JP2009295796A - 発光装置の検査方法及び検査装置 - Google Patents

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【課題】発光装置のレンズの内部やレンズの下の発光部の画像検査を可能とする発光装置の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】発光部51と、前記発光部51の上に設けられた透光体52と、を有する発光装置50の検査装置であって、前記発光装置50の光学像を得る光学像形成部60と、前記発光装置50と前記光学像形成部60との間に設けられ、透光性を有する透光板33と、前記発光装置50と前記透光板33との間に設けられ、延伸性と透光性とを有するフィルム31と、前記透光板33と前記フィルム31との間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂32と、を備えたことを特徴とする発光装置の検査装置が提供される。
【選択図】図1

Description

本発明は、発光装置の検査方法及び検査装置に関する。
発光ダイオードやレーザダイオードなどの発光素子を用いた発光装置においては、発光部の上に例えば樹脂からなるレンズなどの透光体が設けられている。このような構造の発光装置に対して、最近、配光の安定性や信頼性がより重要視されるようになっている。配光の安定性や信頼性を確保するためには、発光装置の製造工程の工程検査や品質検査において、発光部のチップや銀ペーストの位置や状態、レンズなどの透光体の内部の気泡、傷、クラックなどを正確に検査する技術が要求される。
これに対して、例えば、特許文献1には、発光装置の上方からカメラで観察する方法が開示されている。しかしながらこの方法では、発光装置に設けられたレンズなどの透光体の表面付近の傷や汚れ、泡等の検査を行うことができるが、レンズなどの特有な形状を持った透光体は凸状形状や凹状形状を有しており、これを空気層を介して観察するため、透光体と空気との界面において屈折がおき、このため、レンズなどの透光体の内部の気泡、傷、クラック、さらには、発光部のチップ(発光素子)や銀ペーストの位置や状態を観察しようとした場合、それらの像がカメラの焦点からずれてしまい、適正な像が得られない。従って、従来の方法では、透光体の内部の気泡、傷、クラックや、発光部のチップ(発光素子)や銀ペーストの位置や状態については検査することが困難であった。
特開平9−167863号公報
本発明は、発光装置の透光体の内部や透光体の下の発光部の画像検査を可能とする発光装置の検査方法及び検査装置を提供する。
本発明の一態様によれば、発光部と、前記発光部の上に設けられた透光体と、を有する発光装置の検査装置であって、前記発光装置の光学像を得る光学像形成部と、前記発光装置と前記光学像形成部との間に設けられ、透光性を有する透光板と、前記発光装置と前記透光板との間に設けられ、延伸性と透光性とを有するフィルムと、前記透光板と前記フィルムとの間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂と、を備えたことを特徴とする発光装置の検査装置の検査装置が提供される。
本発明の別の一態様によれば、発光部と、前記発光部の上に設けられた透光体と、を有する発光装置の検査方法であって、前記発光装置の前記透光体に、透光性を有する透光板と、前記発光装置と前記透光板との間に設けられ、延伸性と透光性とを有するフィルムと、前記透光板と前記フィルムとの間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂と、を、前記発光装置の前記透光体に押し当て、前記フィルム、前記ゲル状樹脂及び前記透光板を通した前記発光装置の光学像を検査することを特徴とする発光装置の検査方法が提供される。
本発明によれば、発光装置の透光体の内部や透光体の下の発光部の画像検査を可能とする発光装置の検査方法及び検査装置が提供される。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図面は、本発明の実施形態に係わり、図1は、第1の実施形態の発光装置の検査装置を例示する模式図であり、同図(a)は検査装置の構造を例示する側面図、同図(b)、(c)は検査画像を例示する模式図である。図2は、第2の実施形態の発光装置の検査装置を例示する模式的側面図である。図3は、第3の実施形態の発光装置の検査方法を例示するフローチャート図である。
なお、本願明細書及び各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施の形態)
