CN112924458A - 检查方法、光学膜检查装置以及光学部件的制造方法 - Google Patents

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Abstract

提供用于高效且可靠地检查光学膜的技术。一个实施方式涉及的检查方法具备:在光学膜的检查区域照射检查光的照射工序;检测作为由检查区域反射的检查光的反射光的检测工序;和基于反射光的检测结果,判定光学膜的异常的有无的判定工序,检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。

Description

检查方法、光学膜检查装置以及光学部件的制造方法
技术领域
本发明涉及检查方法、光学膜检查装置以及光学部件的制造方法。
背景技术
为了例如将光学膜与其他构件粘合,有时作为光学膜而使用在基材上层叠有包含粘接剂或粘合剂的涂敷层的膜。这样的光学膜例如可以通过专利文献1所记载的涂敷技术形成。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2000-24565号公报
在光学膜具有基材和包含粘接剂或粘合剂的涂敷层的情况下,需要适当地管理涂敷层的涂敷区域。例如,在涂敷区域偏离要求的区域的情况下,在经由涂敷层将光学膜与其他构件粘合时,形成涂敷层的粘接剂或粘合剂会污染其他构件或者粘合装置(压辊等)。因此,检查光学膜,并确认涂敷层是否形成在要求的涂敷区域。在此,以涂敷层为例进行了说明,但例如如果在光学膜产生损伤、无用的凹凸等异常,则作为产品的使用光学膜或者光学膜的光学部件的功能会劣化。因此,正在要求适当地检查光学膜的异常的有无的技术。
以往,在光学膜的检查中,照射图案使用了固定的面状的检查光。然而,如果是这样的检查光,有不能够高效地检查光学膜的情况。
发明内容
发明要解决的课题
因此,本发明的一个目的在于,提供用于高效且可靠地检查光学膜的检查方法以及光学膜检查装置。本发明的其他目的在于,提供使用上述检查方法的光学部件的制造方法。
用于解决课题的手段
本发明的一个侧面的检查方法具备:在光学膜的检查区域照射检查光的照射工序;检测作为由上述检查区域反射的上述检查光的反射光的检测工序;基于上述反射光的检测结果判定上述光学膜的异常的有无的判定工序,上述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。
在上述检查方法中,在检查区域照射检查光,并检测该反射光。进一步地,基于反射光的检测结果,检测光学膜的异常的有无。上述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。因此,能够容易地获取从多方向对光学膜进行照明的多个检测结果。其结果是,能够高效且适当地检查光学膜。
也可以是,上述条纹图案周期性地在变化为多个图案,在上述判定工序中,基于对应于上述多个图案的检测结果,判定上述光学膜的异常的有无。在该情况下,因为条纹图案周期性地变化为多个图案,因而能够获取更多的光学的信息。其结果是,在光学膜具有异常的情况下,能够更可靠地检测该异常。
例如,也可以是,上述条纹图案在第1图案与第2图案之间周期性地变化,上述第2图案中的上述明部以及上述暗部的延伸方向与上述第1图案中的上述明部以及上述暗部的延伸方向正交。或者,上述明部以及上述暗部的至少一者的宽度也可以周期性地变化。
也可以是,上述光学膜具有在第1构件层上层叠有第2构件层的层叠构造,上述检查区域是从上述第1构件层以及上述第2构件层的层叠方向观察、从位于相同侧的上述第1构件层的第1端部遍及至上述第2构件层的第2端部的区域,在上述判定工序中,在基于上述反射光的检测结果计算得到的上述第1端部以及上述第2端部之间的距离不在给定范围内的情况下,判定为异常。在该情况下,例如,能够检测第1构件层与第2构件层的配置关系的异常或第2构件层的形成区域的异常。
在上述判定工序中,也可以在基于上述反射光的检测结果,在上述检查区域检测到缺陷的情况下判定为异常。
也可以是,上述光学膜是长条的光学膜,一边使用多个搬运辊在上述光学膜的长边方向上搬运上述光学膜,一边实施上述照射工序以及上述检测工序。在该情况下,能够更高效地实施检查。
在上述照射工序中,也可以对位于上述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的上述光学膜照射上述检查光。由于条纹图案具有明部和暗部,因而能够拍摄从多方向使照明点亮的多张图像。因此,由于可对所获得的图像进行即时解析,使凹凸图像、纹理图像生成,因而能够不依赖于表面状态、测定环境而实施稳定的检查。
本发明其他侧面涉及的光学部件的制造方法包括上述本发明涉及的检查方法。
本发明的又一侧面涉及的光学膜检查装置具备:光源部,在光学膜的检查区域照射具有明部和暗部交替地配置的条纹图案的检查光;检测部,检测作为由上述检查区域反射的上述检查光的反射光;和判定部,基于上述反射光的检测结果,判定上述光学膜的异常的有无。
在上述光学膜检查装置中,在光学膜的检查区域照射检查光,并检测其反射光。进一步地,基于反射光的检测结果,检测光学膜的异常的有无。上述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。因此,能够容易地获取从多方向对光学膜进行照明的多个检测结果。其结果是,能够高效地且适当地检查光学膜。
也可以是,一个实施方式涉及的光学膜检查装置还具备用于搬运上述光学膜的多个搬运辊,上述光学膜是长条的膜,通过上述多个搬运辊而在长边方向上搬运上述光学膜,上述光源部配置为对位于上述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的上述光学膜照射上述检查光。
由于条纹图案具有明部和暗部,因而能够拍摄从多方向使照明点亮的多张图像。因此,由于可对获得的图像进行即时解析,使凹凸图像、纹理图像生成,因而能够不依赖于表面状态、测定环境,实施稳定的检查。
发明效果
根据本发明的一个侧面,能够提供用于高效且可靠地检查光学膜的检查方法以及光学膜检查装置。根据本发明的其他侧面,能够提供使用上述检查方法的光学部件的制造方法。
附图说明
图1是用于说明一个实施方式涉及的检查方法的附图。
图2是示出作为条纹图案的一个例子的第1图案的附图。
图3是示出作为条纹图案的其他例子的第2图案的附图。
图4是一实施方式涉及的检查方法的流程图。
图5是示出第2实施方式中制造的相位差板(光学部件)的结构的附图。
图6是用于说明图5所示的相位差板的制造方法所包括的工序的附图。
