JP2011100920A - チップ間隔拡張方法 - Google Patents
チップ間隔拡張方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011100920A JP2011100920A JP2009256013A JP2009256013A JP2011100920A JP 2011100920 A JP2011100920 A JP 2011100920A JP 2009256013 A JP2009256013 A JP 2009256013A JP 2009256013 A JP2009256013 A JP 2009256013A JP 2011100920 A JP2011100920 A JP 2011100920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip interval
- frame
- workpiece
- tape
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】板状ワーク100が拡張テープ104を介して環状フレーム105に支持され、板状ワーク100がワーク保持テーブル20の吸着面200aに吸着され、環状フレーム105がフレーム支持部21に載置されフレーム保持手段6に保持され、ワーク保持テーブル20がフレーム保持手段6との関係で相対的に垂直方向に移動することにより拡張テープ104が拡張されてチップ間隔が拡がった後に、ワーク保持テーブル20の垂直方向の位置を、段階的にフレーム保持手段6の垂直方向の位置に近づけていきながらたるみ部分を加熱し、最後に両垂直方向の位置を同一としてたるみ部分を加熱することで、拡張テープ104に大きな弛みが生じたとしても、その弛み部分を加熱して収縮させる際に、拡張テープ104のうちチップが貼着されている部分は収縮させることがないようにする。
【選択図】図8
Description
また、すでに個々のチップ102に分割され全体として板状ワークの形状を維持しているものについても、チップ間隔を所望の間隔に広げることができる。したがって、保持ユニット2及びフレーム押さえ部3は、環状フレーム105と板状ワーク100とを板状ワーク100の表面100aと垂直方向に交わる方向(本例では鉛直方向)に離反させることにより、拡張テープ104を拡張し分割予定ライン101に沿って個々のチップ102に分割してチップ間隔を所望の距離に拡張するか、または、チップ間隔を所望の距離に拡張するチップ間隔形成手段9として機能する。
10:フレームつきワーク
100:板状ワーク
100a:表面 101b:裏面
101:分割予定ライン 102:チップ領域
103:フィルム状接着剤 104:拡張テープ
105:環状フレーム 105a:開口部
2:保持ユニット(チップ間隔維持手段)
20:ワーク保持テーブル(チップ間隔維持手段)
200:吸着部 200a:吸着面
201:枠体 202:エア流路 203:吸引源
21:フレーム支持部 21a:上面
22:ワーク昇降手段
23:フレーム昇降手段 230:シリンダチューブ 231:ピストンロッド
3:フレーム押さえ部
4:加熱手段
40:基盤 41:軸部 42:熱風噴出部
5:蓋部材
6:フレーム保持手段
7:ケーシング 70:開閉扉
8:隙間
9:チップ間隔形成手段
Claims (1)
- 拡張テープを介して分割予定ラインに分割の起点が形成された板状ワーク又は複数のチップに分割された板状ワークを開口部において支持する環状フレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に対して該板状ワークを板状ワーク表面に対する垂直方向に所定距離離反させて該拡張テープを拡張することにより、板状ワークを分割予定ラインに沿って複数のチップに分割してチップ間隔を所望の距離に拡張し、又は複数のチップ間隔を所望の距離に拡張するチップ間隔形成手段と、
所望のチップ間隔を維持した状態で複数のチップを該拡張テープを介して吸着面において吸着固定するチップ間隔維持手段と、
該拡張テープの拡張されて弛んだ箇所を加熱して該拡張テープの弛みを除去する加熱手段と、
を有するテープ拡張装置を用いて複数のチップ間隔を所望の距離に拡張するチップ間隔拡張方法であって、
該フレーム保持手段によって該環状フレームを保持する保持工程と
該チップ間隔形成手段によって板状ワークを分割予定ラインに沿って複数のチップに分割してチップ間隔を所望の距離に拡張し、又は複数のチップ間隔を所望の距離に拡張するチップ間隔形成工程と、
該チップ間隔維持手段によって所望のチップ間隔を維持した状態で複数のチップを該拡張テープを介して吸着固定するチップ間隔維持工程と、
複数のチップを吸着固定した該チップ間隔維持手段を該フレーム保持手段に対して該垂直方向に移動させることにより、チップ間隔維持手段の吸着面の垂直方向の位置を、該チップ間隔形成工程におけるチップ間隔維持手段の吸着面の垂直方向の位置と、該フレーム保持手段の該環状フレーム載置面の垂直方向の位置との間とし、該粘着テープの拡張されて弛んだ箇所を加熱して該拡張テープの弛みを除去する第一の弛み除去工程と、
複数のチップを吸着固定した該チップ間隔維持手段を該フレーム保持手段に対して該垂直方向に移動させることにより、複数のチップを吸着固定した該チップ間隔維持手段の垂直方向の位置を、該フレーム保持手段の該環状フレーム載置面の垂直方向の位置と同一とし、該粘着テープの拡張されて弛んだ箇所を加熱して該拡張テープの弛みを除去する第二の弛み除去工程と、
を含むチップ間隔拡張方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256013A JP5409280B2 (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | チップ間隔拡張方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009256013A JP5409280B2 (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | チップ間隔拡張方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011100920A true JP2011100920A (ja) | 2011-05-19 |
JP5409280B2 JP5409280B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=44191867
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009256013A Active JP5409280B2 (ja) | 2009-11-09 | 2009-11-09 | チップ間隔拡張方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5409280B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013191718A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割装置及び分割方法 |
JP2015204362A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持方法 |
KR20160003556A (ko) * | 2014-07-01 | 2016-01-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 칩 간격 유지 장치 |
JP2017059765A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 株式会社ディスコ | 分割装置及びウエーハの分割方法 |
JP2017139471A (ja) * | 2017-02-16 | 2017-08-10 | 株式会社東京精密 | 抗折強度の高い薄型チップの形成方法及び形成システム |
KR101869284B1 (ko) * | 2015-08-27 | 2018-06-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필름 확장 장치 및 그것을 이용한 전자부품의 제조 방법 |
KR20180083260A (ko) * | 2017-01-12 | 2018-07-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 분할 장치 |
JP2019102588A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法およびウエーハの分割装置 |
