JPH0624799Y2 - 露光装置における被露光部材位置決め装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ウェハ，マスク，シャドウマスク等の被露
光部材に所定のパターンを露光する露光装置において、
移動テーブルに載置する被露光部材の露光中心に対する
位置決めを容易に行うことが可能な露光装置における被
露光部材位置決め装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の露光装置における被露光部材位置決め装置として
は、第１３図に示す構成のものが知られている。

この従来例は、被露光部材１を載置する移動テーブル２
の載置面上の被露光部材のサイズに応じた露光中心Ｏを
基準に夫々所定間隔を保って３つのピン嵌挿穴３ａ，３
ｂ，３ｃを穿設し、載置する被露光部材１のサイズに応
じて、ピン嵌挿穴３ａ，３ｂ，３ｃを選択して、これら
に位置決めピン４ａ，４ｂ，４ｃを嵌挿し、両位置決め
ピン４ａ，４ｂ，４ｃに被露光部材１の周縁を当接させ
ることにより、露光中心に対する位置決めを行うように
している。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記従来の被露光部材の位置決め装置に
あっては、移動テーブルに位置決めピンを嵌挿するピン
嵌挿穴を被露光部材のサイズに応じて多数穿設する必要
があるので、これら多数のピン嵌挿穴によって移動テー
ブルの剛性の低下や変形を生じるおそれがあるため、移
動テーブルを肉厚にして強固に製作することが必要とな
り、移動テーブル自体の重量が増加して、露光時の高速
移動及び位置決め精度に大きな影響を与えると共に、位
置決めピン嵌挿していないピン嵌挿穴には、塵埃等が堆
積し、これが被露光部材の装着時に載置面或いは被露光
部材に付着するおそれがあり、さらに載置する被露光部
材のサイズは予め穿設されたピン嵌挿穴によって限定さ
れ、それ以外のサイズの被露光部材については位置決め
が不能である等の課題があった。

そこで、この考案は、上記従来例の課題に着目してなさ
れたものであり、被露光部材をそのサイズにかかわらず
容易に且つ正確に位置決めすることができ、しかも移動
テーブルに剛性低下等の影響を与えることがない露光装
置における被露光部材位置決め装置を提供することを目
的としている。

〔課題を解決するための手段〕〕 上記目的を達成するために、この考案に係る露光装置に
おける被露光部材の位置決め装置は、被露光部材をＸＹ
方向に移動自在の移動テーブルに載置して所定のパター
ンを露光する露光装置において、前記移動テーブルの被
露光部材載置面に、当該移動テーブルの両移動方向に沿
って伸び、露光中心に対して位置決めされて配設された
Ｘ方向及びＹ方向固定スケールと、該Ｘ方向及びＹ方向
固定スケールに個別にその長手方向に移動可能に保持さ
れ且つ当該長手方向と直交して前記移動テーブル上面に
延長してＸ方向及びＹ方向移動スケールとを備えたこと
を特徴としている。

〔作用〕

この考案においては、移動テーブルの被露光部材載置面
にＸ方向及びＹ方向に個別にＸ方向及びＹ方向固定スケ
ールを配設し、これら両スケールに摺動可能に保持され
たＸ方向及びＹ方向移動スケールを予め知られた被露光
部材のサイズに応じて平行移動させることにより被露光
部材の位置決め位置を任意に設定し、この設定状態でＸ
方向及びＹ方向移動スケールで形成される直角面に被露
光部材を点又は線接触させることにより、被露光部材の
露光中心に対する位置決めを行う。

〔実施例〕

以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

まず、この考案を適用し得る縮小投影露光装置の概要を
第１２図について説明する。

図中、１１は縮小投影露光装置であって、ウェハ，シャ
ドウマスク等の被露光部材１２を載置するＸＹＺステー
ジ１３と、その上面に対向して固定配置された縮小レン
ズ１４と、その上方位置に配置されたレチクル１５を載
置するレチクル載置台１６と、その上方位置に配置され
た光源部１７とを有しており、光源部１７からの露光光
線がレチクル１５及び縮小レンズ１４を介して移動テー
ブル装置としてのＸＹＺステージ１３上の被露光部材１
２に照射され、レチクル１５に形成された回路パターン
等の所定のパターンを被露光部材１２上に縮小投影露光
する。

ＸＹＺステージ１３は、ＸＹＺ軸の３軸方向に移動可能
に構成され、Ｚ軸方向に移動させることにより、焦点調
整を行う。

縮小レンズ１４を保持する筒体１８の被露光部材１２に
対向する下端部には、露光光線を透過する透孔１９と、
その周囲に等角間隔で形成された４つの空気吹き出しノ
ズル２０とが設けられている。各ノズル２０は、共通の
空気供給源２１に絞り２２を介して接続されていると共
に、共通の差圧変換器２３の一方の入力側に接続されて
いる。差圧変換器２３の他方の入力側は、絞り２４を介
して前記空気供給源２１に接続されていると共に、大気
に連通されている。これらノズル２０，空気供給源２
１，絞り２２，２４及び差圧変換器２３で空気マイクロ
メータ２５が構成されている。

