JP3610941B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハから切り出され粘着シートに貼着された状態の電子部品を取り出して基板に実装する電子部品実装装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置の製造工程において、半導体チップは多数のチップより成るウェハから切り出される。このチップの切り出しは、粘着シートにウェハを貼着した状態で行われ、切り出された個片チップは粘着シートから剥ぎ取られてピックアップされる。このピックアップ工程では、個片チップは粘着シートの下面側からエジェクタによって突き上げられた状態でピックアップノズルによってピックアップされる。
【0003】
このとき、粘着シートを保持した保持テーブルが水平移動することにより、チップを順次固定位置に配置されたエジェクタの上方に位置させるようになっている。従来よりこの保持テーブルとして、基板搬送方向およびこれと直交する方向の2軸方向に水平移動可能なXYテーブルが用いられていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年半導体ウェハのサイズの大型化に伴い、半導体ウェハを保持する保持テーブルのサイズも大型のものが求められるようになっている。しかしながら、大型ウェハを対象とした保持テーブルに上記従来の構造を適用すると、保持テーブルが基板搬送方向にも移動することから装置の長さ寸法が増大し、装置のコンパクト化が困難であるという問題点があった。
【0005】
そこで本発明は、大型の半導体ウェハを対象として装置のコンパクト化を実現できる電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品実装装置は、粘着シート上に貼り付けられた状態で供給されたチップを基板に搭載する電子部品実装装置であって、基板を第1方向に搬送する基板搬送機構と、前記粘着シートを保持し前記第1方向と直交する第2方向に移動するウェハ保持テーブルと、前記第1方向および第2方向に移動可能に配設され前記ウェハ保持テーブルからチップをピックアップしこのチップを基板に搭載する移載ヘッドと、ウェハ保持テーブルの下方に前記第1方向に移動して前記移載ヘッドによってピックアップされるチップの下方に位置し、このチップから前記粘着シートを剥離する粘着シート剥離機構と、前記第1方向に移動して前記ウェハ保持テーブル上のチップを撮像するカメラとを備えた。
【0007】
請求項2記載の電子部品実装装置は、請求項1記載の電子部品実装装置であって、前記カメラは、さらに前記第2方向に移動して前記基板搬送機構によって位置決めされた基板を撮像する。
【0008】
請求項3記載の電子部品実装装置は、請求項1記載の電子部品実装装置であって、前記第1方向および第2方向に移動して前記基板搬送機構によって位置決めされた基板を撮像する第2のカメラを備えた。
【0009】
本発明によれば、粘着シートを保持するウェハ保持テーブルを基板搬送機構による基板搬送方向と直交する方向のみに移動させ、移載ヘッドによってピックアップされるチップから粘着シートを剥離する粘着シート剥離機構を基板搬送方向に移動可能に配設することにより、ウェハ保持テーブルの基板搬送方向の占有エリアを小さくして、装置のコンパクト化が実現される。
【0010】
【発明の実施の形態】
次の本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の部分断面図、図3、図4、図5は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の動作説明図、図6は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分斜視図、図7は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分平面図、図8は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分斜視図である。
【0011】
