JPS63298245A - ペリクルの製造方法 - Google Patents
ペリクルの製造方法Info
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- JPS63298245A JPS63298245A JP62134357A JP13435787A JPS63298245A JP S63298245 A JPS63298245 A JP S63298245A JP 62134357 A JP62134357 A JP 62134357A JP 13435787 A JP13435787 A JP 13435787A JP S63298245 A JPS63298245 A JP S63298245A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/82—Auxiliary processes, e.g. cleaning or inspecting
- G03F1/84—Inspecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はフォトマスクやレチクル（以下単にマスクと
いう）の保護カバーとして使用されるペリクルの製造方
法に関する。
いう）の保護カバーとして使用されるペリクルの製造方
法に関する。
従来技術
近年マスクにマスクパターン面の保護や塵埃等の異物が
付着するのを防止する目的でペリクルが取付けられつ−
ある。ペリクルは通常、基板上にスピンコード法等によ
って製膜したのちこれを引き剥がしてペリクル枠の一側
面に貼着し、その後ペリクル枠よりはみ出る膜を切断す
ることによって得られ、膜をペリクル枠に貼着するのに
従来は、基板上より膜を引き剥がすために膜の周縁に井
桁状に貼付した接着テープ部分（引き剥がしは一側より
接着テープを掴んで手作業にて行われる）、を両手で持
ち、接着剤を塗布した側を上向きにしたペリクル枠上に
被せて行っているが、単に被せて貼着するだけでは膜面
に弛みができたり、枠側端面の全面に均一に貼着するこ
とができず、接着部に気泡が入ったり、凹凸が生じたり
し易い、そのため四囲よりテンションを軽くかつ均一に
かけ、膜を引っ張った状態にして枠に取付けることが望
まれるが、膜面に引きつりや弛みが生じないように平面
状に張設することが容易でないうえ枠に押付けた接着剤
が枠内外側に押し出され、はみ出した接着剤で第３図に
示されるように、膜が枠際で膨らむことがあり、少しで
も膨らみがあると、ペリクルをマスクに取付ける装置で
保持する際、引っ掛かって破れるおそれがある。はみ出
した接着剤で膨らみが生じることのないようにテンショ
ンを強く掛けるのは膜が破れ易くなり好ましくない。
付着するのを防止する目的でペリクルが取付けられつ−
ある。ペリクルは通常、基板上にスピンコード法等によ
って製膜したのちこれを引き剥がしてペリクル枠の一側
面に貼着し、その後ペリクル枠よりはみ出る膜を切断す
ることによって得られ、膜をペリクル枠に貼着するのに
従来は、基板上より膜を引き剥がすために膜の周縁に井
桁状に貼付した接着テープ部分（引き剥がしは一側より
接着テープを掴んで手作業にて行われる）、を両手で持
ち、接着剤を塗布した側を上向きにしたペリクル枠上に
被せて行っているが、単に被せて貼着するだけでは膜面
に弛みができたり、枠側端面の全面に均一に貼着するこ
とができず、接着部に気泡が入ったり、凹凸が生じたり
し易い、そのため四囲よりテンションを軽くかつ均一に
かけ、膜を引っ張った状態にして枠に取付けることが望
まれるが、膜面に引きつりや弛みが生じないように平面
状に張設することが容易でないうえ枠に押付けた接着剤
が枠内外側に押し出され、はみ出した接着剤で第３図に
示されるように、膜が枠際で膨らむことがあり、少しで
も膨らみがあると、ペリクルをマスクに取付ける装置で
保持する際、引っ掛かって破れるおそれがある。はみ出
した接着剤で膨らみが生じることのないようにテンショ
ンを強く掛けるのは膜が破れ易くなり好ましくない。
ペリクルはまた製造されたときや使用時（マスクへの装
着時）に通常、エアーブローによって洗浄され、その際
膜面が振動するが、ペリクル膜の膜厚は非常に薄いので
ペリクル枠の角より亀裂が入り破れ易い。
着時）に通常、エアーブローによって洗浄され、その際
膜面が振動するが、ペリクル膜の膜厚は非常に薄いので
ペリクル枠の角より亀裂が入り破れ易い。
ペリクルの別の製法として、基板上に製膜したのち接着
剤を塗布したべ、リクル枠を押付けて接着し、接着後ペ
リクル枠を膜とともに基板より引離す方法や全体を水中
に浸漬して基板より膜を分離する方法（特開昭６０−２
３７４５０号）なども知られている。これらの方法によ
れば、基板上にペリクル枠を押付は接着する際、はみ出
した接着剤で膜が膨らむといった問題は解消されるが、
反面基板上に枠を押付ける際、基板に傷が付くおそれが
あるほかエアーブローによる洗浄時に上述するように膜
が破れることがあり、しかも前者の方”法による場合、
基板端面の内側の枠が接着する箇所より膜を持上げるよ
うにして剥離せねばならないが、膜と基板との間が真空
状態になるため引き剥がしに強い力を要し、そのため膜
が破れたり、また局部的に強く力が加えられることによ
り枠が変形したりすることがある。後者の方法による場
合も水に漬けることによりペリクルが汚染され易いとい
った問題が生じる。
剤を塗布したべ、リクル枠を押付けて接着し、接着後ペ
リクル枠を膜とともに基板より引離す方法や全体を水中
