JPS60147737A - ペリクルホルダ - Google Patents
ペリクルホルダInfo
- Publication number
- JPS60147737A JPS60147737A JP59003426A JP342684A JPS60147737A JP S60147737 A JPS60147737 A JP S60147737A JP 59003426 A JP59003426 A JP 59003426A JP 342684 A JP342684 A JP 342684A JP S60147737 A JPS60147737 A JP S60147737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- mask
- adhering
- frame
- bonding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
- G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、ホトリソグラフィ技術、特にペリクル保護に
適用して有効な技術である。
適用して有効な技術である。
［背景技術］
半導体装置の製造工程の１つにシリコン単結晶等のウェ
ハのホトリソグラフィプリンティング工程がある。
ハのホトリソグラフィプリンティング工程がある。
この工程においては、ガラス板表面にクロム等の蒸着膜
でバターニングされているマスクに対応した画像のパタ
ーンがウェハ上に形成される゛が、この際、マスク表面
に埃等の異物が付着していると、その異物がウェハ上に
転写されるためベレットに欠陥を生じることになる。こ
の現象は、たとえば２μｍ程度のラインまたはスペース
からなる微細なパターンを１０：１のマスクでプリンテ
ィングする場合には大きな問題である。
でバターニングされているマスクに対応した画像のパタ
ーンがウェハ上に形成される゛が、この際、マスク表面
に埃等の異物が付着していると、その異物がウェハ上に
転写されるためベレットに欠陥を生じることになる。こ
の現象は、たとえば２μｍ程度のラインまたはスペース
からなる微細なパターンを１０：１のマスクでプリンテ
ィングする場合には大きな問題である。
そこで、マスクを完全な状態に保持するためにマスクの
ペリクル保護が行われている。これについては雑誌「電
子材料」の１９８３年４月司第５２ページ以下に詳述さ
れている。
ペリクル保護が行われている。これについては雑誌「電
子材料」の１９８３年４月司第５２ページ以下に詳述さ
れている。
このペリクル保護は、数鶴の厚さのフレームからなるペ
リクルホルダの先端にニトロセルロース等からなるペリ
クルを張りイ１す、他端を両面テープ等でマスクのガラ
ス面に取り伺けることにより、該ペリクルで異物の侵入
を防止し、マスクを保護・するものである。
リクルホルダの先端にニトロセルロース等からなるペリ
クルを張りイ１す、他端を両面テープ等でマスクのガラ
ス面に取り伺けることにより、該ペリクルで異物の侵入
を防止し、マスクを保護・するものである。
ところが、通富ペリクルホルダは一体で形成されている
ため、ペリクルを取り付けたペリクルホルダをマスクの
ガラス面に取りイ」りた後に該マスクの面に異物の付着
が発見されたり、作業中にペリクルが破れたり等の事故
が発生した場合は、該ペリクルホルダ全体をガラス面か
ら取り外さなければならないという不便がある。
ため、ペリクルを取り付けたペリクルホルダをマスクの
ガラス面に取りイ」りた後に該マスクの面に異物の付着
が発見されたり、作業中にペリクルが破れたり等の事故
が発生した場合は、該ペリクルホルダ全体をガラス面か
ら取り外さなければならないという不便がある。
また、ペリクルホルダの取付位置が制限されるでいるの
で、取り外したペリクルホルダを再び取り付けるための
位置決めが難しく、作業性が著しく低下したり、または
ペリクルを破ってしまう等の問題があることが、本発明
者によって見い出された。
で、取り外したペリクルホルダを再び取り付けるための
位置決めが難しく、作業性が著しく低下したり、または
ペリクルを破ってしまう等の問題があることが、本発明
者によって見い出された。
［発明の目的］
本発明の目的は、ホトリソグラフィプリンティング工程
における作業性の向上を可能にする技術を提供すること
にある。
における作業性の向上を可能にする技術を提供すること
にある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、ペリクルホルダのフレームを着脱可能な分離
構造にすることにより、結果としてフレームの先端に取
り付けであるペリクルの着脱を容易かつ確実に行うこと
ができることにより、ホトリソグラフィプリンティング
工程における作業性の向上を達成するものである。
構造にすることにより、結果としてフレームの先端に取
り付けであるペリクルの着脱を容易かつ確実に行うこと
ができることにより、ホトリソグラフィプリンティング
工程における作業性の向上を達成するものである。
［実施例１］
第１図は、本発明による実施例１であるペリクルボルダ
を示すものである。
を示すものである。
第１図（ａｌはマスク（図示せず）方向から見た平面図
、第１図（ｂｌは側面図、第１図（Ｃｌは第１図（ｂｌ
に示すＩＣ，−Ｉ Ｃ線における断面図をそれぞれ示す
ものである。
、第１図（ｂｌは側面図、第１図（Ｃｌは第１図（ｂｌ
に示すＩＣ，−Ｉ Ｃ線における断面図をそれぞれ示す
ものである。
本実施例１のペリクルホルダは、第１図＋８１に示すよ
うに四角形状のフレームｌで形成されており、該フレー
ム１は第１図（ｂｌに示すように、マスク接着部２とペ
リクル接着部３のほぼ中央部で２分された２一つの部材
