WO2010058741A1 - 光学素子の製造方法 - Google Patents

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WO2010058741A1
WO2010058741A1 PCT/JP2009/069363 JP2009069363W WO2010058741A1 WO 2010058741 A1 WO2010058741 A1 WO 2010058741A1 JP 2009069363 W JP2009069363 W JP 2009069363W WO 2010058741 A1 WO2010058741 A1 WO 2010058741A1
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WO
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optical
polishing
laminated
stacked
optical element
Prior art date
Application number
PCT/JP2009/069363
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
善行 小川
Original Assignee
コニカミノルタオプト株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/04—Prisms
    • G02B5/045—Prism arrays
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1356—Double or multiple prisms, i.e. having two or more prisms in cooperation

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing an optical element used in an optical device such as an optical pickup device.
  • a prism element may be used for the purpose of synthesizing or separating light.
  • a highly accurate dimensional tolerance may be required for prism elements used in optical devices.
  • a prism element used in an optical pickup device An example of a prism element used in an optical pickup device will be described.
  • an information recording medium such as a Blu-ray Disc (BD) whose recording capacity is greatly increased by using a laser beam in a blue region has been put into practical use.
  • the laser beam is condensed with high accuracy on the recording surface of the information recording medium to read information recorded at high density, or , Need to record information.
  • the optical member which comprises an optical pick-up apparatus requires a highly accurate dimensional tolerance, and a prism element is no exception.
  • a prism element used in a conventional optical pickup device for DVD generally requires a dimensional tolerance of about ⁇ 0.1 mm.
  • a dimensional tolerance of ⁇ 0.05 mm or ⁇ 0.03 mm has been required.
  • Patent Documents 1 to 3 disclose a method of manufacturing a prism element at a low cost.
  • a plurality of flat glass layers are laminated and then cut to form a laminated divided body, and then the laminated divided body is processed to obtain a desired prism element. It has a configuration.
  • Patent Document 4 when obtaining the above-mentioned laminated division body (multiple glass body), a large-sized substrate and a small substrate are alternately laminated to form a laminated joined body (laminated glass body).
  • a technique for dividing a joined body to obtain a laminated divided body is disclosed. According to this method, it is said that a prism element having a high angle accuracy can be manufactured with a tilt angle of a film formed inside the prism element.
  • FIG. 17 is a flowchart showing a conventional method of manufacturing a prism element.
  • FIG. 18 is a diagram for explaining each step of the flowchart shown in FIG.
  • the figure shown in FIG. 18 is a side view in principle, there is also a perspective view for easy understanding.
  • a plurality of rectangular parallel plate optical components 1 having an optical thin film 11 are prepared (step S101).
  • the optical thin film 11 is formed on the bonded surface that has been polished.
  • the prepared plurality of rectangular parallel plate-shaped optical components 1 are shifted by a predetermined amount so as to have a predetermined angle so as to be a predetermined angle (for example, 45 °).
  • a predetermined angle for example, 45 °.
  • the layers are laminated so that the surface to which the optical thin film 11 is applied is the upper surface side.
  • the predetermined angle refers to the plane of the parallel flat optical component 1 exposed by shifting the rectangular parallel flat optical component 1 by a predetermined amount and the parallel flat optical component 1 laminated in contact with the plane.
  • the angle which the plane which the boundary side which consists of and the above-mentioned plane makes contact with, and the above-mentioned plane shows is shown. If this angle is the same as a predetermined angle for cutting the laminated assembly 2 when forming the following laminated division body 3, the laminated division body 3 is efficiently formed from the laminated assembly 2.
  • the laminated assembly 2 is formed at a predetermined angle (for example, 45 ° which is not parallel to or perpendicular to the optical thin film 11) by using a wire saw, for example.
  • a predetermined angle for example, 45 ° which is not parallel to or perpendicular to the optical thin film 11
  • the stacked divided body 3 is formed (step S103).
  • the fixed interval is set according to the dimensions of the prism element to be finally manufactured.
  • the obtained layered divided body 3 is polished on the divided surface 3a (cut surface), and the polished completed layered divided body 4 shown in FIG. 18 (d) is formed (step S104).
  • the plurality of completed polishing division bodies 4 are arranged so that the polishing surfaces 4a face each other, and the positional relationship between them becomes a predetermined positional relationship.
  • the stacked joined body 5 is formed (step S105).
  • the adjustment to achieve the predetermined positional relationship is performed using an adjustment jig 101 as shown in FIG. 19, for example.
  • the adjustment jig 101 is provided with a plurality of convex portions 103 for position adjustment on the wall surface 102.
  • the plurality of convex portions 103 are formed at equal intervals, and each convex portion 103 is formed with a surface 103 a parallel to the inclined surface portion 4 b on the end side of the polishing completion laminated segment 4.
  • the formed stacked joined body 5 has a predetermined angle (for example, 90 °) with respect to the polishing surface 4a using a wire saw, for example, and a constant interval (FIG. 18 (e)). )).
  • the stacked cut body 6 is formed (step S106).
  • the fixed interval is set according to the dimensions of the prism element to be finally manufactured.
  • Each of the obtained stacked cut bodies 6 is polished at the cut surface 6a, and a polishing completed stacked cut body 7 shown in FIG. 18G is formed (step S107).
  • the polishing completion stacked cut body 7 is formed at a predetermined angle (for example, 90 °) with respect to the polishing surface 7a by using a wire saw, for example, and at a constant interval (FIG. 18). (H) between the broken lines).
  • the optical element coupling body 8 in which a plurality of optical elements (prism elements 9) are coupled in series via the temporary fixing adhesive is formed (step S108).
  • the fixed interval is set according to the dimensions of the prism element to be finally manufactured.
  • the temporary bonding adhesive is peeled off from the obtained optical element coupling body 8, whereby the optical element coupling body 8 is separated into individual optical elements. Thereby, a desired plurality of prism elements 9 are obtained (step S109).
  • the conventional method for manufacturing a prism element described above has the following problems.
  • the uppermost polishing completion laminated division 4 to the lowermost polishing completion laminated division 4 are cut at a time. For this reason, if the polishing completion laminated segment 4 is not accurately stacked in the stacking direction (for example, the vertical direction) in the process of forming the stacked bonded body 5 (see FIG. 18E), variations in the quality of the stacked cut body 6 occur. . As a result, variations as shown in FIG. 20 occur in the quality of the prism element 9 finally obtained.
  • the stacking direction for example, the vertical direction
  • FIG. 20 (a) shows the case where the position of the optical thin film 11 is shifted to the right side
  • FIG. 20 (a) shows the case where the position of the optical thin film 11 has shifted to the left side
  • FIG. 20 (a) shows the case where the position of the optical thin film 11 has shifted to the left side
  • the beam shift amount s indicates a case where the light is incident along the center of the design optical axis of the prism element to be reflected or transmitted through the prism element (reflected and emitted in FIG. 21). This means that the light emission position is shifted from the center of the design optical axis of the prism element.
  • the above-described adjustment jig 101 (see FIG. 19) is manufactured with as high accuracy as possible.
  • the structure of the adjustment jig 101 is complicated, its accuracy is limited. For this reason, conventionally, it has been difficult to ensure the bonding accuracy when forming the stacked bonded body 5.
  • the cost increases when an attempt is made to produce a high-precision jig.
  • an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical element that can easily manufacture an optical element that requires a highly accurate dimensional tolerance.
  • the present invention provides a method of manufacturing an optical element having one or more optical thin films having a predetermined optical function therein, wherein a plurality of parallel plate-like optical components are interposed between the optical thin films.
  • Laminate joined body forming step in which an optical thin film and an adhesive are laminated and bonded to form a laminated joined body, and the laminated joined body is neither parallel nor perpendicular to the optical thin film
  • a plurality of the polishing-completed laminated division bodies are arranged so that the polishing surfaces face each other, and a temporary fixing adhesive is interposed between the opposed polishing surfaces.
  • a stacked cut body forming step of cutting the stacked bonded body at a predetermined angle with respect to the polishing surface at a predetermined interval to form a stacked cut body
  • the stacked cut body Polishing completed stacked cutting body forming step of polishing the cut surface of the polishing to form a polishing completed stacked cutting body, and in the stacked joined body forming step, the polishing from the direction of stacking the polishing completed laminated division body
  • the stacked bonded body is formed by adjusting the position of the polished stacked laminated body based on a microscope image of the completed laminated body.
  • the “predetermined optical function” may simply mean “one specific type of optical function” or may mean “any one optical function selected from a plurality of specific types of optical functions”. In some cases.
  • the position of the polishing completed laminated laminated body is adjusted based on the microscope image of the polished completed laminated divided body, and the stacked bonded bodies are stacked with high accuracy. Can be formed. For this reason, a prism element obtained by cutting the stacked joined body and performing a predetermined process can be made highly accurate. Then, by performing an operation of using an image from a microscope, it is not necessary to prepare the above-described high-precision adjustment jig, and it is possible to easily obtain a prism element that requires a high-precision dimensional tolerance.
  • a boundary line portion between the polishing surface of the polishing-completed laminated divided body and a slope portion connected to an end of the polishing surface is incidentally illuminated, and the boundary line is formed by the microscope. It is good also as obtaining the image of a part.
  • an image of a boundary line portion between the polished surface of the polishing-completed laminated divided body and a slope portion connected to an end portion of the polishing surface is obtained by the microscope, and the slope portion The light reflected by the inclined surface may be illuminated so as to enter the microscope.
  • any one image of a plurality of bonding surfaces included in the polishing-completed laminated divided body may be obtained from the microscope.
  • the former two methods have the advantage that the observation image can be made clearer and the position can be easily adjusted.
  • two images of both end portions in a direction along the bonding surface included in the polishing-completed laminated division body may be obtained from the microscope.
  • a rod-like bonded body forming step of forming the rod-shaped bonded body by peeling off the temporary fixing adhesive of the polished and finished stacked cut body, and cutting the rod-shaped bonded body into a plurality of pieces It is good also as providing the rod-shaped conjugate
  • the rod-shaped joined body is formed by joining the first triangular prism to which the optical thin film is applied and the second triangular prism to which the optical thin film is not applied, the rod-shaped joined body.
  • the cutting step it is preferable to use a jig having a groove portion with a V-shaped cross section, and arrange and cut the rod-shaped joined body so that the first triangular prism side is received by the groove portion.
  • the polishing completion stacked cut body is cut at a predetermined angle with respect to the polishing surface and at a predetermined interval, and a plurality of the optical elements attach the adhesive for temporary fixing.
  • An optical element assembly forming step of forming an optical element assembly in a state of being connected in series via the optical element, and an optical element that separates the temporary fixing adhesive of the optical element assembly to form individual optical elements It is good also as providing a coupling body separation process.
  • the structure in which the rod-shaped joined body is obtained from the above-described stacked cut body and then the rod-shaped joined body is cut to obtain individual optical elements is cleaned during the work of peeling the temporary fixing adhesive. It is preferable in terms of easy.
  • the laminated assembly forming step when laminating a plurality of parallel flat plate-shaped optical components such that the optical thin film and the adhesive are interposed therebetween, Measure the distance between the optical thin film on the outermost surface side of the laminated optical thin films, the optical thin film on the outermost surface side, and the optical thin film that will be adjacent to each other with the parallel plate-shaped optical component in between. It is preferable to cure the adhesive after confirming that the predetermined interval has been reached.
  • the lamination bonding is performed while measuring the interval between the optical thin films when the laminated assembly is formed, it is possible to obtain a laminated assembly in which the intervals between the adjacent optical thin films are substantially equal. For this reason, it is possible to further reduce variation in the quality of the stacked cut body obtained by cutting the stacked bonded body obtained after the formation of the laminated bonded body. That is, according to this configuration, the prism element can be manufactured with higher accuracy.
  • the parallel plate-like optical components are stacked in a stepped manner with a predetermined amount of shift, and the measurement of the interval is performed by stacking in the stepped shape. It may be a step measurement of the step portion to be formed.
  • the distance is measured using an optical distance measuring sensor, and the distance is measured by a method of detecting the two optical thin films to be measured almost simultaneously. It's also good. The latter is advantageous in that it can easily obtain a high accuracy with respect to the distance between the optical thin films because the distance between the entire joint surfaces can be measured.