图7是说明图6所示的工序之后的工序的附图。
图8是说明图7所示的工序之后的工序的附图。
图9是用于说明通过卷对卷(Roll-to-Roll)方式实施图5所示的相位差板的制造方法的情况的附图。
图10是用于说明涂敷区域的变更方法的一个例子的附图。
图11是示出膜端部(第1端部)以及涂敷端部(第2端部)的拍摄结果的附图。
图12是示出膜端部(第1端部)以及涂敷端部(第2端部)的其他拍摄结果的附图。
图13是用于说明变形例1的附图。
图14是用于说明变形例2的附图。
图15是用于说明变形例3的附图。
图16是用于说明变形例3的附图。
图17是用于说明检查方法的一个应用例的附图。
附图标记说明
2、2A:相位差板;
4:层叠体;
11:树脂膜(第1构件层);
11a:端部(第1端部);
20:涂敷层(第2构件层);
20a:端部(第2端部);
42:搬运辊;
100:光学膜;
102:第1构件层;
102a:端部(第1端部);
104:第2构件层;
105:检查装置(光学膜检查装置);
104a:端部;
108:光源部;
110:拍摄部;
112:条纹图案;
112a:明部;
112b:暗部;
112A:第1图案;
112B:第2图案;
114:图像处理装置(判定部);
200:光学膜;
A1、A2:检查区域;
D1、D1a、D1b、D1c、D1d、D2、D2a:距离;
L1:检查光;
L2:反射光。
具体实施方式
以下,一边参照附图一边说明本发明的实施方式。对相同的要素标注相同的附图标记,并且重复的说明省略。附图的尺寸比率不一定与说明的尺寸比率一致。
(第1实施方式)
图1是用于说明一个实施方式涉及的检查方法的附图。图1所示的光学膜100具有第1构件层102和第2构件层104。光学膜100具有第1构件层102和第2构件层104的层叠构造。第1构件层102以及第2构件层104例如可以是包含光学性透明的材料的构件。例如,第1构件层102是树脂膜层,第2构件层104是包含涂敷材料(例如粘接剂或粘合剂)的涂敷层。以下为了便于说明,如图1所示,将第1构件层102以及第2构件层104的层叠方向称为z方向,并将与z方向正交的方向称为x方向。
在第1实施方式中的检查方法中,检查第1构件层102的x方向上的两端部中的端部(第1端部)102a与第2构件层104的x方向上的两端部中的端部(第2端部)104a之间的距离D1的异常。所谓距离D1的异常,意味着距离D1为给定范围外的情况。端部104a是第2构件层104的两端部中从第1构件层102以及第2构件层104的层叠方向(z方向)观察与端部102a位于相同侧的端部。在第2构件层104为涂敷材料的情况下,第2构件层104的x方向的长度比第1构件层102的长度短。根据第2构件层104(例如,树脂膜等)的不同,第2构件层104的x方向的长度也可以比第1构件层102的长度长。
利用图1对检查方法中使用的光学膜检查装置(以下,称为“检查装置”)105进行说明。检查装置105具备反射光学系统106和图像处理装置114。
反射光学系统106是用于获取光学膜100中的检查区域A1的图像的光学系统。在图1所示的例子中,检查区域A1是光学膜100的x方向的端部附近的区域。具体地,是从端部102a遍及至端部104a的区域。反射光学系统106具有光源部108和拍摄部(检测部)110。
光源部108朝向光学膜100的检查区域A1输出检查光L1。关于检查光L1的波长的例子,根据第1构件层102以及第2构件层104的材料,只要是能够获取检查区域A1的图像的波长即可。检查光L1的波长的例子是在450±30nm中具有峰波长的白色LED光源。检查光L1例如构成为面状地对检查区域A1进行照明。
拍摄部110是检测作为由检查区域A1反射的检查光L1的反射光L2的光检测器。拍摄部110例如是CCD拍摄机、CMOS拍摄机等2维传感器。拍摄部110向图像处理装置114输入图像数据。输入方法的例子包括使用有线通信的方法以及使用无线通信的方法。
图像处理装置114基于从拍摄部110输入的图像数据,制作检查区域A1的图像。图像处理装置114也可以具有向用户显示制作的图像的显示功能。图像处理装置114具有对制作的图像进行解析,从而检测端部102a以及端部104a的功能。进一步地,图像处理装置114具有计算距离D1的功能和判定距离D1是否为给定范围的功能。因此,图像处理装置114具有作为检查装置105中的判定部的功能。图像处理装置114也可以具有控制拍摄部110的拍摄定时的功能以及控制光源部108的检查光L1的输出的功能的至少一者。图像处理装置114例如也可以是用于实施第1实施方式涉及的检查方法的专用装置。或者,也可以在个人计算机中,实施用于实施包括上述图像处理的检查方法的程序,并使上述个人计算机作为图像处理装置114发挥作用。
利用图2和图3来进一步对光源部108进行说明。如图2以及图3所示,光源部108输出具有明部112a以及暗部112b交替地配置的条纹图案112的检查光L1。图2中的X方向示出在图2中明部112a以及暗部112b的延伸方向,Y方向是与X方向正交的方向。图3中的X方向以及Y方向是与图2中的X方向以及Y方向相同的方向。
条纹图案112的形状(图案形状)也可以周期性地变化为多个图案。例如,在图2以及图3中,既可以使明部112a(或暗部112b)沿着图2以及图3的箭头方向移动、也可以使明部112a(或暗部112b)的宽度周期性地变化。条纹图案112的形状例如可以由图像处理装置114(参照图1)控制。在该情况下,图像处理装置114也可以对它们进行控制,使得光源部108和拍摄部110同步。
进一步地,在将图2所示的条纹图案112称为第1图案112A,将图3所示的条纹图案112称为第2图案112B时,光源部108也可以构成为在第1图案112A与第2图案112B之间周期性地变动。第2图案112B是第2图案112B中的明部112a以及暗部112b的延伸方向与第1图案112A中的明部112a以及暗部112b的延伸方向正交的图案。即使在第1图案112A与第2图案112B之间周期性地变动的情况下,也分别在第1图案112A和第2图案112B中,既可以是明部112a(或暗部112b)在图2以及图3的箭头方向上移动,也可以是明部112a(或暗部112b)的宽度变动。
光源部108例如可以具备多个点光源(例如LED)2维地排列的光源和控制各LED的点亮状态的控制装置。在该情况下,通过利用控制装置控制多个LED的点亮状态,能够形成明部112a以及暗部112b。进一步地,能够使由明部112a以及暗部112b形成的条纹图案112变动为多个图案。
使用图4来说明检查方法的一个例子。图4是检查方法的一个例子的流程图。
