JP2623951B2 - プリント基板の露光装置 - Google Patents
プリント基板の露光装置Info
- Publication number
- JP2623951B2 JP2623951B2 JP2274515A JP27451590A JP2623951B2 JP 2623951 B2 JP2623951 B2 JP 2623951B2 JP 2274515 A JP2274515 A JP 2274515A JP 27451590 A JP27451590 A JP 27451590A JP 2623951 B2 JP2623951 B2 JP 2623951B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- printed circuit
- film
- multilayer printed
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 プリント基板の露光装置に関し マスク用フィルムがプリント基板に対して位置ずれを
生じないようにしたプリント基板の露光装置を目的と
し、 片面または両面に感光性レジスト膜を被着したプリン
ト基板に、マスク用フィルムと透明基板とを順次重ねて
なる被露光構成体を露光機の固定台に固定し、該被露光
構成体を透明フィルムで覆ってその裾部分を枠状部材で
前記固定台に押さえて気密な空間部を形成し、当該空間
部内の前記固定台に設けた排気穴から排気して露光する
プリント基板の露光装置において、前記固定台上の被露
光構成体の周囲に、前記透明フィルムを被露光構成体の
最上面と同一平面に支える通気可能な板状部材を立設
し、前記排気穴を該板状部材と前記枠状部材との間に配
し構成する。
生じないようにしたプリント基板の露光装置を目的と
し、 片面または両面に感光性レジスト膜を被着したプリン
ト基板に、マスク用フィルムと透明基板とを順次重ねて
なる被露光構成体を露光機の固定台に固定し、該被露光
構成体を透明フィルムで覆ってその裾部分を枠状部材で
前記固定台に押さえて気密な空間部を形成し、当該空間
部内の前記固定台に設けた排気穴から排気して露光する
プリント基板の露光装置において、前記固定台上の被露
光構成体の周囲に、前記透明フィルムを被露光構成体の
最上面と同一平面に支える通気可能な板状部材を立設
し、前記排気穴を該板状部材と前記枠状部材との間に配
し構成する。
本発明はプリント基板の露光装置に関する。
プリント基板の製造に於いては感光性レジスト膜を用
いて回路パターンメッキのレジスト膜等を形成するよう
に、ホトリソグラフィ工程を用いて必要なレジスト膜の
パターンを形成する工程が採られている。
いて回路パターンメッキのレジスト膜等を形成するよう
に、ホトリソグラフィ工程を用いて必要なレジスト膜の
パターンを形成する工程が採られている。
従来、このようなプリント基板を露光する装置として
第２図（ａ）に示すように、所定の回路パターンの導体
層を形成した中間層基材をプリプレグを介して多層構造
に積層した多層プリント基板１の両面に感光性レジスト
膜（ドライフィルム）２をラミネートする。
第２図（ａ）に示すように、所定の回路パターンの導体
層を形成した中間層基材をプリプレグを介して多層構造
に積層した多層プリント基板１の両面に感光性レジスト
膜（ドライフィルム）２をラミネートする。
次いで露光用マスクパターンを有するマスク用フィル
ム３を多層プリント基板１の両面に設置し、このマスス
用フィルム３の上下にアクリル樹脂より成る透明基板４
を設置し、これら透明基板４、マスク用フィルム３、感
光性レジスト膜２をラミネートしたプリント基板１を基
準ピン５にて固定し被露光構成体を形成する。
ム３を多層プリント基板１の両面に設置し、このマスス
用フィルム３の上下にアクリル樹脂より成る透明基板４
を設置し、これら透明基板４、マスク用フィルム３、感
光性レジスト膜２をラミネートしたプリント基板１を基
準ピン５にて固定し被露光構成体を形成する。
次いでこれらマスク用フィルム３、透明基板４を積層
した多層プリント基板１、即ち被露光構成体をポリエス
テル樹脂より成る透明フィルム６で被覆しながら、ポリ
エステル樹脂の枠状部材７を用いて上記マスク用フィル
ム３等を積層した多層プリント基板１を押さえるように
して露光機の透明な固定台８上に図示しないが嵌合部材
等を用いて固定する。
した多層プリント基板１、即ち被露光構成体をポリエス
テル樹脂より成る透明フィルム６で被覆しながら、ポリ
エステル樹脂の枠状部材７を用いて上記マスク用フィル
ム３等を積層した多層プリント基板１を押さえるように
して露光機の透明な固定台８上に図示しないが嵌合部材
