JPS63104058A - ペリクル体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 丁産業上の利用分野〕 本発明は、ペリクル体に適用してを効な技術にＨ，＋、
１する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程である、いわゆるウニ、・＼工程
では、二ノチング等のマスクとして周り）るレジストパ
ターンの形成が行われる。このレジストパターンの形成
は、半導体ウニ／Ｓ　（以下、単にウェハともいう）の
表面に被管したレジスト膜にリングラフィ技術を１１１
用し、いわゆるマスクに形成されているパターンを転写
することで達成される。

上言己マスクは、一般にガラス等の透間基板にクロム（
Ｃ「）等の遮光膜で所定のパターンをｙｉ着形成したも
のである。

ところで、上記レジスト膜へのマスクパターンの転写は
、レジスト膜を被着したウニノ＼の上方に、上記マスク
を位置させ、該マスクの上方より光を照射して露光を行
い、次いてレジスト膜の不要部を除去する現象を行うこ
とにより達成される。

上記レジスト膜の露光では、マスク表面に微小異物が存
在すると、そのままレジストパターンとして転写され、
回路岩子等の欠陥の甲因になる。

それ故に、作業工程等においてマスク表面に異物が付着
することを防止するために、いわゆるペリクルをマスク
に取付け、その表面の保護を行っている。

このペリクルについては、昭和５６年１１月１０日、株
式会社工業調査会発行、「電子材料」１９８１年別冊、
Ｐ２Ｏ３に説明されている。

上記ペリクルは、その本体が円形等の筒状フレームから
なり、該フレームの一端には透明薄膜からなるペリクル
膜が取付けろれ、その地端にはマスクの基板に接着する
ための取付部が形成されてし）る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記ペリクルの取付部は、マスクの基板との接着を確実
にする等の目的で、フレームの端面にネオブレン等の発
泡材層を接着し、該発泡材層の表面に取付用の接着剤を
被着して形成することができる。

上記のような取付部を介してペリクルをマスクへ取付け
る場合、その取付けが簡唯でかつ確実に行うことができ
るという利点がある一方、取付部の発泡材層等が微小異
物の発生源になる場合があるということが本発明者によ
り見゛ハ出された。

なお、発泡材層からの微小異物の発生は、ネオブレン等
に混合されている加工助剤や発泡剤等に原因しているも
のと考えられる。

本発明の目的は、微小異物の発生を伴うことなくペリク
ルを確実に取付けることができる技術を提供することに
ある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔問題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、マスクの基板に取付（する側のペリクルのフ
レームの端部について、その内周端側が最も突出した形
状にしたペリクル体とするものである。

〔作用〕

上記した手段によれば、ペリクルをマスクに接着剤で取
付ける場合、フレームの端部とマスクとの間に十分な量
の接着剤を介在させることができ、かつペリクルの内部
へは上記接着剤が侵入することを防止できるため、ペリ
クルの接着を確実に行えると同時に、たとえ接着剤中に
異物原因物質が存在する場合であっても、ペリクルの内
部にあるマスクパターンには異物が付着することを有効
に防止できるものである。

こ実施例１〕 第１図は本発明による実施例１であるペリクルの取付状
態を示す拡大部分断面図であり、第２図；まその全体を
示す概略断面図である。

第１図では、左側がフレームの内側である。

本実施例のペリクル体（以下、必要に応じペリクルと称
する場合もある）１は、アルミニウム（Ａβ）等からな
るフレーム２と、該フレームの一端に取付けられている
透明なペリクル膜３とで構成されるものである。そして
、その使用は第２図に示す如く、通常マスク４の遮光膜
パターン５が形成されている面に接着剤て取イ・ｊけて
行われるものである。なお、第２図では第１図と上下が
逆の配貨で示しである。

本実施例１のペリクル１は、第１図に示すように、マス
ク４への取付側のフレーム２の端部においてその内側端
部（内周側端部）２ａが最も突出し、外側に向かうにし
たがって所定の傾斜で後退する形状ををしている。

