し、シート3を引き伸ばし
て、格子状に配置された多数の半導体ペレット5間に適
切な間隙を形成し、半導体ペレット5を取り出し易くす
るものである。ウエハステージ10は、基台11、回転
台12、エキスパンドリング13、プレスリング14、
ねじ15及び回転駆動部16を有して構成され、上記エ
キスパンドリング13、プレスリング14及びねじ15
からシート引き伸し装置17が構成される。
【0015】上記回転台12は、フランジ12Aを備え
た円筒形状であり、基台11に対しベアリング18を介
して回転自在に配設される。この基台11には支持プレ
ート19が一体に成形され、この支持プレート19に、
上記回転駆動部16が設置される。
【0016】つまり、基台11にステッピングモータ2
0が設置され、このステッピングモータ20のモータシ
ャフトにプーリ21が取り付けられ、このプーリ21と
回転台12との間に、図3にも示すベルト22が巻き掛
けられる。これらのステッピングモータ20、プーリ2
1及びベルト22により回転駆動部16が構成され、ス
テッピングモータ20の駆動により回転台12が回転さ
れる。
【0017】シート引き伸し装置17のエキスパンドリ
ング13は、フランジ13Aを有する円筒形状であり、
先端部が支持部23として機能する。また、このエキス
パンドリング13の基端部24は、回転台12に着脱自
在に載置され、この回転台12と回転一体に結合され
る。また、上記プレスリング14はリング形状であり、
図2にも示すように、エキスパンドリング13のフラン
ジ部13Aに、上記複数本(好ましくは3本以上)、例
えば4本のねじ15にて結合される。これらのねじ15
は、エキスパンドリング13のフランジ部13A及びプ
レスリング14の周方向に所定間隔で配置される。
【0018】ウエハリングユニット1のシート3をエキ
スパンドリング13の支持部23に載せ、かつ、ウエハ
リングユニットのウエハリング2をエキスパンドリング
13のフランジ部13Aとプレスリング14との間に配
設させて、上記複数本のねじ15を不図示の回転装置に
て同時に回転させ締め付けることにより、プレスリング
14が矢印Aに示すようにエキスパンドリング13のフ
ランジ部13A側へ相対移動する。この結果、ウエハリ
ングユニット1のウエハリング2がプレスリング14に
より押し下げられ、ウエハリングユニット1のシート3
がエキスパンドリング13の支持部23に押し付けられ
てエキスパンド力が発生し、このエキスパンド力により
ウエハリングユニット1のシート3が引き伸されて、ウ
エハリングユニット1の各半導体ペレット5間の隙間
が、この半導体ペレット5をピックアップし易い所定寸
法に拡大される。
【0019】上記エキスパンドリング13及びプレスリ
ング14の相対移動によるウエハリングユニット1のシ
ート3の引き伸しは、シート引き伸し装置17を回転台
12に載置した後に実施しても良く、或いはシート引き
伸し装置17を回転台12に載置する前段階で予め実施
しても良い。
【0020】ここで、例えば4本のねじ15のうち、ね
じ15C及び15Dが他のねじ15A及び15Bに対し
逆ねじ構造に構成される。これにより、ねじ15A及び
15Bの締め付けによりエキスパンドリング13及びプ
レスリング14間に生ずる回転モーメントが、ねじ15
C及び15Dの締め付けにより生ずる回転モーメントに
よって相殺される。
【0021】上述のようにウエハリングユニット1のシ
ート3が引き伸された状態で、図示しないコレットによ
り半導体ペレット5がピックアップされる。このとき、
不図示のカメラを用いた半導体ペレット5の回転ずれ修
正のために、ステッピングモータ20を駆動させて、回
転台20を所定角度回転させる。
【0022】こうしてウエハリングユニット1の半導体
ペレット5が全てピックアップされた段階で、シート引
き伸し装置17のねじ15をゆるめて、使用済のウエハ
リングユニット1をエキスパンドリング13及びプレス
