JP7451227B2 - 光透過性積層体の検査方法 - Google Patents
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Description
本発明は、光透過性積層体の検査方法に関する。
画像表示装置に適用される光透過性積層体（例えば、光学部材、光学積層体、光学フィルム、光透過性粘着シート）は、画像表示欠陥等を防止するために当該積層体内部の異物を排除する必要がある。そのため、このような光透過性積層体は、代表的には異物検査に供される。異物検査は、代表的には、光透過性積層体の長尺状のウェブを搬送しながら行われる透過検査であり、当該透過検査において異物および／または欠点は暗点として認識され得る。近年、画像表示装置に要求される表示性能が格段に高くなり、その結果、光透過性積層体の異物検査の精度についても格段に高いものが要求されるようになっている。具体的には、従来は５０μｍ程度の異物および／または欠点を検出すれば許容されていたところ、１０μｍ程度の異物および／または欠点を検出する必要が生じている。しかし、上記のような長尺状のウェブを搬送しながら行われる異物検査では、このように小さな異物および／または欠点を検出することはきわめて困難である。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、従来に比べて格段に微小な異物および／または欠点を検出し得る光透過性積層体の検査方法を提供することにある。
本発明の実施形態による光透過性積層体の検査方法は、枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行い、該光透過性積層体における８μｍ～５０μｍサイズの欠点を検出する。
１つの実施形態においては、上記欠点の検出は、所定倍率の光学系の焦点を上記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせ、該光学系で該光透過性積層体を走査して欠点のＸＹ座標マップを作成すること；該光学系の焦点を該光透過性積層体の第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離ずらして、該光学系で該光透過性積層体を走査して別の欠点のＸＹ座標マップを作成すること；および、該作成した欠点のＸＹ座標マップを統合すること；を含む。
１つの実施形態においては、上記欠点の検出は、上記光学系の焦点を上記光透過性積層体の厚み方向内方に該所定距離さらにずらして該光学系で該光透過性積層体を走査することを所定回数繰り返し、所定数の欠点のＸＹ座標マップを作成することを含む。
１つの実施形態においては、上記欠点の検出は、上記統合した欠点のＸＹ座標マップの欠点発生座標のみにおいて、上記所定倍率よりも高倍率の光学系を用いて該欠点の厚み方向の位置を測定することを含む。
１つの実施形態においては、上記欠点の厚み方向の位置の測定は、上記高倍率の光学系の焦点を上記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせること、および、該焦点を該光透過性積層体の厚み方向内方に移動させて該第１主面の表面から該欠点までの距離を測定すること、を含む。
１つの実施形態においては、上記所定距離は１０μｍ～１００μｍである。
１つの実施形態においては、上記所定倍率は５倍以下である。１つの実施形態においては、上記高倍率は１０倍以上である。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は、光学フィルム、粘着剤シート、およびこれらの組み合わせから選択される。１つの実施形態においては、上記光学フィルムは、偏光板、位相差板、およびこれらを含む積層体から選択される。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体の厚みは３００μｍ以下である。
１つの実施形態においては、上記検査方法において、上記所定倍率の光学系による走査距離１０００μｍあたりの上記光透過性積層体の第１主面の厚み方向の変動量が±１０μｍ以内となるような領域で、上記欠点の検出が行われる。
１つの実施形態においては、上記検査方法において、上記光透過性積層体の撓み角度が水平方向に対して±０．５７°以内となるような領域で、上記欠点の検出が行われる。
１つの実施形態においては、上記検査方法において、上記光透過性積層体を横架した状態で上記欠点の検出が行われる。
１つの実施形態においては、上記検査方法において、上記光透過性積層体における非製品領域である対向する端部を相対的に近接または離間可能な一対の支持部材に固定した状態で、上記欠点の検出が行われる。
１つの実施形態においては、上記一対の支持部材は、スライド可能であり、かつ、互いに離間する方向に付勢されている。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は粘着剤層を含み、該光透過性積層体は該粘着剤層を介して上記一対の支持部材に固定されている。１つの実施形態においては、上記光透過性積層体の上記粘着剤層を介した固定は、該光透過性積層体の一方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して一方の支持部材に貼り合わせること、次いで、他方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して他方の支持部材に貼り合わせること、を含む。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は少なくとも一方の表面に剥離可能に仮着された表面保護フィルムを含み、上記検査方法は、該光透過性積層体を上記一対の支持部材に固定した後で、該表面保護フィルムを一時的に剥離することを含む。１つの実施形態においては、上記検査方法は、上記欠点の検出の後、上記光透過性積層体の少なくとも一方の表面に、上記一時的に剥離した上記表面保護フィルムまたは該表面保護フィルムとは別の表面保護フィルムを剥離可能に仮着することを含む。