に浸漬して基板より膜を分離する方法（特開昭６０−２
３７４５０号）なども知られている。これらの方法によ
れば、基板上にペリクル枠を押付は接着する際、はみ出
した接着剤で膜が膨らむといった問題は解消されるが、
反面基板上に枠を押付ける際、基板に傷が付くおそれが
あるほかエアーブローによる洗浄時に上述するように膜
が破れることがあり、しかも前者の方”法による場合、
基板端面の内側の枠が接着する箇所より膜を持上げるよ
うにして剥離せねばならないが、膜と基板との間が真空
状態になるため引き剥がしに強い力を要し、そのため膜
が破れたり、また局部的に強く力が加えられることによ
り枠が変形したりすることがある。後者の方法による場
合も水に漬けることによりペリクルが汚染され易いとい
った問題が生じる。
発明が解決しようとする問題点
本発明は上記の問題、すなわち膜に軽くテンションを掛
けた状態でペリクル枠に押付ける際、はみ出した接着剤
で枠際が膨らんだり或いはエアーブローによる洗浄時に
枠際より破れるといった問題を解消することができるペ
リクルを得るための製造方法を提供することを目的とす
る。
けた状態でペリクル枠に押付ける際、はみ出した接着剤
で枠際が膨らんだり或いはエアーブローによる洗浄時に
枠際より破れるといった問題を解消することができるペ
リクルを得るための製造方法を提供することを目的とす
る。
問題点の解決手段
本発明によればそのためペリクル膜が貼着される側端面
と内側面或いは外側端面が交わる角のうち、少なくとも
内側面と交わる角を面取りしてなるペリクル枠を使用し
、面取りした枠側端面に接着剤を塗布したのちペリクル
膜を張設し、ついで枠外側面に沿って切断することを特
徴とするペリクルの製造方法が提供される。
と内側面或いは外側端面が交わる角のうち、少なくとも
内側面と交わる角を面取りしてなるペリクル枠を使用し
、面取りした枠側端面に接着剤を塗布したのちペリクル
膜を張設し、ついで枠外側面に沿って切断することを特
徴とするペリクルの製造方法が提供される。
ペリクル膜の張設は、従前と同様、膜を剥がすために貼
付した接着テープを掴んで手作業にて行うこともできる
が、膜面に引きつりが生じたり、波型らが生じることの
ないようにテンションを均一に掛けた状態でペリクル枠
に押付け、張設することは容易でない、この問題は基板
上に製膜された膜を一旦仮枠に取り、これよりペリクル
枠に張設することにより解消することができる。すなわ
ち環状の仮枠に接着剤を塗布して基板上の膜に貼着し、
仮枠を掴んで引き剥がしたのちペリクル枠上で一方を他
方に押付け、或いは両者を互いに押し付は合うことによ
って解消することができる。
付した接着テープを掴んで手作業にて行うこともできる
が、膜面に引きつりが生じたり、波型らが生じることの
ないようにテンションを均一に掛けた状態でペリクル枠
に押付け、張設することは容易でない、この問題は基板
上に製膜された膜を一旦仮枠に取り、これよりペリクル
枠に張設することにより解消することができる。すなわ
ち環状の仮枠に接着剤を塗布して基板上の膜に貼着し、
仮枠を掴んで引き剥がしたのちペリクル枠上で一方を他
方に押付け、或いは両者を互いに押し付は合うことによ
って解消することができる。
基板上の膜がそのま＼仮枠に移し取られるので単に仮枠
を掴持しているだけでも膜面を平面状態に保持すること
ができ、仮枠とペリクル枠の一方を他方に押し付け、或
いは両者を互いに押し付は合うだけで膜はテンションが
掛けられた状態でペリクル枠に張設することができる（
第１図参照）。
を掴持しているだけでも膜面を平面状態に保持すること
ができ、仮枠とペリクル枠の一方を他方に押し付け、或
いは両者を互いに押し付は合うだけで膜はテンションが
掛けられた状態でペリクル枠に張設することができる（
第１図参照）。
面取りは角に斜面或いは丸みを付けることによって行わ
れ、斜面を付ける場合には０．１〜０．７０好ましくは
０．２〜０．４Ｃ程度にされる。
れ、斜面を付ける場合には０．１〜０．７０好ましくは
０．２〜０．４Ｃ程度にされる。
面取りが０．１より小さいと第３図のように膨らみが出
来てペリクルをマスクに取り付けるとき、膜が破れるこ
とがあり、また、０．７より大きいと、接着面が小さく
接着力が弱くなり、エアープロ一時に剥がれることがあ
る。
来てペリクルをマスクに取り付けるとき、膜が破れるこ
とがあり、また、０．７より大きいと、接着面が小さく
接着力が弱くなり、エアープロ一時に剥がれることがあ
る。
作用
第２図に示すように、ペリクル枠１の面取り部分１ａを
除く側端面に接着剤２を塗布したのちペリクル＃３を被
せ、テンションを掛けて押し付けると、接着剤２が枠内
外側に押し出され、両側の面取り部分１ａにそれぞれは
み出す（第１図）、ここでテンションはべりタル膜の膜
厚が１〜ｌＯ％程度、好ましくは３〜７％薄くなるよう
に掛けられる。
除く側端面に接着剤２を塗布したのちペリクル＃３を被
せ、テンションを掛けて押し付けると、接着剤２が枠内
外側に押し出され、両側の面取り部分１ａにそれぞれは
み出す（第１図）、ここでテンションはべりタル膜の膜
厚が１〜ｌＯ％程度、好ましくは３〜７％薄くなるよう
に掛けられる。
テンションをペリクル膜の膜厚が１％未満しか薄くなら
ないように掛けて膜を貼付けると、膜にしわが生じる。
ないように掛けて膜を貼付けると、膜にしわが生じる。
また、テンションをペリクル膜の膜厚が１０％より薄く
なる様に掛けて膜を貼付けると、枠内側端面に近い部分
の膜厚が薄くなりエアーブローで破れ易くなる。