在实施检查的情况下,首先,朝向光学膜100的检查区域A1照射检查光L1(照射工序S01)。由拍摄部110来检测作为照射在检查区域A1并从检查区域A1反射的检查光L1的反射光L2(检测工序S01b)。图像处理装置114基于由此获得的检查区域A1的图像(检测结果),判定光学膜100的异常的有无(判定工序S03)。在检查光L1在第1图案112A与第2图案112B之间周期性地变动的情况下,图像处理装置114使用针对第1图案112A以及第2图案112B各自的情况下的反射光L2而获得的图像数据来制作一个图像。为了获得上述一个图像,例如,图像处理装置114也可以控制条纹图案112的形状变化的定时以及拍摄部110的拍摄定时。
在判定工序S03中,图像处理装置114基于由拍摄部110获得的图像来确定端部102a以及端部104a,并计算它们之间的距离D1。图像处理装置114对预先输入的给定范围和距离D1进行对比,以判定距离D1是否为给定范围,在距离D1为给定范围外的情况下,判定为在光学膜100有异常。关于上述端部102a以及端部104a的确定,例如,既可以由图像处理装置114基于图像中的边缘检测技术等自动地进行,也可以向图像用户提示,从而基于来自用户的指示来实施。
在判定为在光学膜100无异常的情况下,也可以进一步利用光学膜100来制造其他光学部件,在光学膜100自身是作为产品的光学部件的情况下,可以作为良品来进行保管、销售等。
在判定工序S03中,在判定为在光学膜100有异常的情况下,即,距离D1被判定为给定范围外的情况下,例如,只要调整第1构件层102和第2构件层104的层叠状态(或者配置状态)即可。
通过实施上述检查方法,能够适当地将光学膜100中的端部102a以及端部104a间的距离D1管理为给定范围。
例如,第2构件层104为涂敷有涂敷材料的涂敷层,在形成涂敷层的涂敷材料为粘接剂或粘合剂的方式中,有利用一对压辊隔着第2构件层104在第1构件层102粘合其他构件的情况。在该情况下,通常,距离D1的给定范围设定为防止因涂敷材料向一对压辊的挤出引起的各压辊的污染。因此,通过将距离D1管理为上述给定范围,能够可靠地防止各压辊的污染。其结果是,能够高效地制造隔着第2构件层104在第1构件层102粘合其他构件而获得的产品。
说明对检查区域A1进行检查的情况。然而,如图1所示,除检查区域A1的检查之外,可以还针对包括第1构件层102的端部102b(与端部102a相反侧的端部)以及第2构件层104的端部104b(与端部104a相反侧的端部)的检查区域A2也同样地进行检查。
在对检查区域A1以及检查区域A2一并进行检查的情况下,检查装置105还具有配置在检查区域A2侧的反射光学系统106。图像处理装置114对于2个反射光学系统106也可以是共同的装置。
在对检查区域A1以及检查区域A2这两者进行检查时,也可以同时地实施它们。进一步地,在判定工序S03中,在判定为在检查区域A1以及检查区域A2的任一者有异常的情况下,可以判定为在光学膜100有异常。
在图1中,从z方向观察,光源部108和拍摄部110沿着x方向而配置。然而,光源部108和拍摄部110的配置状态不限定于图1的方式。光源部108和拍摄部110例如也可以沿着与x方向以及z方向正交的方向而配置。
(第2实施方式)
对利用第1实施方式中说明的检查方法的光学部件的制造方法进行说明。图5是通过第2实施方式涉及的制造方法制造的相位差板(光学部件)2的示意图。在第2实施方式中,也有为了便于说明而与第1实施方式的情况同样地,使用图5所示的x方向以及z方向的情况。
相位差板2具有树脂膜11、取向膜12、第1相位差层13、粘接层22和第2相位差层33。相位差板2是通过第1相位差层13和第2相位差层33来向入射到相位差板2的光赋予一定的相位差的光学部件(或者光学元件)。相位差板2例如可以在液晶图像显示装置、有机EL图像显示装置等图像显示装置中,用作光学补偿用的圆偏振板的一部分。对第1相位差层13以及第2相位差层33为聚合性液晶化合物的固化物的方式进行说明。
树脂膜11是支撑取向膜12、第1相位差层13、粘接层22以及第2相位差层33的支撑体。树脂膜11的材料的例子包含三乙酰纤维素(TAC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚环烯烃(COP)。树脂膜11的厚度的例子为20μm~120μm。树脂膜11的x方向的长度的例子为500mm~2000mm。
取向膜12层叠在树脂膜11上。在图5所示的方式中,x方向上的取向膜12的长度比树脂膜11的长度短。
取向膜12的厚度通常为0.01μm~10μm的范围,优选为0.05μm~5μm的范围,更优选为0.1μm~3μm的范围。
取向膜12的例子是使垂直取向膜、水平取向膜或聚合性液晶化合物的分子轴倾斜取向的取向膜,可以根据第1相位差层13来选择。取向膜12的材料只要是作为用于相位差板的公知的材料而使用的树脂则没有限定。例如,作为取向膜12,能够使用在聚合引发剂下使以往公知的单官能或多官能的(甲基)丙烯酸酯系单体固化的固化物等。
第1相位差层13是向入射到第1相位差层13的光赋予给定相位差的层。如前述的那样,第1相位差层13是聚合性液晶化合物的固化物。在图5所示的方式中,第1相位差层13的x方向的长度比树脂膜11的长度短且比取向膜12的长度长。因此,x方向上的取向膜12的两端部被第1相位差层13覆盖。第1相位差层13的厚度的例子通常为0.2μm~3μm,优选为0.2μm~2μm。
粘接层22设置在第1相位差层13上,是将第1相位差层13和第2相位差层33接合的层。粘接层22的材料为粘接剂或粘合剂。粘接剂或粘合剂可以是在本公开所涉及的技术领域中公知的材料。粘接剂的例子包括紫外线(UV)固化树脂等活性能量线固化型粘接剂、聚乙烯醇系树脂水溶液等水系粘接剂。粘合剂的例子包含以(甲基)丙烯酸系树脂、橡胶系树脂、氨基甲酸酯系树脂、酯系树脂、硅酮系树脂、聚乙烯醚系树脂等为主成分的粘合剂组合物。以下,对形成粘接层22的粘接剂为UV固化树脂等活性能量线固化型粘接剂的情况进行说明。
x方向上的粘接层22的长度比第1相位差层13的长度短。粘接层22的厚度的例子为0.1μm~10μm,优选为0.5μm~5μm,进一步优选为1μm~3μm。
第2相位差层33,是向入射到第2相位差层33的光赋予给定相位差的层。如前述的那样,第2相位差层33是聚合性液晶化合物的固化物。在图5所示的相位差板2中,第2相位差层33的x方向的长度与粘接层22的长度相同。第2相位差层33的厚度的例子通常为0.2μm~3μm,优选为0.2μm~2μm。