そして、差圧変換器２３の検出信号が制御装置２６に供
給され、この制御装置２６で目標値設定器２６ａで予め
設定した所定の目標値と比較してその差値である偏差信
号が増幅器等で構成される駆動回路２６ｂに供給され、
これにより、モータ等のアクチュエータ２７を作動させ
る駆動出力を形成し、これをＸＹＺステージ１３のＺ軸
駆動機構に供給してこれを駆動し、ノズル２０と被露光
部材１２との間の間隔を適正値に調節する。

また、ＸＹＺステージ１３のＸＹ方向の移動は、被露光
部材１２に形成された原点マーク（図示せず）を光学的
に読取り、これに基づいて制御原点を設定してから、パ
ターンの露光間隔に応じてＸＹ方向の絶対距離を検出す
る例えばレーザ測長機２８からの測定値フィードバック
信号が供給される駆動回路２６ｂによって順次ステップ
アンドリピート動作される。

ＸＹＺステージ１３の上面には、第１図に示すように、
載置台３０が設けられ、この載置台３０の上面に被露光
部材１２を吸着保持する被露光部材保持装置３１が設け
られている。

この被露光部材保持装置３１は、第１図に示すように、
載置台３０の上面に載置中心即ち露光中心Ｏに吸引孔３
２ａ_０が穿設されていると共に、載置中心即ち露光中心
Ｏを中心とし、載置する被露光部材１２の大きさに応じ
た方形枠線ｌ_１〜ｌ_３及び方形枠線ｌ_３の左右両側に平
行な線ｌ_４上に所要数の吸引孔３２ａ_１〜３２ａ_３及び
３２ａ_４が穿設され、各吸引孔３２ａ_０〜３２ａ_４が載
置台３０の端部側から穿設された吸引通路３３を介して
互いに連通され、吸引通路３３の一部が３方電磁切換弁
３４を介して真空ポンプ等の空気吸引手段３５に接続さ
れている。

また、載置台３０の上面には、吸引孔３１ａ_０〜３１ａ
_４に対応する位置に案内凹部としての円形透孔３６ａ_０
〜３６ａ_４を夫々穿設したガイドプレート３６が止めね
じによって固着されている。

そして、ガイドプレート３６の円形透孔３６ａ_０〜３６
ａ_４内に夫々平面からみて円形のチャック本体３７が係
合される。

これらチャック本体３７は、第９図(a)及び(b)に示すよ
うに、上面側及び下面側にガイドプレート３６の円形透
孔３６ａ_０〜３６ａ_４の内径と略等しい外径を有する小
径部３７ａ_１及び３７ａ_２が形成され、これら小径部３
７ａ_１及び３７ａ_２間にこれらより大径の大径部３７ｂ
が形成されて２つの段部３７ｃが形成され、大径部３７
ｂの小径部３７ａ_１側の外周面に円環状の溝でなる目印
３７ｄが形成されている。ここで、小径部３７ａ_１及び
３７ａ_２の高さｈ_１及びｈ_２は、ガイドプレート３６の
厚みをＨ_１とすると、ｈ_１＜ｈ_２≦Ｈ_１に選定されてい
る。また、小径部３７ａ_１の上面及び小径部３７ａ_２の
下面には、それぞれ外周縁より内側に吸引凹部３７ｅ_１
及び３７ｅ_２が形成され、これら吸引凹部３７ｅ_１及び
３７ｅ_２が貫通孔３７ｆによって連通されている。

さらに、被露光部材１２のサイズに応じて不使用となる
吸引孔３２ａ_１〜３２ａ_４は閉塞する必要があり、この
ために、閉塞具３８が用意されている。この閉塞具３８
は、第１０図に示すように、ガイドプレート３６の円形
透孔３６ａ_１〜３６ａ_４の内径と等しいか僅かに小径の
外径を有する円筒部３８ａと、この円筒部３８ａの上面
を閉塞すると共に、外方に突出するフランジ部３８ｂを
有する薄肉の上面板部３８ｃとを有する盲蓋で構成され
ている。ここで、フランジ部３８ｂの厚みは、後述する
被露光部材位置決め装置４１のＸ方向移動スケール４４
Ｘ及びＹ方向移動ケール４４Ｙが上方を通過可能なよう
にチャック本体３７に比べて薄く選定されている。