  • a confocal laser displacement sensor or a triangulation laser displacement sensor can be used as the optical distance measuring sensor.
  • (B) is a figure for demonstrating the effect of the illumination of another example used at the formation process of the piled-up assembly of 2nd Embodiment.
  • (C) is a figure which shows the effect of the illumination in (b) with the observation image of a microscope. These are the graphs which show the effect at the time of using the manufacturing method of the prism element of a 2nd embodiment.
  • These are flowcharts which show the detail of the formation process of the laminated assembly of 3rd Embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram for explaining each step of the flowchart shown in FIG. 17.
  • FIG. 1 is a flowchart showing a method for manufacturing a prism element according to the first embodiment. Note that most of the flow is the same as the manufacturing flow of the conventional prism element shown in FIG. 17, and the description of the overlapping portions is omitted unless there is a particular description.
  • step S1 preparation of the parallel plate-shaped optical component 1 (step S1), formation of the laminated assembly 2 (step S2), formation of the laminated divided body 3 (step S3), and polishing completed lamination
  • step S4 preparation of the divided body 4 (step S4), the formation of the stacked cutting body 6 (step S6), and the formation of the polishing completed stacked cutting body 7 (step S7) are the same as the conventional method of manufacturing the prism element shown in FIGS. Since it is the same, the description is abbreviate
  • FIG. 2 is a flowchart showing details of a process of forming the stacked joined body 5 of the first embodiment.
  • FIGS. 3A and 3B are diagrams for explaining a process of forming the stacked bonded body 5 according to the first embodiment.
  • FIG. 3A is a front view
  • FIG. 3B is a side view
  • FIG. It is.
  • the polishing completion laminated division bodies 4 are arranged and sequentially stacked so that the polishing surface 4 a of the polishing completion laminated division body 4 is orthogonal to the accumulation direction (vertical direction in the present embodiment).
  • the details will be described with reference to FIGS. 2 and 3.
  • the stacking of the polishing completion laminated segments 4 is carried out by visually observing the polishing completed laminated segments 4 using a microscope and manually adjusting the position of the polishing completed laminated segments 4. It is preferable that an image obtained from a microscope is captured with a CCD camera or the like and displayed on a monitor. Further, it is also possible to perform image processing on the captured image and adjust the position of the polishing completion laminated segment 4 with an arm or the like controlled by an actuator such as a motor based on the result.
  • the bonding surface 41 of the polishing completion laminated division 4 ⁇ / b> A on the bonding side is directly above.
  • the polished laminated division body 4A has a plurality of bonding surfaces (four in the example shown in FIG. 3), and one of them is determined and observed with the microscope 25. Then, the position of the polished laminated division body 4A is adjusted so that the reference line displayed on the observation image matches the previously determined bonding surface 41 (step S11).
  • the polishing-completed layered divided body 4 ⁇ / b> A is a part of the stacked bonded body 5.
  • two microscopes 25 are prepared to obtain images of two left and right sides, preferably two places at both end portions along the bonding surface of the polishing completed laminated division 4. This is because it is possible to perform alignment with high accuracy in the front-rear and left-right directions and the rotation direction in the bonding surface (same as the polishing line 4a of the polishing-completed laminated division 4). Further, the reference line is set on the microscope 25 so as to appear on the observation image when observed with the microscope 25. Further, the microscope 25 is adjusted to move straight in the stacking direction (vertical direction).
  • an adhesive is applied to the polishing completion laminated body 4A on the side to be joined (step S12).
  • the adhesive used here is a temporary fixing adhesive.
  • a temporary fixing adhesive for example, a UV adhesive dissolved in a thinner solvent such as acetone or toluene is used.
  • a thinner solvent such as acetone or toluene
  • an adhesive that melts by heating, an adhesive that swells by warm water, or the like may be used.
  • the polishing completion laminated division 4B to be joined next is placed on the adhesive application surface (step S13). It is preferable to place the polishing completion laminated segment 4B to be joined gently so as not to entrain air bubbles as much as possible.
  • the mounted laminated division body 4B placed is pressurized so as to spread the temporary fixing adhesive over the entire bonding surface (the polishing surface 4a of the polished laminated division body 4) and simultaneously discharge the entrained bubbles and foreign matters. (Step S14).
  • a method of pressurization a method of pressurizing while sliding with a human hand may be used, or a method of applying a load with a weight, a screw, pneumatic pressure, hydraulic pressure, or the like may be used. .
  • the microscope 25 is then moved upward, and the observation position is moved so that the outermost surface of the mounted polishing division laminate 4B is in focus (step S15).
  • the bonding surface 41 of the mounted polishing completion laminate 4B at the position corresponding to the bonding surface 41 of the polishing completion laminate 4A on the bonding side observed earlier (2 from the right in FIG. 3). Observe the second joint surface.
  • the position is adjusted so that the joint surface 41 of the mounted polishing division
  • the adhesive for temporary fixing is irradiated with ultraviolet rays and cured (step S17).
  • step S18 When the stacking and joining of the polishing completion laminated segments 4B is completed as described above, it is confirmed whether or not a desired number of the polishing completed laminated segments 4 have been joined (step S18). When the desired number of sheets are bonded, the process of forming the stacked bonded body 5 is finished. When the desired number of stacked sheets is not bonded, Steps S11 to S17 are repeated to continue the formation of the stacked bonded body 2.
  • the microscope 25 is adjusted so as to move straight in the stacking direction (vertical direction), the positional relationship between the polishing completion laminated segments 4A and 4B joined together by the above method is accurate. It becomes a relationship of aim. For this reason, it is not necessary to use the high-precision adjustment jig 101 (see FIG. 19) as in the prior art, and the stacked joined body 5 stacked with high accuracy can be easily obtained.
  • step S8 the step of forming the rod-like joined body (FIG. 1; step S8) and the step of cutting the rod-like joined body (FIG. 1; step S9), which are different from the conventional manufacturing method, will be described with reference to FIG.
  • a temporary bonding adhesive is used when the stacked bonded body 5 is formed.
  • the temporary bonding adhesive is dissolved in a thinner solvent such as acetone or toluene. UV adhesive is used.
  • a thinner-based solvent such as acetone or toluene.
  • the rod-like joined body 10 is a joined body in which the first triangular prism 10a to which the optical thin film 11 is applied and the second triangular prism 10b to which the optical thin film 11 is not applied are joined. It is.
  • the rod-like joined body 10 is cut by the cutter 17 at the position of the broken line shown in FIG. 4B, thereby obtaining desired individual prism elements 9 (FIG. 1; step S9).
  • the rod-shaped joined body 10 is placed on a jig 16 having a plurality of groove portions 16a having a V-shaped cross section, and thereafter the rod-shaped joined body is used by a cutter 17. 10 is cut off.
  • the first triangular prism 10a side is placed so as to be received by the V-shaped groove 16a. Since the V-shaped groove portion 16a of the jig 16 is processed with high accuracy, the relationship between the cutter 16 and the optical thin film 11 at the time of cutting can be a constant relationship, and variations at the time of cutting can be suppressed.
  • the manufacturing method of the prism element 9 of the first embodiment is as described above. As described above, in the process of forming the stacked bonded body 5, the position adjustment is performed while observing with the microscope 25, and the polishing completed laminated segment 4. Is going to be piled up. For this reason, since the stacked assembly 5 can be formed with high accuracy, it is possible to form the prism element 9 that requires a highly accurate dimensional tolerance. (Second Embodiment) Next, the manufacturing method of the prism element of 2nd Embodiment is demonstrated. The method of manufacturing the prism element of the second embodiment is the same as the method of manufacturing the prism element of the first embodiment, except that there are some differences in the process of forming the stacked bonded body 5. Therefore, only the differences will be described.
  • FIGS. 5A and 5B are diagrams for explaining a process of forming the stacked bonded body 5 according to the second embodiment.
  • FIG. 5A is a front view
  • FIG. 5B is a side view
  • FIG. It is.
  • the first embodiment when the polishing completion laminated segments 4 are stacked, the position adjustment is performed while observing a certain joint surface 41 of the polishing completed multilayer segments 4 so that it matches the reference line. (See FIG. 3).
  • the second embodiment has a configuration in which the position adjustment is performed while observing the boundary line portion 4 c of the polishing-completed layered division body 4 so as to coincide with the reference line.
  • the boundary line portion 4c indicates a boundary portion between the polishing surface 4a of the polishing completed laminated laminate 4 and the inclined surface portion 4b connected to the polishing surface 4a.
  • the stacked joined body 5 is formed by the same flow as the flow shown in FIG. 2 except that the observation target is different, the detailed description of the flow is omitted.
  • FIG. 6A is a diagram for explaining the effect of the coaxial epi-illumination used in the process of forming the stacked assembly 5 of the second embodiment.
  • the angle formed by the slope portion 4b and the polishing surface 4a is 45 °, the light reflected by the slope portion 4b is reflected in a direction perpendicular to the incident direction. For this reason, the image of the slope 4b is a dark image.
  • the boundary line portion 4c becomes a clear line in the observation image obtained by the microscope 25, and is easily matched with the reference line.
  • the inclined surface portion 4 b is a surface that is polished in the preparation process of the parallel plate optical component 1. For this reason, both of the two surfaces (polishing surface 4a and inclined surface portion 4b) that reflect the illumination light of the coaxial epi-illumination are polished, and the boundary between the bright portion and the dark portion becomes a very clear line.
  • the observation target is the bonding surface 41 as in the first embodiment, it may be difficult to obtain a clear observation image because the bonding surface 41 is very thin. However, in the method of the second embodiment, there is such a concern. There is an advantage that the position adjustment is very easy.
  • the illumination of the boundary line portion is not limited to the coaxial epi-illumination, and may be epi-illumination that illuminates the boundary line portion from above, but in order to obtain a clearer image from the microscope 25, It is preferable to do.
  • FIG. 6B is a diagram for explaining the effect of another example of illumination used in the process of forming a stacked joined body according to the second embodiment.
  • FIG. 6C is the same as the top view of the stacked bonded body 5 shown in FIG. 5C, and the observation image shows an observation image by another example of illumination described below.
  • the microscope 25 obtains an image of the boundary line portion between the polishing surface 4a of the polishing completed laminated laminate 4 and the inclined surface portion 4b connected to the end of the polishing surface 4a. Illuminate the inclined surface portion 4b of the polishing completion laminated segment 4 so that the light reflected by the inclined surface portion 4b is directed to the microscope 25. For this reason, the image of the boundary line portion obtained by the microscope 25 is a bright image of the image of the slope portion 4b. On the other hand, the image of the portion of the polishing surface 4a of the polishing-completed layered division 4 is not illuminated, and thus becomes darker than the portion of the inclined surface portion 4b.
  • the boundary portion 4c becomes a clear line in the observation image obtained from the microscope 25, and is easily matched with the reference line.
  • FIG. 7 is a graph showing the effect when the method for manufacturing a prism element of the second embodiment is used.
  • FIG. 7 shows the result of observing the prism element 9 obtained by using the prism element manufacturing method of the second embodiment, and the conventional method (using an adjustment jig when forming the stacked joined body 5, The result of observing the prism element 9 obtained using the method not performed) is shown in comparison.
  • the method of 2nd Embodiment and the conventional method were made into the same manufacturing method except the difference in the formation process of the pile-up joined body 5.
  • 400 prism elements 9 were manufactured by the method of the second embodiment and the conventional method, respectively.
  • difference beam shift amount s shown in FIG. 21
  • difference beam shift amount s shown in FIG. 21
  • the optical thin film 11 of the prism element 9 is shifted to the right side from the design position (position indicated by a broken line) as shown in FIG. ) In the negative direction when it is shifted to the left side.
  • the hierarchies shown on the horizontal axis of FIG. 7 were performed according to the respective shift amounts, and the histogram of FIG. 7 was obtained.
  • the deviation from the design value ranges from ⁇ 0.07 to 0.06 mm.
  • the dimensional tolerance of ⁇ 0.05 mm required for a highly accurate prism element cannot be satisfied.