利用图6~图8,对相位差板2的制造方法的概略进行说明。在制造相位差板2的情况下,准备图6所示的第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30。第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30在与x方向以及z方向正交的方向上延伸。图6~图8是与第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的长边方向正交的剖面的示意图。
第1光学层叠体10是层叠树脂膜11、取向膜12以及第1相位差层13得到的层叠构件。树脂膜11、取向膜12以及第1相位差层13在第1光学层叠体10的长边方向上延伸。因此,第1光学层叠体10是长条的层叠构件。
第1光学层叠体10可以通过在树脂膜11上依次形成取向膜12以及第1相位差层13来制造。取向膜12例如可以通过在树脂膜11上涂敷取向膜12用的材料,并使该涂敷膜固化而形成。第1相位差层13例如可以通过在形成取向膜12的树脂膜11上涂敷第1相位差层13用的材料,并使该涂敷膜固化而形成。取向膜12以及第1相位差层13在树脂膜11上的x方向的长度的关系,如利用图5说明的所示。
第2光学层叠体30是层叠树脂膜31、取向膜32以及第2相位差层33得到的层叠构件。第2光学层叠体30与第1光学层叠体10同样是长条的层叠构件。树脂膜31的例子与树脂膜11的例子同样。树脂膜31的材料既可以与树脂膜11的材料相同,也可以与其不同。取向膜32是与第2相位差层33相应的取向膜。树脂膜31、取向膜32以及第2相位差层33的x方向的长度的关系与第1光学层叠体10具有的树脂膜11、取向膜12以及第1相位差层13的x方向的长度的关系相同。因此,第2光学层叠体30具有的第2相位差层33的x方向的长度比图5所示的相位差板2具有的第2相位差层33的长度长。
准备第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30之后,通过在第1相位差层13上涂敷粘接剂而形成涂敷层20(涂敷工序)。
接下来,隔着涂敷层20将第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30叠置并进行预粘合,使得涂敷层20和第2相位差层33相接(预粘合工序)。由此,获得图7所示的层叠体4。
之后,在涂敷层20照射活性能量线,以使形成涂敷层20的粘接剂固化。由此,经由作为涂敷层20的固化物的粘接层22,对第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30进行正式粘合(正式粘合工序)。
将第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30粘合之后,如图8所示,从第1光学层叠体10剥离树脂膜31,从而获得相位差板2(剥离工序)。
粘接层22相对于第2相位差层33的接合力,设定为比取向膜32相对于第2相位差层33的接合力强。进一步地,粘接层22的x方向的长度比第2相位差层33的x方向的长度短,并且第2相位差层33也与树脂膜31接合。因此,在剥离树脂膜31时,如图8所示,在第2相位差层33中在x方向上比粘接层22靠外侧的部分和取向膜32也与树脂膜31一起被从第1光学层叠体10剥离。
以下,为了便于说明,将在从第1光学层叠体10剥离树脂膜31时、与相位差板2另外产生的构件称为剥离构件6。
在第2实施方式中,如图6所示,以具有在上述涂敷工序中形成的第1光学层叠体10和涂敷层20的层叠构造的光学膜为光学膜100,以树脂膜11为第1构件层102,并以涂敷层20为第2构件层104,来实施使用第1实施方式中说明的检查方法的检查。利用图4以及图6对应用于上述制造方法的检查方法进行说明。
如图6所示,树脂膜11相当于第1构件层102,涂敷层20相当于第2构件层104。因此,树脂膜11的端部11a以及端部11b分别相当于端部102a以及端部102b,涂敷层20的端部20a以及端部20b相当于端部104a以及端部104b。进一步地,端部11a以及端部11b间的距离D1a相当于距离D1,端部20a以及端部20b间的距离D2a相当于距离D2。
在上述的涂敷工序之后,利用检查装置105(参照图1)来实施图4所示的照射工序S01以及检测工序S02。具体地,以包括端部11a以及端部11b的区域为检查区域A1,从而获取检查区域A1的图像。在第2实施方式中,包括树脂膜11的端部11b和涂敷层20的端部20b的区域也作为检查区域A2,还获取检查区域A2的图像。
接下来,实施图4所示的判定工序S03,判定在检查区域A1以及检查区域A2是否有异常、即距离D1a以及距离D2a是否为针对其而设定的给定范围。分别对应于距离D1a以及距离D2a的给定范围既可以相同,也可以不同。
在判定工序S03中判定为在检查区域A1以及检查区域A2均无异常的情况下,以与形成实施了检查的涂敷层20的情况相同的粘接剂的涂敷条件(具体来说同一涂敷区域),继续相位差板2的制造。
另一方面,在判定工序S03中判定为在检查区域A1以及检查区域A2的任一者有异常的情况下,在第2实施方式涉及的制造方法中,实施变更粘接剂的涂敷区域(层叠条件)的变更工序。
在实施了变更工序的情况下,直到在判定工序S03中判定为在检查区域A1以及检查区域A2这两者均无异常为止,重复进行涂敷工序、图4所示的照射工序S01、检测工序S02以及判定工序S03和变更工序。
利用图9,进一步对应用了第1实施方式中说明的检查方法的相位差板2的制造方法的一个例子进行详述。以下,如图9所示,对使用卷对卷方式制造相位差板2的情况进行说明。
将辊状的第1光学层叠体10以及辊状的第2光学层叠体30设置于卷出部40a以及卷出部40b。通过搬运辊42朝向一对压辊44,在第1光学层叠体10的长边方向上搬运第1光学层叠体10。同样地,通过搬运辊42朝向一对压辊44而在第2光学层叠体30的长边方向上搬运第2光学层叠体30。由于一对压辊44也有助于第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的搬运,因而一对压辊44也是搬运辊。
通过配置在从卷出部40a到一对压辊44的第1光学层叠体10的搬运路径上的涂敷装置50,在第1光学层叠体10具有的第1相位差层13上涂敷粘接剂,从而形成涂敷层20(涂敷工序)。
涂敷装置50具有粘接剂供给部52和涂敷辊54。粘接剂供给部52是向涂敷辊54的表面的粘接剂的供给源。涂敷辊54是向正在搬运的第1光学层叠体10的第1相位差层13涂敷粘接剂的辊。涂敷辊的一个例子为凹版式辊。
