JP4306359B2 - エキスパンド方法 - Google Patents
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Claims (5)
- 上面に板状物を吸着保持するチャックステージと、前記チャックステージを包囲し、上下に昇降移動される取付けリングと、前記取付けリングの上面に取り付けられた加熱手段と、を備えるダイシング装置を用いて、
粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、前記チャックステージに吸着保持されるとともに、個々のチップにダイシング加工された前記板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記粘着シートに熱収縮性のシートを用い、
前記ダイシング加工後に、前記取付けリングを上昇させて前記加熱手段を前記粘着シートの前記板状物と前記フレームとの間の前記粘着シートに接触させ、当該粘着シートを加熱して収縮させることにより、前記粘着シートの前記板状物が貼着された部分を引き伸ばし、前記個々のチップ間隔を拡大することを特徴とするエキスパンド方法。 - 前記粘着シートの前記板状物の外側を環状に加熱することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物のダイシングラインと平行に配置され、前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアで前記粘着シートを加熱することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物の一方向のダイシングラインと平行に配置され前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアと、前記一方向のダイシングラインと直交するダイシングラインと平行に配置され前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアとで前記粘着シートを加熱し、
前記個々のチップ間隔の拡大状況に応じて前記エリアの加熱温度を個々に制御することを特徴とする請求項1に記載のエキスパンド方法。 - 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記粘着シートをエキスパンドすることを特徴とする請求項1、2、3、又は4のうちいずれか1項に記載のエキスパンド方法。
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