本発明の別の局面によれば、上記の光透過性積層体の検査方法に用いられる光透過性積層体が提供される。この光透過性積層体は、上記第１主面側に剥離可能に仮着された少なくとも１つの反射性保護フィルムをさらに含む。該反射性保護フィルムは、上記所定倍率の光学系の焦点を該第１主面の表面に合わせるときの照射光を反射し、かつ、検査光を透過する機能を有する。
１つの実施形態においては、上記反射性保護フィルムは以下の関係を満足する：
ｙ≧０．０１８１ｘ－１１．１４２
ここで、ｘは６５０ｎｍ～８００ｎｍの波長領域での検出波長の絶対値であり、ｙは反射率の絶対値である。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は、上記反射性保護フィルムの表面に剥離可能に仮着された表面保護フィルムをさらに含む。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は、上記反射性保護フィルムの表面に形成されたハードコート層をさらに含む。
１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は、検査後に検査済み領域を認識可能な認識手段が設けられている。
１つの実施形態においては、上記欠点の検出は、所定倍率の光学系の焦点を上記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせ、該光学系で該光透過性積層体を走査して欠点のＸＹ座標マップを作成すること；該光学系の焦点を該光透過性積層体の第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離ずらして、該光学系で該光透過性積層体を走査して別の欠点のＸＹ座標マップを作成すること；および、該作成した欠点のＸＹ座標マップを統合すること；を含む。
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本発明の別の局面によれば、上記の光透過性積層体の検査方法に用いられる光透過性積層体が提供される。この光透過性積層体は、上記第１主面側に剥離可能に仮着された少なくとも１つの反射性保護フィルムをさらに含む。該反射性保護フィルムは、上記所定倍率の光学系の焦点を該第１主面の表面に合わせるときの照射光を反射し、かつ、検査光を透過する機能を有する。
１つの実施形態においては、上記反射性保護フィルムは以下の関係を満足する：
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ここで、ｘは６５０ｎｍ～８００ｎｍの波長領域での検出波長の絶対値であり、ｙは反射率の絶対値である。
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１つの実施形態においては、上記光透過性積層体は、検査後に検査済み領域を認識可能な認識手段が設けられている。
本発明の実施形態による光透過性積層体の検査方法によれば、枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行うことにより、従来に比べて格段に微小な（例えば、８μｍサイズ程度の）異物および／または欠点を検出することができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれらの実施形態には限定されない。また、図面はすべて模式的に表されており、実際の状態を正確に描いたものではない。
Ａ．光透過性積層体の検査方法の概略
本発明の実施形態による光透過性積層体の検査方法は、枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行う。図１は、透過検査の一例を説明する概略側面図である。透過検査は、例えば、光学系を用いて、一対の支持部材２０、２０に横架された光透過性積層体１０の画像を得ることを含む。光学系は、例えば、光透過性積層体１０の一方の側（図示例では上方）に配され、光透過性積層体の画像を得る撮像素子３０と；光透過性積層体１０の他方の側（図示例では下方）に配され、光透過性積層体１０を照射する照射光を発する光源４０と；を含む。なお、撮像素子３０が光透過性積層体１０の下方に配され、光源４０が光透過性積層体１０の上方に配されてもよい。撮像素子３０は、透過光（検査光）像を撮像し、当該撮像した画像において、異物および／または欠点（以下、文脈に応じて単に異物または欠点と称する場合がある）は暗点として認識され得る。透過検査のより具体的な実施形態については後述する。枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行うことにより、光透過性積層体において８μｍ～５０μｍサイズ、好ましくは８μｍ～３０μｍサイズ、より好ましくは８μｍ～２０μｍサイズ、さらに好ましくは８μｍ～１５μｍサイズ、特に好ましくは約１０μｍサイズの欠点を検出することができる。従来、光学フィルムのような光透過性積層体の異物検査は長尺状のウェブを搬送しながら行われている。このような異物検査によれば、小さな（代表的には、５０μｍ以下のサイズの）異物を検出することは実質的に不可能である。なお、従来は５０μｍサイズ程度の異物を検出すれば許容されていたので、ウェブ搬送による異物検査に特段の問題は生じていなかったところ、画像表示装置の高精度化に伴い、１０μｍサイズ程度の異物を検出する必要が新たに生じてきた。本発明者らはこのような問題について鋭意検討した結果、搬送時のウェブのバタつきおよび／または搬送装置の振動により撮像素子による正確な画像が得られないことに起因し得ることを見出した。そして、試行錯誤の結果、光透過性積層体を枚葉状に裁断し、当該枚葉状の光透過性積層体を中空に固定した状態で（すなわち、載置せずに）透過検査を行うことにより、搬送時のウェブのバタつきおよび／または搬送装置の振動による悪影響を排除できるのみならず、載置面の異物等の悪影響も排除した。その結果、きわめて高精度の異物検査を実現し、１０μｍサイズ程度の異物および／または欠点を検出することを可能にした。このように、本発明は、従来になかった新たな課題を解決するものである。
本発明の実施形態による光透過性積層体の検査方法は、枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行う。図１は、透過検査の一例を説明する概略側面図である。透過検査は、例えば、光学系を用いて、一対の支持部材２０、２０に横架された光透過性積層体１０の画像を得ることを含む。光学系は、例えば、光透過性積層体１０の一方の側（図示例では上方）に配され、光透過性積層体の画像を得る撮像素子３０と；光透過性積層体１０の他方の側（図示例では下方）に配され、光透過性積層体１０を照射する照射光を発する光源４０と；を含む。なお、撮像素子３０が光透過性積層体１０の下方に配され、光源４０が光透過性積層体１０の上方に配されてもよい。撮像素子３０は、透過光（検査光）像を撮像し、当該撮像した画像において、異物および／または欠点（以下、文脈に応じて単に異物または欠点と称する場合がある）は暗点として認識され得る。透過検査のより具体的な実施形態については後述する。枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行うことにより、光透過性積層体において８μｍ～５０μｍサイズ、好ましくは８μｍ～３０μｍサイズ、より好ましくは８μｍ～２０μｍサイズ、さらに好ましくは８μｍ～１５μｍサイズ、特に好ましくは約１０μｍサイズの欠点を検出することができる。従来、光学フィルムのような光透過性積層体の異物検査は長尺状のウェブを搬送しながら行われている。このような異物検査によれば、小さな（代表的には、５０μｍ以下のサイズの）異物を検出することは実質的に不可能である。なお、従来は５０μｍサイズ程度の異物を検出すれば許容されていたので、ウェブ搬送による異物検査に特段の問題は生じていなかったところ、画像表示装置の高精度化に伴い、１０μｍサイズ程度の異物を検出する必要が新たに生じてきた。本発明者らはこのような問題について鋭意検討した結果、搬送時のウェブのバタつきおよび／または搬送装置の振動により撮像素子による正確な画像が得られないことに起因し得ることを見出した。そして、試行錯誤の結果、光透過性積層体を枚葉状に裁断し、当該枚葉状の光透過性積層体を中空に固定した状態で（すなわち、載置せずに）透過検査を行うことにより、搬送時のウェブのバタつきおよび／または搬送装置の振動による悪影響を排除できるのみならず、載置面の異物等の悪影響も排除した。その結果、きわめて高精度の異物検査を実現し、１０μｍサイズ程度の異物および／または欠点を検出することを可能にした。このように、本発明は、従来になかった新たな課題を解決するものである。
Ｂ．光透過性積層体
光透過性積層体としては、異物検査が必要とされる任意の適切な光透過性の積層体が挙げられる。具体例としては、光学フィルム、粘着剤シート、およびこれらの組み合わせ（例えば、粘着剤層付光学フィルム）が挙げられる。光学フィルムとしては、例えば、偏光板、位相差板、タッチパネル用導電性フィルム、表面処理フィルム、および、これらを目的に応じて適切に積層した積層体（例えば、反射防止用円偏光板、タッチパネル用導電層付偏光板）が挙げられる。粘着剤シートは、代表的には、粘着剤とその少なくとも一方の側に仮着された離型フィルムとを含む。光透過性積層体は、代表的には、粘着剤層付光学フィルムであり得る。光透過性積層体の厚みは、好ましくは３００μｍ以下であり、より好ましくは２８０μｍ以下であり、さらに好ましくは２５０μｍ以下である。本発明の実施形態によれば、このような薄型の光透過性積層体においても微小な異物を良好に検出することができる。光透過性積層体の厚みの下限は、例えば３０μｍであり得る。
光透過性積層体としては、異物検査が必要とされる任意の適切な光透過性の積層体が挙げられる。具体例としては、光学フィルム、粘着剤シート、およびこれらの組み合わせ（例えば、粘着剤層付光学フィルム）が挙げられる。光学フィルムとしては、例えば、偏光板、位相差板、タッチパネル用導電性フィルム、表面処理フィルム、および、これらを目的に応じて適切に積層した積層体（例えば、反射防止用円偏光板、タッチパネル用導電層付偏光板）が挙げられる。粘着剤シートは、代表的には、粘着剤とその少なくとも一方の側に仮着された離型フィルムとを含む。光透過性積層体は、代表的には、粘着剤層付光学フィルムであり得る。光透過性積層体の厚みは、好ましくは３００μｍ以下であり、より好ましくは２８０μｍ以下であり、さらに好ましくは２５０μｍ以下である。本発明の実施形態によれば、このような薄型の光透過性積層体においても微小な異物を良好に検出することができる。光透過性積層体の厚みの下限は、例えば３０μｍであり得る。
光透過性積層体は、例えば、光透過性積層体を構成する各層をいわゆるロールトゥロールにより積層することにより作製され得る。光透過性積層体は、第１主面と第２主面とを有する。第１主面は、代表的には光透過性積層体が貼り合わせられる画像表示セルと反対側の表面であり；第２主面は、代表的には画像表示セル側の表面であり、より詳細には粘着剤層の表面であり得る。作製された長尺状の光透過性積層体は、所定サイズに裁断されて異物検査に供される。当該サイズは、代表的には、最終製品が複数枚得られるサイズであり得る。検査終了後、光透過性積層体は、代表的には最終製品サイズに裁断されて出荷され得る。
１つの実施形態においては、光透過性積層体は、異物検査に供される際、第１主面に反射性保護フィルムが剥離可能に仮着されてもよい。光透過性積層体の種類・構成によっては（例えば、光透過性積層体が低反射層（ＡＲ層）を含む場合には）光透過性積層体の第１主面に撮像素子のオートフォーカスが機能しない場合があるところ、反射性保護フィルムを仮着することにより、そのような場合であっても光透過性積層体の第１主面に撮像素子のオートフォーカスを良好に機能させることができる。反射性保護フィルムは、代表的には、所定倍率の光学系の焦点を光透過性積層体の第１主面の表面に合わせるときの照射光を反射し、かつ、検査光を透過する機能を有する。１つの実施形態においては、反射性保護フィルムは以下の関係を満足する：
ｙ≧０．０１８１ｘ－１１．１４２
ここで、ｘは６５０ｎｍ～８００ｎｍの波長領域での検出波長の絶対値であり、ｙは反射率の絶対値である。このような構成であれば、撮像素子のオートフォーカスをより良好に機能させることができる。反射性保護フィルムとしては、上記機能を有する限りにおいて任意の適切な構成が採用され得る。具体的には、反射性保護フィルムは、例えば特開２０１９－０９９７５１号公報の［００３１］に記載の環状オレフィン系樹脂で構成され得る。環状オレフィン系樹脂としては、例えばポリノルボルネンが挙げられる。環状オレフィン系樹脂は、市販品を用いてもよい。市販品の具体例としては、日本ゼオン製のゼオノアおよびゼオネックス、ＪＳＲ製のアートン、三井化学製のアペル、ＴＯＰＡＳ ＡＤＶＡＮＣＥＤ ＰＯＬＹＭＥＲＳ製のトパス等が挙げられる。環状オレフィン系樹脂フィルムは、環状オレフィン系樹脂を５０重量％以上含有するものが好ましい。１つの実施形態においては、反射性保護フィルムの表面にハードコート層が形成されていてもよい。ハードコート層を形成することにより、反射性保護フィルムのキズの発生、反射性保護フィルムへの異物の付着等を防止することができるので、より高精度で異物検査を行うことができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。
ｙ≧０．０１８１ｘ－１１．１４２
ここで、ｘは６５０ｎｍ～８００ｎｍの波長領域での検出波長の絶対値であり、ｙは反射率の絶対値である。このような構成であれば、撮像素子のオートフォーカスをより良好に機能させることができる。反射性保護フィルムとしては、上記機能を有する限りにおいて任意の適切な構成が採用され得る。具体的には、反射性保護フィルムは、例えば特開２０１９－０９９７５１号公報の［００３１］に記載の環状オレフィン系樹脂で構成され得る。環状オレフィン系樹脂としては、例えばポリノルボルネンが挙げられる。環状オレフィン系樹脂は、市販品を用いてもよい。市販品の具体例としては、日本ゼオン製のゼオノアおよびゼオネックス、ＪＳＲ製のアートン、三井化学製のアペル、ＴＯＰＡＳ ＡＤＶＡＮＣＥＤ ＰＯＬＹＭＥＲＳ製のトパス等が挙げられる。環状オレフィン系樹脂フィルムは、環状オレフィン系樹脂を５０重量％以上含有するものが好ましい。１つの実施形態においては、反射性保護フィルムの表面にハードコート層が形成されていてもよい。ハードコート層を形成することにより、反射性保護フィルムのキズの発生、反射性保護フィルムへの異物の付着等を防止することができるので、より高精度で異物検査を行うことができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。
反射性保護フィルムは、予定される検査回数に応じて、複数枚を仮着してもよい。例えば異物検査が２回予定されている場合には、反射性保護フィルムを２枚貼り合わせることにより、２回目の異物検査の前に外側の反射性保護フィルムを１枚剥離すれば、内側の反射性保護フィルムのキズの発生、内側の反射性保護フィルムへの異物の付着等を防止することができるので、より高精度で複数回の異物検査を行うことができる。なお、複数回の検査が予定されている場合であっても、反射性保護フィルムを１枚のみ仮着してもよい。
１つの実施形態においては、反射性保護フィルムの表面（反射性保護フィルムが複数存在する場合には、最表の反射性保護フィルム表面）に表面保護フィルムが剥離可能に仮着されてもよい。表面保護フィルムを仮着することにより、反射性保護フィルムのキズの発生、反射性保護フィルムへの異物の付着等を防止することができるので、より高精度で異物検査を行うことができる。表面保護フィルムは、代表的には、検査時に剥離除去される。検査終了後には、検査時に剥離された表面保護フィルムが光透過性積層体の表面に再度仮着されてもよく、別の表面保護フィルムが剥離可能に仮着されてもよい。
反射性保護フィルムおよび表面保護フィルムは、ロールトゥロールにより（すなわち、裁断前に）光透過性積層体に仮着されてもよく、裁断後に仮着されてもよい。
Ｃ．光透過性積層体の検査方法の具体的な実施形態
Ｃ－１．中空での固定
以下、透過検査における欠点の検出をより具体的に説明する。欠点の検出においては、上記のとおり、枚葉の光透過性積層体は中空に固定される。光透過性積層体は、例えば上記の図１に示すとおり、一対の支持部材に横架されることにより中空に固定され得る。光透過性積層体は、非製品領域である対向する端部が支持部材に固定され得る。代表的には、光透過性積層体は粘着剤層を含み、光透過性積層体は当該粘着剤層を介して支持部材に固定され得る。図２（ａ）～図２（ｄ）は、光透過性積層体の支持部材への固定方法の手順の一例を説明する概略側面図である。一連の手順において、好ましくは、光透過性積層体は第１主面１０ａに反射性保護フィルム５０および表面保護フィルム６０が剥離可能に仮着されている。まず、図２（ａ）に示すとおり、光透過性積層体の非製品領域である一方の端部１０ｃのセパレーターが剥離除去され粘着剤層が露出する。当該粘着剤層を介して端部１０ｃが支持部材２０に貼り合わせられる。次に、図２（ｂ）に示すとおり、非製品領域である端部１０ｃに対向する端部１０ｄのセパレーターが剥離除去され粘着剤層が露出し、当該粘着剤層を介して端部１０ｄが支持部材２０に貼り合わせられる。光透過性積層体（の端部）を粘着剤層により支持部材に貼り合わせることにより、固定治具を別途用いることなく簡便な固定が可能となる。端部１０ｃおよび１０ｄが貼り合わせられると、図２（ｃ）に示すように、セパレーターはすべて除去される。ここで、反射性保護フィルム５０および表面保護フィルム６０は、光透過性積層体のキズの発生および／または光透過性積層体への異物の付着を防止するだけでなく、セパレーターの除去および端部の貼り合わせの際の補強材としても機能し得る。このようにして、光透過性積層体が支持部材に横架される。次に、図２（ｄ）に示すように、表面保護フィルム６０が剥離されて、反射性保護フィルム５０が仮着された光透過性積層体１０が異物検査に供される。光透過性積層体を支持部材に固定した後に表面保護フィルムを剥離することにより（すなわち、表面保護フィルムを仮着した状態で光透過性積層体を支持部材に固定することにより）、セパレーターを剥離した後も光透過性積層体の剛性（コシ）を保持することが可能となり、取り扱いが容易となる。その結果、シワ等が防止されるので、高精度で異物検査を実施することができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。さらに、枚葉の光透過性積層体を横架した状態で異物検査を行うことにより、搬送によるバタつきおよび／または搬送装置の振動の影響を排除できるので、表面保護フィルムを剥離した後であっても高精度で異物検査を実施することができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。加えて、表面保護フィルムを剥離することにより、表面保護フィルムの異物を検出することがなくなるので、上記効果との相乗的な効果により、より高精度で異物検査を実施することができる。１つの実施形態においては、上記Ｂ項で説明したとおり、反射性保護フィルムは複数枚仮着されていてもよい。この場合、１回目の異物検査時に表面保護フィルムが剥離除去され、反射性保護フィルムは、以降の異物検査のたびに１枚ずつ剥離され得る。