在通过涂敷装置50涂敷粘接剂时,利用涂敷区域调整器60来调整第1光学层叠体10(具体地,第1相位差层13)与涂敷辊54的接触区域。图10是示出涂敷区域调整器60的一个例子的附图。在图10中,示意性地作为一片膜而示出第1光学层叠体10。在图10中,第1光学层叠体10的长边方向是第1光学层叠体10的搬运方向。
涂敷区域调整器60沿着第1光学层叠体10的搬运方向而具有分离的一对爪部62、和支撑一对爪部62的支撑部64。涂敷区域调整器60配置为一对爪部62与第1光学层叠体10中的粘接剂的涂敷侧相接。通过在第1光学层叠体10的宽度方向(与长边方向正交的方向)上移动涂敷区域调整器60,从而可避免第1光学层叠体10中的一对爪部62间的区域与涂敷辊54的接触。因此,通过调整第1光学层叠体10的宽度方向上的涂敷区域调整器60的位置,可调整粘接剂的涂敷区域。在图9以及图10中,对在第1光学层叠体10的宽度方向上的一个缘部侧配置有涂敷区域调整器60的情况进行例示。然而,在利用图9说明的相位差板2的制造方法中,涂敷区域调整器60还配置在第1光学层叠体10的宽度方向上的另一缘部侧。在图9中,示意性地示出了涂敷区域调整器60的一对爪部62。
返回图9,对涂敷工序之后的工序进行说明。如图9所示,在一对压辊44间搬运涂敷有粘接剂的第1光学层叠体10。在图9中,为了说明,对在从涂敷装置50到压辊44之间的区域中,形成在第1光学层叠体10上的涂敷层20进行了图示。
第2光学层叠体30与第1光学层叠体10一起被一对压辊44搬运。此时,调整第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的搬运路径,使得第2光学层叠体30的第2相位差层33与涂敷层20对置,并且第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的宽度方向上的中心一致。
送入到一对压辊44的第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30被一对压辊44在厚度方向上按压,并隔着涂敷层20而预粘合(预粘合工序)。
从一对压辊44送出的第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的层叠体4在第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的长边方向上被搬运。
在第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的搬运方向上,在一对压辊44的下游(一对压辊44的后段),配置有活性能量线照射部56。活性能量线照射部56向上述层叠体4照射活性能量线,以将涂敷层20固化。由此,可形成作为粘接剂的固化物的粘接层22,并且可对第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30进行正式粘合(或者接合)(正式粘合工序)。
在上述层叠体4的搬运方向上,通过配置在活性能量线照射部56的下游(活性能量线照射部56的后段)的剥离辊46,从上述层叠体4剥离第2光学层叠体30具有的树脂膜31(剥离工序)。由此,可从层叠体4分离相位差板2和剥离构件6,从而获得相位差板2。由于剥离辊46也有助于层叠体4、相位差板2以及剥离构件6的搬运,因而剥离辊46也是搬运辊。
获得的相位差板2例如只要通过卷绕部卷绕为辊状即可。剥离构件6既可以直接废弃,也可以在一端通过卷绕部卷绕为辊状之后废弃。
在图9所例示的制造方法中,在第1光学层叠体10的搬运路径中,在从涂敷装置50到一对压辊44之间,实施形成有涂敷层20的第1光学层叠体10的检查。
为了检查实施,在从涂敷装置50到一对压辊44之间,配置有图1所示的检查装置105具有的反射光学系统106。通过该反射光学系统106,针对形成有涂敷层20的第1光学层叠体10中的检查区域A1以及检查区域A2,实施照射工序S01以及检测工序S02。在第2实施方式中实施的照射工序S01以及检查工序S02中,一边搬运作为检查对象的包括第1光学层叠体10以及涂敷层20的层叠构件(光学膜),一边实施各工序。由此,用于搬运第1光学层叠体10的搬运辊42(包也括压辊44)也可以是图1所示的检查装置105的一部分。
在照射工序S01中,如图9的箭头α1示意性地示出的那样,也可以在第1光学层叠体10中邻接的搬运辊42、42间的检查区域A1以及检查区域A2照射检查光L1。或者,如箭头α2示意性地示出的那样,也可以在第1光学层叠体10中的位于搬运辊42上的检查区域A1以及检查区域A2照射检查光L1。如箭头α1那样在搬运辊间的测定中,也可以从与涂敷层20相反侧进行测定。在此,对箭头α1的位置处的测定的情况进行了说明,但在搬运辊间的测定中,是同样的。
从反射光学系统106的光源部108输出的检查光L1,如图2以及图3所示,为条纹图案112。图2以及图3所示的X方向或Y方向,可以例如设定为第1光学层叠体10的搬运方向。
在检查光L1周期性地变化为多个图案的情况下(例如,在第1图案112A以及第2图案112B之间周期性地变动的情况下),条纹图案112的变化的周期以及拍摄部的拍摄速度可以考虑第1光学层叠体10的搬运速度而设定。具体地,在条纹图案112在多个图案间变化一定的次数的期间,可以将条纹图案112的变化的周期以及拍摄部的拍摄速度设定为能够获取搬运中的第1光学层叠体10中的实质相同的区域的图像的程度。
在检查中,基于检查区域A1以及检查区域A2的所获取的图像,实施判定工序S03。在基于所获取的图像所计算的距离D1a以及距离D2a这两者在判定工序S03中被判定为对应的给定范围内的情况下(判定为无异常的情况下),继续相位差板2的制造。
另一方面,在距离D1a以及距离D2a的至少一者在判定工序S03中被判定为对应的给定范围外的情况下(判定为异常的情况下),实施使用涂敷区域调整器60来调整粘接剂的涂敷区域的变更工序。具体地,通过调整第1光学层叠体10的宽度方向上的涂敷区域调整器60的位置来变更粘接剂的涂敷区域。
在实施了变更工序的情况下,在相位差板2的制造方法中,直到在判定工序S03中,距离D1a以及距离D2a被判定为给定范围内为止,重复进行涂敷工序、图4所示的各工序以及变更工序。
如图9所示,在通过一对压辊44来按压第1光学层叠体10和第2光学层叠体30的情况下,针对距离D1a以及距离D2a的各给定范围设定为形成涂敷层20的粘接剂不与压辊44以及压辊44接触,并且设定为在将剥离构件6从第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的层叠体4剥离(参照图8以及图9)时,可作为相位差板2而获得要求的结构。