JP2019201176A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | デバイスチップの形成方法 |
KR20200121229A (ko) | 2019-04-15 | 2020-10-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 익스팬드 장치, 익스팬드 방법 |
JP7355618B2 (ja) | 2018-12-04 | 2023-10-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハ分割装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6934327B2 (ja) * | 2017-06-07 | 2021-09-15 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法及び分割装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006114691A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2011077482A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
-
2009
- 2009-11-09 JP JP2009256013A patent/JP5409280B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006114691A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
JP2011077482A (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013191718A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割装置及び分割方法 |
JP2015204362A (ja) * | 2014-04-14 | 2015-11-16 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持方法 |
KR102250467B1 (ko) | 2014-07-01 | 2021-05-12 | 가부시기가이샤 디스코 | 칩 간격 유지 장치 |
KR20160003556A (ko) * | 2014-07-01 | 2016-01-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 칩 간격 유지 장치 |
KR101869284B1 (ko) * | 2015-08-27 | 2018-06-20 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 필름 확장 장치 및 그것을 이용한 전자부품의 제조 방법 |
JP2017059765A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | 株式会社ディスコ | 分割装置及びウエーハの分割方法 |
CN107039261A (zh) * | 2015-09-18 | 2017-08-11 | 株式会社迪思科 | 分割装置以及晶片的分割方法 |
CN107039261B (zh) * | 2015-09-18 | 2021-08-17 | 株式会社迪思科 | 分割装置以及晶片的分割方法 |
TWI687985B (zh) * | 2015-09-18 | 2020-03-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 分割裝置及晶圓之分割方法 |
KR20180083260A (ko) * | 2017-01-12 | 2018-07-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 분할 장치 |
KR102426263B1 (ko) | 2017-01-12 | 2022-07-29 | 가부시기가이샤 디스코 | 분할 장치 |
JP2017139471A (ja) * | 2017-02-16 | 2017-08-10 | 株式会社東京精密 | 抗折強度の高い薄型チップの形成方法及び形成システム |
JP7027137B2 (ja) | 2017-11-30 | 2022-03-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法およびウエーハの分割装置 |
JP2019102588A (ja) * | 2017-11-30 | 2019-06-24 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法およびウエーハの分割装置 |
JP2019201176A (ja) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | 株式会社ディスコ | デバイスチップの形成方法 |
JP7130324B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-09-05 | 株式会社ディスコ | デバイスチップの形成方法 |
JP7355618B2 (ja) | 2018-12-04 | 2023-10-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハ分割装置 |
KR20200121229A (ko) | 2019-04-15 | 2020-10-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 익스팬드 장치, 익스팬드 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5409280B2 (ja) | 2014-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5409280B2 (ja) | チップ間隔拡張方法 | |
JP2011077482A (ja) | テープ拡張装置 | |
JP5568760B2 (ja) | レーザーによって脆い物質で作られた平行平面板を複数の個々のプレートに分割する方法及び装置 | |
CN107039261B (zh) | 分割装置以及晶片的分割方法 | |
JP2010206136A (ja) | ワーク分割装置 | |
KR20150118530A (ko) | 칩 간격 유지 방법 | |
US10515840B2 (en) | Expanding method and expanding apparatus | |
KR102249339B1 (ko) | 칩 간격 유지 장치 및 칩 간격 유지 방법 | |
JP6934327B2 (ja) | ウエーハの分割方法及び分割装置 | |
JP6298635B2 (ja) | 分割装置及び被加工物の分割方法 | |
JP7030469B2 (ja) | テープ拡張装置及びテープ拡張方法 | |
JP2013026544A (ja) | ウェーハ拡張装置 | |
JP5536555B2 (ja) | 拡張テープ収縮装置 | |
TWI745561B (zh) | 分割方法 | |
JP2014072476A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR20180083267A (ko) | 분할 장치 및 분할 방법 | |
JP2013239557A (ja) | チップ間隔維持装置 | |
JP7076204B2 (ja) | 分割装置 | |
JP2012146722A (ja) | ワークへの外力付与方法 | |
JP2010147316A (ja) | テープ拡張方法およびテープ拡張装置 | |
JP2019220558A (ja) | テープ拡張装置 | |
JP7115862B2 (ja) | 分割装置及び分割方法 | |
JP2020126960A (ja) | エキスパンド装置 | |
WO2023042260A1 (ja) | エキスパンド装置 | |
JP2023047339A (ja) | レーザビーム式ウェハダイシング装置のためのウェハチャック |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121025 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5409280 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |