JP2006146064A

JP2006146064A - 大型ペリクル剥離用仮枠

Info

Publication number: JP2006146064A
Application number: JP2004339153A
Authority: JP
Inventors: Yoshimasa Kuriyama; 芳真栗山
Original assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Current assignee: Asahi Kasei Electronics Co Ltd
Priority date: 2004-11-24
Filing date: 2004-11-24
Publication date: 2006-06-08

Abstract

【課題】ペリクル膜の仮枠をより確実に成膜基板から剥離させ、より確実に運搬可能に構成すること。
【解決手段】少なくとも一辺が１ｍ以上である大型のペリクル膜50を成膜基板から離間させるためペリクル膜50に粘着固定される大型ペリクル剥離用仮枠10であって、仮枠10は、ペリクル膜50に粘着固定される仮枠本体11と、仮枠本体11の外部へ突出した突出部12、13と、を有することを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は大型ペリクル剥離用仮枠に係り、詳しくは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスター（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）を製造する際に用いられるフォトマスクに、異物が付着することを防止するために使用されるペリクルを製造する際に用いられる大型ペリクル剥離用仮枠に関する。

（ペリクル）
従来、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）を製造する際に、リソグラフ工程で使用されるフォトマスクに異物が付着することを防止するため、ペリクルと称する防塵手段が用いられている。ＬＣＤを構成するＴＦＴを製造する際のリソグラフ工程において、フォトマスクにペリクルを載置して、該フォトマスクへの異物の付着を防止する。

フォトマスクの表面に異物が付着した場合、その異物が液晶パネル上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となる。ここで、フォトマスクにペリクルを載置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置のずれによって液晶パネル上に形成されたフォトレジスト上に結像することがない。このように、ペリクルを使用することで、回路パターンに欠陥が生じさせないようにすることができる（例えば、特許文献１乃至５参照）。

（大型ペリクルの製法）
ここで、大型ペリクルを製造する従来の一例を説明する。図４は、従来の大型ペリクルの製作方法を説明する断面図である。

図４（ａ）に示すように、大型ペリクル用成膜装置101の表面の成膜基板102に対して、特に指定はないが、ニトロセルロースやセルロース誘導体或はサイトップ（旭硝子株式会社製、商標）、テフロンＡＦ（デュポン株式会社製、商標）等の非晶質フッ素ポリマーを溶媒に溶かした膜材料溶液104ａを溶液吐出ノズル105より滴下する。

また、成膜法としてはスピンコート法やスリットコート法を用いることができる。スピンコート法では、膜材料溶液104ａの滴下と同時に、成膜基板102をスピンコータ等を用いて回転軸106を中心に回転させながら、成膜基板102の表面に膜材料溶液104ａを均一に塗布する。これにより乾燥前のペリクル膜104が成膜基板102上にできる。膜材料溶液104ａを均一に塗布された成膜基板102をホットプレート等で乾燥し、溶媒を蒸発させることにより、乾燥したペリクル膜114を成膜する。

成膜基板102の表面にペリクル膜114が完全に成膜された後で、ペリクル膜付きの成膜基板102を移動して剥離台107の上に載置する。

続いて、ペリクル膜114を剥離するために使用される仮枠108を両面テープ等を介しペリクル膜に粘着固定する。仮枠とペリクル膜114を粘着固定する手段は、両面テープに限定されず、例えば、アラルダイトピッド（昭和高分子株式会社製、商品名）などのエポキシ系接着剤、アクリル樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素系シリコーン接着剤などを使用してもよい。

この状態で、図４（ｂ）に示すように仮枠108と共にペリクル膜114の片側面108ａから他側面108ｂに至るまで徐々に上昇させ、ペリクル膜114を大型ペリクル用成膜基板102の表面より剥離する（例えば、特許文献３参照）。

ここで、ペリクル膜114の剥離作業において使用される仮枠108の幅は、できる限り小さく構成することが好ましい。剥離作業後、面積の大きいペリクルを取得するためである。

作業者が剥離作業を行う際には、仮枠108を指でつまんで持ち上げることで、成膜基板からの剥離作業を行う。また、剥離作業後、ペリクル膜114の付いた仮枠108を移動させる際には、仮枠108を指でつまんだ状態で次工程が行われる装置まで運んでいる。

特開２００２−２９６７６３特開２００１−２０１８４５特開２００１−１０９１３５特開２００１−０４２５０７特開２００１−０４２５０６

しかしながら、成膜基板102から剥離するペリクル膜は、１辺が１ｍ以上という大きさがあるため、大きさに相当する重量がある。図４（ｂ）に示されるペリクル膜の側面108ｂを成膜基板102から持ち上げる際に、ペリクル膜の表面において空気を押しのけるため、ペリクル膜上面に大きな空気圧がかかる。このため、仮枠108をつまんでペリクル膜114を成膜基板102から剥離することは、ペリクル膜114が大型である場合、大きなモーメントが必要となることとなり、困難である。また、成膜基板102からペリクル膜114を剥離した後は、仮枠108が付帯された状態でペリクル膜114を運搬する際にも仮枠108をつまみながら行う必要があり、困難である。

また、作業者が仮枠108をつまむ際に、作業者の指がペリクル膜114に接触するおそれがある。接触した場合は、破れなどの要因となるため好ましくない。

さらに、作業者がペリクル膜114に隣接する仮枠108をつまむことで、作業者の手袋に付着した塵や埃がペリクル膜に付着するおそれもある。

本発明は前記課題を解決するものであり、その目的とするところは、ペリクル膜の仮枠をより確実に成膜基板から剥離させ、より確実に運搬可能に構成することである。

前記目的を達成するための本発明に係る第１の構成は、少なくとも一辺が１ｍ以上である大型のペリクル膜を成膜基板から離間させるため該ペリクル膜に粘着固定される大型ペリクル剥離用仮枠であって、前記仮枠は、前記ペリクル膜に粘着固定される仮枠本体と、前記仮枠本体の外部へ突出した突出部と、を有することを特徴とする。

また第２の構成は、前記突出部は、前記ペリクル膜の面と平行な方向に突出していることを特徴とする。

また第３の構成は、前記突出部は、前記ペリクル膜の面に垂直な方向に突出していることを特徴とする。

また、この構成に前記第２の構成を組み合わせて、前記ペリクル膜の面に平行な方向に突出している突出部と前記ペリクル膜の面に垂直な方向に突出している突出部の両方を持った構成とすることもできる。

第１の構成によれば、突出部を保持してペリクル膜の剥離作業をすることで、仮枠本体をつまみつつ剥離作業をすることがなくなり、より剥離作業を容易かつ確実に行うことができる。また仮枠をつまみつつ仮枠の運搬作業を行うことがなくなり、より仮枠の運搬作業を容易かつ確実に行うことができる。また、作業者がペリクル膜に近接する仮枠本体をつまむ必要がないため、作業者の手袋の塵や埃が前記ペリクル膜に付着することを防ぐことができる。このような効果は、ペリクル膜サイズが大きくなるほど大きい。例えば、ペリクル膜の１辺が１．２ｍ、１．４ｍ、１．６ｍ、１．８ｍ、２ｍと大きくなるほど効果は大きい。

第２の構成によれば、突出部の下方から仮枠を押し上げやすい構成となる。このため、剥離作業が容易になる。

第３の構成によれば、ペリクル膜の剥離作業後に仮枠を立てて運ぶ場合に作業者が保持しやすく、運搬作業が容易になる。

また、第２の構成と第３の構成とを組み合わせることにより、上記効果の両方を併せもつことができる。

以上のように、ペリクル膜の仮枠をより確実に成膜基板から剥離させ、より確実に運搬可能に構成することができる。

〔第１実施形態〕
図を用いて本発明の第１実施形態を具体的に説明する。図１は大型ペリクル剥離用仮枠の説明図である。

（剥離用仮枠10の構成）
図１に示すように、第１実施形態の大型ペリクル剥離用仮枠10は、ペリクル膜50の周縁に対して粘着固定される仮枠本体11と、仮枠本体11から突出するように形成される突出部12と、仮枠本体11の上部に配設された突出部13と、を有する。本実施形態においては、突出部12を有することで仮枠10の外形は四角形状になる。このとき、ペリクル膜50は大型であるため、仮枠10の一辺の長さは少なくとも１ｍ以上となる。

仮枠本体11は、断面の厚みが数ｃｍの部材で構成される。本実施形態においては、仮枠本体11の外形が八角形状をしており、長辺11ａと短辺11ｂとで構成される。仮枠本体11は、その下面に両面テープ等を施すことにより、ペリクル膜50に対して粘着固定される。

突出部12は、仮枠本体11と同じ幅の部材で形成され、仮枠本体11の長辺11ａを延長するように構成される。このため、突出部12の外形と仮枠本体11の短辺11ｂとの間には穴12ａが形成される。穴12ａがあることにより、作業者は突出部12を把持又は握持しやすくなっている。

