JP2009294079A - 試料片の厚さ及び屈折率の計測方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】屈折率が既知でかつその値が異なる2種以上の透明な板状体1,2と、屈折率が未知の被計測部分が包埋された被計測試料5とをその薄片化方向に沿った面を当接させて積層し、次いで前記積層された板状体と試料体とに薄片化加工を施して被計測薄片9を形成する。
干渉計測を行うために、一旦可干渉光を二分し、一方には被測定部分の情報、他方には基準となる位相の情報を持たせた後、その両者を重畳させる。こうして得られた干渉画像から、一の板状体と他の板状体のそれぞれの領域を透過した可干渉光の間の位相差を計測し、この位相差と前記透明板状体の既知の屈折率から前記被計測薄片の厚さを計測する。
【選択図】図7
Description
微小光学素子内の屈折率分布を計測する場合、試料を薄片化して行うが、屈折率分布の計測の精度を高めるためには、薄片化した試料の正確な厚さを知る必要がある。この発明は、屈折率分布の計測に先立つ試料の厚さの正確な計測にも利用されるものである。
すなわち、試料片にレーザー光などの可干渉光を照射し、試料片を通過した可干渉光と試料片を通過しない可干渉光とを拡大レンズで拡大し、両可干渉光を重畳して結像させて干渉像を得、この干渉像における両干渉光の位相に基づき試料片の屈折率分布を計測するものである。
図1のような干渉計で、試料を対物レンズで拡大して結像し、試料のない経路を通ったレーザ光を像面で重ねることにより、図2のような干渉像が得られる。干渉縞の間隔dは、重ねる2本のレーザ光のなす角度θとレーザ光の波長λ0によって決まり、それらの間には
厚さ、あるいは屈折率を測定したい部分は中央灰色の部分である。この部分の屈折率をn1、周りの部分の屈折率をn2とする。Aを通った光とBを通った光を比べると、両者の差は厚さtの部分だけである。 照射する光の波長をλ0とし、屈折率n1の部分における波長をλ1、 屈折率n2の部分における波長をλ2とすると、
この発明は、試料片の厚さを屈折率分布の計測と同時に、かつ高精度で行うことを可能とし、もって屈折率分布を高精度で計測することを可能とすることを課題とするものである。
従来の技術においては、屈折率分布の計測に必要なデータである試料片の厚さは別個に計測する必要がある。通常厚さの測定にはマイクロメータが利用されているが、機械式マイクロメータに於いては±2μm程度、特別な電気式のマイクロメータでも±0.1μm程度までしか測定することはできない。またマイクロメータでは、マイクロメータヘッドと試料との接触部分における最大厚さを計測するため、必ずしも測定部分近傍の厚さを計測しているわけではない。さらに、マイクロメータヘッドと試料との接触間隙に、直径1μmあるいはそれ以下の微細なゴミが侵入する可能性を排除することは困難である。従って、マイクロメータによる厚さ計測の精度は、±2μm程度が限界である。また、マイクロメータでは、機械的に試料を挟むため、薄くもろい試料では破損するおそれもある。
屈折率が既知でかつその値が異なる2種以上の透明な板状体と、屈折率が未知の被計測部分が包埋された被計測試料とをその薄片化方向に沿った面を当接させて積層し、次いで前記積層された板状体と試料体とに薄片化加工を施して被計測薄片を形成する。
干渉計測を行うためには、一旦可干渉光を二分し、一方には被測定部分の情報、他方には基準となる位相の情報を持たせた後、その両者を重畳させる必要がある。このとき、可干渉光を二分した後の一方を被測定部分に照射し、他方は被測定部分外を透過させても、また可干渉光を被測定部分に照射した後、被測定部分を透過した可干渉光と被測定部分外を透過した可干渉光とに二分してもよい。図1の干渉計を用いる場合は、可干渉光を二分した後、一方は試料の同一視野内に一の板状体と他の板状体の両方を含むような領域を照射し、他方は試料を置かない側、すなわち屈折率が均一な領域のみを通して、それぞれの可干渉光を対物レンズで拡大するとともに半透鏡で重畳・干渉させ、さらに拡大レンズを用いて結像させる。こうして得られた干渉画像から、一の板状体と他の板状体のそれぞれの領域を透過した可干渉光の間の位相差を計測し、この位相差と前記透明板状体の既知の屈折率から前記被計測薄片の厚さを計測する。