等を用いて固定する。
そして固定台８の片隅に設けた排気穴９を介して排気
ポンプを用いて透明フィルム６で被覆された多層プリン
ト基板の周辺部を排気することで、前記マスク用フィル
ム３と多層プリント基板１の間の空気を排気し、上記マ
スク用フィルムと多層プリント基板とを密着させる。
ポンプを用いて透明フィルム６で被覆された多層プリン
ト基板の周辺部を排気することで、前記マスク用フィル
ム３と多層プリント基板１の間の空気を排気し、上記マ
スク用フィルムと多層プリント基板とを密着させる。
そして透明な固定台８の下部と、透明フィルム６の上
部より紫外線を照射して多層プリント基板１の両面に設
けた感光性レジスト膜２をマスク用フィルム３を介して
所定のパターンに露光している。
部より紫外線を照射して多層プリント基板１の両面に設
けた感光性レジスト膜２をマスク用フィルム３を介して
所定のパターンに露光している。
しかし、上記した従来の装置では多層プリント基板１
上をポリエステル製の透明フィルム６で被覆して、それ
を枠状部材７で固定台８に押さえて固定している。この
枠状部材７で透明フィルム６を押さえる際に透明フィル
ム６が多層プリント基板１に密着するようになり、多層
プリント基板１と透明フィルム６の間の空間容積が狭く
なるとともに、透明フィルム６が被露光構成体の最上部
の透明基板４の周縁エッジに引っ掛かって密着し、透明
フィルム６の、透明基板４の上面を覆う部分に撓みを生
じさせ、排気ポンプで排気した際に皺が生じ、この皺に
よって露光が高精度に行われない問題が生じる。
上をポリエステル製の透明フィルム６で被覆して、それ
を枠状部材７で固定台８に押さえて固定している。この
枠状部材７で透明フィルム６を押さえる際に透明フィル
ム６が多層プリント基板１に密着するようになり、多層
プリント基板１と透明フィルム６の間の空間容積が狭く
なるとともに、透明フィルム６が被露光構成体の最上部
の透明基板４の周縁エッジに引っ掛かって密着し、透明
フィルム６の、透明基板４の上面を覆う部分に撓みを生
じさせ、排気ポンプで排気した際に皺が生じ、この皺に
よって露光が高精度に行われない問題が生じる。
本発明は上記した問題点を除去し、多層プリント基板
を露光機の固定台に設置し、マスク用フィルムと多層プ
リント基板を密着させるための排気時に、マスク用フィ
ルムが多層プリント基板に対して位置ずれしないように
したプリント基板の露光装置の提供を目的とする。
を露光機の固定台に設置し、マスク用フィルムと多層プ
リント基板を密着させるための排気時に、マスク用フィ
ルムが多層プリント基板に対して位置ずれしないように
したプリント基板の露光装置の提供を目的とする。
上記した目的は、片面または両面に感光性レジスト膜
を被着したプリント基板に、マスク用フィルムと透明基
板とを順次重ねてなる被露光構成体を露光機の固定台に
固定し、該被露光構成体を透明フィルムで覆ってその裾
部分を枠状部材で前記固定台に押さえて気密な空間部を
形成し、当該空間部内の前記固定台に設けた排気穴から
排気して露光するプリント基板の露光装置において、前
記固定台上の被露光構成体の周囲に、前記透明フィルム
を被露光構成体の最上面と同一平面に支える板状部材を
通気可能に立設し、前記排気穴を該板状部材と前記枠状
部材との間に設置したことにより達成される。
を被着したプリント基板に、マスク用フィルムと透明基
板とを順次重ねてなる被露光構成体を露光機の固定台に
固定し、該被露光構成体を透明フィルムで覆ってその裾
部分を枠状部材で前記固定台に押さえて気密な空間部を
形成し、当該空間部内の前記固定台に設けた排気穴から
排気して露光するプリント基板の露光装置において、前
記固定台上の被露光構成体の周囲に、前記透明フィルム
を被露光構成体の最上面と同一平面に支える板状部材を
通気可能に立設し、前記排気穴を該板状部材と前記枠状
部材との間に設置したことにより達成される。
また前記マスク用フィルムの中央部に真空排気時のマ
スク用フィルムの移動を防止する排気用の開口部を設け
た本発明の方法によって達成される。
スク用フィルムの移動を防止する排気用の開口部を設け
た本発明の方法によって達成される。
本発明の方法は多層プリント基板を固定する露光機の
固定台の対角線状に排気穴を設ける。このようにすれ
ば、従来は該固定台の片隅にのみ排気穴が設けられ、こ
れによって多層プリント基板とマスク用フィルムとの間
の空気が排気穴に向かって一方向のみ排気されていたの
が、本発明の方法によって相反する二方向に向かって排
気されるのでマスク用フィルムが急激に一方向に向かっ
て引っ張られ無くなり、多層プリント基板に対して位置
ずれを生じなくなる。