図1に表したように、本発明の第1の実施形態に係る発光装置の検査装置10は、発光部51と、発光部51の上に設けられたレンズなどの透光体52と、を有する発光装置50の検査装置であって、被検査体となる発光装置50の光学像を得る光学像形成部60と、発光装置50と光学像形成部60との間に設けられ、透光性を有する透光板33と、発光装置50と透光板33との間に設けられ、延伸性及び透光性とを有するフィルム31と、透光板33とフィルム31との間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂32と、を備える。以下、透光体52の一例としてレンズを用いた場合について説明する。フィルム31は、透光板33よりも剛性が低い。
光学像形成部60には、例えば顕微鏡付きカメラを用いることができる。
透光板33には、例えば厚さ1.2mmのスライドガラス板を用いることができる。そして、フィルム31には、例えば厚さが0.01mm程度の添加物が含まれていないポリエチレンフィルムを用いることができる。ゲル状樹脂32には、例えば、厚さ約5mmのポリエチレン樹脂ゲルを用いることができる。
そして、図1(a)に表したように、被検査体である発光装置50のレンズ52に対して、フィルム31とゲル状樹脂32とを、透光板33で押し当てて、発光装置50の上面から発光装置50の内部を光学像形成部60によって画像観察する。この際、図1(a)では、発光装置50を透光板33の主面に対して垂直方向から観察する状態を例示しているが、斜め方向または側面方向からの観察でも良い。
このとき、フィルム31及びゲル状樹脂32は軟らかいので、レンズ52の外形に沿って変形し、フィルム31はレンズ52に密着する。レンズ52は、例えばエポキシなどの樹脂からなり、屈折率は約1.5である。また、フィルム31及びゲル状樹脂32の屈折率は、例えば、約1.5であり、レンズ52の屈折率に非常に近い。すなわち、フィルム31及びゲル状樹脂32の屈折率と、レンズ52の屈折率と、の差は、レンズ52の屈折率と空気の屈折率との差よりも小さい。
このため、レンズ52とフィルム31との間の界面、及び、フィルム31とゲル状樹脂32との間の面では、屈折現象が低減される。従って、レンズ52とフィルム31との界面、及び、フィルム31とゲル状樹脂32との間の界面において、レンズ52の内部、及び、レンズの下の発光部51の像のずれが可及的に低減される。
このように、レンズ52とフィルム31との界面において、レンズ52の屈折によるレンズ効果は低減され、レンズ52の上方から光学像形成部60(顕微鏡付きカメラ)で観察した場合に、レンズ52の下にある発光部51を観察することができる。
すなわち、フィルム31と軟らかいゲル状樹脂32とを、発光装置50のレンズ52に当てると、軟らかいゲル状樹脂32がレンズ52の形状に適合して延伸されて変形し、フィルム31がレンズ52の表面を覆うため、レンズの屈折効果が相殺されて、レンズ52の下のチップ底まで検察できる。
これにより、図1(b)に表したように、発光部51のチップ58や銀ペースト59の位置や状態を観察することができる。すなわち、発光装置50のレンズ52の内部やレンズ52の下の発光部51の画像検査が可能となる。
また、光学像形成部60の焦点を変えることにより、図1(c)に表したように、レンズ52の表面付近の傷57や汚れ、泡等の検査を行うこともできる。
このように、光学像形成部60のピント(焦点位置)を調節することにより、レンズ52の表面の他、レンズ52の下にあるチップ58の底面の銀ペーストの状態など、レンズ52の表面からレンズ52の内部の例えばチップ底までが観察可能となる。
なお、上記の実施形態において、光学像形成部60とは別の光学像形成部をさらに設け、光学像形成部60では、レンズ52の内部やレンズ52の下のチップ部の画像検査を行い、別途設けた光学像形成部では、レンズ表面付近の検査を行うようにしても良い。すなわち、図1(b)の検査と、図1(c)の検査と、を別の光学像形成部で行うようにしても良い。この場合は、光学像形成装置の焦点位置の調整が不要なので、効率的な検査が可能となり、検査が高速化する。
ただし、上に説明したように、本実施形態に係る検査装置10において、光学像形成部を1つ設け、その焦点位置を調整することによって、図1(b)及び(c)の検査の両方を実施できるようにすると、検査装置の低コスト化と小型化が図れるという利点がある。
(比較例)