Ｃ－１．中空での固定
以下、透過検査における欠点の検出をより具体的に説明する。欠点の検出においては、上記のとおり、枚葉の光透過性積層体は中空に固定される。光透過性積層体は、例えば上記の図１に示すとおり、一対の支持部材に横架されることにより中空に固定され得る。光透過性積層体は、非製品領域である対向する端部が支持部材に固定され得る。代表的には、光透過性積層体は粘着剤層を含み、光透過性積層体は当該粘着剤層を介して支持部材に固定され得る。図２（ａ）～図２（ｄ）は、光透過性積層体の支持部材への固定方法の手順の一例を説明する概略側面図である。一連の手順において、好ましくは、光透過性積層体は第１主面１０ａに反射性保護フィルム５０および表面保護フィルム６０が剥離可能に仮着されている。まず、図２（ａ）に示すとおり、光透過性積層体の非製品領域である一方の端部１０ｃのセパレーターが剥離除去され粘着剤層が露出する。当該粘着剤層を介して端部１０ｃが支持部材２０に貼り合わせられる。次に、図２（ｂ）に示すとおり、非製品領域である端部１０ｃに対向する端部１０ｄのセパレーターが剥離除去され粘着剤層が露出し、当該粘着剤層を介して端部１０ｄが支持部材２０に貼り合わせられる。光透過性積層体（の端部）を粘着剤層により支持部材に貼り合わせることにより、固定治具を別途用いることなく簡便な固定が可能となる。端部１０ｃおよび１０ｄが貼り合わせられると、図２（ｃ）に示すように、セパレーターはすべて除去される。ここで、反射性保護フィルム５０および表面保護フィルム６０は、光透過性積層体のキズの発生および／または光透過性積層体への異物の付着を防止するだけでなく、セパレーターの除去および端部の貼り合わせの際の補強材としても機能し得る。このようにして、光透過性積層体が支持部材に横架される。次に、図２（ｄ）に示すように、表面保護フィルム６０が剥離されて、反射性保護フィルム５０が仮着された光透過性積層体１０が異物検査に供される。光透過性積層体を支持部材に固定した後に表面保護フィルムを剥離することにより（すなわち、表面保護フィルムを仮着した状態で光透過性積層体を支持部材に固定することにより）、セパレーターを剥離した後も光透過性積層体の剛性（コシ）を保持することが可能となり、取り扱いが容易となる。その結果、シワ等が防止されるので、高精度で異物検査を実施することができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。さらに、枚葉の光透過性積層体を横架した状態で異物検査を行うことにより、搬送によるバタつきおよび／または搬送装置の振動の影響を排除できるので、表面保護フィルムを剥離した後であっても高精度で異物検査を実施することができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。加えて、表面保護フィルムを剥離することにより、表面保護フィルムの異物を検出することがなくなるので、上記効果との相乗的な効果により、より高精度で異物検査を実施することができる。１つの実施形態においては、上記Ｂ項で説明したとおり、反射性保護フィルムは複数枚仮着されていてもよい。この場合、１回目の異物検査時に表面保護フィルムが剥離除去され、反射性保護フィルムは、以降の異物検査のたびに１枚ずつ剥離され得る。
一対の支持部材２０、２０は、代表的には、相対的に近接または離間可能に構成されている。１つの実施形態においては、支持部材は、スライド可能に構成され、かつ、互いに離間する方向に付勢されている。具体的には、支持部材は、図２（ｂ）～図２（ｄ）に示すように、一方（図示例では図面の右側）が固定され、他方（図示例では図面の左側）がスライド可能に構成され、当該他方が弾性部材（例えば、バネ）により離間する方向に付勢されている。このような構成であれば、光透過性積層体に適切な張力（テンション）が付与され、光透過性積層体が張架された状態となる。その結果、光透過性積層体のシワおよび歪みが顕著に抑制されるので、より高精度で異物検査を行うことができ、微小な異物および／または欠点を正確に検出することができる。張力は、バネ自体の強度、バネの固定ねじの締め具合を調整することにより制御することができる。なお、支持部材を両方ともスライド可能に構成し、両方を弾性部材により離間する方向に付勢してもよい。
Ｃ－２．欠点の検出
欠点の検出は、上記のように、代表的には図１に示すような光学系（撮像素子３０および光源４０を含む）を用いて行われる。以下、具体的に説明する。まず、図３の左側に示すように、所定倍率（以下、低倍率と称する場合がある）の光学系（実質的には、撮像素子３０）の焦点を光透過性積層体１０の第１主面１０ａの表面に合わせる。この状態で、図４に示すようにして撮像素子３０で光透過性積層体１０の平面（ＸＹ平面）全体を走査し、欠点のＸＹ座標マップ（第１のＸＹ座標マップ）を作成する。上記Ａ項に記載のとおり、欠点は暗点として認識されるので、第１のＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体１０の第１主面１０ａ近傍（第１主面から厚み方向内方の所定の距離まで）の欠点は、例えば図５に示すような画像上の暗点として認識される。なお、第１のＸＹ座標マップのみでは、厚み方向の深い位置（第２主面に近い位置）の微小欠点を検出できない場合がある。これに対して、本発明の実施形態によれば、後述するように、第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離Ｐずらして欠点の検出を行うことにより、光透過性積層体の厚み方向全体にわたって微小欠点を正確に検出することができる。