また、載置台３０の被露光部材載置面には、第１図〜第
３図に示すように、被露光部材位置決め装置４１が着脱
自在に配設されている。

この被露光部材位置決め装置４１は、被露光部材１２の
Ｘ方向の位置決めを行うＸ方向位置決め部４２Ｘと、被
露光部材１２のＹ方向の位置決めを行うＹ方向位置決め
部４２Ｙとを備えている。

Ｘ方向位置決め部４２Ｘは、載置台３０に着脱自在に固
定配置されるＸ方向固定スケール４３Ｘと、このＸ方向
固定スケール４３Ｘに摺動自在に配設されたＸ方向移動
スケール４４Ｘとで構成されている。Ｘ方向固定スケー
ル４３Ｘは、第４図及び第５図に示すように、露光中心
Ｏを通るＸ軸線上に配設されたチャック本体３７又は閉
塞具３８と、これらにＹ方向に隣接するチャック本体３
７又は閉塞具３８との間に収まる所定間隔を保って平行
に延長する側板部４５ａ，４５ｂと、これら側板部４５
ａ，４５ｂをその両端部で連結する連結杆部４６ａ，４
６ｂとで方形枠状に形成され、側板部４５ａ，５４ｂの
両端部側に穿設した４つの透孔４７にねじ４８を挿通し
てねじ４８を載置台３０に予め形成した雌ねじ４９に螺
合させることにより、両側板部４５ａ，４５ｂ間の中心
線が露光中心Ｏを通るＸ軸線と一致するように固定され
ている。ここで、側板部４５ａ，４５ｂは、その外方端
部が上端側から下端側に行くに従い距離が小さくなるテ
ーパー面に形成され、且つ上面には、第４図に示すよう
に、露光中心ＯからのＸ方向距離を表すインチ目盛り５
０ａ及びセンチメートル目盛り５０ｂがそれぞれ刻設さ
れている。

Ｘ方向移動スケール４４Ｘは、露光中心Ｏ側の両端部に
被露光部材１２に当接する基準面５１ａ，５１ｂを設け
た水平板部５１とその両端から下方に延長する垂直板部
５２ａ，５２ｂとで偏平な逆凹状に形成され、垂直板部
５２ａ，５２ｂの内周面がＸ方向固定スケール４３Ｘの
両側板部４５ａ，４５ｂのテーパー面に対応するテーパ
ー面に形成されている。そして、このＸ方向移動スケー
ル４４Ｘが、垂直板部５２ａ，５２ｂのテーパー面と両
側板部４５ａ，４５ｂのテーパー面との間に断面平行４
辺形状のチップ５３を介挿して、Ｘ方向固定スケール４
３Ｘの両側板部４５ａ，４５ｂによって摺動自在に案内
される。ここで、チップ５３は、第６図に示すように、
垂直板部５２ａ，５２ｂのテーパー面側に形成した凹部
内に垂直板部５２ａ，５２ｂに螺合された押しねじ５４
の先端が係合されて保持されていると共に、所定の予圧
が与えられて移動スケール４４Ｘが固定スケール４３Ｘ
に対してガタ付くことなく平行移動可能とされ、且つ第
７図に示す垂直板部５２ａ，５２ｂに螺合されたストッ
パねじ５５によって大きな押圧力を加えることによって
移動スケール４４Ｘの固定スケール４３Ｘに対する位置
が固定される。なお、Ｘ方向固定スケール４３Ｘ及びＸ
方向移動スケール４４Ｘの厚みは、第８図に示すように
チャック本体３７に被露光部材１２こ載置した状態で、
Ｘ方向移動スケール４４Ｘの基準面５１ａ，５１ｂに被
露光部材１２が当接し、且つ閉塞具３８の上方をＸ方向
移動スケール４４Ｘが通過可能な厚みに選定されてい
る。また、５６ａ，５６ｂは固定スケール４３Ｘの両側
板部４５ａの両端部に固着した移動スケール４４Ｘの抜
け止め用ストッパである。

また、Ｙ方向位置決め部４２Ｙも、Ｘ方向位置決め部４
２Ｘと同様に、載置台３０に着脱自在に固定配置される
Ｙ方向固定スケール４３Ｙと、このＹ方向固定スケール
４３Ｙに摺動自在に配設されたＹ方向移動スケール４４
Ｙとで構成されている。これらＹ方向固定スケール４３
Ｙ及びＹ方向移動スケール４４Ｙの構成は、前記Ｘ方向
固定スケール４３Ｘ及びＸ方向移動スケール４４Ｘと同
様の構成を有するので、対応部分には同一符号を付して
その詳細説明はこれを省略するが、Ｙ方向固定スケール
４３Ｙがその両側板部４５ａ，４５ｂ間の中心線が露光
中心Ｏを通るＹ軸線に一致するように載置台３０に固定
されている。