まず図1を参照して、電子部品実装装置の全体構造を説明する。図1において、電子部品実装装置1の基台1a上にはX方向に基板搬送機構2が配設されており、基板搬送機構2は上流側から供給される基板3を、X方向(第1方向)に搬送する。基台1a上には、基板搬送機構2に沿ってペースト塗布部4、部品搭載部5が配置されており、基板搬送機構2の側方には、ウェハ位置決め部10および治具供給部11が配置されている。
【0012】
ペースト塗布部4について説明する。基台1aのX方向の両端部には、縦フレーム1b、1cが立設されている。上流側に位置する縦フレーム1bの内側面には、2つのYテーブル6A,6Bが上下2段に水平方向に配設されている。下段のYテーブル6Aには、Xテーブル7Aが水平方向に延出して結合されており、Xテーブル7Aには塗布ヘッド8Aが装着されている。Yテーブル6A、Xテーブル7Aを駆動することにより、塗布ヘッド8Aは基板搬送機構2上に位置決めされた基板3を含むヘッド移動範囲内において移動する。Yテーブル6A、Xテーブル7Aは塗布ヘッド移動機構を構成し、この移動により塗布ヘッド8Aは、基板3の電子部品実装位置に電子部品接合用の粘性体であるペーストを塗布する。
【0013】
上段のYテーブル6Bには、Xテーブル7Bが水平方向に延出して結合されており、Xテーブル7Bにはカメラ9Aが装着されている。Yテーブル6B、Xテーブル7Bを駆動することにより、カメラ9Aは、基板搬送機構2上に位置決めされた基板3を含むカメラ移動範囲内において移動する。この移動により、カメラ9Aは、基板3上面の任意位置を撮像することができるようになっている。
【0014】
そしてこの撮像結果を認識処理部(図示省略)で認識処理することにより、基板3の全体位置や基板3上の実装点の位置が検出され、塗布ヘッド8Aによるペースト塗布においては、この位置検出結果に基づいて、塗布ヘッド移動機構の動作が制御部(図示省略)で制御される。この塗布ヘッド8A、カメラ9Aの移動において、カメラ9Aは塗布ヘッド8Aよりも高い移動高さで移動することから、相互に位置的な干渉が生じないようになっている。
【0015】
部品搭載部5について説明する。下流側に位置する縦フレーム1cの内側面には、2つのYテーブル6C,6Dが上下2段に水平方向に配設されている。下段のYテーブル6C、上段のYテーブル6Dには、それぞれXテーブル7C,7Dが水平方向に延出して結合されている。Xテーブル7Cには移載ヘッド8Bが、またXテーブル7Dにはカメラ9Bが装着されている。
【0016】
Yテーブル6C、Xテーブル7Cは移載ヘッド移動機構を構成し、この移動により移載ヘッド8Bは、ウェハ位置決め部10からピックアップされた電子部品である半導体チップ(以下、単に「チップ」と略称する。)が基板3上に移送され、ペーストが塗布された実装点にチップが搭載される。
【0017】
ウェハ位置決め部10に隣接して治具供給部11が配設されており、治具供給部11は個片のチップ17が分割されて貼り付けられた粘着シート16(図3〜図5参照)が取り付けられた治具15を、ウェハ位置決め部10の治具ホルダ20に供給する。治具15はマガジン14内に多段に収納されており、マガジン14はマガジン保持部13に保持されている。マガジン保持部13はマガジン昇降部12によって昇降自在となっており、マガジン保持部13を昇降させることにより、マガジン14内に収納された複数の治具15を順次ウェハ位置決め部10に供給するようになっている。治具ホルダ20は、チップ17が貼り付けられた粘着シート16を保持するウェハ保持テーブルとなっている。
【0018】
Yテーブル6D、Xテーブル7Dはカメラ移動機構を構成する。Yテーブル6D、Xテーブル7Dを駆動することによりカメラ9Bはウェハ位置決め部10および基板搬送機構2上の基板3を含む移動範囲内で移動し、ウェハ位置決め部10の粘着シートに貼り付けられたチップおよび基板3上面の任意位置を撮像することができるようになっている。そしてこの撮像結果を認識処理部(図示省略)で認識処理することにより、基板3の全体位置や基板3上の実装点の位置が検出され、また粘着シート16上のチップ17の位置が検出される。
【0019】
そして移載ヘッド8Bが粘着シートからチップを取り出す際、ウェハ位置決め部10からチップをピックアップした移載ヘッド8Bが、チップを基板3上に移送搭載する際には、前述の位置検出結果に基づいて、Yテーブル6C、Xテーブル7Cよりなる移載ヘッド移動機構を制御部(図示省略)で制御する。すなわち、検出したチップ17の位置に基づいて移載ヘッド8Bをこのチップ17上に移動・位置決めし、検出した実装点の位置に基づいて、チップ17をピックアップした移載ヘッド8Bを実装点に移動・位置決めする。この移載ヘッド8B、カメラ9Bの移動においても同様に、カメラ9Bは移載ヘッド8Bの移動高さよりも高い移動高さで移動可能に配置されていることから、相互に位置的な干渉が生じないようになっている(図6参照)。
