JP2021135219A5 - - Google Patents

Description

次いで、図３の中央部に示すように、撮像素子３０の焦点を光透過性積層体１０の第１主面１０ａの表面から厚み方向（Ｚ方向）内方に所定距離Ｐずらして、光透過性積層体１０の厚み方向内方の所定の位置に焦点を合わせる。この状態で、上記と同様に図４に示すようにして撮像素子３０で光透過性積層体１０のＸＹ平面全体を走査して、欠点のＸＹ座標マップ（第２のＸＹ座標マップ）を作成する。第２のＸＹ座標マップにおいては、光透過性積層体１０の厚み方向内方の所定位置近傍（当該所定位置から所定の距離まで）の欠点は、例えば図５とは実質的に異なる位置にある画像上の暗点として認識される。なお、本明細書においては、所定距離Ｐを撮像ピッチと称する場合がある。撮像素子の焦点合わせは、任意の適切な手段を用いて実現され得る。例えば、撮像素子自体をＺ方向に移動させてもよく、レンズ等により撮像素子の焦点距離を変更してもよく、これらを組み合わせてもよい。図示例は、レンズ等により撮像素子の焦点距離を変更する形態を示している。

Claims (20)

1. 枚葉の光透過性積層体を中空に固定した状態で透過検査を行い、該光透過性積層体における８μｍ～５０μｍサイズの欠点を検出する、光透過性積層体の検査方法。
2. 前記欠点の検出が、
   所定倍率の光学系の焦点を前記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせ、該光学系で該光透過性積層体を走査して欠点のＸＹ座標マップを作成すること；
   該光学系の焦点を該光透過性積層体の第１主面の表面から厚み方向内方に所定距離ずらして、該光学系で該光透過性積層体を走査して別の欠点のＸＹ座標マップを作成すること；および
   該作成した欠点のＸＹ座標マップを統合すること；
   を含む、請求項１に記載の光透過性積層体の検査方法。
3. 前記欠点の検出が、前記光学系の焦点を前記光透過性積層体の厚み方向内方に前記所定距離さらにずらして該光学系で該光透過性積層体を走査することを所定回数繰り返し、所定数の欠点のＸＹ座標マップを作成することを含む、請求項２に記載の光透過性積層体の検査方法。
4. 前記欠点の検出が、前記統合した欠点のＸＹ座標マップの欠点発生座標のみにおいて、前記所定倍率よりも高倍率の光学系を用いて該欠点の厚み方向の位置を測定することを含む、請求項２または３に記載の光透過性積層体の検査方法。
5. 前記欠点の厚み方向の位置の測定が、前記高倍率の光学系の焦点を前記光透過性積層体の第１主面の表面に合わせること、および、該焦点を該光透過性積層体の厚み方向内方に移動させて該第１主面の表面から該欠点までの距離を測定すること、を含む、請求項４に記載の光透過性積層体の検査方法。
6. 前記所定距離が１０μｍ～１００μｍである、請求項２から５のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
7. 前記所定倍率が５倍以下である、請求項２から６のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
8. 前記高倍率が１０倍以上である、請求項４から７のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
9. 前記光透過性積層体が、光学フィルム、粘着剤シート、およびこれらの組み合わせから選択される、請求項１から８のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
10. 前記光学フィルムが、偏光板、位相差板、およびこれらを含む積層体から選択される、請求項９に記載の光透過性積層体の検査方法。
11. 前記光透過性積層体の厚みが３００μｍ以下である、請求項１から１０のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
12. 前記所定倍率の光学系による走査距離１０００μｍあたりの前記光透過性積層体の第１主面の厚み方向の変動量が±１０μｍ以内となるような領域で、前記欠点の検出が行われる、請求項２から１１のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
13. 前記光透過性積層体の撓み角度が水平方向に対して±０．５７°以内となるような領域で、前記欠点の検出が行われる、請求項１から１２のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
14. 前記光透過性積層体を横架した状態で前記欠点の検出が行われる、請求項１から１３のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
15. 前記光透過性積層体における非製品領域である対向する端部を相対的に近接または離間可能な一対の支持部材に固定した状態で、前記欠点の検出が行われる、請求項１４に記載の光透過性積層体の検査方法。
16. 前記一対の支持部材が、スライド可能であり、かつ、互いに離間する方向に付勢されている、請求項１５に記載の光透過性積層体の検査方法。
17. 前記光透過性積層体が粘着剤層を含み、該光透過性積層体が該粘着剤層を介して前記一対の支持部材に固定されている、請求項１５または１６に記載の光透過性積層体の検査方法。
18. 前記光透過性積層体の前記粘着剤層を介した固定が、該光透過性積層体の一方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して一方の支持部材に貼り合わせること、次いで、他方の端部のセパレーターを剥離除去して露出した該粘着剤層を介して他方の支持部材に貼り合わせること、を含む、請求項１７に記載の光透過性積層体の検査方法。
19. 前記光透過性積層体が少なくとも一方の表面に剥離可能に仮着された表面保護フィルムを含み、該光透過性積層体を前記一対の支持部材に固定した後で、該表面保護フィルムを一時的に剥離することを含む、請求項１５から１８のいずれかに記載の光透過性積層体の検査方法。
20. 前記欠点の検出の後、前記光透過性積層体の少なくとも一方の表面に、前記一時的に剥離した前記表面保護フィルムまたは該表面保護フィルムとは別の表面保護フィルムを剥離可能に仮着することを含む、請求項１９に記載の光透過性積層体の検査方法。