  • the deviation from the design value is within the range of ⁇ 0.03 to +0.02 mm. That is, it is within the dimensional tolerance of ⁇ 0.05 mm required for a highly accurate prism element. Therefore, by using the prism element manufacturing method of the present embodiment, it is possible to manufacture a prism element that requires a highly accurate dimensional tolerance. (Third embodiment) Next, the manufacturing method of the prism element of 3rd Embodiment is demonstrated.
  • the method for manufacturing a prism element according to the third embodiment is characterized in the process of forming the laminated assembly 2. Even when the stacked joined body 5 is formed by using the prism element manufacturing method of the first embodiment and the second embodiment, the optical as shown in FIGS. In some cases, the prism element 9 in which the thin film 11 is displaced from the ideal position is produced.
  • the thickness of the parallel plate optical component 1 is uneven or uneven.
  • the case where the thickness of the parallel plate-shaped optical component 1 used when forming the laminated joined body 2 is biased to a thin one is assumed.
  • a wire saw is usually used.
  • the pitch P (see FIG. 18E) of the wire saw wire cannot be easily changed.
  • the wire position is adjusted based on the cutting position R (see FIG. 18 (e)) at the rightmost end of the stacked bonded body 5, the stacked cutting is performed. There is a bias in the performance of the body 6.
  • the prism element 9 obtained from the stacked cut body 6 on the left end side has a quality as shown in FIG. That is, the position of the optical thin film 11 is shifted to the right side from the ideal position (indicated by a broken line).
  • the first and second above-described first and second devices are devised so that the distance between the optical thin films 11 facing each other with the parallel plate-shaped optical component 1 interposed therebetween is within a desired range.
  • a plurality of rectangular parallel flat optical components are prepared (step S1 in FIG. 1). Also in the present embodiment, the bonding surface of the parallel plate-shaped optical component 1 is polished in this preparation, and the optical thin film 11 is applied to one surface (see FIG. 18A).
  • the parallel plate-like optical component 1 to which the optical thin film 11 is applied is managed as follows with respect to its thickness tolerance.
  • the center value of the thickness tolerance of the parallel plate optical component 1 to which the optical thin film 11 is applied is “the adhesive thickness from the design center value of the optical thin film interval between two parallel plate optical components adjacent to each other when laminated and bonded.
  • the thickness minus the design center value ”.
  • the tolerance width of the thickness tolerance is “1 to 1.5 times the design center value of the adhesive thickness when laminated and bonded”.
  • the design center value of the adhesive thickness is a value obtained empirically.
  • the tolerance range of 1 to 1.5 times the design center value of the adhesive thickness is to absorb variations in the thickness of the parallel plate optical component 1 to which the optical thin film 11 is applied by adjusting the adhesive thickness. Consider making it possible.
  • the design center value of the distance between the optical thin films 11 in the two parallel flat plate-like optical components 1 adjacent to each other when laminated and bonded is 4 mm, and the design center value of the adhesive thickness when laminated and bonded. Is 0.015 mm.
  • the tolerance width is 1.33 times the design center value of the adhesive thickness
  • the tolerance width is 0.020 mm. Therefore, the thickness tolerance of the parallel plate optical component provided with the optical thin film is 3.985 ⁇ 0.010 mm.
  • the parallel plate-shaped optical component 1 (including the optical thin film 11) deviating from the thickness tolerance thus derived is not used as out of specification.
  • FIG. 8 is a flowchart showing details of the process of forming the laminated assembly of the third embodiment.
  • FIG. 9 is a figure for demonstrating the formation process of the laminated assembly of 3rd Embodiment.
  • the laminated assembly 2 is formed in a stepped shape having a predetermined angle (for example, 45 °) in consideration of improving the yield as shown in FIG. For this reason, in the formation process of the laminated joined body 2, the parallel plate-like optical component 1 to which the optical thin film 11 is applied is sequentially laminated while being in contact with a jig (not shown) so as to have a stepped shape with a predetermined angle. In the present embodiment, the laminated assembly 2 is formed with the optical thin film 11 placed on the upper surface.
  • a predetermined angle for example, 45 °
  • the adhesive 12 is applied to the joining surface of the parallel plate-like optical component 1 a (see FIG. 9A) on the side to be joined (step S ⁇ b> 21).
  • the adhesive 12 is applied on the surface of the optical thin film 11.
  • the adhesive 12 for example, an adhesive that is cured by irradiation with ultraviolet rays, an adhesive that is cured by heating, or the like is used.
  • the parallel plate-like optical component 1b to be bonded is placed on the bonding surface to which the adhesive 12 has been applied with the optical thin film 11b facing up (step S22). At this time, it is preferable that the parallel plate-like optical component 1b be placed gently so as not to entrain air bubbles as much as possible.
  • step S23 pressurization of the placed parallel plate optical component 1b is started.
  • a method of pressurization a method of pressurizing while sliding with a human hand may be used, or a method of applying a load with a weight, a screw, pneumatic pressure, hydraulic pressure, or the like may be used. .
  • step S24 When pressurization is started, measurement of the distance D (see FIG. 9B) between the optical thin film 11a of the parallel plate optical component 1a and the optical thin film 11b of the parallel plate optical component 1b is started. Pressure adjustment is performed while measuring the interval (step S24). Although details of the method for measuring the distance D between the optical thin films will be described later, it is preferable to measure the distance D between the optical thin films at a plurality of points so that the distance between the optical thin films is the same.
  • the adhesive 12 is cured by a predetermined method such as ultraviolet irradiation or heating (step S25).
  • a predetermined method such as ultraviolet irradiation or heating
  • step S26 it is confirmed whether or not a desired number of the parallel plate optical components 1 are joined.
  • step S21 to S25 are repeated to form the laminated joined body 2.
  • FIGS. 10A and 10B are diagrams for explaining a first method for measuring the distance D of the optical thin film.
  • FIG. 10A is a side view
  • FIG. 10B is a diagram viewed from the upper surface side. is there.
  • the distance D between the optical thin films is obtained by measuring the level difference of the level difference portion ST (see FIG. 10A) formed by stacking the parallel plate optical components 1 in a step shape. .
  • the step difference measurement can be performed using a length measuring machine 13 that measures a distance D between the optical thin film 11a and the optical thin film 11b by a contact method.
  • a length measuring machine is a Mitsutoyo Digimatic Indicator.
  • a laser displacement meter or the like can be used as a non-contact measurement method for the optical thin film.
  • FIGS. 11A and 11B are diagrams for explaining a second method of measuring the distance D between the optical thin films, FIG. 11A is a side view, and FIG. 11B is a diagram viewed from the upper surface side. is there.
  • the distance D of the optical thin film is obtained using a confocal laser displacement meter 14.
  • the confocal laser displacement meter 14 will be briefly described with reference to FIG.
  • FIG. 12 is a diagram showing a configuration example of a confocal type laser displacement meter.
  • the confocal laser displacement meter 14 includes a semiconductor laser 141, a half mirror 142, a collimator lens 143, an objective lens 144, a tuning fork unit 145, a pinhole 146, and a light receiving element 147. And comprising.
  • the objective lens 144 is moved up and down by the tuning fork unit 145 (same as the laminating direction of the parallel plate optical component 1), the light receiving element 147 is used only when the objective lens 144 is focused on the optical thin films 11a and 11b. A large amount of light can be obtained. Since the position of the objective lens 144 where a large amount of light is obtained by the light receiving element 147 by the tuning fork unit 145 is known, the distance D of the optical thin film can be measured.
  • a laser displacement meter LT-9000 manufactured by Keyence can be used.
  • the results of 1.904 mm and 0.774 mm were obtained, and the above-mentioned results were obtained. It was confirmed that the same results as the length measuring machine were obtained.
  • FIGS. 13A and 13B are diagrams for explaining a third method for measuring the distance D between the optical thin films.
  • FIG. 13A is a side view, and FIG. is there.
  • the distance D between the optical thin films is obtained by using a triangulation type laser displacement meter 15.
  • the triangulation type laser displacement meter 15 is a sensor that receives laser light reflected by an object to be measured by a CCD (Charge Coupled Device) image sensor and calculates distance information based on the principle of triangulation.
  • CCD Charge Coupled Device
  • a laser displacement meter LK-G30 manufactured by Keyence can be used as such a triangulation type laser displacement meter 15.
  • a laser displacement meter LK-G30 manufactured by Keyence can be used as such a triangulation type laser displacement meter 15.
  • a result of 0.780 mm was obtained, and the same result as the length measuring machine described above was obtained. It was confirmed that
  • measurement position when using the triangulation type laser displacement meter 15 for example, measurement is performed at five locations as indicated by black circles in FIG. 13B, as in the case of the confocal type laser displacement meter 14. be able to.
  • three methods are exemplified as a method for measuring the distance D between the optical thin films.
  • two optical thin films are optically detected almost simultaneously using an optical distance sensor (for example, a laser displacement meter).
  • an optical distance sensor for example, a laser displacement meter.
  • the distance D of the optical thin film can be measured over a wide range of the joint surface.
  • the second and third methods are preferable to the first method.
  • the laminated assembly 2 it is possible to adopt a configuration in which the layers are not stacked stepwise.
  • the second and third methods using a laser deformometer even in such a case, the distance D between the optical thin films Can be measured.
  • the formation of the laminated assembly 2 of the third embodiment is performed by the method as described above. And in the formation method of the above-mentioned laminated joined body 2, it is set as the structure which makes the space
  • FIG. 14 is a graph showing the effect when the prism element manufacturing method of the third embodiment is used.
  • FIG. 14 compares the result of observing the prism element 9 obtained using the prism element manufacturing method of the third embodiment with the result of observing the prism element 9 obtained using the conventional method. It shows.
  • the conventional method when the laminated joined body 2 is formed, the above-described distance D between the optical thin films is not measured, and the stacked joined body 5 is formed using an adjusting jig, and is observed with a microscope. Has not gone.
  • the method of the third embodiment and the conventional method are the same manufacturing method.
  • 400 prism elements 9 were manufactured by the method of the third embodiment and the conventional method, respectively.
  • difference from the design position of the optical thin film 11 was measured. Referring to FIG. 20, when the optical thin film 11 of the prism element 9 is shifted to the right side from the design position (position indicated by a broken line) as shown in FIG. ) In the negative direction when it is shifted to the left side. Then, the hierarchies were divided according to the respective deviation amounts, and the histogram of FIG. 14 was obtained.
  • the deviation from the design value ranges from ⁇ 0.07 to 0.06 mm. In this case, the dimensional tolerance of ⁇ 0.05 mm required for a highly accurate prism element cannot be satisfied.
  • the deviation from the design value is within the range of ⁇ 0.03 to +0.02 mm. That is, it is within the dimensional tolerance of ⁇ 0.05 mm required for a highly accurate prism element. Therefore, by using the prism element manufacturing method of the third embodiment, it is possible to manufacture a prism element that requires a highly accurate dimensional tolerance.
  • the amount of deviation from the design value is closer to 0 in the method of the third embodiment.
  • the prism element 9 with higher dimensional accuracy is obtained by measuring the distance D of the optical thin film when forming the laminated joined body 2 and observing with the above-mentioned microscope when forming the stacked joined body 5. Can be obtained.
  • the microscope 25 is moved along the stacking direction (vertical direction in the present embodiment) of the polishing-completed layered divided body 4 at the time of microscopic observation in the process of forming the stacked bonded body 5 and focused. It was set as the structure which moves.
  • the movement of the focal point may be a configuration in which only the lens portion is moved instead of moving the entire microscope 25, or a configuration in which an object to be observed (polishing completed layered division 4 or stacked bonded body 5) is moved. It doesn't matter.
  • a parallel plate optical component having an optical thin film applied to only one joint surface is prepared, and this is laminated, and a desired optical element is provided between the parallel plate optical components. It was set as the structure which obtains the laminated assembly 2 in which the layer of a thin film interposes.
  • a configuration includes, for example, a first parallel plate optical component in which a desired optical thin film is formed on both surfaces, and a second parallel plate optical in which a desired optical thin film is not applied to any surface. It can also be obtained by alternately laminating parts. And this invention is applicable also when forming a laminated joined body with such a structure.
  • the formation process of the laminated assembly 2 of 3rd Embodiment in the case of such a structure is demonstrated with reference to FIG.