【0020】
図2に示すように、ウェハ位置決め部10は、基台1a上でY方向に移動する移動テーブル21の上部に治具ホルダ20を配設した構造となっている。移動テーブル21の中央部は円形に切り欠かれて開口部21aとなっており、開口部21aの内縁部には中抜き構造の環状部材21bが上方に突出して設けられている。
【0021】
基台1aの上面には、ガイドレール28およびモノキャリア29が平行にY方向に並列配置されており、ガイドレール28にスライド自在に嵌合したスライダ27およびモノキャリア29のスライダ29dは、移動テーブル21の下面に設けられたブロック26に固着されている。モノキャリア29は、送りねじ29b、スライダ29dに結合されたナット29cを、ガイドレールを兼ねた本体部29a内に組み込んだものである。送りねじ29bは一方側の端部に配置されたモータ(図示省略)によって回転駆動され、これにより移動テーブル21はY方向に水平移動する。
【0022】
次にシート剥離部30について説明する。図2に示すように、基台1aのガイドレール28とモノキャリア29の中間には、移動テーブル31がX方向に配設されており、移動テーブル31の上面には昇降部32が立設されている。昇降部32には粘着シート剥離機構33が昇降自在に装着されている。移動テーブル31を駆動することにより、粘着シート剥離機構33は移動テーブル21の開口部21a内でX方向に水平移動する。
【0023】
粘着シート剥離機構33は、上部に粘着シート16に当接する頭部33aを備えており、チップ17の取り出し時に粘着シート剥離機構33を上昇させて頭部33aを粘着シート16の下面に当接させ、真空吸引やニードルによるチップの突き上げ等により、移載ヘッド8Bによってピックアップされるチップ17から粘着シート16を剥離する。
【0024】
移動テーブル21の上面の4隅部には、送りねじ22が回転自在に立設されており、送りねじ22が螺合したナット24は、移動テーブル21の上に配設された治具ホルダ20に結合されている。送りねじ22にはそれぞれプーリ23が結合されており、プーリ23および駆動プーリ(図示省略)にはベルト25が調帯されている。駆動プーリをモータ(図示省略)によって回転駆動することにより送りねじ22が回転し、これにより治具ホルダ20は移動テーブル21に対して上下動する。
【0025】
治具ホルダ20は略正方形の板状部材であり、厚み方向(上下方向)の中間部分には、粘着シート16を保持した治具15が挿通可能なスリット20cが、X方向に貫通して設けられている。治具ホルダ20の中央部には、円形の開口部20aが上下に貫通して設けられており、開口部20aのサイズは、移動テーブル21に設けられた環状部材21bを挿入可能な開口径となっている。
【0026】
後述するように、治具15を保持した状態の治具ホルダ20を下降させて環状部材21bを開口部20a内に挿入し、粘着シート16の裏面に環状部材21bを当接させて粘着シート16を面外方向に変位させることにより、粘着シート16はシート面方向に延伸される。
【0027】
モノキャリア29を駆動することによる治具ホルダ20のY方向の移動と、移動テーブル31による粘着シート剥離機構33のX方向の移動とを組み合わせることにより、治具ホルダ20に保持され開口部20a内に露呈された治具15の粘着シート16の任意位置を、粘着シート剥離機構33に対して位置決めすることができ、したがって粘着シート16に貼り付けられた任意のチップ17を、粘着シート剥離機構33の上方に位置させることができる。また、治具15の供給時には、治具ホルダ20をY方向に移動させてマガジン14との位置合わせを行う。
【0028】