比較例の発光装置の検査装置は、図1に例示した検査装置10において、フィルム31、ゲル状樹脂32、透光板33を設けないものである。すなわち、比較例の検査装置においては、発光装置50を光学像形成部60で直接観察して検査を行う。この場合は、図1(c)に例示した、発光装置50のレンズ52での表面付近の傷や汚れ、泡等の検査を行うことができる。しかしながら、レンズ52の屈折のために、レンズ52の内部の気泡、傷、クラックや、レンズ52の下の発光部51のチップや銀ペーストの位置や状態については検査することができない。すなわち、図1(b)に例示した発光部51のチップ58や銀ペースト59の位置や状態を観察できない。
これに対し、既に説明したように、本実施形態に係る発光装置の検査装置10においては、フィルム31とゲル状樹脂32を透光板33でレンズ52に押し当てることで、軟らかいゲル状樹脂32がレンズ52の形状に適合して変形し、フィルム31がレンズ52の表面を覆うため、レンズ52のレンズ効果を低減することができ、レンズ52の表面付近の傷57や汚れ、泡等のみならず、レンズ52の内部の気泡、傷、クラックや、レンズ52の下の発光部51のチップ58や銀ペースト59の位置や状態を観察することができる。
このように、本実施形態に係る発光装置の検査装置10によれば、発光装置50のレンズ52の内部やレンズ52の下の発光部51の画像検査を可能とする発光装置の検査装置が提供できる。
なお、本実施形態に係る発光装置の検査装置10においては、フィルム31が設けられているので、ゲル状樹脂32がレンズ52に直接接しない。例えば、もし、フィルム31を設けない場合は、ゲル状樹脂32が直接レンズ52に押し当てられる。このときも、光学像形成部60によって、レンズ52の表面からレンズ52の内部までが観察可能である。しかしながら、ゲル状樹脂32が直接レンズ52に接触するため、ゲル状樹脂32がレンズ52に付着し、レンズ52を汚す。また、例えば、ゲル状樹脂に含まれる添加物等がレンズ52に付着すると、さらにレンズ52は汚れる。
さらに、ゲル状樹脂32とレンズ52とが直接接する構造にすると、レンズ52に付着しているゴミや塵がゲル状樹脂32に転写される可能性が高まる。一旦ゲル状樹脂32にレンズ52からゴミや塵が転写されると検査の際に、そのゴミや塵も画像として検出されるので、検査精度を著しく低下させる。
これに対し、本実施形態に係る発光装置の検査装置10においては、フィルム31を設けることにより、ゲル状樹脂32がレンズ52に接触しないので、レンズ52を汚すことがなく、レンズ52側からゴミや塵をゲル状樹脂32に転写させることがないので、効率的で高精度の検査が可能となる。すなわち、フィルム31は、ゲル状樹脂32内部から染み出る添加物によるレンズ52の汚れや、レンズ52からゲル状樹脂32に汚れが付着することを防止する機能を有す。
透光板33は、透明な硬い板であり、例えば、ガラス板や透明度の高い例えばアクリル板などの透明樹脂基板を用いることができる。
ゲル状樹脂32には、例えば透明なポリエチレン樹脂ゲルやシリコーン樹脂ゲルなどを用いることができる。すなわち、例えば、ヤング率が1000kPa以下の軟らかいゲル状の材料を用いることができる。
フィルム31には、例えば、透光性の軟らかいポリエチレン樹脂フィルムやポリプロピレン樹脂フィルムなどのポリオレフィン樹脂フィルムなどを用いることができる。フィルム31には、透光性及び可撓性、変形容易性の他に、発塵性が低いことが、検査精度を向上させるためには重要である。例えば、軟化剤などの添加物を含有してないポリエチレン樹脂フィルムは、透光性で、軟らかく、さらに発塵も少なく、また、燃やした時にダイオキシンなどの発生もなく、環境負荷が小さいので、フィルム31に用いる材料として好適である。なお、ポリエチレン樹脂フィルムとしては、高透光性を得るために、低密度ポリエチレンを用いることができる。
なお、透光板33、ゲル状樹脂32及びフィルム31は、被検査体である発光装置50の発光波長の光及び可視光の少なくともいずれかに対して透光性を有していれば良い。すなわち、発光装置50の発光波長の光及び可視光の少なくともいずれかに対して透光性を有することで、発光装置の発光光及び周囲の照明光によって、発光装置50の画像検査が可能となる。
フィルム31は、一度レンズ52に押し当てると、フィルム31が伸びて変形することがある。この時、フィルム31において、発光装置50のレンズ52に押し当てた場所を、再度レンズ52に押し当てるとフィルム31に皺が発生し、フィルム31とレンズ52との間の密着性が低下し、検査の精度を低下させる。このため、フィルム31の1つの場所においては、発光装置50に押し当てられる回数は1回とすることが望ましい。すなわち、フィルム31は、発光装置の検査ごとに場所を変えて、発光装置50に押し当てられることが望ましい。