因此,例如,在距离D1a以及距离D2a分别是针对其而设定的给定范围外的情况下,例如有粘接剂附着于压辊44,从而污染2个压辊44的担忧。或者,有在将剥离构件6从上述层叠体4剥离时,要剥离的部位残存于要成为产品的相位差板2侧的担忧。
相对于此,在上述相位差板2的制造方法中,实施第1实施方式中说明的检查方法。在检查方法中,使用图1所示的反射光学系统106,并使用光学地获取的图像,计算距离D1a以及距离D2a。因此,能够一边搬运第1光学层叠体10,一边高效且正确地计算距离D1a以及距离D2a。由此,能够适当地判定距离D1a以及距离D2a是否分别是对应的给定范围(即,异常的有无)。
在判定工序S03中判定为异常的情况下,实施变更粘接剂的涂敷区域的变更工序。进一步地,直到在判定工序S03中判定为无异常为止,进行变更工序。因此,能够分别将距离D1a以及距离D2a设定为给定范围内。其结果是,能够防止如上述那样的在压辊44附着有粘接剂这样的不良。在该情况下,例如能够避免伴随着附着有粘接剂的压辊44的维护,因而相位差板2的制造效率提高。因为能够将距离D1a以及距离D2a设定为给定范围内,因而能够防止要剥离的部位残存于要成为产品的相位差板2侧这样的不良。因此,可避免作为不良品的相位差板2的制造,作为结果,相位差板2的制造良率提高。
在实施检查方法的情况下,光源部108输出的检查光L1是第1实施方式中说明的具有条纹图案112的检查光L1。如果是具有条纹图案112的检查光L1,例如,与通过使用线状的检查光的情况相比,能够降低对于端部11a(或端部20a)的延伸方向的检查光L1的照射区域的角度依赖性,从而更可靠地检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b的位置。进一步地,因为检查光L1具有条纹图案112,所以能够高效地获取从多方向对一个检查区域进行照明的多张图像。因此,能够更可靠地检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b。因为能够像这样适当地检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b,所以能够正确地计算距离D1a以及距离D2a。因此,能够高效且可靠地检查异常的有无。
在使条纹图案112周期性地变化为多个图案的情况下,能够通过一个反射光学系统106来获取多个拍摄信息。因此,即使对如用作相位差板2的树脂膜11以及涂敷层20那样光学性透明的光学膜进行拍摄,也可更可靠且容易地检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b的位置。
图11是示出对实际上涂敷在第1光学层叠体10具有的树脂膜11上的涂敷层20进行拍摄得到的图像的附图。图11是如图9的箭头α1所示,对第1光学层叠体10中不位于搬运辊42上的区域(搬运辊42间或搬运辊42与一对压辊44之间的区域)进行拍摄的情况下的图像。在拍摄中,使用了具有在第1图案112A以及第2图案112B之间周期性地变动的条纹图案112的检查光L1。图11中的“膜端部”相当于端部11a,“涂敷端部”相当于端部20a。如图11所示,可以理解的是,通过使用条纹图案112的检查光L1,均检测出了端部11a(膜端部)以及端部20a(涂敷端部)。
在条纹图案112中,明部112a和暗部112b交替地配置。因此,能够获得从多方向使照明点亮的多张图像。在该情况下,可对所获得的图像进行即时解析,并使凹凸图像、纹理图像生成,因而能够不依赖于表面状态、测定环境而实施稳定的检查。
在第1光学层叠体10被配置在搬运辊42上的情况下,产生由搬运辊42的表面引起的例如正反射。例如,因为通过使用条纹图案112,能够拍摄从多方向使照明点亮的多张图像,所以即使在搬运辊42的表面例如是镜面的情况下,也可降低由搬运辊42的表面引起的正反射的影响。因此,容易检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b。换言之,即使在容易受到正反射的影响的环境下,也易于检测端部11a以及端部20a和端部11b以及端部20b。图12是示出如在图9中用箭头α2例示的那样,对在第1光学层叠体10中位于搬运辊42上的区域中、涂敷在第1光学层叠体10具有的树脂膜11上的涂敷层20进行拍摄得到的图像的附图。在图12中“膜端部”以及“涂敷端部”的意思与图11的情况相同。如可根据图12理解的那样,可以理解的是,即使在第1光学层叠体10中的搬运辊42上的区域,也检测出了端部11a(膜端部)以及端部20a(涂敷端部)。
在图9所例示的方式中,形成层叠体4之后,接着,将剥离构件6从层叠体4剥离。然而,也可以暂时将层叠体4卷绕以形成辊体。在该情况下,一边重新从层叠体4的辊体将层叠体4卷出,一边将剥离构件6从层叠体4剥离。能够一边在相位差面(相位差板2的与树脂膜11相反侧的面)不与搬运辊等接触的情况下搬运将剥离构件6从层叠体4剥离而获得的相位差板2,一边实施例如将偏振板粘合于相位差板2等的处理。在该情况下,例如,能够防止相位差面的损伤。
第1光学层叠体10也可以是使第1相位差层13直接层叠在树脂膜11上而得到的光学层叠体。第2光学层叠体30也可以是使第2相位差层33直接层叠在树脂膜31上得到。
(变形例1)
检查也可以如用图9所示的箭头β例示的那样,针对在一对压辊44与剥离辊46之间搬运的层叠体4而实施。在该情况下,第1光学层叠体10、粘接层22以及第2光学层叠体30的层叠体4相当于光学膜100。由此,如图13所示,在层叠体4中,以第1光学层叠体10的树脂膜11以及第2光学层叠体30的树脂膜31为第1实施方式中说明的第1构件层102以及第2构件层104,来实施使用第1实施方式中说明的检查方法的检查。在变形例1中,树脂膜11的端部11a相当于端部102a,树脂膜31的端部31a相当于端部104a。进一步地,端部11a以及端部31a间的x方向的距离D1b相当于距离D1。在图13中,为了明示距离D1b,图示了第2光学层叠体30的中心相对于第1光学层叠体10的中心(x方向的中心)而偏离的状态。
在变形例1中,针对在一对压辊44与剥离辊46之间搬运的层叠体4而配置反射光学系统106,从而获取包括端部11a以及端部31a的检查区域A1的图像。