なる様に掛けて膜を貼付けると、枠内側端面に近い部分
の膜厚が薄くなりエアーブローで破れ易くなる。
実施例
ペリクル膜が貼着される側端面と内側面及び外側面が交
わる角を面取りし、斜面を付したペリクル枠１の面取り
部分１ａを除く側端面に接着剤２が丸く盛り上がるよう
にして塗布する。これに前後して基板上に製膜された膜
を前述するようにして仮枠３に移し取り、仮枠３を掴ん
で接着剤２が塗布される側のペリクル枠１上にペリクル
膜３を被せ、そのま＼仮枠３を押し下げるかペリクル枠
１を持ち上げ或いは両者を互いに押し付けてペリクル枠
１上にペリクル膜３を貼着する。その後ペリクル枠１よ
りはみ出る１ｌｊ４３を枠際より切除する。
わる角を面取りし、斜面を付したペリクル枠１の面取り
部分１ａを除く側端面に接着剤２が丸く盛り上がるよう
にして塗布する。これに前後して基板上に製膜された膜
を前述するようにして仮枠３に移し取り、仮枠３を掴ん
で接着剤２が塗布される側のペリクル枠１上にペリクル
膜３を被せ、そのま＼仮枠３を押し下げるかペリクル枠
１を持ち上げ或いは両者を互いに押し付けてペリクル枠
１上にペリクル膜３を貼着する。その後ペリクル枠１よ
りはみ出る１ｌｊ４３を枠際より切除する。
発明の効果
本発明によれば、ペリクル枠側端面に塗布された接着剤
がペリクル膜の張設時、枠内外側に押し出されるが、押
し出された接着剤は面取り部分にはみ出て吸収されるた
め膜が枠際で膨らむことがなくなり、マスクに装着する
ためのハンドリングに際し、膨らみに引っ掛かって破れ
るといった問題が解消され、またエアーブローによる洗
浄時にペリクル膜が振動しても枠際で破れることがなく
なるか或いは破れを少なくすることができる。
がペリクル膜の張設時、枠内外側に押し出されるが、押
し出された接着剤は面取り部分にはみ出て吸収されるた
め膜が枠際で膨らむことがなくなり、マスクに装着する
ためのハンドリングに際し、膨らみに引っ掛かって破れ
るといった問題が解消され、またエアーブローによる洗
浄時にペリクル膜が振動しても枠際で破れることがなく
なるか或いは破れを少なくすることができる。
第１図はべりタル膜を貼着後の状態、第２図は貼着前の
状態をそれぞれ示す要部断面図、第３図は従来例の要部
断面図である。
状態をそれぞれ示す要部断面図、第３図は従来例の要部
断面図である。
Claims (2)
- （１）ペリクル膜が貼着される側端面と内側面或いは外
側端面が交わる角のうち、少なくとも内側面と交わる角
を面取りしてなるペリクル枠を使用し、面取りした枠側
端面に接着剤を塗布したのちペリクル膜を張設し、つい
で枠外側面に沿って切断することを特徴とするペリクル
の製造方法 - （２）ペリクル膜は基板上に製膜した膜を該膜に接着し
た仮枠により剥ぎ取り保持される特許請求の範囲第１項
記載のペリクルの製造方法
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13435787A JPH0812418B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | ペリクルの製造方法 |
| US07/197,964 US4828640A (en) | 1987-05-28 | 1988-05-24 | Method of producing films using a peeling jig |
| CA000567814A CA1300857C (en) | 1987-05-28 | 1988-05-26 | Method of producing films and jig for producing the same |
| EP92112828A EP0513859B1 (en) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Method of producing films and jig for producing the same |
| EP88304851A EP0293239B1 (en) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Method of producing films and jig for producing the same |
| AT92112828T ATE168789T1 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungsverfahren und einstellvorrichtung dazu |
| DE88304851T DE3885003T2 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungverfahren und Einstellvorrichtung dazu. |
| AT88304851T ATE96235T1 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungverfahren und einstellvorrichtung dazu. |
| DE3856223T DE3856223T2 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungsverfahren und Einstellvorrichtung dazu |