固定台の対角線状に排気穴を設ける。このようにすれ
ば、従来は該固定台の片隅にのみ排気穴が設けられ、こ
れによって多層プリント基板とマスク用フィルムとの間
の空気が排気穴に向かって一方向のみ排気されていたの
が、本発明の方法によって相反する二方向に向かって排
気されるのでマスク用フィルムが急激に一方向に向かっ
て引っ張られ無くなり、多層プリント基板に対して位置
ずれを生じなくなる。
またマスク用フィルムの中央部で露光用パターンに影
響を及ぼさない位置に排気用の開口部を多数設けること
で、この排気用の開口部を通じて多層プリント基板とマ
スク用フィルムとの間の空気が排気され、従来のように
マスク用フィルムに沿って空気が排気され無いのでマス
ク用フィルムが移動せず、多層プリント基板に対して位
置ずれを生じない。
響を及ぼさない位置に排気用の開口部を多数設けること
で、この排気用の開口部を通じて多層プリント基板とマ
スク用フィルムとの間の空気が排気され、従来のように
マスク用フィルムに沿って空気が排気され無いのでマス
ク用フィルムが移動せず、多層プリント基板に対して位
置ずれを生じない。
また透明フィルムの表面と枠状部材の表面とが同一表
面と成るようにゴム製の板状部材を、前記多層プリント
基板と枠状部材の間に配置することで、透明フィルムが
撓まなくなり、そのため排気の際に皺を生じなくなり、
露光が高精度に行われる。
面と成るようにゴム製の板状部材を、前記多層プリント
基板と枠状部材の間に配置することで、透明フィルムが
撓まなくなり、そのため排気の際に皺を生じなくなり、
露光が高精度に行われる。
以下、図面を用いて本発明の実施例につき詳細に説明
する。なお、従来図において説明した部分は同一符号を
用い、その説明も省略する。第１図（ａ）、及び第２図
（ｂ）に示すように、本発明のプリント基板の露光装置
は、片面または両面に感光性レジスト膜２を被着した多
層プリント基板に、マスク用フィルム３と透明基板４と
を順次、重ねてなる被露光構成体を固定する露光機の透
明な固定台８の対角線上に排気穴９を設ける。このよう
にすれば、従来のように１個の排気穴の方向に向かって
１方向の急激な排気の気流が生じなくなり、透明フィル
ム６で被覆された多層プリント基板１の周辺部が均一な
方向に排気されるので、マスク用フィルム３が移動せ
ず、多層プリント基板に対して位置ずれしない。
する。なお、従来図において説明した部分は同一符号を
用い、その説明も省略する。第１図（ａ）、及び第２図
（ｂ）に示すように、本発明のプリント基板の露光装置
は、片面または両面に感光性レジスト膜２を被着した多
層プリント基板に、マスク用フィルム３と透明基板４と
を順次、重ねてなる被露光構成体を固定する露光機の透
明な固定台８の対角線上に排気穴９を設ける。このよう
にすれば、従来のように１個の排気穴の方向に向かって
１方向の急激な排気の気流が生じなくなり、透明フィル
ム６で被覆された多層プリント基板１の周辺部が均一な
方向に排気されるので、マスク用フィルム３が移動せ
ず、多層プリント基板に対して位置ずれしない。
また、上記マスク用フィルム３の露光パターンに影響
を及ぼさない中央部の位置に多数の排気用の開口部11を
形成する。このようにすると上記排気用の開口部11を通
じてマスク用フィルム３と多層プリント基板１の間の空
気が排気され、従来のようにマスク用フィルム３と多層
プリント基板１の間に沿って排気されないので、マスク
用フィルム３が移動せず、マスク用フィルムが多層プリ
ント基板１に対して位置ずれを生じない。
を及ぼさない中央部の位置に多数の排気用の開口部11を
形成する。このようにすると上記排気用の開口部11を通
じてマスク用フィルム３と多層プリント基板１の間の空
気が排気され、従来のようにマスク用フィルム３と多層
プリント基板１の間に沿って排気されないので、マスク
用フィルム３が移動せず、マスク用フィルムが多層プリ
ント基板１に対して位置ずれを生じない。
また、枠状部材７と多層プリント基板１との間で固定
台８上の被露光構成体の周囲に、透明フィルム６を内側
から被露光構成体の最上部材である透明基板４の上面と
同一平面に支えるゴム製の板状部材12を通気可能に立設
し、排気穴９をこの板状部材12と枠状部材７との間に配
置する。
台８上の被露光構成体の周囲に、透明フィルム６を内側
から被露光構成体の最上部材である透明基板４の上面と
同一平面に支えるゴム製の板状部材12を通気可能に立設
し、排気穴９をこの板状部材12と枠状部材７との間に配
置する。
従来構成では、透明フィルム６が被露光構成体の最上
面の周縁エッジに引っ掛かって密着し、透明フィルム６
の、透明基板４の上面を覆う部分に撓みを生じさせ、空