被計測物が光導波路の場合、コア部分をクラッド部が被覆するブロック状であることが通常なので、光導波路のクラッド部の屈折率が既知のときには、1枚の透明板状体、例えばガラス板、に光導波路を積層し、光導波路のクラッド部を屈折率が既知の透明板状体として利用することもできる。また、被計測試料が光ファイバーである場合、通常光ファイバーは透明合成樹脂に包埋して計測することが多いので、この透明合成樹脂の屈折率が既知のときは、透明合成樹脂を屈折率が既知の透明板状体として利用することもできる。請求項2における屈折率未知の被計測部分を包埋している屈折率既知の透明な部材とは、例えば前記光導波路や光ファイバーのクラッド部を意味することも、光導波路、光ファイバーを包埋する透明合成樹脂を意味することもある。
この発明において、「被計測部分」とは光ファイバーそのもの、光ファイバーコア、導波路コアなど、屈折率を計測する対象となる部分を意味し、「被計測体」とは光ファイバー、導波路、あるいはそれらを埋め込んだ全体を意味し、「被計測試料」とは被計測体と1つ以上の板状体を一体化したものを意味し、「被計測薄片」とは被計測試料を薄片化したものを意味し、「積層板状体」とは2種以上の板状体を積層したものを意味する。
被計測薄片において、透明板状体と被計測対象は重ね合わされた状態で薄片化処理されているので厚みは同一である。したがって、被計測対象を透過した可干渉光と被計測対象以外の屈折率が均一である部位を透過した可干渉光の結像との位相差を計測することにより、前記において計測された被計測薄片の厚み及び位相差に基づき、同様に前述(1)式により被計測対象の屈折率分布を計測することができる。
前記被計測体4は光ファイバー5を透明な合成樹脂6で包埋して直方体状としたものである。被計測試料は光ファイバー5のコア7であり、このコア7はクラッド部8で被覆されている。この略直方体となった被計測体4の一面を前記積層板状体3の表面に当
接させて接着する。
次いで、接着して一体化された積層板状体3と被計測体4とを光ファイバーの長手方向に直角に薄片化処理し、50μm程度の薄さとし、表面を平滑に研磨して、図6に示すような被計測薄片8を得る。
これらの光路を経た可干渉光は、それぞれ対物レンズ13及び図示されていない共通の拡大レンズを経て拡大され、干渉素子14によって重畳して結像し、図8のような干渉像15が得られる。
図9において横軸は位置で、縦軸が位相の値である。図中破線は、(2)式の左辺第1項に対応するもので、この傾きを取り除くと図10のような位相分布を求めることができる。 図9において、A側から順に、板ガラス1の通過光、板ガラス2の通過光、光ファイバー5のクラッド部8の通過光、光ファイバー5のコア7の通過光の位相である。したがって、図9中Δφ1は、板ガラス1を透過した光と板ガラス2を透過した光の位相の差である。前述(1)式をここに当てはめると、
という関係が成り立つ。いま、板ガラス1の屈折率ng1と板ガラス2の屈折率ng2は既知であるから、このΔφ1を用いてこの部分の厚さtを求めることができる。
第二のステップは、今求めた試料厚さtを用いて、光ファイバー5のクラッド部8とコア7の屈折率を計測する。Δφ2は、板ガラス2を透過した光と光ファイバー5のクラッド部8を透過した光の位相の差で、
の関係を満たす。厚さtは前段の測定で判明した量、屈折率ng2は既知であるから、このΔφ2を用いて未知であった光ファイバー5のクラッド部8の屈折率ncladを求めることができる。さらにΔφ3は、板ガラス2を透過した光と光ファイバー5のコア7を透過した光の位相の差であるから、
の式から、同様にして未知であった光ファイバー5のコア7の屈折率ncoreを求めることができる。
すなわち、光ファイバー5を屈折率既知の透明な合成樹脂6で包埋して、被計測体4を構成している。これに屈折率が既知の1枚の板ガラス1を接着して被計測試料体を成し、薄片化加工を施したものである。従って、この場合の合成樹脂6は、板ガラス1と積層板状体3を構成しているとともに、光ファイバー5を包埋することによって被計測体4をも構成していることになる。
