JPH0619125A - ペリクルの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 目視検査の際付着異物を発見しやすい粘着剤
層を生産性よく形成するペリクルの製造法を提供する。 【構成】 ペリクル枠内側面に粘着剤層を形成するにあ
たり、ペリクル枠を溝形成板で両側から挟むことにより
枠内側面を底面とする溝を形成し、この溝に粘着剤を流
して塗布することにより粘着剤層を形成するペリクルの
製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路における
リソグラフィー工程で用いられるフォトマスクおよびレ
チクル（以下「マスク」と略す）の保護防塵体であるペ
リクルの製造法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路の製造において、レジス
ト材を塗布した半導体ウエハーを露光によりパターニン
グする工程は、集積回路の歩留りを左右する重要な工程
である。この際パターン原板であるマスク上にキズや異
物が存在すると、パターンとともにキズまたは異物がウ
エハー上に転写され、生産される回路の短絡、断線等の
原因となる。このためマスクの保護および防塵は生産性
向上の上で極めて重要な課題である。特に同一のレチク
ルを用いて一枚のウエハー上に繰り返しパターン形成を
行うステッパー方式では、レチクル上にキズや異物が存
在すると発生する欠陥がウエハー上のすべての回路に及
ぶため、レチクル上のキズや異物の付着は極力さけなく
てはならない。

【０００３】そこで、マスクの保護、防塵を目的とし
て、マスクの片面または両面をカバーするペリクルが実
用化されている。ペリクルは一般にアルミ製の支持枠の
一端面に透明な薄膜を張設してなり他端面に設けられた
両面粘着テープまたは粘着剤によりマスク上に装着され
る。ペリクルの装着により異物がマスク表面に直接付着
することが防止でき、たとえペリクル膜上に異物が付着
しても露光装置の光学系の焦点からずれているため、異
物はウエハー上には結像されない。

【０００４】しかし、装着時にペリクル膜や支持枠の内
側に異物が付着していた場合、それらが振動等により移
動しマスク表面に直接付着する危険がある。そのため、
こうしたペリクル内側の異物を固定することを目的とし
て支持枠（ペリクル枠）の内側面に粘着剤層を形成する
方法が提案されている（特開昭６０−５７８４１号、６
１−２４１７５６号）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】通常、ペリクルは製造
後および使用前に異物検査が行なわれる。このとき、ペ
リクル膜上の検査は自動検査装置を使用して行なわれる
が、枠内側面の検査は目視により行なわれる。これらの
自動検査、目視検査のいずれもが光をあてた時、異物表
面で光が散乱することを利用している。

【０００６】しかし、従来、ペリクル枠内側面の粘着剤
層は両面粘着テープの貼付けまたはスプレー塗布等によ
り形成されているため微細な凹凸のある面で構成されて
おり、その凹んだ部分に異物が入り込んだり、表面に光
沢がないため目視検査の際、粘着剤表面に付着した異物
を発見することが難しいという問題がある。

【０００７】また、粘着剤層はペリクル枠の内側面のみ
に形成する必要があるが、他の面に粘着剤が付着した場
合、ペリクル膜を貼り付けるための接着をはじくなどの
トラブルの原因となる。このため粘着剤塗布の際には内
側面以外の面を粘着テープ等によりマスキングする必要
がある。しかしながらペリクル枠を１枚ずつマスキング
するのは大変手間がかかり生産効率が悪いという問題が
ある。

【０００８】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、目視検査の際付着異物を発見し
やすい粘着剤層を生産性よく形成するペリクルの製造法
を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
を解決するため、種々の検討を行なった。その結果、ペ
リクル枠内側面を底面とする溝を形成し、この溝に粘着
剤を流して塗布することにより得られる粘着剤層は表面
に光沢を有し、目視検査の際付着異物が発見しやすくな
ることを見出し、本発明を完成するに至ったものであ
る。

【００１０】すなわち、本発明は、ペリクル枠内側面に
粘着剤層を形成するにあたり、ペリクル枠を溝形成板で
両側から挟むことにより枠内側面を底面とする溝を形成
し、この溝に粘着剤を流して塗布した後、過剰の粘着剤
を除去、乾燥することにより粘着剤層を形成することを
特徴とするペリクルの製造法である。

