JP2759165B2 - ウェハ載置用シート拡張方法およびその装置 - Google Patents

ウェハ載置用シート拡張方法およびその装置

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    • Y10S148/028—Dicing

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はダイシング用ウェハ載
置台のウェハ載置用シートを拡張する方法およびその装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体チップの実装は、所定のテストを
終えて良品と判定されたウェハを個々のチップに分割す
ることから開始される。このような分割はダイシングと
呼ばれ、例えば図８および図９（イ）に示すように、開
口部１ａを有したステンレス等の金属からなるリング状
のフレーム１の下面に塩化ビニル等からなる円形のウェ
ハ載置用シート２が接着剤（図示せず）を介して取り付
けられたダイシング用ウェハ載置台３のウェハ載置用シ
ート２の上面中央部にウェハ４を接着剤（図示せず）を
介して載置し（貼り付け）、この載置されたウェハ４を
ダイシングブレード（図示せず）でチップ状に切断する
方法がある。そして、良品のチップのみを真空ヘッド
（図示せず）でピックアップし、次工程（例えば回路基
板上への搭載工程）に移動させている。この場合、ウェ
ハ４をダイシングブレードでチップ状に切断しただけで
あると、チップ間の間隔が狭く、このため真空ヘッドで
ピックアップする際に、真空ヘッドが隣のチップに接触
してピックアップ不良等の不都合が発生することがあ
る。
【０００３】そこで、従来では、図８および図９（イ）
に示すような一対の拡張リング５、６を用いてチップ間
の間隔を広げている。すなわち、ダイシング用ウェハ載
置台３のフレーム１よりやや小さめの第１の拡張リング
５と、この第１の拡張リング５よりやや小さめの第２の
拡張リング６を用意する。そして、まず図９（イ）に示
すように、ウェハ載置用シート２の上側に第１の拡張リ
ング５を、下側に第２の拡張リング６をそれぞれ配置す
る。次に、図９（ロ）に示すように、第２の拡張リング
６をフレーム１の下側から該フレーム１の開口部１ａに
挿入し、第２の拡張リング６の上面によってウェハ載置
用シート２を伸長させながら押し上げる。次に、図９
（ハ）に示すように、第１の拡張リング５をフレーム１
の上側から第２の拡張リング６の外側にその間にウェハ
載置用シート２を挾持させて嵌合する。この状態では、
ウェハ載置用シート２は拡張リング５、６の厚さの２倍
だけ拡張され、この拡張分に応じてチップ間の間隔が広
げられることになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このようなウェハ載置用シート拡張方法では、１組の拡
張リング５、６を使用しており、すなわち２個の治工具
（拡張リング５、６）を用いてウェハ載置用シート２を
拡張しているので、治工具の個数分のコストアップとな
るという問題があった。また、ウェハ載置用シート２を
その面に対して垂直な方向に拡張しているので、ウェハ
載置用シート２の拡張量を大きくしようとすると、拡張
リング５、６の厚さを厚くしなければならず、ひいては
図９（ハ）に示す状態における全体の厚さ（拡張リング
５、６の厚さ、ウェハ載置用シート２の厚さの２倍およ
びウェハ４の厚さを加えた厚さ）が厚くなってしまう。
この結果、図９（ハ）に示す状態のものを複数個重ね合
わせて保管するような場合には、収納スペースが大きく
なってしまうという問題があった。この発明の目的は、
１個の治工具を用いてウェハ載置用シートを拡張するこ
とができるとともに、ウェハ載置用シートを拡張した状
態における全体の厚さを薄くすることのできるウェハ載