欠点の検出は、上記のように、代表的には図１に示すような光学系（撮像素子３０および光源４０を含む）を用いて行われる。以下、具体的に説明する。まず、図３の左側に示すように、所定倍率（以下、低倍率と称する場合がある）の光学系（実質的には、撮像素子３０）の焦点を光透過性積層体１０の第１主面１０ａの表面に合わせる。この状態で、図４に示すようにして撮像素子３０で光透過性積層体１０の平面（ＸＹ平面）全体を走査し、欠点のＸＹ座標マップ（第１のＸＹ座標マップ）を作成する。上記Ａ項に記載のとおり、欠点は暗点として認識されるので、第１のＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体１０の第１主面１０ａ近傍（第１主面から厚み方向内方の所定の距離まで）の欠点は、例えば図５に示すような画像上の暗点として認識される。なお、第１のＸＹ座標マップのみでは、厚み方向の深い位置（第２主面に近い位置）の微小欠点を検出できない場合がある。これに対して、本発明の実施形態によれば、後述するように、第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離Ｐずらして欠点の検出を行うことにより、光透過性積層体の厚み方向全体にわたって微小欠点を正確に検出することができる。
次いで、図３の中央部に示すように、撮像素子３０の焦点を光透過性積層体１０の第１主面１０ａの表面から厚み方向（Ｚ方向）内方に所定距離Ｐずらして、光透過性積層体１０の厚み方向内方の所定の位置に焦点を合わせる。この状態で、上記と同様に図４に示すようにして撮像素子３０で光透過性積層体１０のＸＹ平面全体を走査して、欠点のＸＹ座標マップ（第２のＸＹ座標マップ）を作成する。第２のＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体１０の厚み方向内方の所定位置近傍（当該所定位置から所定の距離まで）の欠点は、例えば図５とは実質的に異なる位置にある画像上の暗点として認識される。なお、本明細書においては、所定距離Ｐを撮像ピッチと称する場合がある。撮像素子の焦点合わせは、任意の適切な手段を用いて実現され得る。例えば、撮像素子自体をＺ方向に移動させてもよく、レンズ等により撮像素子の焦点距離を変更してもよく、これらを組み合わせてもよい。図示例は、レンズ等により撮像素子の焦点距離を変更する形態を示している。
必要に応じて、図３の右側に示すように、撮像素子３０の焦点を厚み方向（Ｚ方向）に所定距離Ｐさらにずらして、光透過性積層体１０の厚み方向内方の次の所定の位置に焦点を合わせる。この状態で、上記と同様に図４に示すようにして撮像素子３０で光透過性積層体１０のＸＹ平面全体を走査して、欠点のＸＹ座標マップ（第３のＸＹ座標マップ）を作成する。この操作を必要に応じて所定回数繰り返し、所定数の欠点のＸＹ座標マップを作成する。撮像ピッチおよび作成する欠点のＸＹ座標マップの数は、光透過性積層体の全体厚み、光透過性積層体を構成する層の数、各層の厚み等に応じて適切に設定され得る。撮像ピッチＰは、例えば１０μｍ～１００μｍであり、好ましくは２０μｍ～８０μｍであり、より好ましくは４０μｍ～６０μｍである。このような構成によれば、厚み方向全体を撮像素子で走査することなく、厚み方向に存在する実質的にすべての欠点（したがって、光透過性積層体における実質的にすべての欠点）およびその大まかな位置を検出することができる。図３では欠点のＸＹ座標マップを３つ作成する形態を示しているが、作成される欠点のＸＹ座標マップの数はこれに限定されるものではなく、好ましくは２～１０であり、より好ましくは３～８であり、さらに好ましくは４～６である。
次いで、上記のようにして作成した所定数の欠点のＸＹ座標マップを統合する。例えば図６は、５つの欠点のＸＹ座標マップを統合して欠点のＸＹ座標マップ（統合ＸＹ座標マップ）を作成する一例を示す。図６のように、各画像データを統合することにより、それぞれのＸＹ座標マップに存在する欠点を共通のＸＹ座標上で表すことができる。このようにして、統合ＸＹ座標マップが作成され得る。統合ＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体における実質的にすべての欠点がＸＹ座標（２次元座標）に表されている。
上記のような統合ＸＹ座標マップの作成における撮像素子の所定倍率（低倍率）は、好ましくは１０倍未満であり、より好ましくは５倍以下である。当該倍率の下限は、例えば１．５倍であり得る。当該倍率がこのような範囲であれば、光透過性積層体の広範囲を効率よく撮像することができ、その結果、統合ＸＹ座標マップを効率よく作成することができる。
次に、欠点の深度（光透過性積層体の厚み方向における位置）を測定する。ここで、光透過性積層体の平面全面かつ厚み方向全体にわたって欠点を検出することは困難であり、仮に実現できたとしてもコスト、時間および効率性を考慮すると実用的ではない。したがって、本実施形態においては、統合ＸＹ座標マップにおける欠点発生座標のみにおいて欠点の厚み方向の位置を測定する。上記のとおり、統合ＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体における実質的にすべての欠点が２次元座標に表されているので、欠点発生座標のみにおいて欠点の厚み方向の位置を測定することにより、光透過性積層体における実質的にすべての欠点の厚み方向の位置を検出することができる。
欠点の深度の測定は、撮像素子の焦点を光透過性積層体の第１主面の表面に合わせること、および、当該焦点を光透過性積層体の厚み方向内方に移動させて第１主面の表面から欠点までの距離を測定すること、を含む。具体的には、撮像素子の焦点を厚み方向に移動させ、コントラストが高い位置を合焦位置として認定し、第１主面表面から当該合焦位置までの距離を欠点の厚み方向における位置とすることができる。欠点の厚み方向における正確な位置を検出することにより、製品の検査効率および出荷効率を格段に向上させることができる。
上記のような欠点の深度測定における撮像素子の倍率（高倍率）は、好ましくは１０倍以上であり、より好ましくは２０倍以上である。当該倍率の上限は、例えば５０倍であり得る。当該倍率がこのような範囲であれば、微小欠点の厚み方向における位置を確実に検出することができる。
欠点の深度測定は、例えば、特開２００１－１２４６６０号公報、特開２００４－０７７２６１号公報、特開２００９－２５０８９３号公報に記載されている。これらの公報の記載は、本明細書に参考として援用される。