  • the reason why the distance D between the optical thin films is measured when the multilayer joined body 2 of the third embodiment is formed is that the optical thin films 11 in the laminated joined body 2 are laminated at equal intervals. Therefore, in the case of FIG. 15, when the first parallel plate optical component 21b is placed on the second parallel plate optical component 22, the adhesive layer is cured while measuring between the optical thin films. There is a need to do.
  • the optical thin film 11a on the outermost surface side (the optical thin film on the upper surface of the first parallel plate-like optical component 21a)
  • the layer of the adhesive 12 to be cured includes the adhesive 12 between the first parallel plate optical component 21a and the second parallel plate optical component 22, and the second parallel plate optical component. And the adhesive 12 between the first parallel plate-like optical component 21b. Further, in the case of the configuration of FIG. 15, strict dimensional management is required for the thickness d of the first parallel plate optical component 21.
  • the manufacturing method of the present invention is not limited to this, and can of course be applied to a manufacturing method of an optical element (prism element) including a step of alternately laminating a large substrate and a small substrate to form a laminated assembly. is there.
  • the optical element manufacturing method in which only one optical thin film having a predetermined optical function is provided inside the optical element (prism element) has been described. It is not limited. In other words, the present invention can also be applied to a method for manufacturing an optical element that includes a plurality of optical thin films having a predetermined optical function. And this invention is applicable also when the optical thin film with which an inside of an optical element is equipped is a multiple types of optical thin film, as shown, for example in FIG. In FIG. 16, two types of optical thin films, for example, an optical thin film 31 that functions as a dichroic film and an optical thin film 32 that functions as a reflective film that reflects all light are provided inside the optical element. .
  • the temporary bonding adhesive is peeled off to form the rod-shaped bonded body 10, and then the rod-shaped bonded body 10 is cut to obtain the purpose.
  • the prism element 9 is obtained.
  • the polishing completed stacked cut body 7 is cut to form the optical element coupling body 8, and thereafter The optical element connector 8 may be separated to obtain the target prism element 9.
  • the configuration of the embodiment described above is preferable because the cleaning operation after the temporary fixing adhesive is peeled off is easy.
  • the method for producing an optical element of the present invention is suitable as a method for producing a prism element used in an optical apparatus such as an optical pickup device.

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Abstract

　高精度の寸法公差が要求される光学素子を容易に製造できる光学素子の製造方法を提供する。本発明の光学素子の製造方法は、平行平板状光学部品を、それぞれの間に光学薄膜が介在するように積層し、接合して積層接合体を形成する工程と、積層接合体を、光学薄膜に対し平行でも垂直でもない所定の角度で、一定の間隔で切断して積層分割体を形成する工程と、積層分割体の切断面を研磨して研磨完了積層分割体を形成する工程と、研磨完了積層分割体を、研磨面が互いに対向するように配置して積上げて積上げ接合体を形成する工程と、を備え、積上げ接合体を形成する工程は、研磨完了積層分割体を積上げる方向にから顕微鏡による像に基づいて位置調整を行って、積上げ接合体を形成する。

Description

光学素子の製造方法
　本発明は、例えば光ピックアップ装置等の光学装置に使用される光学素子の製造方法に関する。
　例えば光ピックアップ装置等の光学装置において、光を合成或いは分離する目的でプリズム素子が用いられることがある。近年、光学装置に用いられるプリズム素子について、高精度の寸法公差が要求されることがある。
　光ピックアップ装置に使用されるプリズム素子の場合を例に説明する。近年、青色領域のレーザ光を使用することにより、記録容量を大幅に増大させたブルーレイディスク（ＢＤ）等の情報記録媒体が実用化されている。このような高記録容量の情報記録媒体に対応する光ピックアップ装置においては、情報記録媒体の記録面上にレーザ光を高精度に集光して、高密度に記録された情報を読み取ったり、或いは、情報を記録したりする必要がある。このため、光ピックアップ装置を構成する光学部材には高精度の寸法公差が要求され、プリズム素子も例外ではない。例えば、従来のＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）用の光ピックアップ装置に用いられるプリズム素子においては、一般的に±０．１ｍｍ程度の寸法公差が要求される。しかし、ＢＤ用の光ピックアップ装置に用いられるプリズム素子においては、例えば、±０．０５ｍｍや±０．０３ｍｍといった寸法公差が要求されるに至っている。
　ところで、光ピックアップ装置等に使用されるプリズム素子は、高精度の寸法公差が要求されることに加えて、製造コストの低コスト化も要求される。この点、例えば、特許文献１～３に、プリズム素子を低コストで製造する方法が開示されている。特許文献１～３に開示されるプリズム素子の製造方法においては、複数の平板ガラスを積層した後に切断して積層分割体を形成し、その後、積層分割体を加工して所望のプリズム素子を得る構成となっている。また、特許文献４には、上述の積層分割体（多連ガラス体）を得るにあたって、大型基板と小型基板とを交互に積層して積層接合体（積層ガラス体）を形成し、その後、積層接合体を分割して積層分割体を得る手法が開示されている。この手法では、プリズム素子の内部に形成される膜の傾斜角度が高い角度精度を有するプリズム素子が製造できるとされている。
　ここで、従来のプリズム素子の製造方法について、図１７及び図１８を参照しながら説明しておく。図１７は、従来のプリズム素子の製造方法を示すフローチャートである。図１８は、図１７に示すフローチャートの各工程を説明するための図である。なお、図１８に示す図は、原則、側面図であるが、理解を容易とするために斜視図としているものもある。
　まず、図１８（ａ）に示すように、光学薄膜１１を施した複数枚の矩形の平行平板状光学部品１が準備される（ステップＳ１０１）。なお、光学薄膜１１は、研磨が行われた接合面上に形成される。次に、図１８（ｂ）に示すように、準備された複数枚の矩形の平行平板状光学部品１が、所定の角度（例えば４５°）となるように所定量ずらして階段状となるように接着剤を介して積層され、接合され積層接合体２が形成される（ステップＳ１０２）。図１８（ｂ）に示す製造例では、いずれも光学薄膜１１を施した面が上面側となるように積層している。
　尚、上記の所定の角度とは、矩形の平行平板状光学部品１を所定量ずらすことにより露出する平行平板状光学部品１の平面と該平面に接して積層されている平行平板状光学部品１の端面とで成す境界辺が接する平面と、上記平面とが成す角度を示す。この角度を以下の積層分割体３を形成する際に積層接合体２を切断する所定の角度と同じとすると、積層接合体２から効率よく積層分割体３が形成される。
　次に、図１８（ｃ）に示すように、積層接合体２が例えばワイヤーソーを用いて所定の角度（光学薄膜１１に対して平行でなく、また垂直でない、例えば４５°）且つ一定の間隔（図１８（ｂ）の破線間隔）で切断分割されて、積層分割体３が形成される（ステップＳ１０３）。なお、一定の間隔は、最終的に製造しようとするプリズム素子の寸法等に応じて設定される。得られた積層分割体３は、それぞれ分割面３ａ（切断面）が研磨され、研磨面４ａとされた、図１８（ｄ）に示す研磨完了積層分割体４が形成される（ステップＳ１０４）。
　次に、図１８（ｅ）に示すように、複数の研磨完了積層分割体４が、その研磨面４ａが互いに対向するように配置されると共に、互いの位置関係が所定の位置関係となるように治具を用いて調整され、仮止め用接着剤を介して積上げられる。これにより、積上げ接合体５が形成される（ステップＳ１０５）。なお、所定の位置関係となるような調整は、例えば図１９に示すような調整治具１０１を用いて行われる。調整治具１０１には、壁面１０２に位置調整用の複数の凸部１０３が設けられる。複数の凸部１０３は等間隔に形成され、各々の凸部１０３には、研磨完了積層分割体４の端部側にある斜面部４ｂと平行な面１０３ａが形成されている。これにより、研磨完了積層分割体４の斜面部４ｂを凸部１０３に当接させながら積上げることで、複数の研磨完了積層分割体４の互いの位置関係が所望の関係となるようにして、積上げ接合体５を形成できる。
　形成された積上げ接合体５は、図１８（ｆ）に示すように、例えばワイヤーソーを用いて研磨面４ａに対して所定の角度（例えば９０°）、且つ、一定の間隔（図１８（ｅ）の破線間隔）で切断される。これにより、積上げ切断体６が形成される（ステップＳ１０６）。なお、一定の間隔は、最終的に製造しようとするプリズム素子の寸法等に応じて設定される。得られた積上げ切断体６は、それぞれ切断面６ａを研磨され、図１８（ｇ）に示す研磨完了積上げ切断体７が形成される（ステップＳ１０７）。