なお、ゲル状樹脂32は、形状復元を失うまで使用でき、例えば、1日に1回程度交換すれば良い。
(第2の実施の形態)
図2に表したように、本発明の第2の実施形態に係る発光装置の検査装置11においては、フィルム31を供給する供給ロール部71と、フィルム31を巻き取る巻き取りロール部72とをさらに備えている。
すなわち、検査装置11は、発光装置50と光学像形成部60とを結ぶ線に対して非平行な平面内における、前記線に対するフィルム31の相対位置を移動可能とする移送部(供給ロール部71及び巻き取りロール部72)をさらに備えている。
そして、例えば、被検査体である発光装置50の位置と、ゲル状樹脂32、透光板33及び光学像形成部60との位置を固定しておき、フィルム31を移動可能とする。そして、1回の発光装置の検査ごと、すなわち、発光装置50のレンズ52にフィルム31を押し当てる動作ごとに、供給ロール部71と巻き取りロール部72とを回転させ、フィルム31を、発光装置50、ゲル状樹脂32、透光板33及び光学像形成部60の位置に対して移動させる。これにより、検査ごとにフィルム31の新しい場所を、レンズ52に押し当てることができ、効率的な検査が可能となる。
すなわち、本実施形態に係る発光装置の検査装置においては、1つ1つの発光装置を観察するごとに、フィルム31を巻き取ることで、効率的に使用位置を変えて観察を行うことができ、より効率的に、発光装置のレンズの内部やレンズの下の発光部の画像検査を可能とする発光装置の検査装置が提供できる。
(第3の実施の形態)
本発明の第3の実施形態に係る発光装置の検査方法は、発光部51と、発光部51の上に設けられたレンズ52と、を有する発光装置50の検査方法である。
そして、図3に表したように、本実施形態に係る検査方法では、まず、発光装置50のレンズ52に、透光性を有する透光板33と、発光装置50と透光板33との間に設けられ、延伸性と透光性を有するフィルム31と、透光板33とフィルム31との間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂32と、を、発光装置50のレンズ52に押し当てる(ステップS1)。
この時、フィルム31の剛性は、透光板33よりも低く設定される。
なお、透光板33、ゲル状樹脂32及びフィルム31には、既に説明した材料及び構成を用いることができる。
そして、フィルム31、ゲル状樹脂32及び透光板33を通した発光装置50の光学像を検査する(ステップS2)。これには、既に説明した光学像形成部60を用いることができる。
これにより、フィルム31及びゲル状樹脂32は、レンズ52の外形に沿って変形し、フィルム31はレンズ52に密着し、レンズ52の屈折によるレンズ効果が低減された状態で、発光装置50を検査することができる。
なお、この際、発光装置50は、透光板33の主面に対して垂直な方向から観察される。
本実施形態に係る発光装置の検査方法によって、発光装置50のレンズ52の内部やレンズ52の下の発光部51の画像検査を可能とする発光装置の検査方法が提供できる。
なお、本検査方法において、光学像形成部60の焦点位置を調整することによって、発光装置50のレンズ52の内部やレンズ52の下の発光部51の画像検査のみならず、レンズ52の表面付近の傷57や汚れ、泡等の検査を行うこともできる。
また、上記の検査方法において、フィルム31は、発光装置の検査ごとに場所を変えて、発光装置50に押し当てられることが望ましい。すなわち、フィルム31は、検査ごとに、フィルム31の異なる面内位置において、レンズ52に押し当てられることが望ましい。
これには、例えば、第2の実施形態で説明した、フィルムの移送部を設けることが便利である。移送部としては、既に説明した供給ロール部71及び巻き取りロール部72を用いることができる。
なお、上記説明した実施形態に係る発光装置の検査装置及び検査方法は、複数のLEDチップが基板に直接ボンディングされた後に、その上を樹脂モールドレンズで覆う構成を有する、樹脂モールド一体型のLEDアレイの検査にも使用することができる。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、発光装置に設けられた透光体はレンズには限定されず、発光素子から放出された光を透過させて外部に放出させるものであって、空気との間で屈折を生じさせる材料からなるものであれば、本発明を同様に適用して同様の効果が得られる。また、発光装置の検査方法及び検査装置を構成する各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した発光装置の検査方法及び検査装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての発光装置の検査方法及び検査装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