１つの実施形態においては、上記欠点の検出は、上記欠点のＸＹ座標マップにおける撮像素子による走査距離１０００μｍあたりの光透過性積層体の第１主面の厚み方向（Ｚ方向）の変動量が好ましくは±１０μｍ以内、より好ましくは±８μｍ以内となるような領域で行われ得る。別の実施形態においては、上記欠点の検出は、光透過性積層体の撓み角度が水平方向に対して好ましくは±０．５７°以内、より好ましくは±０．５０°以内となるような領域で行われ得る。すなわち、いずれの実施形態においても、光透過性積層体の撓みが非常に小さい領域で、欠点の検出が行われ得る。このような構成であれば、光透過性積層体の第１主面への撮像素子の焦点合わせ（結果として、以降の厚み方向内方の所定の位置への焦点合わせ）をきわめて正確に行うことができる。その結果、微小欠点の厚み方向における位置を正確に検出することができる。このような光透過性積層体の撓みが非常に小さい領域は、上記Ｃ－１項に記載の光透過性積層体の固定方法により実現され得る。なお、変動量および／または撓み角度が上記範囲を外れる場合には、正確な透過検査が実施できない場合があり、結果として、光透過性積層体において透過検査できない領域が発生する場合がある。このような場合には、後述するように光透過性積層体に検査済み領域を認識する手段を設けることにより、非検査領域が製品として出荷されてしまうという事態を防止することができる。
以上のようにして、透過検査（欠点の検出）が行われ得る。検査終了後、光透過性積層体は、上記のとおり、代表的には最終製品サイズに裁断されて出荷され得る。これも上記のとおり、検査終了後には必要に応じて、剥離した表面保護フィルムを光透過性積層体に再度剥離可能に仮着してもよい。
１つの実施形態においては、検査後の光透過性積層体（実質的には、光透過性積層体の第１主面側に残っている表面保護フィルムまたは反射性保護フィルム）には、検査済み領域を認識可能な認識手段が設けられている。例えば光透過性積層体の撓み角度が水平方向に対して非常に大きい場合、光透過性積層体において透過検査できない領域が発生し得る。あるいは、上記支持部材による光透過性積層体の固定状態によっては、検査領域が設定とずれてしまう場合がある。検査済み領域を認識する手段を設けることにより、上記のような場合であっても非検査領域が製品として出荷されてしまうという事態を防止することができる。認識手段は、例えば、撮像素子と連動して移動する例えばプロッターにより光透過性積層体にマークすることにより形成され得る。認識手段の具体的な様式としては、例えば、検査済み領域を包囲する直線または破線、クロスマーク、一定間隔のドットが挙げられる。
認識手段について、図７（ａ）～図７（ｃ）を参照して具体的に説明する。例えば図７（ａ）に示すように支持部材２０による光透過性積層体１０の固定がずれてしまった場合、撮像素子の走査はＸＹ方向（光透過性積層体１０が正しく固定された場合の長辺方向および短辺方向）に行われるので、図７（ｂ）に示すように検査済み領域７０ａは製品領域８０とずれてしまう。認識手段がマークされていなければ、図７（ｃ）に「×」で示す非検査領域が製品として出荷されてしまう可能性があるところ、認識手段７０ｂをマークすることにより、非検査領域を特定することができ、その結果、非検査領域が製品として出荷されてしまうという事態を防止することができる。
本発明の実施形態による光透過性積層体の検査方法は、画像表示装置の製造過程において光学フィルム、粘着剤シート等の異物の検出に好適に用いられ得る。
１０ 光透過性積層体
２０ 支持部材
３０ 撮像素子
４０ 光源
５０ 反射性保護フィルム
６０ 表面保護フィルム
２０ 支持部材
３０ 撮像素子
４０ 光源
５０ 反射性保護フィルム
６０ 表面保護フィルム
Claims (19)
- 枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行い、該光透過性積層体における８μｍ～５０μｍサイズの欠点を検出し、
前記欠点の検出が、
所定倍率の光学系の焦点を前記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせ、該光学系で該光透過性積層体を走査して欠点のＸＹ座標マップを作成すること；
該光学系の焦点を該光透過性積層体の第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離ずらして、該光学系で該光透過性積層体を走査して別の欠点のＸＹ座標マップを作成すること
；および
該作成した欠点のＸＹ座標マップを統合すること；
を含む、
光透過性積層体の検査方法。 - 前記欠点の検出が、前記光学系の焦点を前記光透過性積層体の厚み方向内方に前記所定距離さらにずらして該光学系で該光透過性積層体を走査することを所定回数繰り返し、所定数の欠点のＸＹ座標マップを作成することを含む、請求項１に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記欠点の検出が、前記統合した欠点のＸＹ座標マップの欠点発生座標のみにおいて、前記所定倍率よりも高倍率の光学系を用いて該欠点の厚み方向の位置を測定することを含む、請求項１または２に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記欠点の厚み方向の位置の測定が、前記高倍率の光学系の焦点を前記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせること、および、該焦点を該光透過性積層体の厚み方向内方に移動させて該第１主面の表面から該欠点までの距離を測定すること、を含む、請求項３に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記所定距離が１０μｍ～１００μｍである、請求項１から４のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記所定倍率が５倍以下である、請求項１から５のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記高倍率が１０倍以上である、請求項３または４に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