間部を真空排気すると皺を生じさせていたので、板状部
材12で透明フィルム６を透明基板４の上面と同一平面に
支えることによって最上面の周縁エッジでの引っ掛かり
をなくして最上面の周囲からの排気を容易にし前記皺の
発生を防止する。この透明フィルム６に皺を発生するこ
とがなくなることにより、露光が高精度に行われるよう
になる。
面の周縁エッジに引っ掛かって密着し、透明フィルム６
の、透明基板４の上面を覆う部分に撓みを生じさせ、空
間部を真空排気すると皺を生じさせていたので、板状部
材12で透明フィルム６を透明基板４の上面と同一平面に
支えることによって最上面の周縁エッジでの引っ掛かり
をなくして最上面の周囲からの排気を容易にし前記皺の
発生を防止する。この透明フィルム６に皺を発生するこ
とがなくなることにより、露光が高精度に行われるよう
になる。
また本実施例では固定台に排気穴を対角線上に２個設
けたが、他の対角線上に更に排気穴を２個設けても良
い。
けたが、他の対角線上に更に排気穴を２個設けても良
い。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、マス
ク用フィルムと多層プリント基板とを密着させるための
排気工程で、多層プリント基板とマスク用フィルムとの
間に位置ずれを生じないために、高精度に露光が実施で
きる効果がある。
ク用フィルムと多層プリント基板とを密着させるための
排気工程で、多層プリント基板とマスク用フィルムとの
間に位置ずれを生じないために、高精度に露光が実施で
きる効果がある。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）は本発明の装置を説明
する正面図および平面図、 第２図（ａ）および第２図（ｂ）は従来の装置を説明す
る正面図および平面図、 第３図は従来の装置に於ける不都合な状態図である。 図において、 １は多層プリント基板、２は感光性レジスト膜、３はマ
スク用フィルム、４は透明基板、５は基準ピン、６は透
明フィルム、７は枠状部材、８は固定台、９は排気穴、
11は開口部、12は板状部材を示す。
する正面図および平面図、 第２図（ａ）および第２図（ｂ）は従来の装置を説明す
る正面図および平面図、 第３図は従来の装置に於ける不都合な状態図である。 図において、 １は多層プリント基板、２は感光性レジスト膜、３はマ
スク用フィルム、４は透明基板、５は基準ピン、６は透
明フィルム、７は枠状部材、８は固定台、９は排気穴、
11は開口部、12は板状部材を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜木 信男 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 石田 秀樹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 村石 正子 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−295055（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−45534（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭45−18324（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (1)
- 【請求項１】片面または両面に感光性レジスト膜を被着
したプリント基板に、マスク用フィルムと透明基板とを
順次重ねてなる被露光構成体を露光機の固定台に固定
し、該被露光構成体を透明フィルムで覆ってその裾部分
を枠状部材で前記固定台に押さえて気密な空間部を形成
し、当該空間部内の前記固定台に設けた排気穴から排気
して露光するプリント基板の露光装置において、 前記固定台上の被露光構成体の周囲に、前記透明フィル
ムを被露光構成体の最上面と同一平面に支える板状部材
を通気可能に立設し、前記排気穴を該板状部材と前記枠
状部材との間に配置したことを特徴とするプリント基板
の露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274515A JP2623951B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | プリント基板の露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274515A JP2623951B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | プリント基板の露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149554A JPH04149554A (ja) | 1992-05-22 |