で構成されているものである。
うに四角形状のフレームｌで形成されており、該フレー
ム１は第１図（ｂｌに示すように、マスク接着部２とペ
リクル接着部３のほぼ中央部で２分された２一つの部材
で構成されているものである。
また、マスク接着部２にはマスク接着面４が、ペリクル
接着部３にはべりタル接着面５がぞれぞれ形成されてお
り、該マスク接着面４を両面テープ等でマスク８のガラ
ス面に接着し、ペリクル接着面５にはニトロセルロース
等のペリクル９を張り付けて、異物の付着等からのマス
クの保護を行うものである。
接着部３にはべりタル接着面５がぞれぞれ形成されてお
り、該マスク接着面４を両面テープ等でマスク８のガラ
ス面に接着し、ペリクル接着面５にはニトロセルロース
等のペリクル９を張り付けて、異物の付着等からのマス
クの保護を行うものである。
さらに、本実施例１では、前記フレーム１を構成するマ
スク接着部２とペリクル接着部３とは、該ペリクル接着
部の一部に形成した突出部６の内側の凸部と、これに対
応する位置のマスク接着部に形成された凹部とを、第１
図（Ｃ）に示すように嵌合して接続することによって形
成されている。
スク接着部２とペリクル接着部３とは、該ペリクル接着
部の一部に形成した突出部６の内側の凸部と、これに対
応する位置のマスク接着部に形成された凹部とを、第１
図（Ｃ）に示すように嵌合して接続することによって形
成されている。
前記ペリクルホルダは、アルミニウムもしくはステンレ
ス等の金属、フン素樹脂等のグラスチックまたはセラミ
ック等で全体を形成してもよく、または、マスク接着部
とペリクル接着部とを前記材料のいずれかの組合せによ
る別材料で形成してもよい。なお、ペリクル接着部３は
ある程度の弾性を有していることが望ましい。
ス等の金属、フン素樹脂等のグラスチックまたはセラミ
ック等で全体を形成してもよく、または、マスク接着部
とペリクル接着部とを前記材料のいずれかの組合せによ
る別材料で形成してもよい。なお、ペリクル接着部３は
ある程度の弾性を有していることが望ましい。
以上説明した本実施例１のペリクルホルダはそのフレー
ム１のマスク接着部２とペリクル接着部３とを分離可能
な構造で形成され、かつ両者がそれぞれの一部に形成さ
れた凹部および凸部の嵌合により接続できる構造で形成
されているので、マスク接着部２をマスクのガラス面に
取り付けたままの状態で、ペリクル接着部３の着脱が容
易、正確かつ確実に行うことができる。従って、作業中
等においても、マスク面に付着している異物除去やペリ
クルの張り替え等の作業を容易に、安全かつ速やかに行
うことができる。
ム１のマスク接着部２とペリクル接着部３とを分離可能
な構造で形成され、かつ両者がそれぞれの一部に形成さ
れた凹部および凸部の嵌合により接続できる構造で形成
されているので、マスク接着部２をマスクのガラス面に
取り付けたままの状態で、ペリクル接着部３の着脱が容
易、正確かつ確実に行うことができる。従って、作業中
等においても、マスク面に付着している異物除去やペリ
クルの張り替え等の作業を容易に、安全かつ速やかに行
うことができる。
［実施例、２］
第２図（ａｌは本発明による実施例２であるペリクルホ
ルダの平面図を、第２図（ｂｌはそのＩＪｉ ｉＴ＋ｉ
図を示すものである。
ルダの平面図を、第２図（ｂｌはそのＩＪｉ ｉＴ＋ｉ
図を示すものである。
本実施例のペリクルホルダは、第２図＋ａｌに示すよう
に円形状すなわちリング状のフレーＪ＼１からなり、該
フレームは第２図ｔｂｌに示すように、マスク接着部２
とペリクル接着部３とを、それぞれの対応すコ位置に形
成されているねし７で螺合して接続することにより形成
されている。
に円形状すなわちリング状のフレーＪ＼１からなり、該
フレームは第２図ｔｂｌに示すように、マスク接着部２
とペリクル接着部３とを、それぞれの対応すコ位置に形
成されているねし７で螺合して接続することにより形成
されている。
本実施例２のペリクルホルダは、マスク接着部とペリク
ル接着部とを螺合にて接続形成されているので、両者の
着脱を容易、正６１１°かつ確実に行うことができ、前
記実施例１と同様な効果を得ることができる。
ル接着部とを螺合にて接続形成されているので、両者の
着脱を容易、正６１１°かつ確実に行うことができ、前
記実施例１と同様な効果を得ることができる。
また、本実施例２は、前記実施例１と同様の材料または
その組合せで形成することができる。
その組合せで形成することができる。
［効果］
（１）、ペリクルホルダのフレームを、マスク接着部と
ペリクル接着部とを着脱可能な分離構造にすることによ
り、マスク接着部を取り付けたままの状態でペリクル接
着部を容易に着脱できるので、マスク面に付着している
異物除去またはべりタルの張り替え等の作業を容易に行
うことができる。
ペリクル接着部とを着脱可能な分離構造にすることによ
り、マスク接着部を取り付けたままの状態でペリクル接
着部を容易に着脱できるので、マスク面に付着している
異物除去またはべりタルの張り替え等の作業を容易に行
うことができる。
（２）、マスク接着部とペリクル接着部とを、それぞれ
の対応する位置に形成した凹部および凸部を嵌合して接
続することにより、ペリクル接着部の着脱を正確に、確
実にかつ迅速に行うことができる。
の対応する位置に形成した凹部および凸部を嵌合して接
続することにより、ペリクル接着部の着脱を正確に、確
実にかつ迅速に行うことができる。
（３）、前記（２）に記載するマスク接着部またはべり
タル接着部の少なくとも一方を弾性材料で形成すること
により、凹部および凸部の嵌合による接続をさらに正確
に行うことができる。
タル接着部の少なくとも一方を弾性材料で形成すること
により、凹部および凸部の嵌合による接続をさらに正確
に行うことができる。