リング14間から取り出し、未使用のウエハリングユニ
ット1をエキスパンドリング13とプレスリング14と
の間に搬入してねじ15を締め付け、この未使用のウエ
ハリングユニット1のシート3をエキスパンドリング1
3及びプレスリング14の相対移動により引き伸す。
【0023】或いは、ウエハリングユニット1の半導体
ペレット5が全てピックアップされた段階で、使用済の
ウエハリングユニット1を備えたシート引き伸し装置1
7を回転台12から取り外し、エキスパンドリング13
及びプレスリング14にてシート3が予め引き伸された
状態の未使用のウエハリングユニット1を備えたシート
引き伸し装置17を回転台12に載置する。
【0024】上記実施の形態によれば、ウエハリングユ
ニット1のシート3を引き伸すエキスパンド力を発生す
るエキスパンドリング13とプレスリング14の相対移
動がねじ15(15A、15B、15C、15D)にて
実施されたことから、上記エキスパンド力をエアシリン
ダや油圧シリンダ等を用いて発生する従来技術の場合に
比べ、シート引き伸し装置17の構造を小型化でき、然
も適切なエキスパンド力を発生させることができる。
【0025】また、ねじ15(15A、15B、15
C、15D)がエキスパンドリング13のフランジ部1
3A及びプレスリング14の周方向に複数本設置された
ことから、プレスリング14のエキスパンドリング13
のフランジ部13Aに対する平行度を良好に確保でき、
更に、エキスパンドリング13とプレスリング14によ
り発生するエキスパンド力を、両リング13及び14の
周方向で均等に分散させることができる。これらの結
果、シート3が引き伸されて形成される各半導体ペレッ
ト5の間隔を均一化できる。
【0026】更に、複数本のねじ15A、15B、15
C、15Dのうち、ねじ15C及び15Dが他のねじ1
5A及び15Bに対し逆ねじ構造に構成されたので、他
のねじ15A及び15Bによりエキスパンドリング13
とプレスリング14間に生ずる回転モーメントを、上記
逆ねじ構造のねじ15C及び15Dにより生ずる回転モ
ーメントによって相殺でき、ねじ15の回転による両リ
ング13、14の相対回転が抑制される。そのため、両
リング13、14の相対回転によるねじ15の傾きや、
これに伴うねじ15の回転抵抗の増大が防止でき、シー
ト3の引き伸しを良好に行うことができる。
【0027】尚、上記実施の形態において、ねじ15
A、15B、15C、15Dのうち2本のねじ15C及
び15Dが逆ねじ構造の場合を述べたが、1本或いは3
本のねじが他のねじに対し逆ねじ構造であっても良い。
【0028】また、これらのねじ15は、エキスパンド
リング13とプレスリング14とを相対移動させるよう
に1本配設しただけでも良い。
【0029】更に、シート引き伸し装置17のエキスパ
ンドリング13が回転台12に着脱自在に載置されるも
のを述べたが、シート引き伸し装置17のエキスパンド
リング13が回転台12と一体化され、ウエハステージ
10の全体がシート引き伸し装置17を構成するように
しても良い。
【0030】
【発明の効果】以上のように、本発明に係るシートの引
き伸し装置によれば、装置の小型化を図りつつ、適切な
エキスパンド力を発生することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係るシートの引き伸し装置の
一つの実施の形態が適用されたウエハステージを示す縦
断面図である。
【図2】図2は、図1のエキスパンドリング及びプレス
リングを備えて構成されたシート引き伸し装置を示す斜
視図である。
【図3】図3は、図1のIII-III 線に沿う断面図であ
る。
【符号の説明】
1 ウエハリングユニット 2 ウエハリング 3 シート 4 ウエハ 5 半導体ペレット 10 ウエハステージ 13 エキスパンドリング 14 プレスリング 15、15A〜15D ねじ 17 シート引き伸し装置 23 エキスパンドリングの支持部

