JP6211853B2 - 基板の分割方法 - Google Patents
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また、保護テープが貼着された側から基板を蓄熱材に浸漬することにより、保護テープが収縮し、亀裂の成長が速くなる。これにより、亀裂表出工程にかかる時間を短縮することができる。
図3に示すように、環状のフレーム61に貼着された保護テープ62の粘着材が塗布された側の面に、基板10を貼着する。このとき、デバイス13(図1参照)が形成された表面11(図1参照)の側を保護テープ62に貼り付け、裏面16側を露出させる。
図4に示すレーザ加工装置30は、基板10にパルスレーザ光を照射して改質領域を形成する装置であり、改質領域形成工程22に使用される。レーザ加工装置30は、基台31と、基板10を吸引保持する保持手段32と、保持手段32に保持された基板10にパルスレーザ光を照射するレーザ光照射手段36と、保持手段32とレーザ光照射手段36とを相対的に±X方向に移動させる加工送り手段33と、保持手段32とレーザ光照射手段36とを相対的に±Y方向に移動させる割出し送り手段34と、保持手段32とレーザ光照射手段36とを相対的に±Z方向に移動させる移動手段35と、保持手段32に保持された基板10を撮影する撮像手段37とを備えている。
図7に示すように、恒温槽71内に蓄熱材72を入れ、所定の温度に暖める。蓄熱材72は、液状である。ここで「液状」という用語は、水などの液体だけでなく、水などの液体を吸水性ポリマーなどに吸収させたゲル状の物質や、マンナン、デンプン、糊などのゲル状物に水などの液体を混ぜたものなどを含む広い意味で用いる。
図10に示すように、亀裂17が裏面16の側に表出した基板10に、保護テープ62が貼着された表面11側から、超硬金属などによって形成され先端が尖った外力付与手段81を押し当てることにより、基板10に外力を加える。これにより、改質領域15から半導体層14の側へも亀裂18が伸長する。亀裂18は、基板10の面方向に対して垂直に伸長し、デバイス13の間の半導体層14に達する。これにより、基板10は、亀裂17,18に沿って分割される。
分割ラインが直線になるので、基板の表面に形成された発光素子の輝度に悪影響が出るなど、デバイスに不具合が生じるのを防ぐことができる。
基板10は、サファイア基板に限らず、他の材料で形成されたものであってもよい。
半導体層14は、GaNに限らず、他の材料で形成されたものであってもよい。
15 改質領域、16 裏面、17,18 亀裂、
20 分割方法、
21 貼着工程、22 改質領域形成工程、23 亀裂表出工程、24 外力付与工程、
30 レーザ加工装置、31 基台、32 保持手段、321 保持面、
33 加工送り手段、34 割出し送り手段、35 移動手段、
331,341 ねじ軸、332,342,352 モータ、
333,343,353 移動部、334,344,354 ガイド、
36 レーザ光照射手段、361 パルスレーザ光線発振手段、
362 パルスレーザ光線発振器、363 繰り返し周波数設定手段、
364 伝送光学系、365 集光器、366 集光レンズ、
37 撮像手段、
41 焦点、42,43 距離、
61 フレーム、62 保護テープ、
71 恒温槽、72 蓄熱材、81 外力付与手段、
90 テープ拡張装置、91 フレーム保持部、92 クランプ、93 拡張ドラム。
Claims (1)
- 表面にデバイスが形成された基板に対して、該表面とは反対側である裏面の側から、該基板に対して透過性を有する波長のパルスレーザ光を照射し、該パルスレーザ光を該基板の内部に集光することにより、該基板の内部に分割予定ラインに沿った改質領域を形成し、該基板に外力を加えることにより、該分割予定ラインに沿って該基板を分割する分割方法であって、
該基板の該表面に保護テープを貼着する貼着工程と、
該基板に該パルスレーザ光を照射することにより、該基板の内部に該改質領域を形成する改質領域形成工程と、
該改質領域が形成された基板を、該基板との温度差が50℃以上80℃以下であり比熱が0.8cal/g・℃以上である液状の蓄熱材に所定時間浸漬することにより、該改質領域から亀裂を該裏面に向けて伸長させ、該亀裂を該基板の該裏面に表出させる亀裂表出工程と、
該裏面に該亀裂が表出した基板に外力を加えることにより、該分割予定ラインに沿って該基板を分割する外力付与工程と、
を備え、
該亀裂表出工程において、該保護テープが貼着された側から該基板を該蓄熱材に浸漬する、基板の分割方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015046480A JP2015046480A (ja) | 2015-03-12 |
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ID=52671780
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP (1) | JP6211853B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115415665A (zh) * | 2021-05-14 | 2022-12-02 | 日扬科技股份有限公司 | 非接触式加工装置及加工方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05102302A (ja) * | 1991-10-02 | 1993-04-23 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2001284292A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体ウエハーのチップ分割方法 |
JP2003088982A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-03-25 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2011165766A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光デバイスウエーハの加工方法 |
JP5496167B2 (ja) * | 2010-11-12 | 2014-05-21 | 株式会社東京精密 | 半導体ウェハの分割方法及び分割装置 |
JP5930645B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-06-08 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
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JP2015046480A (ja) | 2015-03-12 |
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