JP3041760U - 大型ペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】大きなサイズのペリクルにおいて、フォトマス
ク又はレチクルへの粘着を確実にする大型ペリクルを提
供する。 【解決手段】 粘着材の厚みを従来の０．４〜０．８ｍ
ｍから１ｍｍ以上に、特にペリクルサイズが３００ｍｍ
を越える場合には粘着材の厚みを１．５ｍｍ以上とする
大型ペリクル。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、フォトマスクやレチクルの防塵体として用いられる大型ペリクルに 関する。

【０００２】

【従来の技術】

ペリクルとは大規模集積回路（ＬＳＩ）や液晶表示素子の製造のために、対応 する素子、配線等のパターンが描かれたフォトマスク、又はレチクル（以下マス クと呼ぶ）の画像上に異物が付着することを防止するするためにそれらパターン を覆う防塵体である。ペリクルの構造は一般的には図１に示されるとおり、フレ ームの片面に光線透過率の高く、清浄な膜を貼り付け、フレームの他の端面には マスクに貼り付けるための粘着材を有する構造となっている。 マスクを清浄手段等によって清浄にした状態でペリクルを貼り付けることによ って、マスクのパターン面は密閉状態になるため、たとえ異物が作業環境に存在 しても異物が外部から進入することがなく、ペリクルの膜面上にしか付着しない ので、該異物は現在使われている結像露光系ではアウトオブフォーカスとなり、 異物による不良を大幅に減少させることが出来る。

【０００３】 かかるペリクルのうち、特に約２００ｍｍ角を越えるような大型のペリクルは 粘着材によってマスクに貼り付けても完全に密閉状態とすることが難しく、粘着 材とマスク間の一部に剥がれが生じることが多々有った。 即ち、従来は粘着材の厚みが０．４〜０．８ｍｍの両面テープ又はホットメル ト粘着材が用いられていた。しかしながら大型のペリクルの場合、特に液晶表示 素子製造のための大型マスクに使用するペリクルの場合、例えば、キャノン社製 の一括露光装置ＭＰＡ−３０００で用いられるペリクルは２９４×４２７ｍｍと 大きいため、従来の粘着材ではどうしても一部に粘着不良が発生してしまうとい う問題点があった。 この問題点への対応として、粘着強度を極めて高くして剥離を防ぐ方法が考え られるが、ペリクルは永久に使用するものではなく、汚れたとき・膜を破いてし まった場合等では交換することが必要となり、マスクから容易に剥がすことが出 来ることが別の要求性能として有しており、かかる方法は得策ではない。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は大きなサイズのペリクルにおいても、フォトマスク又はレチクルへの 粘着が確実にするペリクルを提供することを目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案者らは、この問題点を解決のため剥がれの原因究明をおこなう中で、ペ リクルのフレームに設けられ、ペリクルをフォトマスク又はレチクルに貼り付け るための粘着材の厚みを１ｍｍ以上とすることにより、該問題点を解決し得るこ とを見出し本考案を完成するに到った。 即ち、本考案はペリクルサイズが大型のペリクルにおいて、フォトマスク又は レチクルに貼り付ける粘着材厚みを１ｍｍ以上とするものである。更には３００ ｍｍ角より大きなペリクルの場合には粘着材厚みを１．５ｍｍ以上に厚くするも のである。

【０００６】 大型のペリクルに用いられるフレームは、鉄系合金等の剛性に高い金属で作ら れるが、平坦性が必要のため板材から切り取って製造しているものの、フレーム 幅が５ｍｍ程度と細いため歪み補正等の処理をおこなっても歪みを完全に無くす ことは難しく、±０．１程度の歪みが発生してしまう。 この歪みはフレームサイズが大きくなればなるほど大きくなる傾向がある。 このようにフレームに歪みがある状態でも、本考案の如く粘着材の厚みが１ｍ ｍ以上有れば、更にはペリクルサイズが３００ｍｍ角を越えるような大型ペリク ルにおいては１．５ｍｍ以上有れば粘着材自身の変形によってマスクからの剥が れを防ぐことが出来る。

【０００７】 かかる変形状態でもマスクから粘着材が剥がれることなく保たれる粘着材とし ては、粘着材の中心部が柔らかいものが好ましい。特に中心部に独立発泡体を有 し、その両面に粘着材が配置された両面テープは中心部が発泡体のため変形容易 であるので好適である。具体的には日東電工（株）製の両面テープ５７１０（商 品名：厚み０．９ｍｍ）を２枚重ねたものや、５７１１（厚み１．３ｍｍ）、及 び３Ｍ社製の両面テープＹ−４９４５（商品名：厚み１．１４ｍｍ）等が挙げら れる。また、これ以外の粘着材の構成としては変形容易な軟質ゴム材の両面に粘 着材を配置した粘着材、変形容易なホットメルト系粘着材等が挙げられる。

【０００８】

【考案の実施の形態】

本考案を図面にて説明する。 図１は従来のペリクルを示す。フレームの一方の面に光線透過率の高く、かつ 清浄な膜がこの面全体を覆うようにピンと貼り付けられ、他方の面にはマスクに 貼り付けるための粘着材が配置されている。粘着材の厚みは０．４〜０．８ｍｍ の範囲である。 図２は本考案のペリクルであり、粘着材以外の構成は従来ペリクルと変わらな い。本考案は粘着材の厚みを１ｍｍ以上、好ましくは１．５ｍｍ以上とすること を特徴とする。 図３はペリクルの実装状態を表す図面である。粘着材に貼られた離型シートを 剥がし、マスクに粘着材によって貼り付ける。フレームが多少変形しても粘着材 が厚いためマスクから部分的にも剥がれることがない。

【０００９】

【考案の効果】

本考案によれば、フォトマスクまたはレチクルへの粘着を確実なものとするペ リクルを提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のペリクルを示す断面図である。

【図２】本考案のペリクルを示す断面図である。

【図３】本考案のペリクルの実装状態を示す断面図であ
る。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトマスクやレチクルの防塵体として
   用いられるペリクルにおいて、フォトマスク又はレチク
   ルに貼り付ける粘着材の厚みが１ｍｍ以上である大型ペ
   リクル。
2. 【請求項２】 ペリクルのサイズが３００ｍｍ角を越え
   るようなペリクルであり、粘着材の厚みが１．５ｍｍ以
   上である請求項１記載の大型ペリクル。