| KR1019880006360A KR960016311B1 (ko) | 1987-05-28 | 1988-05-28 | 막의 제조방법 및 그 제조용 지그(jig) |
| CA000616276A CA1320070C (en) | 1987-05-28 | 1992-01-08 | Method of producing films and jig for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13435787A JPH0812418B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | ペリクルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298245A true JPS63298245A (ja) | 1988-12-06 |
| JPH0812418B2 JPH0812418B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=15126479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13435787A Expired - Lifetime JPH0812418B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | ペリクルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812418B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011095661A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル |
| JP2011118263A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法 |
| JP2014126569A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
| JP2018180252A (ja) * | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ペリクル枠及びその製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5480082A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-26 | Ibm | Mask for projecting print |
| JPS6330846U (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | ||
| JPS63104058A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-09 | Hitachi Ltd | ペリクル体 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP13435787A patent/JPH0812418B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5480082A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-26 | Ibm | Mask for projecting print |
| JPS6330846U (ja) * | 1986-08-18 | 1988-02-29 | ||
| JPS63104058A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-09 | Hitachi Ltd | ペリクル体 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011095661A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル |
| TWI465840B (zh) * | 2009-11-02 | 2014-12-21 | Shinetsu Chemical Co | 防塵薄膜組件 |
| JP2011118263A (ja) * | 2009-12-07 | 2011-06-16 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法 |
| JP2014126569A (ja) * | 2012-12-25 | 2014-07-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | リソグラフィ用ペリクル |
| JP2018180252A (ja) * | 2017-04-12 | 2018-11-15 | 日本特殊陶業株式会社 | ペリクル枠及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0812418B2 (ja) | 1996-02-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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