体が、光学フィルム、粘着剤シート、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項１から７のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光学フィルムが、偏光板、位相差板、およびこれらを含む積層体から選択される、請求項８に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体の厚みが３００μｍ以下である、請求項１から９のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記所定倍率の光学系による走査距離１０００μｍあたりの前記光透過性積層体の第１主面の厚み方向の変動量が±１０μｍ以内となるような領域で、前記欠点の検出が行われる、請求項１から１０のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体の撓み角度が水平方向に対して±０．５７°以内となるような領域で、前記欠点の検出が行われる、請求項１から１１のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体を横架した状態で前記欠点の検出が行われる、請求項１から１２のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体における非製品領域である対向する端部を相対的に近接または離間可能な一対の支持部材に固定した状態で、前記欠点の検出が行われる、請求項１３に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記一対の支持部材が、スライド可能であり、かつ、互いに離間する方向に付勢されている、請求項１４に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体が粘着剤層を含み、該光透過性積層体が該粘着剤層を介して前記一対の支持部材に固定されている、請求項１４または１５に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体の前記粘着剤層を介した固定が、該光透過性積層体の一方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して一方の支持部材に貼り合わせること、次いで、他方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して他方の支持部材に貼り合わせること、を含む、請求項１６に記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記光透過性積層体が少なくとも一方の表面に剥離可能に仮着された表面保護フィルムを含み、該光透過性積層体を前記一対の支持部材に固定した後で、該表面保護フィルムを一時的に剥離することを含む、請求項１４から１７のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
- 前記欠点の検出の後、前記光透過性積層体の少なくとも一方の表面に、前記一時的に剥離した前記表面保護フィルムまたは該表面保護フィルムとは別の表面保護フィルムを剥離可能に仮着することを含む、請求項１８に記載の光透過性積層体の検査方法。
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Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001264259A (ja) | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Konica Corp | シート検査装置 |
| JP2002506526A (ja) | 1997-06-23 | 2002-02-26 | ネーデルランドセ・オルガニザテイエ・フール・テゲパスト−ナトウールベテンシヤツペリーク・オンデルツエク・テイエヌオー | 欠陥に関して品物を検査するための方法および装置 |
| JP2005134573A (ja) | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Seiko Epson Corp | 検査方法および検査装置 |
| WO2009025210A1 (ja) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Nitto Denko Corporation | 積層フィルムの欠陥検査方法およびその装置 |
| JP2012002676A (ja) | 2010-06-17 | 2012-01-05 | Toshiba Corp | マスク欠陥検査装置およびマスク欠陥検査方法 |
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Patent Citations (8)
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|---|---|---|---|---|
| JP2002506526A (ja) | 1997-06-23 | 2002-02-26 | ネーデルランドセ・オルガニザテイエ・フール・テゲパスト−ナトウールベテンシヤツペリーク・オンデルツエク・テイエヌオー | 欠陥に関して品物を検査するための方法および装置 |
| JP2001264259A (ja) | 2000-03-16 | 2001-09-26 | Konica Corp | シート検査装置 |
| JP2005134573A (ja) | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Seiko Epson Corp | 検査方法および検査装置 |
| WO2009025210A1 (ja) | 2007-08-23 | 2009-02-26 | Nitto Denko Corporation | 積層フィルムの欠陥検査方法およびその装置 |
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