JP2005109043A - エキスパンド方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング加工後に、粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンドは、粘着シートSに熱収縮性のシートを用い、粘着シートSに張力を付与してエキスパンドし、粘着シートSの板状物Wとフレームとの間に弛みを形成し、弛み部分を加熱収縮させることによって、個々のチップ間隔を拡大するエキスパンド状態を保持するようにした。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップの間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記粘着シートに熱収縮性のシートを用い、
前記粘着シートに張力を付与してエキスパンドし、
次に、前記粘着シートの前記板状物と前記フレームとの間に弛みを形成し、
該弛み部分を加熱して収縮させることによって前記弛みを解消し、前記個々のチップ間隔が拡大されたエキスパンド状態を保持することを特徴とするエキスパンド方法。 - エキスパンドされた前記板状物が貼付されている部分の粘着シートのエキスパンド状態を吸着保持又は機械的に保持した後に前記弛みを形成し、
該弛み部分を加熱して収縮させた後に前記吸着保持又は機械的保持を解除することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。 - 前記板状物と前記フレームとを相対的に離間させることによって前記粘着シートをエキスパンドし、
前記板状物と前記フレームとの相対的離間を解除することによって前記弛みを形成することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のエキスパンド方法。 - 前記板状物と前記フレームとの間の前記粘着シートを押圧することによって前記粘着シートをエキスパンドし、
前記板状物と前記フレームとの間の前記粘着シートの押圧を解除することによって前記弛みを形成することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のエキスパンド方法。 - 前記粘着シートの前記板状物の外側を環状に加熱することによって前記弛み部分を収縮させることを特徴とする、請求項1、2、3、または4のうちいずれか1項に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記粘着シートをエキスパンドすることを特徴とする請求項1、2、3、4、又は5のうちいずれか1項に記載のエキスパンド方法。
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