　次に、図１８（ｈ）に示すように、研磨完了積上げ切断体７が、例えばワイヤーソーを用いて研磨面７ａに対して所定の角度（例えば９０°）、且つ、一定の間隔（図１８（ｈ）の破線間隔）で切断される。これにより、複数の光学素子（プリズム素子９）が仮止め用接着剤を介して直列に連結された光学素子連結体８が形成される（ステップＳ１０８）。なお、一定の間隔は、最終的に製造しようとするプリズム素子の寸法等に応じて設定される。
　得られた光学素子連結体８は、図１８（ｉ）に示すように仮止め用接着剤が剥離され、これにより、光学素子連結体８は個々の光学素子に分離される。そして、これにより、所望の複数のプリズム素子９が得られる（ステップＳ１０９）。
特開平７－４３５０８号公報 特開２０００－１４３２６４号公報 特開２０００－１９９８１０号公報 特開２００６－３３７６４１号公報
　しかしながら、以上に示した従来のプリズム素子の製造方法には次のような問題点がある。積上げ切断体６を形成する工程（図１８（ｆ）参照）においては、最上段の研磨完了積層分割体４から最下段の研磨完了積層分割体４までを一度に切断してしまう。このため、積上げ接合体５の形成工程（図１８（ｅ）参照）で研磨完了積層分割体４を精度良く積上げ方向（例えば上下方向）に積上げないと、積上げ切断体６の出来栄えにバラツキが生じる。この結果、最終的に得られるプリズム素子９の出来栄えについて、図２０に示すようなバラツキが生じる。図２０において、破線位置が狙いの光学薄膜１１（接合面とも言い換えられる）の位置であり、図２０（ａ）は光学薄膜１１の位置が右側にずれた場合を示し、図２０（ｂ）は光学薄膜１１の位置が左側にずれた場合を示している。
　そして、このように光学薄膜１１の位置が狙いの位置からずれた場合、図２１に示すようにビームシフト量ｓが大きくなるといった問題がある。ここで、ビームシフト量ｓとは、プリズム素子の設計光軸中心に沿って光を入射させた時に、プリズム素子の内部を反射或いは透過して出射（図２１では反射して出射する場合を示している）した光の出射位置が、プリズム素子の設計光軸中心からずれる量のことを指している。特にＢＤに対応する光ピックアップ装置では、ビームシフト量ｓの許容範囲が狭く、ビームシフト量ｓが大きくならないようにプリズム素子を製造することが要求される。
　以上のような問題を回避するために、従来においては上述した調整治具１０１（図１９参照）をできる限り高精度に作製することで対応している。しかしながら、調整治具１０１の構造は複雑であるために、その精度に限界がある。このため、従来においては、積上げ接合体５を形成する際の接合精度を確保するのが難しかった。また、高精度の治具を作製しようとすると、それだけコストも上昇するという不利もあった。
　そこで、本発明の目的は、高精度の寸法公差が要求される光学素子を容易に製造できる光学素子の製造方法を提供することである。
　上記目的を達成するために本発明は、所定の光学機能を有する光学薄膜を１つ以上内部に有する光学素子の製造方法であって、複数枚の平行平板状光学部品を、それぞれの間に前記光学薄膜と接着剤とが介在するように積層し、接合して積層接合体を形成する積層接合体形成工程と、前記積層接合体を、前記光学薄膜に対し平行でなく、また、垂直でもない所定の角度、且つ、一定の間隔で切断して積層分割体を形成する積層分割体形成工程と、前記積層分割体の切断面を研磨し、該切断面を研磨面とする研磨完了積層分割体を形成する研磨完了積層分割体形成工程と、複数の前記研磨完了積層分割体を、前記研磨面が互いに対向するように配置し、対向する前記研磨面の間に仮止め用接着剤が介在するように積上げて積上げ接合体を形成する積上げ接合体形成工程と、前記積上げ接合体を、前記研磨面に対して所定の角度、且つ、一定の間隔で切断して積上げ切断体を形成する積上げ切断体形成工程と、前記積上げ切断体の切断面を研磨して研磨完了積上げ切断体を形成する研磨完了積上げ切断体形成工程と、を備え、前記積上げ接合体形成工程において、前記研磨完了積層分割体を積上げる方向からの、前記研磨完了積層分割体の顕微鏡による像に基づいて該研磨完了積層分割体の位置調整を行って、前記積上げ接合体を形成することを特徴としている。
　なお、「所定の光学機能」とは、単に「特定の一種類の光学機能」を意味する場合もあるし、「特定の複数種類の光学機能から選択されるいずれかの光学機能」を意味する場合もある。
　本構成によれば、積上げ接合体の形成時に、研磨完了積層分割体の顕微鏡による像に基づいて研磨完了積層分割体の位置調整を行って積上げる構成であるので、積上げ接合体を高精度に形成できる。このために、積上げ接合体を切断し、所定の処理を行って得られるプリズム素子についても高精度とできる。そして、顕微鏡による像を利用するという作業を行うことによって上述の高精度の調整治具を準備する必要がなくなり、高精度の寸法公差を要求されるプリズム素子を容易に得ることが可能である。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積層分割体の前記研磨面と、前記研磨面の端部と繋がる斜面部と、の境界線部を落射照明し、前記顕微鏡により、該境界線部の像を得ることとしても良い。上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積層分割体の前記研磨面と、前記研磨面の端部と繋がる斜面部と、の境界線部の像を前記顕微鏡により得り、前記斜面部は、該斜面部で反射した光が、前記顕微鏡に入射するように照明されることとしても良い。
　また、上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積層分割体が備える複数の接合面のうちのいずれか１つの像を前記顕微鏡より得ることとしても良い。なお、前者２つの方が、観察像をより明瞭にすることが可能であり、位置調整を行い易いという利点を有する。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積層分割体が備える接合面に沿う方向の両端部の２箇所の像を前記顕微鏡より得ることとしても良い。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積上げ切断体の前記仮止め用接着剤を剥離して棒状接合体を形成する棒状接合体形成工程と、前記棒状接合体を切断して複数の前記光学素子とする棒状接合体切断工程と、を備えることとしても良い。そして、この構成において、前記棒状接合体が、前記光学薄膜が施された第１の三角柱と、前記光学薄膜が施されていない第２の三角柱とが接合されて成る場合に、前記棒状接合体切断工程において、断面Ｖ字状の溝部を有する治具を使用し、前記第１の三角柱側が前記溝部で受けられるように前記棒状接合体を配置して切断するのが好ましい。このように棒状接合体を切断することで、高精度の切断を行うことが可能となる。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記研磨完了積上げ切断体を、前記研磨面に対して所定の角度、且つ、一定の間隔で切断し、複数の前記光学素子が前記仮止め用接着剤を介して直列に連結されている状態の光学素子連結体を形成する光学素子連結体形成工程と、前記光学素子連結体の前記仮止め用接着剤を剥離して個々の前記光学素子とする光学素子連結体分離工程と、を備えることとしても良い。ただし、上述の積上げ切断体から棒状接合体を得て、その後、棒状接合体を切断して個々の光学素子を得る構成の方が、仮止め用接着剤を剥離する作業時の清掃等を行い易い点で好ましい。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記積層接合体形成工程において、複数枚の平行平板状光学部品を、それぞれの間に前記光学薄膜と接着剤とが介在するように積層する際、先に積層された前記光学薄膜のうち最も外面側にある光学薄膜と、前記最も外面側にある光学薄膜と前記平行平板状光学部品を挟んで隣り合うことになる前記光学薄膜と、の間隔を測定し、所定の間隔となったことを確認して前記接着剤を硬化するのが好ましい。
　この構成によれば、積層接合体形成時に光学薄膜の間隔測定を行いながら積層接合を行うので、隣り合う光学薄膜の間隔がほぼ等間隔となった積層接合体を得ることができる。このため、積層接合体の形成後に得られる積上げ接合体を切断して得られる積上げ切断体の出来栄えについて、更にバラツキを低減できる。すなわち、本構成によれば、プリズム素子を更に高精度に製造可能である。
　上記構成の光学素子の製造方法において、前記積層接合体形成工程では、前記平行平板状光学部品が所定量ずらして階段状に積層され、前記間隔の測定は、前記階段状に積層されることによって形成される段差部分の段差測定であることとしても良い。また、上記構成の光学素子の製造方法において、前記間隔の測定は、光学式測距センサが用いられ、前記間隔の測定は、測定対象となる２つの前記光学薄膜をほぼ同時に検出する方法により行うこととしても良い。後者の方が接合面全体の間隔測定を行えるために、光学薄膜の間隔について高い精度を得やすく有利である。
　なお、前記光学式測距センサは、例えば、共焦点方式のレーザ変位センサや三角測量方式のレーザ変位センサを用いることができる。
　本発明の光学素子の製造方法によれば、高精度の寸法公差が要求される光学素子を容易に製造することができる。
は、第１実施形態のプリズム素子の製造方法を示すフローチャートである。 は、第１実施形態の積上げ接合体の形成工程の詳細を示すフローチャートである。 は、第１実施形態の積上げ接合体の形成工程を説明するための図である。 は、第１実施形態のプリズム素子の製造方法の一部を説明するための図である。 は、第２実施形態の積上げ接合体の形成工程を説明するための図である。 （ａ）は、第２実施形態の積上げ接合体の形成工程で用いる同軸落射照明の効果を説明するための図である。（ｂ）は、第２実施形態の積上げ接合体の形成工程で用いる別例の照明の効果を説明するための図である。（ｃ）は、（ｂ）における照明の効果を顕微鏡の観察像で示す図である。 は、第２実施形態のプリズム素子の製造方法を用いた場合の効果を示すグラフである。 は、第３実施形態の積層接合体の形成工程の詳細を示すフローチャートである。 は、第３実施形態の積層接合体の形成工程を説明するための図である。 は、光学薄膜の間隔を測定する第１の手法を説明するための図である。 は、光学薄膜の間隔を測定する第２の手法を説明するための図である。 は、共焦点タイプのレーザ変位計の構成例を示す図である。 は、光学薄膜の間隔を測定する第３の手法を説明するための図である。 は、第３実施形態のプリズム素子の製造方法を用いた場合の効果を示すグラフである。 は、本発明の光学素子の製造方法の変形例を説明するための図である。 は、本発明の光学素子の製造方法の変形例を説明するための図である。 は、従来のプリズム素子の製造方法を示すフローチャートである。 は、図１７に示すフローチャートの各工程を説明するための図である。 は、従来のプリズム素子の製造方法において、積上げ接合体を形成する際に使用される調整治具の構成を示す概略断面図である。 は、従来のプリズム素子の製造方法の問題点を説明するための図である。 は、従来のプリズム素子の製造方法の問題点を説明するための図である。
　以下、本発明の光学素子の製造方法について、実施形態を挙げて図面を参照しながら詳細に説明する。以下で説明する実施形態では、所定の光学機能を有する光学薄膜を内部に１つ備えるキューブ状のプリズム素子の製造方法を一例として説明する。なお、ここで言う所定の光学機能としては、例えば、偏光を分離或いは合成する機能、波長が異なる光を分離或いは合成する機能等が挙げられる。そして、このような機能を発揮する光学薄膜の具体例として、偏光膜、ダイクロイック膜が挙げられる。
（第１実施形態）
　図１は、第１実施形態のプリズム素子の製造方法を示すフローチャートである。なお、大部分のフローは図１７に示した従来のプリズム素子の製造フローと同様であり、重複する部分については、特に説明の必要がない場合には説明を省略する。
　第１実施形態のプリズム素子の製造方法において、平行平板状光学部品１の準備（ステップＳ１）、積層接合体２の形成（ステップＳ２）、積層分割体３の形成（ステップＳ３）、研磨完了積層分割体４の形成（ステップＳ４）、積上げ切断体６の形成（ステップＳ６）、及び研磨完了積上げ切断体７の形成（ステップＳ７）は、図１７及び図１８における従来のプリズム素子の製造方法と同様であるために、その説明を省略する。すなわち、以下では、積上げ接合体５の形成（ステップＳ５）、棒状接合体の形成（ステップＳ８）、及び棒状接合体の切断（ステップＳ９）について説明する。
　図２は、第１実施形態の積上げ接合体５の形成工程の詳細を示すフローチャートである。図３は、第１実施形態の積上げ接合体５の形成工程を説明するための図で、図３（ａ）は正面図、図３（ｂ）は側面図、図３（ｃ）は上面図である。積上げ接合体５の形成にあたっては、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａが積上げ方向（本実施形態では上下方向）と直交するように研磨完了積層分割体４を配置して順次積上げる。以下、図２及び図３を参照しながら、その詳細を説明する。