（４）０円形状のフレームからなるペリクルホルダにお
いて、該フレームのマスク接着部とペリクル接着部とを
、それぞれの対応する位置に形成したねじで螺合して接
続することにより、該ペリクル接着部の着脱を、正確に
、確実にかつ迅速に行うことができる。
いて、該フレームのマスク接着部とペリクル接着部とを
、それぞれの対応する位置に形成したねじで螺合して接
続することにより、該ペリクル接着部の着脱を、正確に
、確実にかつ迅速に行うことができる。
（５）、前記（１）〜（４）により、ペリクルを張すイ
」けたペリクル接着部を、ペリクルを破ったり等するこ
となく安全に着脱することができる。
」けたペリクル接着部を、ペリクルを破ったり等するこ
となく安全に着脱することができる。
（６）’−前記（１１〜（５）により、ウェハのボトリ
ソクラフィプリンティング工程における作業性を向上さ
せることができる。
ソクラフィプリンティング工程における作業性を向上さ
せることができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、実施例１のペリクルボルダにおいては、その
フレームを接続するための凹部および凸部がフレームと
一体で形成されているが、これに限るものでなく、別部
材で形成したものであってもよい。
フレームを接続するための凹部および凸部がフレームと
一体で形成されているが、これに限るものでなく、別部
材で形成したものであってもよい。
また、実施例１では四角形状のフレームについて説明し
たが、これに限らず円形状等の種々の形状のフレームで
あっても適用できるものである。
たが、これに限らず円形状等の種々の形状のフレームで
あっても適用できるものである。
さらに、実施例１においては、接続用の突出部をマスク
接着部に形成したものについて説明したが、反対にペリ
クル接着部に形成してもよく、実施例２についても、螺
合用の雄ねじと雌ねじの関係が逆の形状のものであって
もよい。
接着部に形成したものについて説明したが、反対にペリ
クル接着部に形成してもよく、実施例２についても、螺
合用の雄ねじと雌ねじの関係が逆の形状のものであって
もよい。
なお、マスク接着部とペリクル接着部との接続の方法は
、前記実施例に示した凹部と凸部の嵌合や螺合に限るも
のではなく、たとえばマスク接着部およびペリクル接着
部の全体または互いに対向する一部を強磁性体で構成し
て磁力を用いるなど種々の接続方法を採りうろことはい
うまでもない。
、前記実施例に示した凹部と凸部の嵌合や螺合に限るも
のではなく、たとえばマスク接着部およびペリクル接着
部の全体または互いに対向する一部を強磁性体で構成し
て磁力を用いるなど種々の接続方法を採りうろことはい
うまでもない。
また、ペリクルホルダをプラスチックで形成するときは
、帯電防止のために、該プラスチックにカーボン等のフ
ィラーを充填してもよい。
、帯電防止のために、該プラスチックにカーボン等のフ
ィラーを充填してもよい。
第１図（ａ）は、本発明による実施例１のペリクルホル
ダの平面図、 第１図（ｂ）は、実施例１のペリクルホルダの側面図・ 第１図（Ｃ）は、実施例１のペリクルボルダの断面図、 第２図＋ａ）は、本発明による実施例２のペリクルホル
ダの平面図、 第２図１ｂｌは、実施例２のペリクルホルダの断面図で
ある。 １・・・フレーム、２・・・マスクｔＤ 着部、３・・
・ペリクル接着部、４・・・マスク接着面、５・・・ペ
リクル接着面、６・・・突出部、７・・・ねじ。
ダの平面図、 第１図（ｂ）は、実施例１のペリクルホルダの側面図・ 第１図（Ｃ）は、実施例１のペリクルボルダの断面図、 第２図＋ａ）は、本発明による実施例２のペリクルホル
ダの平面図、 第２図１ｂｌは、実施例２のペリクルホルダの断面図で
ある。 １・・・フレーム、２・・・マスクｔＤ 着部、３・・
・ペリクル接着部、４・・・マスク接着面、５・・・ペ
リクル接着面、６・・・突出部、７・・・ねじ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、フレームのマスク接着部とペリクル接着部とが、着
脱可能な分離構造からなるペリクルホルダ２、フレーム
のマスク接着部とペリクル接着部とが、対応する位置に
形成された四部および凸部を嵌合して着脱可能に形成さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
ペリクルホルダ。 ３、フレームのマスク接着部または・ペリクル接着部の
少なくとも一方が弾性材料で形成されていることを特徴
とする特許請求の範囲第２項記載のペリクルホルダ。 ４、フレームが円環形状を有し、フレームのマスク接着
部とペリクル接着部とが、対応する位置で円周方向に形
成されたねじで螺合して着脱可能に形成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のペリクルホル
ダ。 ５、フレームのマスク接着部またはペリクル接着部の少
な（とも一方が金属からなることを特徴とする特許請求
の範囲第１項、第２項、第３項または第４項記載のペリ
クルホルダ。 ６、フレームのマスク接着部またはべりタル接着部の少
なくとも一方がプラスチックからなることを特徴とする
特許請求の範囲第１項、第２項、第３項または第４項記
載のペリクルホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003426A JPS60147737A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | ペリクルホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59003426A JPS60147737A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | ペリクルホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60147737A true JPS60147737A (ja) | 1985-08-03 |