次に図3〜図5を参照して、ウェハ位置決め部10における動作を説明する。図3は、ウェハ保持部10へ治具15を供給する動作を示している。マガジン供給時には、マガジン14内に収納された治具15は、治具搬送アーム36のクランプ部37によって端部をクランプされ、マガジン14から引き出される。治具ホルダ20の上面には、開口部20aからX方向に両端面まで連続した切り欠き部20b(図7参照)が設けられており、治具搬送アーム36が切り欠き部20b内を矢印方向に移動することにより、治具15は治具ホルダ20のスリット20c内に引き込まれ、そして図4に示すように、チップ17が貼り付けられた粘着シート16が開口部20a内に露呈した状態となる。次に粘着シート16を延伸する延伸動作をおこなう。
【0029】
図5は、粘着シート16の延伸動作とシート剥離動作を示している。まず治具ホルダ20に備えられた昇降機構(図2参照)によって、治具ホルダ20を移動テーブル21に対して下降させる。これにより開口部20a内に環状部材21bが嵌入し、次いで環状部材21bの上端部が粘着シート16の下面に当接し、治具15をスリット20c内で上方に持ち上げる。
【0030】
そして治具ホルダ20をさらに下降させると、治具15がスリット20c内に保持されたままの状態で、粘着シート16は治具ホルダ20に対して相対的に上方に変位する。すなわち、粘着シート16は、当初の状態から治具15による保持面の面外方向に変位し、これにより粘着シート16はシート面方向に延伸される。
【0031】
そしてこの状態で、治具ホルダ20の上方に移動したカメラ9Bによってピックアップ対象のチップ17を撮像する。これにより、当該チップ17の位置が認識される。この後、位置認識結果に基づいて移動テーブル21をY方向に移動させるとともに、移動テーブル31によってシート剥離機構33をX方向に移動させて、粘着シート16に貼着されたチップ17のうちの剥離対象のチップ17を、粘着シート剥離機構33の頭部33aに対して位置決めする。ここでは、粘着シート16の中央に位置するチップ17が位置決めの対象となっている。
【0032】
この後、前述の位置認識結果に基づいて移載ヘッド8Bを移動させ、チップ17のピックアップを行う。移載ヘッド8Bによるピックアップに際しては、粘着シート剥離機構33の頭部33aが上昇し、粘着シート16の下面に当接して保持する。そしてこの状態で、移載ヘッド8Bが頭部33aの上方のチップ17を吸着してピックアップすることにより、チップ17は粘着シート16から剥離されて取り出される。
【0033】
ここで、部品搭載部5における基板搬送機構2、ウェハ位置決め部10、移載ヘッド8B、カメラ9Bの配置および移動方向について、図6,図7を参照して説明する。図6において、基板搬送機構2は基板3をX方向(第1方向)に搬送し、ウェハ位置決め部10の治具ホルダ20は、粘着シート16を保持する治具15をY方向(第2方向)に移動させる。
【0034】
ここで、ウェハ位置決め部10は部分的に基板搬送機構2と上下に高低差を付けて配置され、Y方向に移動することによりウェハ位置決め部10の一部が基板搬送機構2の下方に入り込む形態となっている(図7参照)。そしてウェハ位置決め部10の下方に配置された粘着シート剥離機構33はX方向に可動となっており、Y方向にのみ移動するウェハ位置決め部10の移動と組み合わせることにより、粘着シート16の任意位置に粘着シート剥離機構33を位置決め可能となっている。
【0035】
また、カメラ9BはX方向およびY方向に移動可能となっており、ウェハ位置決め部10においてチップ17が貼り付けられた粘着シート16を撮像範囲に含むとともに、基板搬送機構2上の基板3を撮像範囲に含む配置となっている。そして、ウェハ位置決め部10からチップ17をピックアップする移載ヘッド8BはX方向およびY方向に移動可能となっており、この移動により基板3の任意位置にチップ17を搭載することができるようになっている。ここで、移載ヘッド8Bとカメラ9Bの移動において、カメラ9Bの移動高さH2は、移載ヘッド8Bの移動高さH1よりも高く設定されており、移載ヘッド8Bとカメラ9Bの位置的な干渉が生じないようになっている。
【0036】
上記構成を採用することにより、図7に示すように、ウェハ位置決め部10はY方向のみに移動することから、機内配置においてウェハ位置決め部10がX方向へ移動するための占有エリアを考慮する必要がなく、部品搭載部5全体の装置長さLを小さくすることが可能となり、大型の半導体ウェハを対象とする場合にあっても装置のコンパクト化が実現される。
【0037】
