JP7027137B2 - ウエーハの分割方法およびウエーハの分割装置 - Google Patents
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Description
(1)被加工物に対して吸収性を有する波長のレーザー光線を照射してアブレーション加工により分割の起点となる溝を形成するタイプ(たとえば特許文献1参照。)
(2)被加工物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を被加工物の内部に位置づけてレーザー光線を被加工物に照射し分割の起点となる改質層を被加工物の内部に形成するタイプ(たとえば特許文献2参照。)
(3)被加工物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を被加工物の所要位置に位置づけてレーザー光線を被加工物に照射し分割の起点となる細孔と細孔を囲繞する非晶質とからなるシールドトンネルを形成するタイプ(たとえば特許文献3参照。)
また、本発明の第二の局面によれば、上記課題を解決する以下のウエーハの分割方法が提供される。すなわち、ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割方法であって、粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、を備えた分割装置に粘着テープを介してフレームに収容されたウエーハを載置する載置工程と、該分割装置に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張工程と、粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持工程と、該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる収縮工程と、を含み、該収縮工程は、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させるリーク防止ステップを備え、該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化するときの該離反手段の作動量を予め求めておき、予め求めた該作動量だけ該離反手段が作動したタイミングで該リーク防止ステップを実施するウエーハの分割方法が提供される。
さらに、本発明の第四の局面によれば、上記課題を解決する以下のウエーハの分割装置が提供される。すなわち、ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割装置であって、粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、ウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる加熱手段と、制御手段とを備え、該制御手段は、該ウエーハ保持部に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張制御と、粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持制御と、該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させる収縮制御とを実施し、該制御手段は、該収縮制御において、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させ、該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化するときの該離反手段の作動量が該制御手段に予め設定されており、該制御手段は、予め設定された該作動量だけ該離反手段が作動したタイミングで弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させリークを防止するウエーハの分割装置が提供される。
また、本発明の第二の局面が提供するウエーハの分割方法においても、分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割することができると共に、隣接するチップ同士の間隔を分割時の間隔に維持することができる。
また、本発明の第四の局面が提供するウエーハの分割装置においても、分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割することができると共に、隣接するチップ同士の間隔を分割時の間隔に維持することができる。
4:フレーム
4a:開口
6:粘着テープ
8:デバイス
10:分割の起点
12:分割装置
14:ウエーハ保持部
16:フレーム固定部
18:離反手段
20:加熱手段
22:制御手段
34:圧力計
Claims (6)
- ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割方法であって、
粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、を備えた分割装置に粘着テープを介してフレームに収容されたウエーハを載置する載置工程と、
該分割装置に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張工程と、
粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持工程と、
該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる収縮工程と、
を含み、
該収縮工程は、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させるリーク防止ステップを備え、
該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化した際、該リーク防止ステップを実施するウエーハの分割方法。 - ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割方法であって、
粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、を備えた分割装置に粘着テープを介してフレームに収容されたウエーハを載置する載置工程と、
該分割装置に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張工程と、
粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持工程と、
該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる収縮工程と、
を含み、
該収縮工程は、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させるリーク防止ステップを備え、
該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化するときの該離反手段の作動量を予め求めておき、予め求めた該作動量だけ該離反手段が作動したタイミングで該リーク防止ステップを実施するウエーハの分割方法。 - 該リーク防止ステップは、該保持面と該固定面との接近を停止した状態で実施される請求項1または2に記載のウエーハの分割方法。
- ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割装置であって、
粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、ウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる加熱手段と、制御手段とを備え、
該制御手段は、
該ウエーハ保持部に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張制御と、
粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持制御と、
該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させる収縮制御とを実施し、
該制御手段は、該収縮制御において、該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化した際、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させるウエーハの分割装置。 - ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介して収容され分割予定ラインに沿って分割の起点が形成されたウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士の間隔を維持するウエーハの分割装置であって、
粘着テープを介してウエーハを吸引保持する保持面を有するウエーハ保持部と、該保持面と同一面でフレームを固定する固定面を有するフレーム固定部と、該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に離反させ粘着テープを拡張してウエーハを個々のチップに分割する離反手段と、ウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを加熱して収縮させる加熱手段と、制御手段とを備え、
該制御手段は、
該ウエーハ保持部に載置されたウエーハに対して該ウエーハ保持部の吸引力を作用させない状態で該離反手段を作動して粘着テープを拡張しウエーハを個々のチップに分割すると共に隣接するチップ同士に間隔を形成する拡張制御と、
粘着テープが拡張した状態で該ウエーハ保持部の吸引力を作用させて粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引保持制御と、
該保持面と該固定面とが同一面になるまで該ウエーハ保持部と該フレーム固定部とを相対的に接近させると共にウエーハとフレームとの間にある弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させる収縮制御とを実施し、
該制御手段は、該収縮制御において、該保持面と該固定面とが同一面になる途中で該保持面にエアーのリークが生じないように弛んだ粘着テープを加熱して収縮させ、
該ウエーハ保持部に配設された圧力計の値が、粘着テープを介してウエーハを該ウエーハ保持部で吸引保持してから所定値以上変化するときの該離反手段の作動量が該制御手段に予め設定されており、
該制御手段は、予め設定された該作動量だけ該離反手段が作動したタイミングで弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させリークを防止するウエーハの分割装置。 - 該制御手段は、該保持面と該固定面との接近を停止した状態で弛んだ粘着テープを該加熱手段で加熱して収縮させる請求項4または5に記載のウエーハの分割装置。
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