置用シート拡張方法およびその装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、開口部を有
したリング状のフレームの下面に円形のウェハ載置用シ
ートが取り付けられたダイシング用ウェハ載置台の前記
ウェハ載置用シートの上面中央部に載置されたウェハを
ダイシングした後、無負荷の状態で少なくとも一部が前
記フレームと重なり合う大きさのほぼＣ字状の拡張バネ
を縮小した状態で前記フレームの下側から該フレームの
前記開口部を通過させて該フレームの上方に位置させ、
この後前記拡張バネを無負荷の状態とし、該拡張バネの
復元力によって前記ウェハ載置用シートをその面方向に
拡張するようにしたものである。
【０００６】
【作用】この発明によれば、ほぼＣ字状の拡張バネによ
ってウェハ載置用シートをその面方向に拡張することに
なるので、１個の治工具（拡張バネ）を用いてウェハ載
置用シートを拡張することができるとともに、ウェハ載
置用シートを拡張した状態における全体の厚さを薄くす
ることができる。
【０００７】
【実施例】図１および図２はこの発明の一実施例におけ
るウェハ載置用シート拡張装置の要部を示したものであ
る。このウェハ載置用シート拡張装置は、昇降台１１
（図２では図示せず）、昇降テーブル２１およびダイシ
ング用ウェハ載置台固定手段（図示せず）を備えてい
る。ダイシング用ウェハ載置台固定手段は、昇降台１１
の周囲に設けられたリング状の固定台と、この固定台上
に昇降自在に設けられたリング状の押え台を備えてい
る。昇降台１１は、一側面を平坦面１２とされた円柱１
３の上部に拡張バネ載置部１４が設けられた構造となっ
ている。拡張バネ載置部１４は、円柱１３の平坦面１２
と平行する両側面を平坦面１４ａ、１４ｂとされたほぼ
円形上の凸部１４ｃ（図５（イ）参照）と、この凸部１
４ｃの周囲に設けられた拡張バネ載置面１４ｄとからな
っている。
【０００８】昇降テーブル２１の上面の所定の２個所に
は一対のレール２２が矢印Ｙ方向に延びて設けられてい
る。この一対のレール２２にはレール受２３を介して可
動テーブル２４が往復動自在に取り付けられている。可
動テーブル２４は、昇降テーブル２１の上面の所定の個
所に設けられた第１のシリンダ２５によって往復動され
るようになっている。可動テーブル２４の上面の所定の
個所には１本のレール２６が矢印Ｘ方向に延びて設けら
れている。このレール２６にはレール受２７を介して一
対の可動ブロック２８が対称的にかつ往復動自在に取り
付けられている。一対の可動ブロック２８は、可動テー
ブル２４の上面の所定の２個所にそれぞれ設けられた第
２のシリンダ２９によって往復動されるようになってい
る。一対の可動ブロック２８の各先端部の矢印Ｙ方向と
は逆方向側には突出部３０がそれぞれ設けられ、これら
突出部３０の各突出端上面には拡張バネ縮小用ピン３１
がそれぞれ設けられている。一対の拡張バネ縮小用ピン
３１は、昇降台１１の拡張バネ載置部１４の一方の平坦
面１４ａと対向する位置に配置されている。
【０００９】一方、このウェハ載置用シート拡張装置で
使用される拡張バネは図３に示すようになっている。す
なわち、拡張バネ４１は、ステンレス等の金属板によっ
てほぼＣ字状に形成され、その両先端部にはピン挿入孔
４２がそれぞれ形成されている。そして、無負荷の状態
における拡張バネ４１は、図３に示すように、その内周
部が昇降台１１の拡張バネ載置部１４の拡張バネ載置面
１４ｄに載置され、かつ図５（ニ）および図７に示すよ
うに、その外周部がダイシング用ウェハ載置台３のフレ
ーム１と重なり合うことのできる大きさとなっている。
なお、ダイシング用ウェハ載置台３およびこれに載置さ
れたウェハ４は従来と同様であるので、同一の符号を付
し、その詳細な説明を省略する。
【００１０】次に、このウェハ載置用シート拡張装置で
ダイシング用ウェハ載置台３のウェハ載置用シート２を
拡張する場合について説明する。まず、ダイシング用ウ
ェハ載置台３のウェハ載置用シート２の上面中央部にダ
イシングされたウェハ４が載置された状態でダイシング
用ウェハ載置台３をダイシング用ウェハ載置台固定手段
に固定する。この状態では、昇降台１１および昇降テー
ブル２１は共に下降位置に位置している。また、第１の
シリンダ２５は軸退入状態にあり、可動テーブル２４は
矢印Ｙ方向移動限位置に位置している。さらに、一対の
第２のシリンダ２９も軸退入状態にあり、一対の拡張バ
ネ縮小用ピン３１は互いに離間した位置に位置してい
る。
【００１１】そして、この状態において、図３に示すよ
うに、拡張バネ４１を無負荷の状態で拡張バネ載置部１
４の拡張バネ載置面１４ｄに載置するとともに、その一
対のピン挿入孔４２を一対の拡張バネ縮小用ピン３１に
それぞれ嵌合させる。次に、第１のシリンダ２５を軸進
出状態にすると、可動テーブル２４が矢印Ｙ方向とは逆
方向に移動して同方向移動限位置に位置し、これにより
一対の拡張バネ縮小用ピン３１が拡張バネ載置部１４の
一方の平坦面１４ａに接近する。また、一対の第２のシ
リンダ２９も軸進出状態にすると、一対の拡張バネ縮小
用ピン３１が互いに接近する。すると、図４および図５
（イ）に示すように、拡張バネ４１が縮小されてその内
周面が拡張バネ載置部１４の凸部１４ｃの外周面に当接
される。この状態では、図６に示すように、拡張バネ４
１はフレーム１の開口部１ａを通過し得る程度に縮小さ
れている。
【００１２】次に、昇降台１１および昇降テーブル２１
を同期して上昇させて上昇位置に位置させると、図５
（ロ）に示すように、拡張バネ載置部１４がフレーム１
の下側から該フレーム１の開口部１ａに進入し、凸部１
４ｃの上面がウェハ載置用シート２を伸長させながら押
し上げ、また拡張バネ載置面１４ｄに載置された拡張バ
ネ４１がフレーム１より上方に位置する状態となる。次
に、昇降台１１を下降させると同時に、第１のシリンダ
２５および一対の第２のシリンダ２９を共に軸退入状態
にする。すると、一対の拡張バネ縮小用ピン３１が互い
に離間するとともに拡張バネ載置部１４の一方の平坦面
１４ａから離間することにより、図５（ハ）に示す状態
を経た後、図５（ニ）および図７に示すように、拡張バ
ネ４１が無負荷の状態に戻ってその外周部がフレーム１
の内周部上面にその間にウェハ載置用シート２を挾持し
て重なり合う状態となり、ウェハ載置用シート２がその
面方向に拡張される。次に、昇降テーブル２１を下降さ
せると、一対の拡張バネ縮小用ピン３１が拡張バネ４１
の一対のピン挿入孔４２から抜け出す。かくして、ウェ
ハ載置用シート２が拡張され、この拡張分に応じてチッ
プ間の間隔が広げられることになる。
【００１３】このように、このウェハ載置用シート拡張
装置では、ほぼＣ字状の拡張バネ４１によってウェハ載
置用シート２をその面方向に拡張しているので、１個の
治工具（拡張バネ４１）を用いてウェハ載置用シート２
を拡張することができるとともに、図５（ニ）に示す状
態における全体の厚さ（フレーム１の厚さ、拡張バネ４
１の厚さ、ウェハ載置用シート２の厚さの３倍およびウ
ェハ４の厚さを加えた厚さ）を薄くすることができる。
したがって、治工具の数量が減ってコストダウンとなる
とともに、図５（ニ）に示す状態のものを複数個重ね合
わせて保管しても、その収納スペースを小さくすること
ができる。また、図５（ニ）に示すように、ウェハ載置
用シート２は拡張バネ４１によってほぼＳ字状に拡張さ
れるので、拡張量を大きくすることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ほぼＣ字状の拡張バネによってウェハ載置用シート
をその面方向に拡張しているので、１個の治工具（拡張