　尚、以下の説明では、研磨完了積層分割体４の積上げは、研磨完了積層分割体４を、顕微鏡を用いて目で観察し、手動で研磨完了積層分割体４の位置を調整しているが、顕微鏡から得られる像をＣＣＤカメラ等で撮像し、モニター表示を行う方が好ましい。また、撮像された像を画像処理し、その結果に基づいてモータ等のアクチュエータで制御されるアーム等で研磨完了積層分割体４の位置調整を行うようにすることもできる。
　積上げ接合体５の形成にあたって、まず、左右２箇所に設置される顕微鏡２５（図３（ａ）参照）を用いて、接合される側の研磨完了積層分割体４Ａの接合面４１を真上から観察する。研磨完了積層分割体４Ａには複数の接合面（図３に示す例では４つ）があるが、そのうちのどれか１つに決めて顕微鏡２５で観察する。そして、観察像上に表示される基準線と先に決めた接合面４１とが合致するように、研磨完了積層分割体４Ａの位置を調整する（ステップＳ１１）。なお、図３においては、研磨完了積層分割体４Ａは積上げ接合体５の一部となっている。
　なお、２つの顕微鏡２５を用意して左右２箇所、好ましくは研磨完了積層分割体４の接合面に沿った両端部の２箇所、の像を得ることとしているのは、研磨完了積層分割体４の前後左右方向及び接合面（研磨完了積層分割体４の研磨線４ａに同じ）内の回転方向に対して精度良く位置合わせを行うことを可能とするためである。また、基準線は顕微鏡２５で観察することによって観察像上に現れるように、顕微鏡２５に設定されている。更に、顕微鏡２５は、積上げ方向（上下方向）にまっすぐ移動するように調整されている。
　次に、接合される側の研磨完了積層分割体４Ａに接着剤を塗布する（ステップＳ１２）。ここで用いる接着剤は仮止め用接着剤である。仮止め用接着剤としては、例えばアセトンやトルエン等、シンナー系の溶剤で溶解されるＵＶ接着剤が用いられる。仮止め用接着剤としては、この他、加熱によって溶融する接着剤や、温水等によって膨潤する接着剤等を用いても構わない。
　仮止め用接着剤を塗布すると、次に接合する研磨完了積層分割体４Ｂが接着剤の塗布面に載置される（ステップＳ１３）。接合する研磨完了積層分割体４Ｂの載置は、できる限り気泡を巻き込まないように静かに行うのが好ましい。載置された研磨完了積層分割体４Ｂは、仮止め用接着剤を接合面（研磨完了積層分割体４の研磨面４ａ）全体に行き渡らせると同時に巻き込んだ気泡や異物を排出するために加圧される（ステップＳ１４）。加圧の手法としては、人の手で以って摺動させながら加圧する方法としても良いし、その他、例えば、重り、ネジ、空圧、油圧等によって荷重をかけて加圧する方法としても良い。
　所望の加圧が完了すると、次に顕微鏡２５を上方に動かして、載置した研磨完了積層分割体４Ｂの最表面に焦点が合うように観察位置を移動する（ステップＳ１５）。ここで、先に観察した、接合される側の研磨完了積層分割体４Ａの接合面４１と対応する位置にある、載置した研磨完了積層分割体４Ｂの接合面４１（図３では右から２つ目の接合面）について観察する。そして、載置した研磨完了積層分割体４の接合面４１が観察像中に表示される基準線と合致するように、その位置を調整する（ステップＳ１６）。載置した研磨完了積層分割体４の接合面４１が基準線位置と合致したことを確認して仮止め用接着剤に紫外線を照射して硬化させる（ステップＳ１７）。
　以上のようにして研磨完了積層分割体４Ｂの積上げ接合が完了すると、研磨完了積層分割体４を所望の枚数を接合したか否かを確認する（ステップＳ１８）。所望の枚数を接合した場合は積上げ接合体５の形成工程を終了し、所望の積層枚数を接合していない場合には、ステップＳ１１～ステップＳ１７を繰り返して積上げ接合体２の形成を続ける。
　上述のように、顕微鏡２５は積上げ方向（上下方向）にまっすぐ移動するように調整されているために、以上の方法により、互いに接合される研磨完了積層分割体４Ａ、４Ｂの位置関係は精度良く狙いの関係となる。このため、従来のように高精度の調整治具１０１（図１９参照）を使用する必要がなく、精度良く積上げられた積上げ接合体５を容易に得られる。
　次に、従来の製造方法と異なる、棒状接合体の形成工程（図１；ステップＳ８）及び棒状接合体の切断工程（図１；ステップＳ９）について、図４を参照しながら説明する。
　上述のように積上げ接合体５を形成する際には仮止め用接着剤が用いられ、本実施形態では、仮止め用接着剤としては、例えばアセトンやトルエン等、シンナー系の溶剤で溶解されるＵＶ接着剤が用いている。このため、積上げ接合体５を切断後、研磨して得られる研磨完了積上げ切断体７をシンナー系の溶剤で洗浄することにより、仮止め用接着剤が溶解されて、図４（ａ）に示すような棒状接合体１０が得られる（図１；ステップＳ８）。
　棒状接合体１０は、図４（ｂ）に示すように、光学薄膜１１が施された第１の三角柱１０ａと、光学薄膜１１が施されていない第２の三角柱１０ｂとが接合された接合体である。この棒状接合体１０を、図４（ｂ）に示される破線位置においてカッタ１７で切断することにより、所望の個々のプリズム素子９が得られる（図１；ステップＳ９）。
　なお、本実施形態においては、図４（ｂ）に示すように、断面Ｖ字状の溝部１６ａを複数有する治具１６に、棒状接合体１０を載置して、その後カッタ１７で棒状接合体１０を切断する構成としている。そして、治具１６に棒状接合体１０を載置する場合に、第１の三角柱１０ａ側がＶ字状の溝部１６ａで受けられるように置くこととしている。治具１６のＶ字状の溝部１６ａは高精度の加工がなされているため、切断時のカッタ１６と光学薄膜１１との関係を一定の関係とでき、切断時のバラツキを抑制できる。
　第１実施形態のプリズム素子９の製造方法は以上のようであるが、上述のように、積上げ接合体５の形成工程において、顕微鏡２５で観察しながら位置調整を行って研磨完了積層分割体４を積上げることとしている。このために、精度良く積上げ接合体５を形成できるために、高精度の寸法公差を要求されるプリズム素子９を形成することが可能となる。
（第２実施形態）
　次に、第２実施形態のプリズム素子の製造方法について説明する。第２実施形態のプリズム素子の製造方法は、積上げ接合体５の形成工程において一部相違点がある他は、第１実施形態のプリズム素子の製造方法と同じである。したがって、相違点についてのみ説明する。
　図５は、第２実施形態の積上げ接合体５の形成工程を説明するための図で、図５（ａ）は正面図、図５（ｂ）は側面図、図５（ｃ）は上面図である。第１実施形態では、研磨完了積層分割体４を積上げる際に、研磨完了積層分割体４の或る接合面４１を観察しながら、これが基準線と合致するように位置調整を行う構成であった（図３参照）。一方、第２実施形態は、図５に示すように、研磨完了積層分割体４の境界線部４ｃを観察しながら、これが基準線と合致するように位置調整を行う構成となっている。ここで、境界線部４ｃは、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａと、この研磨面４ａと繋がる斜面部４ｂと、の境界部分を指している。
　なお、観察対象が異なる点を除いては、図２に示すフローと同様のフローで積上げ接合体５が形成されるため、詳細なフローの説明は省略する。
　第２実施形態においては、顕微鏡２５での観察の際に同軸落射照明を与える構成となっている。このように同軸落射照明を与えることにより境界線部４ｃが明瞭な線となるために、位置合わせが行い易い。これについて、図６（ａ）を参照しながら説明する。なお、図６（ａ）は、第２実施形態の積上げ接合体５の形成工程で用いる同軸落射照明の効果を説明するための図である。
　図６（ａ）に示すように、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａと、この研磨面４ａの端部と繋がる斜面部４ｂと、の境界線部分を同軸落射照明する照明光のうち、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａに照射される光は、研磨面４ａで垂直反射されて顕微鏡２５の方向に戻る。このため、顕微鏡２５が得る研磨面４ａの部分の像は明るい像となる。一方、研磨完了積層分割体４の斜面部４ｂに照射される光は、斜面部４ｂで反射されるために顕微鏡２５の方向に光が戻らない。本実施形態では、斜面部４ｂと研磨面４ａとのなす角が４５°であるために斜面部４ｂで反射された光は入射方向と直角の方向に反射される。このために、斜面部４ｂの像は暗い像となる。
　従って、図５（ｃ）に示すように、顕微鏡２５で得られる観察像において境界線部４ｃが明瞭な線となり、基準線と合致させ易い。なお、斜面部４ｂは、平行平板状光学部品１の準備工程で研磨される面である。このため、同軸落射照明の照明光を反射する２つの面（研磨面４ａ、斜面部４ｂ）はいずれも研磨されており、明るい部分と暗い部分の境界は非常に明瞭な線となる。第１実施形態のように観察対象を接合面４１とする場合、接合面４１が非常に薄いために明瞭な観察像を得難い場合があるが、第２実施形態の方法では、そのような心配がなく、位置調整が非常に行い易いという利点がある。
　尚、上記の境界線部分の照明は同軸落射に限定されることなく、境界線部を上部から照明する落射照明としてもよいが、より明瞭な顕微鏡２５による像を得るには、同軸落射照明とすることが好ましい。
　研磨完了積層分割体４の研磨面４ａと、この研磨面４ａの端部と繋がる斜面部４ｂと、の境界線部分の顕微鏡像を得る上記の同軸落射照明とは別の照明を行う例を説明する。
　図６（ｂ）は、第２実施形態の積上げ接合体の形成工程で用いる別例の照明の効果を説明するための図である。また、図６（ｃ）は、図５（ｃ）に示される積上げ接合体５の上面図と同じであって、観察像は、以下で説明する別例の照明による観察像を示す。
　図６（ｂ）に示すように、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａと、研磨面４ａの端部と繋がる斜面部４ｂと、の境界線部分の像を顕微鏡２５により得るようにして、斜面部４ｂで反射される光が顕微鏡２５の方向となるように、研磨完了積層分割体４の斜面部４ｂを照明する。このため、顕微鏡２５により得られる境界線部分の像は、斜面部４ｂの部分の像が明るい像となる。一方、研磨完了積層分割体４の研磨面４ａの部分の像は、照明されていないため、斜面部４ｂの部分と比較して暗い像となる。
　従って、図６（ｃ）に示すように、同軸落射照明の場合と同様に、顕微鏡２５より得られる観察像において境界線部４ｃが明瞭な線となり、基準線と合致させ易い。
　図７は、第２実施形態のプリズム素子の製造方法を用いた場合の効果を示すグラフである。図７は、第２実施形態のプリズム素子の製造方法を用いて得られたプリズム素子９を観察した結果と、従来の方法（積上げ接合体５の形成時に調整治具を用い、顕微鏡による観察は行わない方法）を用いて得られたプリズム素子９を観察した結果と、を比較して示している。なお、第２実施形態の方法と従来の方法は、積上げ接合体５の形成工程の違いを除いては、同一の製造方法とした。
　具体的には、第２実施形態の方法と従来の方法とによって、それぞれ４００個のプリズム素子９を製造した。製造したプリズム素子９について、光学薄膜１１の設計位置からのずれ（図２１に示すビームシフト量ｓ）を測定した。図２０を参照して、プリズム素子９の光学薄膜１１が図２０（ａ）のように設計位置（破線で示す位置）から右側にずれている場合にはプラス方向のずれとし、図２０（ｂ）のように左側にずれている場合にはマイナス方向のずれとした。そして、各ずれ量によって、図７の横軸に示す階層分けを行い、図７のヒストグラムを得た。
　図７のヒストグラムにおいて、従来の方法では、設計値からのずれが、－０．０７～０．０６ｍｍに亘っている。この場合、高精度なプリズム素子に要求される±０．０５ｍｍの寸法公差を満足できない。一方、第２実施形態の方法では、設計値からのずれは、－０．０３～＋０．０２ｍｍの範囲に収まっている。すなわち、高精度なプリズム素子に要求される±０．０５ｍｍの寸法公差内に収まっている。したがって、本実施形態のプリズム素子の製造方法を用いれば、高精度の寸法公差が要求されるプリズム素子の製造が可能である。
（第３実施形態）
　次に第３実施形態のプリズム素子の製造方法について説明する。第３実施形態のプリズム素子の製造方法は積層接合体２の形成工程に特徴を有する。第１実施形態及び第２実施形態のプリズム素子の製造方法を使用して積上げ接合体５を形成するとしても、次のような問題により、図２０（ａ）、（ｂ）に示すような光学薄膜１１が理想の位置からずれたプリズム素子９を製造してしまう場合がある。
　第１の問題として、平行平板状光学部品１の厚みに偏りやバラツキがある場合が挙げられる。例えば、積層接合体２を形成する際に使用する平行平板状光学部品１の厚みが薄いものばかりに偏っていた場合を想定する。積上げ接合体５を切断する場合、通常ワイヤーソーを使用する。ワイヤーソーのワイヤーのピッチＰ（図１８（ｅ）参照）は容易に変更することができない。このため、積上げ接合体５をワイヤーソーで切断する際に、積上げ接合体５の最右端の切断位置Ｒ（図１８（ｅ）参照）を基準にワイヤーの位置を調整して切断すると、積上げ切断体６の出来栄えに偏りが生じる。そして、最終的に得られるプリズム素子９について、左端側の積上げ切断体６から得られるプリズム素子９は図２０（ａ）に示すような出来栄えとなる。すなわち、光学薄膜１１の位置が理想の位置（破線で示す）よりも右側にずれたものとなる。
