JPH0493946A - フォトマスク - Google Patents
フォトマスクInfo
- Publication number
- JPH0493946A JPH0493946A JP2208936A JP20893690A JPH0493946A JP H0493946 A JPH0493946 A JP H0493946A JP 2208936 A JP2208936 A JP 2208936A JP 20893690 A JP20893690 A JP 20893690A JP H0493946 A JPH0493946 A JP H0493946A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- frame
- photomask
- foreign matter
- film
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 241000233866 Fungi Species 0.000 description 1
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- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フォトマスクの構造に関する。
従来の技術は、第２図の通りでありペリクル枠２の一方
にペリクル膜１が張り付けられており、その反対側に接
着剤−４が付いている。
にペリクル膜１が張り付けられており、その反対側に接
着剤−４が付いている。
この接着剤４によってフォトマスク′５に固定す〔発明
が解決しようとする課題〕 前述の従来技術では、ペリクル［１が汚れた場合フォト
マスク５よりペリクル枠２ごと剥ぎ取り新しいものと交
換していた。
が解決しようとする課題〕 前述の従来技術では、ペリクル［１が汚れた場合フォト
マスク５よりペリクル枠２ごと剥ぎ取り新しいものと交
換していた。
このために、ペリクル枠２をフォトマスク５に固定する
ための接着剤４は、強力に接着する能力と交換時には速
やかに剥がし易いという相反する性能が必要とされるた
め、どちらの性能に対しても十分に満足するものではな
かった。
ための接着剤４は、強力に接着する能力と交換時には速
やかに剥がし易いという相反する性能が必要とされるた
め、どちらの性能に対しても十分に満足するものではな
かった。
そこで本発明は、この様な問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、ペリクル枠２はフォトマスク５
に強力に接着されているが、ペリクルの交換は、速やか
に行なえるペリクルが装着されたフォトマスクを提供す
るところにある。
の目的とするところは、ペリクル枠２はフォトマスク５
に強力に接着されているが、ペリクルの交換は、速やか
に行なえるペリクルが装着されたフォトマスクを提供す
るところにある。
本発明のフォトマスク５に装置されているペリクルは、
ペリクル膜１が張り付けて有るペリクル枠２と、フォト
マスク５に固定してお（固定枠６に分割することができ
ることを特徴とする。
ペリクル膜１が張り付けて有るペリクル枠２と、フォト
マスク５に固定してお（固定枠６に分割することができ
ることを特徴とする。
第１図は、本発明の実施例における側面図である。
ペリクルをフォトマスク５に張り付ける時には、ペリク
ル枠２と固定枠６は、固定ネジ６ですでに接続された状
態となっている。
ル枠２と固定枠６は、固定ネジ６ですでに接続された状
態となっている。
この状態であれば、従来のペリクルと同様にあつかうこ
とが可能である。
とが可能である。
固定枠６が固定ネジ６でペリクル枠２に接続されている
側の反対側には、固定枠３と７オトマスク５を接着する
ための接着剤４が付着している。
側の反対側には、固定枠３と７オトマスク５を接着する
ための接着剤４が付着している。
固定枠５とペリクル枠２が固定ネジ６で接続された状態
で、フォトマスク５のＯｒパターン８が描かれている面
に、接着剤４を用いて固定する。
で、フォトマスク５のＯｒパターン８が描かれている面
に、接着剤４を用いて固定する。
通常フォトマスク５は、ペリクルが張られた状態で使用
される。
される。
このため、ペリクルに被われたｏｒパターン８の面には
、異物が付着することは無い。
、異物が付着することは無い。
また、ペリクル膜の高さは、Ｏｒパターン８の面から、
固定枠３とペリクル枠２の高さに等しくＯｒパターン８
０面に付着した時には、半導体基板に転写した異物であ
っても、ペリクル膜１面に付着したときには、デフォー
カスするために、半導体基板に転写することは無い。
固定枠３とペリクル枠２の高さに等しくＯｒパターン８
０面に付着した時には、半導体基板に転写した異物であ
っても、ペリクル膜１面に付着したときには、デフォー
カスするために、半導体基板に転写することは無い。
つまり、Ｃｒパターン８面に付着する異物の大きさに比
較して、ペリクル膜１面に付着する異物の大きさは、か
なり大きいものまで半導体基板に転写することは無い。
較して、ペリクル膜１面に付着する異物の大きさは、か
なり大きいものまで半導体基板に転写することは無い。
通常は、フォトマスク５にペリクルを付けて、使用する
わけである。
わけである。
フォトマスクを使用する前には、ペリクル膜１面上に異
物が付着しているかどうか判定するためニヘリクル膜１
及びフォトマスク５のＣｒパターン８面を、異物検査装
置で検査する。
物が付着しているかどうか判定するためニヘリクル膜１
及びフォトマスク５のＣｒパターン８面を、異物検査装
置で検査する。
検査で異物が付着していた場合、この付着した異物が、
半導体基板上に転写するかどうか判定するために、パタ
ーン欠陥装置により検査する。
半導体基板上に転写するかどうか判定するために、パタ
ーン欠陥装置により検査する。
この結果、半導体基板上に転写しない場合は、このまま
露光を行なう。
露光を行なう。
しかし、転写する場合には、ペリクル枠２と固定枠３を
接続している固定ネジ６を取り外し、新規のペリクル枠
と交換し、再度固定ネジ６により取り付ける。
接続している固定ネジ６を取り外し、新規のペリクル枠
と交換し、再度固定ネジ６により取り付ける。
新しいペリクルを取り付けたならば、もう−度ヘリクル
膜１及びフォトマスク５のＣｒパターン８面の異物をチ
エツクした後、露光を行なう。
膜１及びフォトマスク５のＣｒパターン８面の異物をチ
エツクした後、露光を行なう。
以上述べた様に、本発明によれば、ペリクル枠２と固定
枠５の２つに分割することによって固定枠５は、強力に
フォトマスク５に接着することが可能である。
枠５の２つに分割することによって固定枠５は、強力に
フォトマスク５に接着することが可能である。
また、ペリクル枠２は、固定ネジ６によって固定枠５に
取り付けられているため、ペリクル膜１が、異物が付着
して汚れた場合には、固定ネジ６を取り外すことによっ
て容易に交換することができる。
取り付けられているため、ペリクル膜１が、異物が付着
して汚れた場合には、固定ネジ６を取り外すことによっ
て容易に交換することができる。
このため、交換に有する時間も非常に少なくてすむとい
う効果も有する。
う効果も有する。
第１図は、本発明の実施例を示す側面図。
第２図は、従来技術の実施例を示す側面図。
１・・・・・・シヘリクル膜
２・・・・・・ヘリクル枠
３・・・・・・固定枠
４・・・・・・接着剤
５・・・・・・フォトマスク
６・・・・・・固定ネジ
７・・・・・・Ｏｒパターン
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）彌
菌
始
図
Claims (1)
- ペリクル枠がペリクル膜を張り付けて有る部分とフォ
トマスクに接着される部分とに分割が可能なペリクルが
装置されることを特徴とするフォトマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2208936A JPH0493946A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2208936A JPH0493946A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0493946A true JPH0493946A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16564589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2208936A Pending JPH0493946A (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | フォトマスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0493946A (ja) |
-
1990
- 1990-08-07 JP JP2208936A patent/JPH0493946A/ja active Pending
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