Family
ID=11557047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59003426A Pending JPS60147737A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | ペリクルホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60147737A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61145938U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-09 | ||
| EP0252673A2 (en) * | 1986-07-07 | 1988-01-13 | YEN, Yung-Tsai | Removable pellicle and method |
| WO2016043292A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | 三井化学株式会社 | ペリクル、その製造方法及び露光方法 |
| WO2016043301A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | 三井化学株式会社 | ペリクル、ペリクルの製造方法及びペリクルを用いた露光方法 |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP59003426A patent/JPS60147737A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61145938U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-09 | ||
| JPH0232359Y2 (ja) * | 1985-02-28 | 1990-09-03 | ||
| EP0252673A2 (en) * | 1986-07-07 | 1988-01-13 | YEN, Yung-Tsai | Removable pellicle and method |
| EP0252673A3 (en) * | 1986-07-07 | 1990-04-04 | YEN, Yung-Tsai | Removable pellicle and method |
| CN106796391A (zh) * | 2014-09-19 | 2017-05-31 | 三井化学株式会社 | 防护膜组件、防护膜组件的制造方法及使用了防护膜组件的曝光方法 |
| WO2016043301A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | 三井化学株式会社 | ペリクル、ペリクルの製造方法及びペリクルを用いた露光方法 |
| WO2016043292A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2016-03-24 | 三井化学株式会社 | ペリクル、その製造方法及び露光方法 |
| JPWO2016043301A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2017-06-29 | 三井化学株式会社 | ペリクル、ペリクルの製造方法及びペリクルを用いた露光方法 |
| US20170184957A1 (en) * | 2014-09-19 | 2017-06-29 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
| JPWO2016043292A1 (ja) * | 2014-09-19 | 2017-06-29 | 三井化学株式会社 | ペリクル、その製造方法及び露光方法 |
| EP3196700A4 (en) * | 2014-09-19 | 2018-06-20 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
| US10488751B2 (en) | 2014-09-19 | 2019-11-26 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, production method thereof, exposure method |
| US10585348B2 (en) | 2014-09-19 | 2020-03-10 | Mitsui Chemicals, Inc. | Pellicle, pellicle production method and exposure method using pellicle |
| TWI693467B (zh) * | 2014-09-19 | 2020-05-11 | 日商三井化學股份有限公司 | 防塵薄膜及其製造方法以及曝光方法 |
| TWI693466B (zh) * | 2014-09-19 | 2020-05-11 | 日商三井化學股份有限公司 | 防塵薄膜、防塵薄膜的製造方法及使用防塵薄膜的曝光方法 |
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