なお上記構成において、基板3の位置認識を行う必要がない場合には、治具ホルダ20の上方においてカメラ9Bを、X方向のみに移動させるようにカメラ移動機構を構成し、カメラ9Bで粘着シート16上のチップ17を撮像するようにしてもよい。この構成によっても、ウェハ位置決め部10において治具ホルダ20に保持された粘着シート16はY方向に移動可能となっていることから、粘着シート16の全範囲を撮像することができる。
【0038】
また、反対に基板3の位置認識を高頻度で行う必要があるような場合には、図8に示すような構成を採用してもよい。この場合には、治具ホルダ20の上方においてX方向のみにカメラ9Bを移動させるカメラ移動機構に加えて、基板3の撮像専用のカメラ9B’(第2のカメラ)を第2のカメラ移動機構(図示省略)によってX方向およびY方向に移動可能に設ける。
【0039】
この場合においても、カメラ9B’の移動高さは、移載ヘッド8Bの移動高さよりも高くする。このような構成を採用することにより、ウェハ位置決め部10におけるチップ17の位置認識または基板3の実装点の位置認識を移載ヘッド8Bの移動と同時並行的に行うことができ、高効率の実装動作が実現される。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、粘着シートを保持するウェハ保持テーブルを基板搬送機構による基板搬送方向と直交する方向のみに移動させ、移載ヘッドによってピックアップされるチップから粘着シートを剥離する粘着シート剥離機構を基板搬送方向に移動可能に配設したので、ウェハ保持テーブルの基板搬送方向の占有エリアを小さくして、大型の半導体ウェハを対象とする場合にあっても装置のコンパクト化が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の部分断面図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の動作説明図
【図4】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の動作説明図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のウェハ位置決め部の動作説明図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分斜視図
【図7】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分平面図
【図8】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部分斜視図
【符号の説明】
1 電子部品実装装置
2 基板搬送機構
3 基板
5 部品搭載部
8B 移載ヘッド
9B カメラ
9B’ 第2のカメラ
10 ウェハ位置決め部
15 治具
16 粘着シート
17 チップ
20 治具ホルダ
21 移動テーブル
31 移動テーブル
33 粘着シート剥離機構
Claims (3)
- 粘着シート上に貼り付けられた状態で供給されたチップを基板に搭載する電子部品実装装置であって、基板を第1方向に搬送する基板搬送機構と、前記粘着シートを保持し前記第1方向と直交する第2方向に移動するウェハ保持テーブルと、前記第1方向および第2方向に移動可能に配設され前記ウェハ保持テーブルからチップをピックアップしこのチップを基板に搭載する移載ヘッドと、ウェハ保持テーブルの下方に前記第1方向に移動して前記移載ヘッドによってピックアップされるチップの下方に位置し、このチップから前記粘着シートを剥離する粘着シート剥離機構と、前記第1方向に移動して前記ウェハ保持テーブル上のチップを撮像するカメラとを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
- 前記カメラは、さらに前記第2方向に移動して前記基板搬送機構によって位置決めされた基板を撮像することを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
- 前記第1方向および第2方向に移動して前記基板搬送機構によって位置決めされた基板を撮像する第2のカメラを備えたことを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
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