突出部13は、本実施形態においては、取手形状の部材が、対向する一対の長辺11ａの鉛直上方に１つずつ固定配設されている。

（剥離用仮枠10の使用時の作用効果）
以上のような構成により、本実施形態の仮枠10を使用することにより、次のような作用効果がある。

ペリクル膜50を不図示の成膜基板から剥離する際、従来であれば作業者が仮枠本体11自体をつまんで持ち上げていたが、仮枠本体11の幅は数ｃｍと小さいため、持ち上げる作業が困難となっていた。本実施形態によれば、作業者は仮枠本体11をつまむのではなく、突出部12や突出部13を把持又は握持するなどして、力を入れて保持することができる。このため、より容易に仮枠10を持ち上げることができ、より確実に剥離作業を行うことができる。

また、剥離作業後、ペリクル膜50の付いた仮枠10を運搬する際、作業者が突出部13を握持することによって、より確実に運搬作業を行うことができる。

また、従来は作業者が直接ペリクル膜を粘着固定する仮枠をつまんでいたため、当該仮枠をつまむ際に、作業者の指がペリクル膜に接触するおそれがあった。本実施形態においては、作業者が仮枠10を保持する際、直接ペリクル膜50と粘着固定されていない突出部12又は突出部13を持つことができる。すると、作業者の指がペリクル膜50と接触することを防ぐことができ、指が接触することにより、ペリクル膜が破れるおそれや、ペリクル膜に塵や埃がつくおそれを低減することができる。

また、作業者がペリクル膜50に隣接する仮枠本体11をつままなくともよいため、作業者の指がペリクル膜50に近接しなくともよい。このため、作業者とペリクル膜50との距離を確保することができ、作業者の手袋に付着した塵や埃がペリクル膜に付着するおそれを低減することができる。

また、本実施形態の突出部12は、仮枠本体11の側面に配置されているため位置決めの際に異物の付着を防ぐという効果がある。次に詳しく説明する。

ペリクル膜50の剥離をする際、仮枠をペリクル膜50が形成された成膜基板にセットする必要がある。ここで、仮枠を成膜基板にセットする際には、仮枠の外径位置と成膜基板の外径位置とを合わせることで位置決めを行う。この位置決めのために、成膜基板の外径位置付近には板状や棒状の位置決め部材が配設される。

仮枠の位置決めを行う際には、位置決め部材に仮枠を当接させる。この際、仮枠と位置決め部材とが擦れて発塵し、成膜基板上のペリクル膜の面上に異物が付着する可能性がある。

ここで、本実施形態の仮枠10においては、突出部12が形成されている。このため、位置決め部材を突出部12に当接するように配設すれば、位置決め部材と成膜基板との距離が遠くなる。この結果、仮枠10と位置決め部材とが擦れて異物が発生した場合においても、成膜基板上のペリクル膜50上に付着することを防止することができる。

また、本実施形態の突出部12は、ペリクル膜50の面と平行な方向に突出しているため、突出部12の下方から押し上げやすい構成となる。このため、剥離作業が容易になる。また、突出部13は、ペリクル膜50の面に垂直な方向に突出している。このため、剥離作業後に仮枠10をペリクル膜の面を鉛直方向に立てて運ぶ場合に作業者が保持しやすい。このため、運搬作業が容易になる。

〔第２実施形態〕
図を用いて本発明の第２実施形態を具体的に説明する。図２は大型ペリクル剥離用仮枠の説明図である。前述の実施形態と同様の構成や効果については説明を省略する。

（剥離用仮枠20の構成）
図２に示すように、第２実施形態の大型ペリクル剥離用仮枠20は、ペリクル膜50の周縁に対して粘着固定される仮枠本体21と、仮枠本体21から突出するように側面に配設された突出部22と、を有する。このとき、ペリクル膜50は大型であるため、仮枠本体21の対向する辺の距離は少なくとも１ｍ以上となる。

仮枠本体21は、断面の厚みが数ｃｍの部材で構成される。本実施形態においては、仮枠本体21の外形が八角形状をしており、長辺21ａと短辺21ｂとで構成される。仮枠本体21は、その下面に両面テープ等を施すことにより、ペリクル膜50に対して粘着固定される。

突出部22は、取手形状の部材が、対向する一対の長辺21ａの外側側面に１つずつ固定配設されている。

この構成によっても、作業者が突出部22を持つことにより、前述と略同様の効果を得ることができる。

〔他の実施形態〕
前述した実施形態においては、仮枠本体11、21を８角形状としたが、これに限るものではなく、４角その他の多角形状、円形、楕円形等、用途に応じて形状を変更することができる。