【００１１】以下、本発明をさらに詳細に説明する。

【００１２】本発明において使用される溝形成板には、
粘着剤を溝に流し込んだり余分な粘着剤を除去するた
め、枠内側面より一回り小さいサイズの穴をあけること
が必要である。穴の大きさは特に限定するものではない
が、塗布に必要な量の粘着剤を溝内に入れやすくするた
めと、塗布後に余分な粘着剤を容易に除去するために、
溝形成板と枠内側面により形成される溝の高さが５〜２
０ｍｍになる大きさであることが好ましい。

【００１３】溝形成板の材質、厚さ等は特に限定するも
のではないが、枠内側面以外の面に粘着剤が付着しない
ようにするため、反り等がなく枠と接する面が平担であ
り、枠を挟んで固定する際に変形しにくいことが必要で
ある。溝形成板の材質としては、例えば、樹脂または金
属製のものがあげられる。

【００１４】粘着剤を塗布する際には枠を溝形成板で挟
んだ状態で固定する。この際、枠端面全面を均一に押さ
え付けて固定することが必要であるが、枠の外側に枠と
同じ高さの樹脂または金属製のスペーサーを挟むと均一
に押さえ付けることが可能である。枠と溝形成板を固定
した際には両者を密着する必要がある。密着していない
場合には、粘着剤が枠内側面以外の面へ染み出しトラブ
ルの原因となるおそれがある。特にペリクル膜接着面に
付着すると接着剤がはじかれ接着不良の原因となる。両
者が密着しない場合は溝形成板と枠の間に枠と密着しや
すいパッキング材を挟んでもよい。

【００１５】粘着剤の塗布は枠を溝形成板で挟むことに
より形成された溝に粘着剤を入れ、枠を回転させて粘着
剤を流すことにより行なう。余分な粘着剤は１か所に溜
めて吸引等により除去する。

【００１６】この塗布方法は枠１枚ずつ単独で行なって
もよいが複数枚を同時に処理することも可能である。複
数枚を同時に処理する場合には、溝形成板は枠と枠の間
すべてに挟んでもよく、また、両端のみに挟んでもよ
い。溝形成板を枠と枠の間すべてに挟む場合には、粘着
剤を溝形成板と枠内側面により形成されるすべての溝に
行き渡らせるため、両端以外の板により形成される溝の
高さは両端より低い方がよく、さらに、粘着剤が溝に沿
って流れて全面に塗布できるようにするためと、塗布後
に余分な粘着剤を容易に除去するために、溝の高さは２
〜５ｍｍであることが好ましい。また、溝形成板を両端
のみに挟む場合には、枠と枠の間はパッキング材のみを
挟めばよい。処理枚数は１０〜２０枚程度が適当である
が、使用する粘着剤の乾燥速度により最適枚数を決めれ
ばよい。

【００１７】本発明において使用される粘着剤は、室温
で液状のものであれば特に限定するものではなく、例え
ば、アクリル系、ゴム系、シリコン系等の有機系で有機
溶媒または水に溶解または懸濁したものを使用すること
が好ましい。例えば、溶液型ゴム系粘着剤、水系型ゴム
系粘着剤、溶液型アクリル系粘着剤、水溶液型アクリル
系粘着剤、エマルジョン型アクリル系粘着剤等があげら
れる。

【００１８】粘着剤は、溝中を流して塗布するため、塗
布中に濃度が大きく変化するものは均一な厚さで塗布で
きないため、室温で溶媒の揮発性の低いものが好まし
い。また、有機溶媒系の粘着剤の場合、溝形成板または
パッキング材が溶媒により侵されることがありこれらの
材質が限定される。このため、水系の粘着剤が最も良好
に使用できる。

【００１９】粘着剤を塗布した枠は、溶媒および低沸点
成分を除去するため乾燥を行なう。この乾燥は通常加熱
により行なうが、この際、枠を溝形成板で挟んだまま行
なってもよく、また、室温である程度乾燥させた後、溝
形成板を取り除き、枠のみで行なってもよい。乾燥後、
ペリクル膜に白濁、膜厚変化等の影響を及ぼさないよう
に、沸点１７０℃以下の成分を３％以下にすることが好
ましい。

【００２０】ペリクル枠の材質は特に限定するものでは
なく、例えば、アルミニウム製，プラスチック製，セラ
ミック製のものがあげられるが、表面が黒色に処理され
ているものが目視検査の際、異物を発見しやすいため好
ましい。