　逆に、積層接合体２を形成する際に使用する平行平板状光学部品１の厚みが厚いものばかりに偏っていた場合を想定すると、図２０（ｂ）に示すような出来栄えのプリズム素子９を得ることになる。すなわち、光学薄膜１１の位置が理想の位置（破線で示す）よりも左側にずれたプリズム素子９を得ることになる。
　第２の問題として、積層接合体２を形成する際に使用される接着剤厚のバラツキが挙げられる。この場合にも、ワイヤーソーのワイヤーのピッチＰが一定の間隔であるために、積上げ切断体６の形成時にバラツキが生じる。そして、最終的に得られるプリズム素子９について、図２０（ａ）、（ｂ）のように光学薄膜１１の位置がずれたプリズム素子９を得ることになる。
　そこで、以下のように積層接合体２を形成する際に、平行平板状光学部品１を挟んで対向する光学薄膜１１の間隔が所望の範囲内に収まるように工夫し、上述の第１及び第２の問題の解決を図っている。これについて、以下説明する。なお、第３実施形態のプリズム素子９の製造方法は、前述の工夫を除いて第２実施形態のプリズム素子９の製造方法と同様であるため、重複する部分については説明を省略する。
　第３実施形態の製造方法においても、まず、複数枚の矩形の平行平板状光学部品（例えばガラス板）が準備される（図１のステップＳ１）。そして、本実施形態でも、この準備にあたって平行平板状光学部品１の接合面を研磨して、一方の面に光学薄膜１１を施す（図１８（ａ）参照）。
　ここで、光学薄膜１１が施された平行平板状光学部品１は、その厚さ公差について次のような管理が行われる。光学薄膜１１が施される平行平板状光学部品１の厚さ公差の中心値は、「積層接合された時に隣り合う２枚の平行平板状光学部品の光学薄膜間隔の設計中心値から接着剤厚の設計中心値を差し引いた厚さ」とされる。また、厚さ公差の公差幅は、「積層接合された時の接着剤厚の設計中心値の１～１．５倍」とされる。ここで、接着剤厚の設計中心値は経験的に求められる値である。また、公差幅を接着剤厚の設計中心値の１～１．５倍とするのは、接着剤厚の調整により光学薄膜１１が施された平行平板状光学部品１の厚さのバラツキを吸収できるようにすることを考慮するものである。
　具体例を挙げて説明すると、積層接合された時に隣り合う２枚の平行平板状光学部品１における光学薄膜１１の間隔の設計中心値を４ｍｍ、積層接合された時の接着剤厚の設計中心値を０．０１５ｍｍとする。この場合、公差幅を接着剤厚の設計中心値の１．３３倍とすると、公差幅は０．０２０ｍｍとなる。したがって、光学薄膜が施された平行平板状光学部品の厚さ公差は、３．９８５±０．０１０ｍｍとなる。そして、このように導かれた厚さ公差から外れた平行平板状光学部品１（光学薄膜１１含む）は、規格外として使用しない。
　以上のようにして光学薄膜１１が施された矩形の平行平板状光学部品１が準備されると、次に、積層接合体２が形成される（図１のステップＳ２）。積層接合体２の形成方法の詳細について主に図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、第３実施形態の積層接合体の形成工程の詳細を示すフローチャートである。また、図９は、第３実施形態の積層接合体の形成工程を説明するための図である。
　積層接合体２は、図９に示すように歩留まりを良くすることを念頭に置いて、所定の角度（例えば４５°）を有する階段状に形成される。このため、積層接合体２の形成工程においては、所定の角度の階段状となるように、光学薄膜１１を施した平行平板状光学部品１を図示しない治具に当接させながら順次積層する。なお、本実施形態では、光学薄膜１１が上面となるように配置して積層接合体２が形成される。
　積層接合体２の形成にあたっては、まず、接合される側の平行平板状光学部品１ａ（図９（ａ）参照）の接合面に接着剤１２が塗布される（ステップＳ２１）。本実施形態では平行平板状光学部品１の上面に光学薄膜１１が施されているために、接着剤１２は光学薄膜１１の面上に塗布されることになる。接着剤１２には、例えば紫外線の照射によって硬化する接着剤や加熱により硬化する接着剤等が使用される。
　次に、図９（ａ）に矢印で示すように、接着剤１２が塗布された接合面に光学薄膜１１ｂを上面にした状態で接合する平行平板状光学部品１ｂが載置される（ステップＳ２２）。この際、平行平板状光学部品１ｂはできる限り気泡を巻き込まないように静かに載置するのが好ましい。
　平行平板状光学部品１ｂが載置されると、接着剤１２を接合面全体に行き渡らせる（厚さの均一な接着剤１２の層を形成する）と同時に、巻き込んだ気泡や異物を排出するために、載置した平行平板状光学部品１ｂの加圧を開始する（ステップＳ２３）。加圧の手法としては、人の手で以って摺動させながら加圧する方法としても良いし、その他、例えば、重り、ネジ、空圧、油圧等によって荷重をかけて加圧する方法としても良い。
　加圧が開始されると、平行平板状光学部品１ａの光学薄膜１１ａと、平行平板状光学部品１ｂの光学薄膜１１ｂと、の間隔Ｄ（図９（ｂ）参照）の測定が開始され、当該間隔測定を行いながら加圧調整を行う（ステップＳ２４）。光学薄膜の間隔Ｄを測定する方法の詳細は後述するが、接合面全体に亘って等しい間隔となるように、光学薄膜の間隔Ｄは複数の地点で測定するのが好ましい。
　接着剤１２を接合面の全体に行き渡らせ、測定している光学薄膜の間隔Ｄが所望の範囲内（例えば、設計値±３μｍ；本例では４±０．００３ｍｍ以内）であることを確認して、例えば紫外線照射や加熱等の所定の方法で接着剤を硬化させる（ステップＳ２５）。このようにして平行平板状光学部品１ｂの積層接合が完了すると、平行平板状光学部品１を所望の枚数を接合したか否かを確認する（ステップＳ２６）。所望の枚数を接合した場合は積層接合体２の形成工程を終了し、所望の積層枚数を接合していない場合には、ステップＳ２１～ステップＳ２５を繰り返して積層接合体２の形成を行う。
　ここで、光学薄膜の間隔Ｄを測定する方法について、３つの具体例を示す。
１．第１の手法
　図１０は、光学薄膜の間隔Ｄを測定する第１の手法を説明するための図で、図１０（ａ）は側面図、図１０（ｂ）は上面側から見た図である。第１の手法においては、光学薄膜の間隔Ｄを、平行平板状光学部品１を階段状に積層することによって形成される段差部分ＳＴ（図１０（ａ）参照）の段差測定を行うことによって得る。
　段差測定を行う箇所は、上述のように複数位置で行うのが好ましく、例えば、図１０（ｂ）に黒丸で示すように、段差部分ＳＴの両端で行われる。段差測定は、例えば図１０（ａ）に示すように、接触方式で光学薄膜１１ａと光学薄膜１１ｂとの間隔Ｄを測定する測長機１３を用いることができる。このような測長機の一例として、ミツトヨ製のデジマチックインジケータが挙げられる。その他、例えば光学薄膜に対して非接触で測定する方法として、レーザ変位計等を用いることも可能である。
２．第２の手法
　図１１は、光学薄膜の間隔Ｄを測定する第２の手法を説明するための図で、図１１（ａ）は側面図、図１１（ｂ）は上面側から見た図である。第２の手法においては、光学薄膜の間隔Ｄを共焦点タイプのレーザ変位計１４を用いて得る。共焦点タイプのレーザ変位計１４について、図１２を参照して簡単に説明しておく。
　図１２は、共焦点タイプのレーザ変位計の構成例を示す図である。図１２に示すように、共焦点タイプのレーザ変位計１４は、半導体レーザ１４１と、ハーフミラー１４２と、コリメートレンズ１４３と、対物レンズ１４４と、音叉ユニット１４５と、ピンホール１４６と、受光素子１４７と、を備える。音叉ユニット１４５によって対物レンズ１４４を上下方向（平行平板状光学部品１の積層方向に同じ）に動かした場合、光学薄膜１１ａ、１１ｂに対物レンズ１４４の焦点位置が合った場合にのみ受光素子１４７で大きな光量が得られる。音叉ユニット１４５によって受光素子１４７で大きな光量が得られた対物レンズ１４４の位置がわかるために、光学薄膜の間隔Ｄを測定することができる。
　このような共焦点タイプのレーザ変位計１４として、例えばキーエンス製のレーザ変位計ＬＴ－９０００を用いることができる。これを用いて、実測値（上述の測長機１３で測定）１．９０２ｍｍ、０．７７４ｍｍの光学薄膜の間隔Ｄを測定したところ、１．９０４ｍｍ、０．７７４ｍｍという結果が得られ、上述の測長機同様の結果が得られることが確かめられた。
　共焦点タイプのレーザ変位計１４を用いる場合の測定位置としては、上述の測長機１３の場合のように段差部分に限定されずに行えるために、例えば、図１１（ｂ）に黒丸で示すような５箇所とすることにより、接合面全体の測定を行うことができる。
３．第３の手法
　図１３は、光学薄膜の間隔Ｄを測定する第３の手法を説明するための図で、図１３（ａ）は側面図、図１３（ｂ）は上面側から見た図である。第３の手法においては、光学薄膜の間隔Ｄを三角測量タイプのレーザ変位計１５を用いて得る。三角測量タイプのレーザ変位計１５は、例えば測定物によって反射されたレーザ光をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサで受光し、三角測量の原理で距離情報を算出するセンサである。
　このような三角測量タイプのレーザ変位計１５として、例えばキーエンス製のレーザ変位計ＬＫ－Ｇ３０を用いることができる。これを用いて、実測値（上述の測長機１３で測定）０．７８０ｍｍの光学薄膜の間隔Ｄを測定したところ、０．７８０ｍｍという結果が得られ、上述の測長機同様の結果が得られることが確かめられた。
　三角測量タイプのレーザ変位計１５を用いる場合の測定位置としては、共焦点タイプのレーザ変位計１４の場合と同様に、例えば、図１３（ｂ）に黒丸で示すような５箇所の測定を行うことができる。
　以上のように、光学薄膜の間隔Ｄを測定する方法として、３つの手法を例示したが、光学式の距離センサ（例えばレーザ変位計）を用いて２つの光学薄膜を光学的にほぼ同時に検出する方法を採用すると、接合面の広い範囲に亘って光学薄膜の間隔Ｄを測定できる。このために、第１の手法に比べ、第２、第３の手法の方が好ましい。積層接合体２の形成するにあたって、階段状に積層しない構成とすることも可能であるが、レーザ変形計を用いる第２、第３の手法であれば、このような場合でも光学薄膜の間隔Ｄを測定できる。
　第３本実施形態の積層接合体２の形成は、以上のような方法によって行われる。そして、上述の積層接合体２の形成方法では、平行平板状光学部品１を挟んで隣り合う光学薄膜の間隔Ｄを所望の範囲内として接着剤１２の層を硬化させる構成としている。このために、平行平板状光学部品１の厚さのバラツキや、接着剤１２の厚みのバラツキによる影響を抑制してプリズム素子９を形成可能となる。
　図１４は、第３実施形態のプリズム素子の製造方法を用いた場合の効果を示すグラフである。図１４は、第３実施形態のプリズム素子の製造方法を用いて得られたプリズム素子９を観察した結果と、従来の方法を用いて得られたプリズム素子９を観察した結果と、を比較して示している。なお、従来の方法においては、積層接合体２を形成する際に上述の光学薄膜の間隔Ｄの測定は行わず、また、積上げ接合体５の形成は調整治具を用いて行い、顕微鏡による観察は行っていない。そして、それ以外については、第３実施形態の方法と従来の方法とは同一の製造方法とした。
　具体的には、第３実施形態の方法と従来の方法とによって、それぞれ４００個のプリズム素子９を製造した。製造したプリズム素子９について、光学薄膜１１の設計位置からのずれを測定した。図２０を参照して、プリズム素子９の光学薄膜１１が図２０（ａ）のように設計位置（破線で示す位置）から右側にすれている場合にはプラス方向のずれとし、図２０（ｂ）のように左側にずれている場合にはマイナス方向のずれとした。そして、各ずれ量によって、階層分けを行い、図１４のヒストグラムを得た。
　図１４のヒストグラムにおいて、従来の方法では、設計値からのずれが、－０．０７～０．０６ｍｍに亘っている。この場合、高精度なプリズム素子に要求される±０．０５ｍｍの寸法公差を満足できない。一方、第３実施形態の方法では、設計値からのずれは、－０．０３～＋０．０２ｍｍの範囲に収まっている。すなわち、高精度なプリズム素子に要求される±０．０５ｍｍの寸法公差内に収まっている。したがって、第３実施形態のプリズム素子の製造方法を用いれば、高精度の寸法公差が要求されるプリズム素子の製造が可能である。
　また、図７に示す第２実施形態の方法と図１４に示す第３実施形態の方法とを比べると、第３実施形態の方法の場合の方が、設計値からのずれ量が０に近いものの割合が増えていることがわかる。すなわち、積層接合体２を形成する際に上述の光学薄膜の間隔Ｄの測定を行い、更に積上げ接合体５の形成時に、上述の顕微鏡による観察を行うことによって、より寸法精度の高いプリズム素子９を得ることが可能となる。
　なお、本発明は以上に示した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　例えば、以上に示した実施形態においては、積上げ接合体５の形成工程における顕微鏡観察時に、顕微鏡２５を研磨完了積層分割体４の積上げ方向（本実施形態では上下方向）に沿って移動して焦点を移動する構成とした。しかし、焦点の移動は顕微鏡２５全体を移動するのではなく、レンズ部分のみを移動する構成としても良いし、観察される対象（研磨完了積層分割体４或いは積上げ接合体５）を移動する構成としても構わない。