前述した実施形態においては、突出部12に穴12ａを有する中空の構成としたが、これに限るものではない。即ち、突出部12に穴12ａを形成せず、中実のものとしてもよい。また、突出部13や突出部22も中空でなく、中実のものとしてもよい。これによっても、作業者が仮枠本体11をつまむ従来の構成と比較すると、仮枠10を保持しやすく、作業者の手袋の塵や埃が付きにくいという効果がある。

前述した実施形態においては、突出部の形状を取手形状としたが、作業者が把持又は握持することで、仮枠本体を確実に保持することができれば、半円形状や多角形状等のどの形状であってもよい。

前述した実施形態に突出部の個数は突出部12を４つ、突出部13及び突出部22を２つとしたが、これに限るものではない。突出部の大きさや目的に応じて複数設けてもよく、他方向に設けてもよい。

図３に突出部のバリエーションの例を示す。例えば、（ａ）のように仮枠側面に配設され、ペリクル膜50の面の方向と同方向に突出するように突出部14を設けてもよい。突出部14は中空の四角形状で取手の役割を果たす。また、（ｂ）のように仮枠長辺の中央付近に突出部14を設けてもよい。また、突出部14のように、四角形状ではなく任意の形状、例えば（ｃ）のように楕円形状の突出部15としてもよい。また、（ｄ）のように突出部14を複数設けてもよい。また、突出部は中空のものだけではなく、（ｅ）のように中実の突出部16としてもよい。

また、図３（ｆ）〜（ｉ）のように、ペリクル膜50の面に垂直な方向に突出している突出部13と、ペリクル膜50と同方向に突出している突出部14、15を組み合わせて配設してもよい。さらに、図３（ｊ）のように、突出部13を仮枠に複数配設してもよい。

前述した実施形態においては、突出部を持って剥離作業をするのを作業者としたが、これに限るものではない。即ち、突出部12を下から押し上げる装置や、突出部13や突出部22の取手形状に引っかけて持ち上げる装置を利用して、剥離作業を行う構成としてもよい。このような装置を使用した場合、作業者がペリクル膜50に近接することがないため、作業者の手袋の塵や埃がペリクル膜50につくことがない。

前述した実施形態においては、突出部と仮枠本体の幅が同じとしたが、これに限るものではなく、突出部と仮枠本体幅は必ずしも同じである必要はない。

仮枠の材質は特に指定はないが、アルミニウムやアルミニウム合金、ＳＵＳ等の鉄系合金、ファイバー入り強化プラスティックなどを用いることができる。

また、仮枠の突出部の数や位置は、前述した実施形態に限定するものではない。仮枠を成膜基板上に位置決めするための位置決め部材の位置に合わせて変更することも効果的である。

前述した実施形態においては、両面テープによって仮枠とペリクル膜を粘着固定したが、これに限るものではない。例えば、アラルダイトピッド（昭和高分子株式会社、商品名）などのエポキシ系接着剤、アクリル樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、含フッ素系シリコーン接着剤などを使用してもよい。

本発明は、大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）を製造する際に使用される大型ペリクルの製作時に使用することができる。

第１実施形態のペリクル剥離用仮枠の構成図。第２実施形態のペリクル剥離用仮枠の構成図。他の実施形態のペリクル剥離用仮枠の突出部を説明する構成図。従来のペリクル膜剥離工程及びペリクル剥離用仮枠の説明図。

符号の説明

10 …仮枠、
11 …仮枠本体、11ａ …長辺、11ｂ …短辺、
12 …突出部、12ａ …穴、
13 …突出部、
20 …仮枠、
21 …仮枠本体、21ａ …長辺、21ｂ …短辺、
22 …突出部、
50 …ペリクル膜

Claims

少なくとも一辺が１ｍ以上である大型のペリクル膜を成膜基板から離間させるため該ペリクル膜に粘着固定される大型ペリクル剥離用仮枠であって、
前記仮枠は、
前記ペリクル膜に粘着固定される仮枠本体と、
前記仮枠本体の外部へ突出した突出部と、
を有することを特徴とする大型ペリクル剥離用仮枠。
前記突出部は、前記ペリクル膜の面と平行な方向に突出していることを特徴とする請求項１に記載の大型ペリクル剥離用仮枠。
前記突出部は、前記ペリクル膜の面に垂直な方向に突出していることを特徴とする請求項１又は２に記載の大型ペリクル剥離用仮枠。