このように、本実施例によれば以下の効果を得ることが
できる。

（１）、ペリクル１のフレーム２の端部を、その内側端
部２ａから外側方向に所定の傾斜で後退する形状にする
ことにより、上記ペリクル１をマスク６に接着剤７で取
付ける場合、ペリクル１の端部とマスクの表面との間に
形成される空間に十分な量の接着剤７を溜め、かつフレ
ーム２より内部には上記接着剤７が侵入することを防止
できるので、上記ペリクルを確実に取付けることができ
ると同時に、ペリクルの内側では上記接着剤またはその
成分に起因する異物の発生を有効に防止することができ
る。

（２）、上記（１）に記載する如く、十分な量の接着剤
をペリクルの端部とマスクとの間に介在させることがで
きるので、発泡材層の存在がなくともフレーム全体の接
着を正確に行うことができる。

（３）、接着剤７として異物形成成分が含まれないもの
を使用することにより、マスクのパターン等に異物が付
着することを完全に防止できる。

ご実施例２〕 第３図は本発明による実施例２であるペリクルの取付状
態を示す拡大部分断面図である。

本実施例２のペリクルｌは、前記実施例１のものと’ｒ
ｌは同一のものであるが、そのフレーム２の端部の形状
に違いがあるものである。本実施例２のペリクルでは、
そのフレーム２の内側端部２ａが最も突出している点に
おいて、前記実施例１のものと共通である。しかし、そ
の中央部には溝２ｂが形成され、また外側端部２ｃが上
記内側端部２ａより僅かに後退して形成されている。

このように、本実施例によれば以下の効果を得ることが
できる。

（１）、−ペリクル１のフレーム２の端部を、内側端部
２ａを最も突出させ、外側端部２Ｃを内側端部より後退
させ、該両端部の間に溝２ｂを形成することにより、前
記実施例１の場合と同ト策の効果が得られる。

（２）、上記（１）のように、外側端部２Ｃを内側端部
２ａより後退させることにより、余分な接着剤７を上記
外側端部２ｃとマスク６との間に形成される隙間から外
に逃がすことができるので、接着剤７がペリクル１の内
側に侵入することを有効に防止できる。

（３）、フレーム２の端部に溝２ｂを設けることにより
、マスク６に取付けを行うに際し、接着剤７の十分な量
を上記フレーム２の端部に溜める二とができる。

以上のように本考案を実施例に基づき具体的に説明した
が、本考案は前記実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはい
うまでもない。

たとえば、フレーム２の端部の形状は、前記実施例に示
したものに限るものでなく、その内側端部２ａに最も突
出した形状を有しているものであれば、該端部２ａから
外側方向への端部の形状は、所期の目的が達成できるも
のであれば、実施例１の傾斜面からなる端部にさらに細
い凹凸を設ける等、いかなるものであってもよい。また
、フレーム２自体の形状、その材質等は実施例に示した
ものに限られるものでないことはいうまでもない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。

すなわち、マスクの基板に取付ける例のペリクルのフレ
ームの端部について、その内側が最も突出した形状にす
ることにより、ペリクルをマスクに接着剤で取付ける場
合、フレームの端部とマスクとの間に十分な量の接着剤
を介在させることができ、かつペリクルの内部へは上記
接着剤が侵入することを防止できるので、ペリクルの接
着を確実に行うことができると同時に、たとえ接着剤中
に異物原因物質が存在する場合であってもペリクルの内
部にあるマスクパターンには異物が付着することを有効
に防止できるものである。その結果、レジストパターン
の精度を大巾に向上できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による実施例１であるペリクルの取付状
態を示す拡大部分断面図、 第２図はその全体を示す概略断面図、 第３図は本発明による実施例２であるペリクルの取付状
態を示す拡大部分断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、その内側端部が取付方向に最も突出するフレームを
   有してなるペリクル体。 ２、上記フレームの端部が、外側方向に所定の傾斜をつ
   けて形成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のペリクル体。 ３、上記フレームの端部に、溝が形成されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のペリクル体。 ４、上記フレームの端部とマスクの表面との間に接着剤
   を介在させてその取付けを行うことを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のペリクル体。