　また、以上に示した実施形態においては、一方の接合面にのみ光学薄膜を施した平行平板状光学部品を準備し、これを積層して、それぞれの平行平板状光学部品の間に所望の光学薄膜の層が介在する積層接合体２を得る構成とした。しかしながら、このような構成は、例えば、両面に所望の光学薄膜を形成した第１の平行平板状光学部品と、いずれの面にも所望の光学薄膜が施されていない第２の平行平板状光学部品と、を交互に積層することによっても得られる。そして、このような構成で、積層接合体を形成する場合にも本発明は適用可能である。
　なお、このような構成の場合における第３実施形態の積層接合体２の形成工程について図１５を参照して説明しておく。第３実施形態の積層接合体２の形成時に光学薄膜の間隔Ｄの測定を行うのは、積層接合体２における光学薄膜１１が等間隔で積層されるようにするためである。したがって、図１５の場合においては、第１の平行平板状光学部品２１ｂを第２の平行平板状光学部品２２上に載置する場合に、光学薄膜間の測定を行いながら接着剤層の硬化を行う必要がある。
　第１の平行平板状光学部品２１ｂを積層する場合において、既に積層された光学薄膜のうち最も外面側にある光学薄膜１１ａ（第１の平行平板状光学部品２１ａの上面にある光学薄膜）と、光学薄膜１１ａと第２の平行平板状光学部品２２を挟んで隣り合うことになる光学薄膜１１ｂ（第１の平行平板状光学部品２１ｂの下面にある光学薄膜）と、の間隔が測定すべき光学薄膜の間隔Ｄとなる。このため、平行平板状光学部品２１ｂが平行平板状光学部品２２に載置されると、加圧調整により、この光学薄膜の間隔Ｄが所望の範囲とし、そのことを確認して接着剤１２の硬化を行う。
　なお、ここで硬化を行う接着剤１２の層は、第１の平行平板状光学部品２１ａと第２の平行平板状光学部品２２との間の接着剤１２と、第２の平行平板状光学部品２２と第１の平行平板状光学部品２１ｂとの間の接着剤１２と、の２つとするのが好ましい。また、図１５の構成の場合には、第１の平行平板状光学部品２１の厚みｄについて、厳格な寸法管理が必要となる。
　また、以上に示した実施形態においては、積層接合体２を形成する際に用いられる矩形の平行平板状光学部品１の寸法が同じである場合を示した。しかし、本発明の製造方法は、これに限らず、大型基板と小型基板とを交互に積層して積層接合体を形成する工程を備える光学素子（プリズム素子）の製造方法にも勿論適用可能である。
　また、以上に示した実施形態においては、所定の光学機能を有する光学薄膜が１つだけ光学素子（プリズム素子）の内部に備えられる光学素子の製造方法を示したが、本発明はこの構成に限られるものではない。すなわち、所定の光学機能を有する光学薄膜を内部に複数備える光学素子の製造方法にも適用可能である。そして、光学素子の内部に備えられる光学薄膜が、例えば図１６に示すように、複数種類の光学薄膜である場合にも本発明は適用可能である。なお、図１６においては、例えばダイクロイック膜として機能する光学薄膜３１と、全ての光を反射する反射膜として機能する光学薄膜３２と、の２種類の光学薄膜が光学素子の内部に備えられている。
　また、以上に示した実施形態においては、研磨完了積上げ切断体７を得た後に、仮止め用接着剤を剥離して棒状接合体１０を形成して、その後棒状接合体１０を切断して目的のプリズム素子９を得る構成とした。しかし、この構成ではなく、研磨完了積上げ切断体７を得た後の工程について、従来の方法として示したように、研磨完了積上げ切断体７を切断して光学素子連結体８を形成し、その後光学素子連結体８を分離して目的のプリズム素子９を得る構成としても構わない。ただし、以上に示した実施形態の構成の方が、仮止め用接着剤剥離後の清掃作業等が容易であり好ましい。
　本発明の光学素子の製造方法は、光ピックアップ装置等の光学装置に用いられるプリズム素子の製造方法として好適である。
　１　平行平板状光学部品
　２　積層接合体
　３　積層分割体
　４　研磨完了積層分割体
　４ａ　研磨面
　４ｂ　斜面部
　４ｃ　境界線部
　５　積上げ接合体
　６　積上げ切断体
　７　研磨完了積上げ切断体
　８　光学素子連結体
　９　プリズム素子（光学素子）
　１０　棒状接合体
　１０ａ　第１の三角柱
　１０ｂ　第２の三角柱
　１１　光学薄膜
　１２　接着剤
　１３　測長機
　１４　共焦点タイプのレーザ変位計
　１５　三角測量タイプのレーザ変位計
　１６　治具
　１６ａ　断面Ｖ字状の溝部
　２５　顕微鏡
　４１　接合面

Claims (12)

  1. 　所定の光学機能を有する光学薄膜を１つ以上内部に有する光学素子の製造方法であって、
    　複数枚の平行平板状光学部品を、それぞれの間に前記光学薄膜と接着剤とが介在するように積層し、接合して積層接合体を形成する積層接合体形成工程と、
    　前記積層接合体を、前記光学薄膜に対し平行でなく、また、垂直でもない所定の角度で、且つ、一定の間隔で切断して積層分割体を形成する積層分割体形成工程と、
    　前記積層分割体の切断面を研磨し、該切断面を研磨面とする研磨完了積層分割体を形成する研磨完了積層分割体形成工程と、
    　複数の前記研磨完了積層分割体を、前記研磨面が互いに対向するように配置し、対向する前記研磨面の間に仮止め用接着剤が介在するように積上げて積上げ接合体を形成する積上げ接合体形成工程と、
    　前記積上げ接合体を、前記研磨面に対して所定の角度、且つ、一定の間隔で切断して積上げ切断体を形成する積上げ切断体形成工程と、
    　前記積上げ切断体の切断面を研磨して研磨完了積上げ切断体を形成する研磨完了積上げ切断体形成工程と、を備え、
    　前記積上げ接合体形成工程において、前記研磨完了積層分割体を積上げる方向からの、前記研磨完了積層分割体の顕微鏡による像に基づいて該研磨完了積層分割体の位置調整を行って、前記積上げ接合体を形成することを特徴とする光学素子の製造方法。
  2. 　前記研磨完了積層分割体の前記研磨面と、前記研磨面の端部と繋がる斜面部と、の境界線部を落射照明し、前記顕微鏡により、該境界線部の像を得ることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。
  3. 　前記研磨完了積層分割体の前記研磨面と、前記研磨面の端部と繋がる斜面部と、の境界線部の像を前記顕微鏡により得り、
    　前記斜面部は、該斜面部で反射した光が、前記顕微鏡に入射するように照明されることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。
  4. 　前記研磨完了積層分割体が備える複数の接合面のうちのいずれか１つの像を前記顕微鏡より得ることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。
  5. 　前記研磨完了積層分割体が備える接合面に沿う方向の両端部の２箇所の像を前記顕微鏡により得ることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の光学素子の製造方法。
  6. 　前記研磨完了積上げ切断体の前記仮止め用接着剤を剥離して棒状接合体を形成する棒状接合体形成工程と、
    　前記棒状接合体を切断して複数の前記光学素子とする棒状接合体切断工程と、を備えることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の光学素子の製造方法。
  7. 　前記棒状接合体は、前記光学薄膜が施された第１の三角柱と、前記光学薄膜が施されていない第２の三角柱とが接合されて成り、
    　前記棒状接合体切断工程においては、断面Ｖ字状の溝部を有する治具が使用され、
    　前記第１の三角柱側が前記溝部で受けられるように前記棒状接合体を配置して切断が行われることを特徴とする請求項６に記載の光学素子の製造方法。
  8. 　前記研磨完了積上げ切断体を、前記研磨面に対して所定の角度、且つ、一定の間隔で切断し、複数の前記光学素子が前記仮止め用接着剤を介して直列に連結されている状態の光学素子連結体を形成する光学素子連結体形成工程と、
    　前記光学素子連結体の前記仮止め用接着剤を剥離して個々の前記光学素子とする光学素子連結体分離工程と、を備えることを特徴とする請求項１から５の何れか一項に記載の光学素子の製造方法。
  9. 　前記積層接合体形成工程において、
    　複数枚の平行平板状光学部品を、それぞれの間に前記光学薄膜と接着剤とが介在するように積層する際、先に積層された前記光学薄膜のうち最も外面側にある光学薄膜と、前記最も外面側にある光学薄膜と前記平行平板状光学部品を挟んで隣り合うことになる前記光学薄膜と、の間隔を測定し、所定の間隔となったことを確認して前記接着剤を硬化することを特徴とする請求項１から８の何れか一項に記載の光学素子の製造方法。
  10. 　前記積層接合体形成工程において、
    　前記平行平板状光学部品は、所定量ずらして階段状に積層され、
    　前記間隔の測定は、前記階段状に積層されることによって形成される段差部分の段差測定であることを特徴とする請求項９に記載の光学素子の製造方法。
  11. 　前記間隔の測定は、光学式測距センサが用いられ、
    　前記間隔の測定は、測定対象となる２つの前記光学薄膜をほぼ同時に検出する方法により行うことを特徴とする請求項９に記載の光学素子の製造方法。
  12. 　前記光学式測距センサは、共焦点方式のレーザ変位センサ、若しくは、三角測量方式のレーザ変位センサのいずれかであることを特徴とする請求項１１に記載の光学素子の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016132985A1 (ja) * 2015-02-18 2016-08-25 コニカミノルタ株式会社 光学素子及び結像素子の製造方法
CN106737277A (zh) * 2016-12-07 2017-05-31 中山市光大光学仪器有限公司 用于胶合棱镜的夹具和方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0643447A (ja) * 1992-07-27 1994-02-18 Hitachi Ltd 透過型液晶パネル、それを用いた投写型液晶表示装置、前記透過型液晶パネルに用いるマイクロレンチキュラーレンズアレイ及びマイクロレンズアレイ、並びに反射型液晶パネル
JP2001083304A (ja) * 1999-09-14 2001-03-30 Nec Corp マイクロレンズ基板の製造方法とマイクロレンズ基板及び液晶表示装置の製造方法と液晶表示装置
JP2004240417A (ja) * 2003-01-14 2004-08-26 Nikon Corp 光学素子及びその製造方法
JP2008145482A (ja) * 2006-12-06 2008-06-26 Epson Toyocom Corp 直角三角プリズムの製造方法
WO2008136243A1 (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Konica Minolta Opto, Inc. 光学素子の製造方法および接合治具
WO2008139840A1 (ja) * 2007-05-07 2008-11-20 Konica Minolta Opto, Inc. 光学素子の製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0643447A (ja) * 1992-07-27 1994-02-18 Hitachi Ltd 透過型液晶パネル、それを用いた投写型液晶表示装置、前記透過型液晶パネルに用いるマイクロレンチキュラーレンズアレイ及びマイクロレンズアレイ、並びに反射型液晶パネル
JP2001083304A (ja) * 1999-09-14 2001-03-30 Nec Corp マイクロレンズ基板の製造方法とマイクロレンズ基板及び液晶表示装置の製造方法と液晶表示装置
JP2004240417A (ja) * 2003-01-14 2004-08-26 Nikon Corp 光学素子及びその製造方法
JP2008145482A (ja) * 2006-12-06 2008-06-26 Epson Toyocom Corp 直角三角プリズムの製造方法
WO2008136243A1 (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Konica Minolta Opto, Inc. 光学素子の製造方法および接合治具
WO2008139840A1 (ja) * 2007-05-07 2008-11-20 Konica Minolta Opto, Inc. 光学素子の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016132985A1 (ja) * 2015-02-18 2016-08-25 コニカミノルタ株式会社 光学素子及び結像素子の製造方法
CN106737277A (zh) * 2016-12-07 2017-05-31 中山市光大光学仪器有限公司 用于胶合棱镜的夹具和方法

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