バネ）を用いてウェハ載置用シートを拡張することがで
きるとともに、ウェハ載置用シートを拡張した状態にお
ける全体の厚さを薄くすることができ、したがって治工
具の数量が減ってコストダウンとなるとともに、複数個
重ね合わせて保管してもその収納スペースを小さくする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例におけるウェハ載置用シー
ト拡張装置の要部の平面図。
【図２】図１の一部の正面図。
【図３】このウェハ載置用シート拡張装置の拡張バネ載
置部に拡張バネを無負荷の状態で載置した状態を示す平
面図。
【図４】このウェハ載置用シート拡張装置の拡張バネ載
置部に載置された拡張バネを縮小した状態を示す平面
図。
【図５】このウェハ載置用シート拡張装置でウェハ載置
用シートを拡張する際の各工程を示す断面図。
【図６】図５（イ）のときの平面図。
【図７】図５（ニ）のときの平面図。
【図８】従来のウェハ載置用シート拡張方法を説明する
ために示す斜視図。
【図９】この従来例でウェハ載置用シートを拡張する際
の各工程を示す断面図。
【符号の説明】
１ フレーム １ａ 開口部 ２ ウェハ載置用シート ３ ダイシング用ウェハ載置台 ４ ウェハ １１ 昇降台 １４ 拡張バネ載置部 ２１ 昇降テーブル ３１ 拡張バネ縮小用ピン ４１ 拡張バネ ４２ ピン挿入孔

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 開口部を有したリング状のフレームの下
    面に円形のウェハ載置用シートが取り付けられたダイシ
    ング用ウェハ載置台の前記ウェハ載置用シートの上面中
    央部に載置されたウェハをダイシングした後、無負荷の
    状態で少なくとも一部が前記フレームと重なり合う大き
    さのほぼＣ字状の拡張バネを縮小した状態で前記フレー
    ムの下側から該フレームの前記開口部を通過させて該フ
    レームの上方に位置させ、この後前記拡張バネを無負荷
    の状態とし、該拡張バネの復元力によって前記ウェハ載
    置用シートをその面方向に拡張することを特徴とするウ
    ェハ載置用シート拡張方法。
  2. 【請求項２】 開口部を有したリング状のフレームの下
    面に円形のウェハ載置用シートが取り付けられたダイシ
    ング用ウェハ載置台の前記ウェハ載置用シートの上面中
    央部にダイシングされたウェハが載置された状態で前記
    ダイシング用ウェハ載置台を固定する固定手段と、 無負荷の状態で少なくとも一部が前記フレームと重なり
    合う大きさのほぼＣ字状の拡張バネが載置される拡張バ
    ネ載置部を上部に有し、昇降自在であって上昇したとき
    前記拡張バネ載置部が前記固定手段に固定された前記ダ
    イシング用ウェハ載置台の前記フレームの前記開口部を
    通過して該フレームの上方に位置する状態となる昇降台
    と、 前記拡張バネ載置部に載置された前記拡張バネを前記フ
    レームの前記開口部を通過し得る程度に縮小させるとと
    もに、前記拡張バネを縮小させた後に該拡張バネに対す
    る縮小を解除する縮小手段とを具備し、 前記拡張バネ載置部に載置された前記拡張バネを前記縮
    小手段で縮小し、前記昇降台の上昇により前記拡張バネ
    を前記フレームの前記開口部を通過させて該フレームの
    上方に位置させ、この後前記縮小手段による前記拡張バ
    ネに対する縮小を解除し、これにより無負荷の状態とさ
    れた前記拡張バネの復元力によって前記ウェハ載置用シ
    ートをその面方向に拡張するようにしたことを特徴とす
    るウェハ載置用シート拡張装置。
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