通常,为了层叠第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30,以使得在x方向上互相的中心一致,端部11a以及端部31a的位置在x方向上为相同的位置。因此,例如,针对距离D1b的给定范围为相对于距离为0的情况而包括固定的制造误差的范围。
在距离D1b为给定范围外的情况下,相对于第1光学层叠体10,第2光学层叠体30未被粘合在要求的位置。因此,粘接层22与第2光学层叠体30的配置关系也偏离要求的位置。其结果是,将剥离构件6从层叠体4剥离时,有产生要剥离的部位残存于要成为产品的相位差板2侧这样的不良的担忧。
因此,在变形例1的检查方法中的判定工序S03中,在距离D1b为给定范围外的情况下,判定为在层叠体4有异常,在距离D1b为给定范围内的情况下,判定为无异常。
在判定为无异常的情况下,继续相位差板2的制造。另一方面,在判定为有异常的情况下,例如,在变更工序S04中,变更制造条件,使得距离D1b变为给定范围。例如,实施变更第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的搬运路径(条件)的变更工序。重复进行该变更工序,直到在判定工序S03中距离D1b变为给定范围内为止(直到判定为无异常为止)。例如,重复进行直到实施判定工序S03为止的相位差板2的制造工序和变更工序。
如变形例1那样,通过使用第1实施方式中说明的检查方法来检查一对压辊44与剥离辊46之间的层叠体4,能够防止上述的不良。其结果是,容易制造良品的相位差板2,并且相位差板2的制造良率提高。
(变形例2)
也可以如用图9所示的箭头γ1例示的那样,针对从剥离辊46送出的相位差板2实施使用第1实施方式中说明的检查方法的检查。或者,也可以如用箭头γ2例示的那样,针对从剥离辊46送出的剥离构件6实施上述检查。
对如用箭头γ1示出的那样,将相位差板2视为光学膜100来实施检查的情况进行说明。在该情况下,如图14所示,以树脂膜11为第1构件层102,并以粘接层22上的第2相位差层33为第2构件层104,来实施检查。在针对相位差板2实施检查的情况下,树脂膜11的端部11a相当于端部102a,第2相位差层33的端部33a相当于端部104a。进一步地,端部11a以及端部33a间的x方向的距离D1c相当于距离D1。
在箭头γ1的位置处实施检查的情况下,针对剥离辊46的后段中的相位差板2配置反射光学系统106,从而获取包括端部11a以及端部33a的检查区域A1的图像。在判定工序S03中,判定基于图像计算的距离D1c是否为给定范围。
只要适当地用剥离辊46对剥离构件6进行剥离,则端部11a与端部33a在相位差板2的长边方向上的距离D1c就是固定的。另一方面,在不能够适当地实施由剥离辊46进行的剥离的情况下,第2光学层叠体30具有的第2相位差层33中被剥离的部分残存于相位差板2侧。因此,例如,相位差板2中的端部11a与端部33a之间的距离D1c变化。
认为在距离D1c变为给定范围(在当初设定的距离上考虑制造误差的范围)外的情况下,例如第2相位差层33中要剥离的部分残存于相位差板2侧。即,在距离D1c为给定范围外的情况下,在相位差板2有异常。
因此,通过在检查方法的判定工序S03中,判定距离D1c是否为给定范围内,能够检测相位差板2的异常的有无。在假设检测到异常的情况下,在变更工序S04中,变更制造条件,以使得距离D1c变为给定范围。例如,只要适当实施对第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30的层叠状态进行调整、或者对粘接层22的剥离力等进行调整等的变更工序即可。
在如用箭头γ2所示的那样,将剥离辊46的后段中的剥离构件6视为光学膜100而实施检查的情况下,如图14所示,以剥离构件6具有的树脂膜31为第1构件层102,以剥离构件6具有的第2相位差层33为第2构件层104,来实施检查。在该情况下,树脂膜31的端部31a相当于端部102a,剥离构件6具有的第2相位差层33的端部33a相当于端部104a。进一步地,端部31a以及端部33a间的x方向的距离D1d相当于距离D1。
针对剥离构件6实施检查的方法,除以剥离构件6所包括的端部31a以及端部33a为检查区域A1这一点以外,与针对相位差板2实施检查的情况同样。在判定为在剥离构件6有异常的情况下,例如,第2相位差层33中要残存于剥离构件6侧的部分包括于相位差板2。其结果是,在剥离构件6有异常的情况相当于在相位差板2有异常。由此,能够通过检查剥离构件6的异常来检查相位差板2的异常。
(变形例3)
取代第1光学层叠体10以及第2光学层叠体30,也可以使用图15所示的第1光学层叠体10A以及第2光学层叠体30A。第1光学层叠体10A与第1光学层叠体10的结构的不同点在于,第1相位差层13没有覆盖x方向上的取向膜12的两端部。同样地,第2光学层叠体30A与第2光学层叠体30的结构的不同点在于,第2相位差层33没有覆盖x方向上的取向膜32的两端部。通常,第1相位差层13的x方向的长度比取向膜12的长度短,第2相位差层33的x方向的长度比取向膜32的长度短。在该情况下,在图9所示的剥离辊46中,如图16所示,第2光学层叠体30A具有的树脂膜31被选择性地剥离。其结果是,可以制造将取向膜12、第1相位差层13、粘接层22、第2相位差层33以及取向膜32依次层叠在树脂膜11上而得到的相位差板2A。应用了检查方法的相位差板2A的制造方法与利用图6~图9说明的情况相同。因此,在变形例3的情况下,也具有与制造相位差板2的情况下同样的作用效果。
在相位差板2的制造中,只要在图9的箭头α1(或α2)的位置、箭头β的位置以及箭头γ1(或γ2)的至少一个位置处实施检查即可。在多个部位实施检查的情况下,反射光学系统106被配置在检查部位。图像处理装置114也可以对于多个反射光学系统106是共同的。也可以针对各反射光学系统106而设置图像处理装置114。
以上,说明了本发明涉及的实施方式以及变形例。然而,本发明不限定于例示的实施方式以及变形例,而包括由专利权利要求书示出的范围,并且旨在包括与专利权利要求书均等的意思以及在范围内的所有变更。
在光学部件为相位差板的情况下,对应用了检查方法的相位差板的制造方法进行了说明。然而,应用本发明涉及的制造方法的光学部件不限定于相位差板。作为光学部件的其他例子,例如可举出层叠偏振膜(偏振元件层)和保护膜得到的偏振板、通过粘接层将相位差板和偏振板接合得到的圆偏振板(包括椭圆偏振板)等。上述偏振元件层的例子为PVA层。
在光学部件为上述圆偏振板的情况下,例如也可以以要成为相位差板或偏振板具有的第1构件层(例如,相当于图5所示的树脂膜11的构件)与相位差板和偏振板之间的粘接层的涂敷层为第2构件层,来应用上述检查方法。或者,如上述变形例1中说明的那样,也可以在相位差板以及偏振板的位置对齐的检查中应用上述检查方法。
