JPS61145938U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61145938U JPS61145938U JP2852085U JP2852085U JPS61145938U JP S61145938 U JPS61145938 U JP S61145938U JP 2852085 U JP2852085 U JP 2852085U JP 2852085 U JP2852085 U JP 2852085U JP S61145938 U JPS61145938 U JP S61145938U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- stage means
- exposure apparatus
- view
- axis table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の投影露光装置に用いるX―Y
ステージの動作を説明する原理的な斜視図、第2
図は第1図のX―Yステージによつて拡張される
テーブルの移動範囲を説明するための平面図、第
3図は本考案の露光装置に用いられるX―Yステ
ージの一実施例を示す斜視図、第4図はX―Yス
テージに用いられるテーブルの側面図、第5図は
第4図のA―A断面矢視図、第6図は従来の露光
装置の模式的な斜視図である。 1……露光源、2……レンズ、3……マスクス
テージ、4……レチクル、5……投撮光学系、6
……ウエハ、7……X軸テーブル、8……Y軸テ
ーブル、9……X―Yステージ、10,11,1
4,15……駆動モータ、13,21,22,2
8,29……螺杆、16……第1のX―Yステー
ジ、17……第2のX―Yステージ、18,25
……ベース、19,26……Y軸テーブル、20
,27……X軸テーブル、23,24,30,3
1……パルスモータ等の駆動源、32a,32b
,32c,32d……駆動部保持部。
ステージの動作を説明する原理的な斜視図、第2
図は第1図のX―Yステージによつて拡張される
テーブルの移動範囲を説明するための平面図、第
3図は本考案の露光装置に用いられるX―Yステ
ージの一実施例を示す斜視図、第4図はX―Yス
テージに用いられるテーブルの側面図、第5図は
第4図のA―A断面矢視図、第6図は従来の露光
装置の模式的な斜視図である。 1……露光源、2……レンズ、3……マスクス
テージ、4……レチクル、5……投撮光学系、6
……ウエハ、7……X軸テーブル、8……Y軸テ
ーブル、9……X―Yステージ、10,11,1
4,15……駆動モータ、13,21,22,2
8,29……螺杆、16……第1のX―Yステー
ジ、17……第2のX―Yステージ、18,25
……ベース、19,26……Y軸テーブル、20
,27……X軸テーブル、23,24,30,3
1……パルスモータ等の駆動源、32a,32b
,32c,32d……駆動部保持部。
Claims (1)
- 精度の高い第1のX―Yステージ手段と、精度
の低い第2のX―Yステージ手段を有し、該第1
のX―Yステージ上に第2のX―Yステージ手段
をX及びY軸方向に移動可能に枢着してなること
を特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985028520U JPH0232359Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985028520U JPH0232359Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61145938U true JPS61145938U (ja) | 1986-09-09 |
JPH0232359Y2 JPH0232359Y2 (ja) | 1990-09-03 |
Family
ID=30526470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985028520U Expired JPH0232359Y2 (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0232359Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219543A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-29 | Koshin Seisakusho:Kk | 移動加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 | ||
JPS60147737A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Hitachi Ltd | ペリクルホルダ |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP1985028520U patent/JPH0232359Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4911074A (ja) * | 1972-05-26 | 1974-01-31 | ||
JPS60147737A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Hitachi Ltd | ペリクルホルダ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61219543A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-29 | Koshin Seisakusho:Kk | 移動加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0232359Y2 (ja) | 1990-09-03 |
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