JP3108865U

JP3108865U - 露光用フォトマスク

Info

Publication number: JP3108865U
Application number: JP2004006760U
Authority: JP
Inventors: 司昌弘郷; 山真也梅; 賀省司志
Original assignee: Nippon Mektron KK
Current assignee: Nippon Mektron KK
Priority date: 2004-11-18
Filing date: 2004-11-18
Publication date: 2005-04-28
Anticipated expiration: 2010-11-18

Abstract

【課題】原版フィルムをキズ、レジストの転写から保護でき、位置ずれ、寸法変化を起こさない露光用フォトマスクを提供すること。
【解決手段】透明板１と、前記透明板の所定位置に載置された原版フィルム２と、前記原版フィルムを仮止めする粘着テープ３と、前記原版フィルムを覆う表面保護フィルム４と、をそなえた露光用フォトマスク。
【選択図】図１

Description

本考案は、露光用フォトマスクに係わり、とくに電子機器の回路に使用されるプリント基板をエッチングするためのフォトレジスト等を露光する露光用フォトマスクに関する。

プリント基板の製造工程には、エッチングレジスト、ソルダーレジストを露光する工程があり、露光機により露光処理が行われる(特許文献１，２および３)。

これらの文献に開示されている露光用フォトマスクは、フィルム枠に原版フィルムを粘着テープ等で貼付して使用している。また、特許文献４には、ガラス面に原版フィルムを両面テープで固定したものが示されている。

これらは、何れも原版フィルムをプリント基板に密着させて露光するため、原版フィルムとプリント基板とが擦れ合って原版フィルムにキズができる問題、エッチングレジストやソルダーレジストがフィルムに転写される問題を生じている。

その解決策として、特許文献５に示されるような表面保護フィルムを原版フィルムに貼り合わせることが行われている。

しかし、フィルム枠やガラス面に原版フィルムをテープ等で固定するだけでは原版フィルムが位置ずれしたり、露光作業を繰り返していくと原版フィルムの寸法変化を起こしたり、するという問題がある。

この対策として、特許文献６に記載の、クロム薄膜が蒸着された回路パターンを有するガラスマスクを使用することが行われている。

しかし、ガラスマスクは高価である点が問題となる。露光マスクをいくつか用意するとき、価格が問題となる。すなわち、プリント基板の製作過程で材料を積層したりスルーホールメッキを施したりする工程があり、これらの工程で基板自体が寸法変化を起こすことがあり、しかも製作ロット毎にこの寸法変化の度合が異なることもある。この寸法変化に対応するには、各種の補正率を有する補正マスクをいくつか準備することになり、高価で工期の長いガラスマスクでは対応し切れない。
特開平3-107949号公報特開平4-107464号公報特開平5-281754号公報特開平5-216215号公報特開平11-7121号公報特開昭62-55654号公報

本考案は上述の点を考慮してなされたもので、原版フィルムをキズ、レジストの転写から保護でき、位置ずれ、寸法変化を起こさない露光用フォトマスクを提供することを目的とする。

上記目的達成のため、本考案では、
透明板と、この透明板の所定位置に載置された原版フィルムと、この原版フィルムを仮止めする粘着テープと、前記原版フィルムを覆う表面保護フィルムと、をそなえた露光用フォトマスク、
を提供するものである。

本考案は上述のように、透明板上に原版フィルムを粘着テープで仮止めした上で表面保護フィルムによって覆うようにしたため、原版フィルムにキズが付いたり、レジストの転写が付いたりすることがなく、また位置ずれ、寸法変化も防止できる。

以下、添付図面を参照して本考案の実施例を説明する。

図１は、本考案の実施例１の側面図であり、図２は同じく平面図である。これらの図に示すように、透明板１上に原版フィルム２を載置し、粘着テープ３で少なくとも４隅を仮止めする。

そして、仮止めした原版フィルム２を、粘着テープ３を含めて覆い尽くすように、透明板１に表面保護フィルム４を載せて、表面保護フィルム４の自己粘着性により透明板１にできるだけ密着させて貼付する。

この結果、透明板１の所定位置にセットされた原版フィルム２が、表面保護フィルム４によって透明板１上に確実に保持された状態となる。表面保護フィルム４は、解像度を低下させない透明なプラスチックフィルムであれば、種々のものを利用でき、防湿性をそなえることが望ましい。例えば、キモテクト(登録商標)が適当である。厚みは、取り扱い性も考慮して４−１５μm程度が好ましい。そして、表面保護フィルムを貼り合わせる方法も、種々の方法を使用できるがロールラミネート法が好ましい。

透明板１は、透光性の良好なガラス、アクリル板が好ましく、また厚みは解像度を損なわないために薄い方が好ましく、取り扱い性も考慮すると２−５mm程度が望ましい。

そして、透明板１の中央に原版フィルム２が固定され、原版フィルム２の内側にセットされるプリント基板５に露光を行う。

本考案の露光用フォトマスクは、上述のように構成することにより、クロム薄膜により形成されたガラスマスクと比べて、安価な材料で製造することができる。

本考案の実施例１の構成を示す側面図。図１の実施例１の平面図。

符号の説明

１透明板、２原版フィルム、３粘着テープ、４表面保護フィルム、
５プリント基板。

Claims

透明板と、
前記透明板の所定位置に載置された原版フィルムと、
前記原版フィルムを仮止めする粘着テープと、
前記原版フィルムを覆う表面保護フィルムと、
をそなえた露光用フォトマスク。
請求項1記載の露光用フォトマスクにおいて、
前記透明板は、ガラス製である露光用フォトマスク。
請求項1記載の露光用フォトマスクにおいて、
前記透明板は、アクリル製である露光用フォトマスク。
請求項１記載の露光用フォトマスクにおいて、
前記表面保護フィルムは、自己接着性を有するものである露光用フォトマスク。
請求項１記載の露光用フォトマスクにおいて、
前記表面保護フィルムは、防湿性および低伸張性を有するものである露光用フォトマスク。