第1の実施形態の発光装置の検査装置を例示する模式図。 第2の実施形態の発光装置の検査装置を例示する模式的側面図。 第3の実施形態の発光装置の検査方法を例示するフローチャート図。
符号の説明
31…フィルム、32…ゲル状樹脂、33…透光板、50…発光装置、51…発光部、52…レンズ、60…光学像形成部

Claims (4)

  1. 発光部と、前記発光部の上に設けられた透光体と、を有する発光装置の検査装置であって、
    前記発光装置の光学像を得る光学像形成部と、
    前記発光装置と前記光学像形成部との間に設けられ、透光性を有する透光板と、
    前記発光装置と前記透光板との間に設けられ、延伸性と透光性とを有するフィルムと、
    前記透光板と前記フィルムとの間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂と、
    を備えたことを特徴とする発光装置の検査装置。
  2. 前記フィルム及び前記ゲル状樹脂の屈折率と、前記透光体の屈折率と、の差は、前記透光体の屈折率と空気の屈折率との差よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の発光装置の検査装置。
  3. 前記発光装置と前記光学像形成部とを結ぶ線に対して非平行な平面内における、前記線に対する前記フィルムの相対位置を移動可能とする移送部をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置の検査装置。
  4. 発光部と、前記発光部の上に設けられた透光体と、を有する発光装置の検査方法であって、
    前記発光装置の前記透光体に、
    透光性を有する透光板と、
    前記発光装置と前記透光板との間に設けられ、延伸性と透光性とを有するフィルムと、
    前記透光板と前記フィルムとの間に設けられ、透光性を有するゲル状樹脂と、
    を、前記発光装置の前記透光体に押し当て、
    前記フィルム、前記ゲル状樹脂及び前記透光板を通した前記発光装置の光学像を検査することを特徴とする発光装置の検査方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102313751A (zh) * 2010-06-30 2012-01-11 第一实业视检系统股份有限公司 晶片式led检查装置
CN103900791A (zh) * 2012-12-24 2014-07-02 新世纪光电股份有限公司 Led检测装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02243137A (ja) * 1989-03-17 1990-09-27 Toyo Medical Kk 超音波探触子用接触端子
JP2007139616A (ja) * 2005-11-18 2007-06-07 Unitec:Kk 検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02243137A (ja) * 1989-03-17 1990-09-27 Toyo Medical Kk 超音波探触子用接触端子
JP2007139616A (ja) * 2005-11-18 2007-06-07 Unitec:Kk 検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102313751A (zh) * 2010-06-30 2012-01-11 第一实业视检系统股份有限公司 晶片式led检查装置
JP2012015230A (ja) * 2010-06-30 2012-01-19 Daiichi Jitsugyo Viswill Co Ltd チップled検査装置
KR101746416B1 (ko) 2010-06-30 2017-06-13 다이이치지쯔교 비스위루 가부시키가이샤 Led칩 검사 장치
CN103900791A (zh) * 2012-12-24 2014-07-02 新世纪光电股份有限公司 Led检测装置

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