【００２１】以上のように内側面に粘着剤層が形成され
たペリクル枠の一端面には、ペリクル膜を接着するが、
このペリクル膜としては特に限定するものではなく、例
えば、セルロースエステル、ポリビニルアセタール、ポ
リカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレ
ンテレフタレ−ト等の透明な樹脂の単層膜、またはこれ
らの両面もしくは片面にフッ素樹脂、ＭｇＦ_２等の反射
防止層を形成したものがあげられる。

【００２２】また、ペリクル膜を接着した他端面にはペ
リクルをマスクに張り付けるため両面粘着テープまたは
粘着剤が設置される。

【００２３】

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるもの
ではない。

【００２４】実施例１ 表面をアルマイト処理したアルミニウム合金製ペリクル
枠のペリクル膜接着面および両面粘着テープ設置面を、
表面にシリコンゴムを貼り付けたステンレス板により図
１のように両側から挟んで固定し枠内側面を底面とする
溝を形成した。この溝に水性エマルジョン系アクリル粘
着剤を入れ、全面に流して塗布した。余分な粘着剤を吸
引により除去した後、乾燥した。乾燥後ステンレス板を
はずして枠内側面に光沢のある表面を有する粘着剤層を
形成した。この枠の一端面にペリクル膜を接着し、他端
面に両面粘着テ−プを貼付けペリクルを作製した。この
ペリクルの枠内側面に５〜１０μｍの異物１５個を付着
させた。１００Ｗの目視検査用照明装置（オリンパス製
ＷＡ−ＬＳＨ、電圧１２Ｖ）により光をあて付着異物
を目視観察したところ１５個すべての異物が確認可能で
あった。

【００２５】実施例２ 実施例１と同様のペリクル枠２０枚の間に表面にシリコ
ンゴムを貼り付けたステンレス板を挟み、さらにその両
端を同じステンレス板で挟んで固定し枠内側面を底面と
する溝を形成した。この溝に実施例１と同様に水性エマ
ルジョン系アクリル粘着剤を流して塗布し表面に光沢の
ある粘着剤層を形成した。この２０枚の枠の一端面にペ
リクル膜を接着し、他端面に両面粘着テ−プを貼付けペ
リクルを作製した。これらのペリクルの枠内側面に５〜
１０μｍの異物１２〜２５個を付着させ、実施例１と同
条件で目視検査用照明装置により付着異物を目視観察し
たところすべての異物が確認可能であった。

【００２６】比較例 実施例１と同様のペリクル枠の内側面以外の面を粘着テ
ープによりマスキングし、水性エマルジョン系アクリル
粘着剤をスプレーガンにより塗布した。乾燥後、粘着テ
ープを剥がして内側面に粘着剤層を形成した枠を作製し
た。この粘着剤層の表面は微細な凹凸で構成されており
表面に光沢がなかった。この枠にペリクル膜、両面粘着
テープを貼付けペリクルを作製した。このペリクルの枠
内側面に５〜１０μｍの異物１７個を付着させ実施例１
と同条件で目視検査用照明装置により付着異物を目視観
察したところ５個の異物しか確認できなかった。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の方法では、光沢を有する表面からなる粘着剤層が得ら
れるため、ペリクル枠内側の付着異物に対する目視検査
の際、異物を発見しやすく検査の信頼性を高めることが
できる効果を有するものであり、また、ペリクル枠をマ
スキングする必要がないため短時間で粘着剤層を形成で
き、さらに、一度に数枚の枠を処理できるため、生産性
の向上にも効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】溝形成板の使用の状態を示した斜視図である。

【図２】図１の断面図である。

【符号の説明】

１ 溝形成板 ２ ペリクル枠 ３ 溝形成板と枠内側面により形成される溝の高さ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内側面に粘着剤層が形成されたペリクル
   枠とその枠の一端面に張設される薄膜からなるペリクル
   の製造法において、ペリクル枠内側面に粘着剤層を形成
   するにあたり、ペリクル枠を溝形成板で両側から挟むこ
   とにより枠内側面を底面とする溝を形成し、この溝に粘
   着剤を流して塗布した後、過剰の粘着剤を除去、乾燥す
   ることにより粘着剤層を形成することを特徴とするペリ
   クルの製造法。
2. 【請求項２】 粘着剤が水性エマルジョン系粘着剤であ
   ることを特徴とする請求項１に記載のペリクルの製造
   法。