この被計測薄片8を用いて計測する場合は、屈折率が既知である板ガラス1と透明合成樹脂6とを通過した可干渉光の位相差を求め、これに基づいて被計測薄片8の厚さを計測する。次いで、光ファイバーのコア7を透過した可干渉光と透明合成樹脂6又は板ガラス1領域のみを透過した可干渉光の位相差を求め、これと前記で求めた被計測薄片の厚さに基づき、コア7の屈折率分布を計測する。
1枚の板ガラスにクラッド部分の屈折率が既知の導波路を接着して計測する場合の手順も同様である。
したがって、光ファイバーや光導波路などの微小光学素子内部の屈折率分布を高精度で計測することができ、産業上有効なものである。
2 板ガラス
3 積層板状体
4 被計測体
5 光ファイバー
6 合成樹脂(包埋材)
7 光ファイバーのコア
8 光ファイバーのクラッド部
9 被計測薄片
13 対物レンズ
14 干渉素子
15 干渉像
Claims (4)
- 屈折率が既知でかつその値が異なる2種以上の透明な板状体と、厚さあるいは厚さと屈折率の両者が計測の対象である被計測部分を含む被計測体とをその薄片化方向に沿った面を当接させて一体的に積層して被計測試料とし、次いで前記積層された計測板と試料体とに薄片化加工を施して被計測薄片を形成し、
前記被計測薄片に対して略垂直に可干渉光を照射し、
前記被計測薄片の視野内に前記2種以上の透明な板状体の境界部分を挟んで一の板状体と他の板状体の両者が含まれる領域を通過した可干渉光と、視野内の屈折率が均一である部分のみを通過した可干渉光とを干渉させて干渉像を形成し、
前記干渉像から一の板状体と他の板状体のそれぞれを通過した可干渉光の間の位相差を計測し、該位相差と前記板状体の既知の屈折率から前記被計測薄片の厚さを計測することを特徴とする、
被計測薄片の厚さ計測方法。 - 屈折率が既知の透明な1枚以上の透明な板状体と、厚さあるいは厚さと屈折率の両者が計測の対象である被計測部分が屈折率が既知の透明な包埋材によって包埋された被計測体とをその薄片化方向に沿った面を当接させて積層し、次いで前記積層された板状体と被計測体とに薄片化加工を施して被計測薄片を形成し、
前記被計測薄片に対して略垂直に可干渉光を照射し、
前記被計測薄片の視野内に前記板状体と包埋材の境界部分を挟んで板状体と包埋材の両者が含まれる領域を通過した可干渉光と、視野内の屈折率が均一である部分のみを通過した可干渉光とを干渉させて干渉像を形成し、
前記干渉像から板状体と包埋材のそれぞれを透過した可干渉光の間の位相差を計測し、該位相差と前記板状体及び包埋材の既知の屈折率から前記被計測薄片の厚さを計測することを特徴とする、
被計測薄片の厚さ計測方法。 - 請求項1又は2記載の方法にて被計測薄片の厚さを計測し、
さらに被計測薄片の被計測部分と1つ以上の屈折率が既知の部分を視野内に含む領域を通過した可干渉光と、屈折率が均一である部分のみを通過した可干渉光とを干渉させて干渉像を形成し、
該干渉像から被計測部分と1つ以上の屈折率が既知の部分の位相分布を計測し、
該位相分布と前記視野内の既知の屈折率並びに前記被計測薄片の厚さに基づき、被計測部分の屈折率分布を計測することを特徴とする、
屈折率の計測方法。 - 屈折率が既知でかつその値が異なる2種以上の透明な板状体と、屈折率が未知の被計測部分を有する被計測体をその薄片化方向に沿った面を当接させて積層して一体化した被計測試料に薄片化加工を施してなる被計測薄片と、
前記被計測薄片に対峙して配設される可干渉光源と、
前記可干渉光の一部を被計測薄片を通過させ、前記可干渉光の他の一部を厚さおよび屈折率の均一な領域を通過させた後、両者を重畳させる干渉系と、
前記二分割した可干渉光の一方もしくは両方を結像させるためのレンズ系と、
前記干渉系によって形成された干渉像を撮像する撮像系と、
前記干渉像から干渉像に記録された位相分布を計測し、該位相分布と前記板状体の既知の屈折率から前記試料片の厚さを計測する計算装置とで構成された、
試料片の厚さ計測装置。
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