本发明涉及的检查方法能够应用于具有树脂膜(第1构件层)和涂敷层(第2构件层)的层叠体。本发明涉及的检查方法例如能够应用于具有偏振膜或包括偏振膜的偏振板(第1构件层)和涂敷层(第2构件层)的层叠体。本发明涉及的检查方法例如也可以应用于在树脂膜(第1构件层)上形成直接涂敷层(第2构件层)的情况。
本发明涉及的检查方法如在第2实施方式的变形例1中说明的那样,也能够应用于第1构件层以及第2构件层的层叠构件中的第1构件层和第2构件层的位置对齐的检查。
使用本发明涉及的检查方法的检查如上述实施方式以及变形例中说明的那样,不限定于2个构件的端部间的距离的异常的检查以及2个构件的配置关系的异常的检查。通过使用具有条纹图案的检查光,能够有效地获取从多方向的检查信息。其结果是,能够容易地基于获取的检查区域的图像,确定附着于光学膜的异物、在光学膜中产生的缺陷等。即,能够容易地检测上述异物、缺陷等。缺陷的例子为在光学膜形成的损伤、无用的凹凸等。因此,本发明涉及的检查方法能够合适地应用于上述异物、缺陷等的有无的检查。
图17是用于说明检查方法的其他应用例的附图。在图17中,示出了利用剥离辊R从在光学膜200粘合有剥离膜(或保护膜)202的层叠体204将剥离膜202剥离的工序。为了便于说明,对光学膜200具有用于在其表面将光学膜200与其他构件粘合的粘接层206的情况进行说明。图17的阴影是用于明示粘接层206的阴影。在将剥离膜202剥离时,例如,如图17所示,有将粘接层206的一部分转印到剥离膜202侧的情况。在该情况下,如图17的区域200a所示,在从剥离辊R送出的光学膜200存在粘接层206的一部分缺损的区域。在该情况下,在光学膜200的表面(相当于粘接层206的表面)产生一部分阶差。另一方面,在剥离膜202侧,存在粘接层206的一部分(对应于区域200a的部分)附着的区域。在该粘接层206的附着区域中,在剥离膜202的表面产生阶差。
因此,通过针对从剥离辊R送出的光学膜200或剥离膜202的一者,实施使用图1所示的检查装置105的检查,能够检查光学膜200是否具有异常。
例如,在针对光学膜200实施检查的情况下,以光学膜200的表面整体为检查区域,使用反射光学系统106来获取该检查区域的图像。在获取的图像中,检测粘接层206的端部。只要在粘接层206的端部的位置从要求的位置变化的情况下(例如,在从光学膜200的基材(粘接层206的支撑膜)的端部远离一定的距离的情况下),判定为异常即可。在针对剥离膜202实施检查的情况下,以剥离膜202的表面整体为检查区域,并使用反射光学系统106来获取该检查区域的图像。只要在获取的图像中出现无用的边界线等的情况下,判定为异常即可。
在使用图17的说明中,对在从粘合有剥离膜的光学膜200将剥离膜剥离的情况进行了说明。然而,本发明的检查方法如变形例2中说明的那样,在从层叠体剥离一部分的情况下,能够应用于伴随着被剥离的2个构件的至少一者的剥离的异常的有无的检查。
在此,对在从粘合有剥离膜的光学膜将该剥离膜剥离的情况进行了说明。然而,例如在将例如形成在剥离膜上的给定的构造转印到光学膜的情况下,本发明的检查方法也能够应用于是否适当地实施了构造的转印的检查。
在检查方法的实施中,只要能够获取检查区域的图像,用户也可以进行基于图像的端部、异物、缺陷的确定、基于确定结果的异常的有无的判定等。
以上说明的各种实施方式以及变形例在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行适当组合。

Claims (11)

1.一种检查方法,具备:
在光学膜的检查区域照射检查光的照射工序;
检测作为由所述检查区域反射的所述检查光的反射光的检测工序;和
基于所述反射光的检测结果,判定所述光学膜的异常的有无的判定工序,
所述检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。
2.根据权利要求1所述的检查方法,其中,
所述条纹图案周期性地变化为多个图案,
在所述判定工序中,基于对应于所述多个图案的检测结果,判定所述光学膜的异常的有无。
3.根据权利要求2所述的检查方法,其中,
所述条纹图案在第1图案和第2图案之间周期性地变化,
所述第2图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向与所述第1图案中的所述明部以及所述暗部的延伸方向正交。
4.根据权利要求2或3所述的检查方法,其中,
所述明部以及所述暗部的至少一者的宽度周期性地变化。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的检查方法,其中,
所述光学膜具有在第1构件层上层叠有第2构件层的层叠构造,
所述检查区域,是从所述第1构件层以及所述第2构件层的层叠方向观察、从位于相同侧的所述第1构件层的第1端部遍及至所述第2构件层的第2端部的区域,
在所述判定工序中,在基于所述反射光的检测结果计算得到的所述第1端部以及所述第2端部之间的距离不包括于给定范围的情况下,判定为异常。
6.根据权利要求1~4的任一项所述的检查方法,其中,
在所述判定工序中,基于所述反射光的检测结果,在所述检查区域检测到缺陷的情况下判定为异常。
7.根据权利要求1~6的任一项所述的检查方法,其中,
所述光学膜是长条的光学膜,
一边使用多个搬运辊在所述光学膜的长边方向上搬运所述光学膜,一边实施所述照射工序以及所述检测工序。
8.根据权利要求7所述的检查方法,其中,
在所述照射工序中,对位于所述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的所述光学膜照射所述检查光。
9.一种光学部件的制造方法,
包括权利要求1~8的任一项所述的检查方法。
10.一种光学膜检查装置,具备:
光源部,在光学膜的检查区域照射具有明部和暗部交替地配置的条纹图案的检查光;
检测部,检测作为由所述检查区域反射的所述检查光的反射光;和
判定部,基于所述反射光的检测结果,判定所述光学膜的异常的有无。
11.根据权利要求10所述的光学膜检查装置,其中,
还具备用于搬运所述光学膜的多个搬运辊,
所述光学膜为长条的膜,
通过所述多个搬运辊而在长边方向上搬运所述光学膜,
所述光源部配置为对位于所述多个搬运辊的至少一个搬运辊上的所述光学膜照射所述检查光。
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