JP6751337B2 - 接着フィルムの破断方法 - Google Patents
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まず、図3(a)に示すように、被加工物を保持する保持テーブル10によってウェーハWを吸引保持する。保持テーブル10の上面は、図示しない吸引源からの吸引作用を受けて被加工物を吸引保持する保持面11となっている。そして、保持テーブル10の保持面11でウェーハWの表面Wa側を吸引保持し、ウェーハWの裏面Wb側を上向きに露出させる。
ウェーハ加工ステップを実施した後、図4に示すように、中央が開口した環状のフレーム5の下面に伸張可能なエキスパンドシート6を貼着し、フレーム5の中央からエキスパンドシート6を露出させる。エキスパンドシート6は、伸張可能なものであれば特に限定されず、例えばポリオレフィンやポリ塩化ビニル等からなる基材層に粘着層が積層された2層構造のエキスパンドシートを用いる。
エキスパンドシート貼着ステップを実施した後、後述する破断ステップを実施する前に、図5に示すように、例えば加熱ヒータ40を用いて、ウェーハWの外周Wcから露出した接着フィルム3のはみ出し部4を加熱してエキスパンドシート6に溶着させる。加熱ヒータ40は、接着フィルム3のはみ出し部4の真上に配置されている。この加熱ヒータ40が、接着フィルム3のはみ出し部4に所定の温度に設定された温風を噴射することによって、はみ出し部4が溶融すると、エキスパンドシート6にはみ出し部4が溶着される。なお、接着フィルム3のはみ出し部4を加熱する手段としては、加熱ヒータ40に限定されない。
エキスパンドシート貼着ステップを実施した後であって加熱ステップを実施した後、図6に示すように、拡張手段50を用いてエキスパンドシート6を拡張することにより、接着フィルム3を分割予定ラインSに沿って破断する。拡張手段50は、図示していないが、例えば冷却チャンバの内部に配設されている。冷却チャンバには、その内部の温度を低温にして接着フィルム3を硬化させる冷却手段が配設されている。拡張手段50は、図6(a)に示すように、ウェーハWを下方から支持する支持テーブル51と、支持テーブル51の外周側に配設されフレーム5が載置されるフレーム載置台52と、フレーム載置台52に載置されたフレーム5をクランプするクランプ部53と、フレーム載置台52の下部に連結されフレーム載置台52を上下方向に昇降させる昇降手段54とを備える。昇降手段54は、シリンダ54aと、シリンダ54aにより昇降駆動されるピストン54bとにより構成され、ピストン54bが上下に移動することにより、フレーム載置台52を昇降させることができる。
5:フレーム 6:エキスパンドシート 7:隙間
10:保持テーブル 11:保持面
20:レーザビーム照射手段 21:集光器 22:レーザビーム
30:研削手段 31:スピンドル 32:マウント 33:研削ホイール
34:研削砥石
40:加熱ヒータ
50:拡張手段 51:支持テーブル 52:フレーム載置台 53:クランプ部
54:昇降手段 54a:シリンダ 54b:ピストン
Claims (1)
- 交差する複数の分割予定ラインで区画された各領域にそれぞれデバイスが形成された表面を有したウェーハの裏面に貼着されウェーハの外径よりも大きい外径を有した接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断する接着フィルムの破断方法であって、
ウェーハの該分割予定ラインに沿って分割起点を形成するか、またはウェーハの該分割予定ラインに沿ってウェーハを分割するウェーハ加工ステップと、
該ウェーハ加工ステップを実施した後、ウェーハの裏面にウェーハの外径よりも大きい外径を有した該接着フィルムを貼着するとともに、該接着フィルムにエキスパンドシートを貼着するエキスパンドシート貼着ステップと、
該エキスパンドシート貼着ステップを実施した後、該エキスパンドシートを拡張して該接着フィルムを該分割予定ラインに沿って破断する破断ステップと、を備え、
該エキスパンドシート貼着ステップを実施した後、該破断ステップを実施する前に、ウェーハの外周から露出した該接着フィルムを加熱して該エキスパンドシートに溶着する加熱ステップを更に備えた接着フィルムの破断方法。
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JP2016218730A JP6751337B2 (ja) | 2016-11-09 | 2016-11-09 | 接着フィルムの破断方法 |
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