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 エキスパンドリングとプレスリングとの
    相対移動にて、ウエハリングに保持されたシートを引き
    伸し、上記シート上に格子状に配置され貼付けられた各
    半導体ペレット間に間隙を形成するシートの引き伸し装
    置であって、 上記エキスパンドリングとプレスリングとの相対移動を
    ねじによって行なうことを特徴とするシートの引き伸し
    装置。
  2. 【請求項2】 上記ねじがエキスパンドリング及びプレ
    スリングの周方向に複数本設けられた請求項1に記載の
    シートの引き伸し装置。
  3. 【請求項3】 複数本の上記ねじのうち、少なくとも一
    本が他のねじに対して逆ねじ構造である請求項2に記載
    のシートの引き伸し装置。
JP1926496A 1996-01-11 1996-01-11 シートの引き伸し装置 Pending JPH09190988A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1926496A JPH09190988A (ja) 1996-01-11 1996-01-11 シートの引き伸し装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1926496A JPH09190988A (ja) 1996-01-11 1996-01-11 シートの引き伸し装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09190988A true JPH09190988A (ja) 1997-07-22

Family

ID=11994590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1926496A Pending JPH09190988A (ja) 1996-01-11 1996-01-11 シートの引き伸し装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09190988A (ja)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005294470A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Disco Abrasive Syst Ltd テープ拡張装置
JP2006310438A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Towa Corp 電子部品用のエキスパンド装置
JP2009200202A (ja) * 2008-02-21 2009-09-03 Panasonic Corp チップ供給装置
JP2010129949A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
JP2010177487A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Panasonic Corp パレット自動交換方法
JP2010177486A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Panasonic Corp パレット自動交換装置
JP2010212269A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 電子部品保持具及び電子部品の剥離方法
JP2012109473A (ja) * 2010-11-19 2012-06-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd ウエハパレット
JP2014099652A (ja) * 2014-02-05 2014-05-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
US8746669B2 (en) 2008-02-08 2014-06-10 Panasonic Corporation Chip supply pallet and chip supply apparatus
JP2016063016A (ja) * 2014-09-17 2016-04-25 株式会社東芝 半導体製造装置および半導体装置の製造方法

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005294470A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Disco Abrasive Syst Ltd テープ拡張装置
JP4684569B2 (ja) * 2004-03-31 2011-05-18 株式会社ディスコ テープ拡張装置
JP2006310438A (ja) * 2005-04-27 2006-11-09 Towa Corp 電子部品用のエキスパンド装置
JP4677275B2 (ja) * 2005-04-27 2011-04-27 Towa株式会社 電子部品用のエキスパンド装置
US8746669B2 (en) 2008-02-08 2014-06-10 Panasonic Corporation Chip supply pallet and chip supply apparatus
JP2009200202A (ja) * 2008-02-21 2009-09-03 Panasonic Corp チップ供給装置
JP2010129949A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
JP2010177487A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Panasonic Corp パレット自動交換方法
JP2010177486A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Panasonic Corp パレット自動交換装置
JP2010212269A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 電子部品保持具及び電子部品の剥離方法
JP2012109473A (ja) * 2010-11-19 2012-06-07 Fuji Mach Mfg Co Ltd ウエハパレット
JP2014099652A (ja) * 2014-02-05 2014-05-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd 部品供給装置
JP2016063016A (ja) * 2014-09-17 2016-04-25 株式会社東芝 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
CN105990187A (zh) * 2014-09-17 2016-10-05 株式会社东芝 半导体制造装置及半导体装置的制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09190988A (ja) シートの引き伸し装置
US6189591B1 (en) Wafer sheet expanding apparatus and pellet bonding apparatus using thereof
JP3180208B2 (ja) ペレットピックアップ装置
JP2006224228A (ja) 歯車加工装置
EP1893392A2 (en) A tool for stretching the foil of a foil carrier, a machine for removing dies from a wafer and a method for removing dies
US5485782A (en) Apparatus for printing proofs
JP3332910B2 (ja) ウェハシートのエキスパンダ
JP2005268274A (ja) 回転テーブル機構
JPH07211766A (ja) 中心合わせ装置
JP2005086049A (ja) ウエハ把持装置
JP3248647B2 (ja) ウエハシート引伸し装置
JPH05275895A (ja) 複合工具駆動装置
JP3484148B2 (ja) ワイヤソー
JPH09295767A (ja) 線条体の巻取り装置
JP3212003B2 (ja) ペレットボンディング装置のウエハステージ
KR950012374B1 (ko) 핸들커버재의 자동권취방법과 장치
CN210388250U (zh) 一种管卡组装机的移料定位机构
CN214323118U (zh) 一种高清摄像头外壳加工夹具
JP2010214449A (ja) 塑性加工装置及び塑性加工方法
JPH10337648A (ja) ワイヤソー
JP2010056207A (ja) エキスパンド装置
JP3086679U (ja) 旋盤装置
JP3030776B1 (ja) ボルトブラッシング装置
JP2005268273A (ja) 回転テーブル機構
JPH05299448A (ja) ウエハエキスパンド装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050408

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050413

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050803