| JP2623951B2 true JP2623951B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=17542775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2274515A Expired - Lifetime JP2623951B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | プリント基板の露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623951B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4518324Y1 (ja) * | 1966-12-19 | 1970-07-27 | ||
| JPS5845534U (ja) * | 1981-09-24 | 1983-03-26 | 富士通株式会社 | ホトマスク |
| JPS62295055A (ja) * | 1986-06-13 | 1987-12-22 | Oak Seisakusho:Kk | 自動焼枠 |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP2274515A patent/JP2623951B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04149554A (ja) | 1992-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102378494A (zh) | 一种电路板阻焊加工方法 | |
| JP2623951B2 (ja) | プリント基板の露光装置 | |
| JP2011081156A (ja) | 露光装置 | |
| JP3309747B2 (ja) | セラミックス多層配線基板と薄膜パターンのアライメント方法 | |
| JP2000250227A (ja) | 露光装置 | |
| CN101661218A (zh) | 透明光掩模的制备方法 | |
| JPH0235445B2 (ja) | ||
| JP2767778B2 (ja) | フィルム露光装置 | |
| JP3108865U (ja) | 露光用フォトマスク | |
| JP3003896B2 (ja) | 投影露光装置および投影露光方法 | |
| US3775118A (en) | Photomechanical method of producing grounded printed circuits | |
| US4539070A (en) | Exposure of photo resist | |
| US3829213A (en) | Artproof method for semiconductor devices | |
| TWI385480B (zh) | 光罩集合之製備方法 | |
| JPH01270055A (ja) | フォトレジストの露光方法 | |
| JPH03256393A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JP2000181074A (ja) | 感光層の露光方法 | |
| JPH065508A (ja) | 半導体の製造装置 | |
| JPH0223860B2 (ja) | ||
| JP2000292942A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
| JPH06310838A (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JP2687616B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JPH05165195A (ja) | ガラスマスク並びに該ガラスマスクを使用した半導体装置の製造方法 | |
| JPH0329390A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JP2583702B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 |