次に、上記実施例の動作を説明する。まず、載置台３０
上の被露光部材保持装置３１の吸着領域を載置するウェ
ハ、ＣＲＴシャドウマスク、液晶マスク等の被露光部材
１２のサイズに合わせて設定する。この吸着領域の設定
は、例えば第１図で実線図示の１６インチ×１６インチ
のシャドウマスクＳＭを吸引保持する場合には、３方電
磁切換弁３４を大気側に切換えた状態で、ガイドプレー
３６の円形透孔３６ａ_０にチャック本体３７を嵌合させ
ると共に、シャドウマスクＳＭで覆われる円形透孔３６
ａ_１にチャック本体３７を嵌合させる。このとき、シャ
ドウマスクＳＭの厚みが薄い場合には、高さが小さい小
径部３７ａ_２を、円形透孔３７ａ_０、３７ａ_１に嵌合さ
せ、被露光部材１２を載置したときにその露光面が露光
基準面近傍となるようにセットする。そして、他の円形
透孔３７ａ_２，３７ａ_３及び３７ａ_４については、吸着
保持の必要がないので、閉塞具３８の円筒部３８ａを嵌
合させて閉塞する。

このようにして被露光部材保持装置３１の吸着領域の設
定が終了してから又はその前に、被露光部材位置決め装
置４１を載置台３０に装着する。

すなわち、載置台３０にＸ方向移動スケール４４Ｘ及び
Ｙ方向移動スケール４４Ｙを摺動可能に保持した状態で
Ｘ方向固定スケール４３Ｘ及びＹ方向固定スケール４３
Ｙを、それらの両側板部４５ａ，４５ｂ間の中心線がそ
れぞれ露光中心Ｏを通るＸ軸支線及びＹ軸線と一致する
ようにねじ止めして位置決めする。このようにＸ方向固
定スケール４３Ｘ及びＹ方向固定スケール４３Ｙが載置
台３０に位置決めして固定されることにより、両固定ス
ケール４３Ｘ及び４３Ｙの両側板部４５ａ，４５ｂの上
面に刻設された目盛り５０ａ，５０ｂが露光中心Ｏから
のＸ軸方向及びＹ軸方向の距離を正確に表すことにな
る。

この状態では、Ｘ方向移動スケール４４Ｘ及びＹ方向移
動スケール４４Ｙが閉塞具３８の上方を通過して自由に
摺動可能となっているので、まず例えばＸ方向移動スケ
ール４４Ｘのストッパねじ５５を緩めてＸ方向固定スケ
ール４３Ｘ上を摺動させ、Ｘ方向移動スケール４４Ｘの
露光中心Ｏ側の端縁がＸ方向固定スケール４３Ｘに刻設
した目盛り５０ａの１６インチに合致する位置に移動さ
せる。この状態でストッパねじ５５を締めつけることに
より、チップ５３を固定スケール４３Ｘの両側板部４５
ａ，４５ｂのテーパー面に押付けてＸ方向移動スケール
４４Ｘを固定する。同様に、Ｙ方向移動スケール４４Ｙ
をその露光中心Ｏ側の端縁がＹ方向固定スケール４３Ｙ
の目盛り５０ａの１６インチに合致するように移動させ
てからストッパねじ５５を締めつけて固定する。

この状態で、１６インチ×１６インチのシャドウマスク
ＳＭをチャック本体３７上に例えば図示しないローディ
ング装置によってシャドウマスクＳＭの２辺がＸ方向移
動スケール４４Ｘ及びＹ方向移動スケール４４Ｙの露光
中心Ｏ側の基準面５１ａ，５１ｂに当接するようにロー
ディングすることにより、シャドウマスクＳＭの中心が
露光中心Ｏに一致するように位置決めされる。

このシャドウマスクＳＭの位置決めが完了した時点で、
３方電磁切換弁３４を気体吸引手段３５側に切換える。
これにより、各チャック本体３７の上面側の吸着凹部３
７ｅ_１が、貫通孔３７ｅ、下面の吸着凹部３７ｅ_２、吸
引孔３６ａ_０及び３６ａ_１、吸着通路３３、３方電磁切
換弁４を介して空気吸引手段３５に連通されることにな
り、各チャック本体３７が載置台３０の載置面に真空吸
着された保持され、これと同時に各チャック本体３７の
シャドウマスクＳＭによって完全に覆われる吸着溝３７
ｅ_１から空気が吸引されることになり、シャドウマスク
ＳＭが真空吸着されてチャック本体３７上に保持され
る。

この被露光部材１２の保持状態で、まずＸＹＺスライダ
１３をＺ軸支方向に移動させて、焦点調整を行う。この
焦点調整は、空気供給源２１から圧力空気を絞り２２を
介してノズル２０に供給して空気マイクロメータ２５を
作動状態とし、この状態で制御装置２６を作動状態とす
る。

このように焦点調整制御装置２６が作動状態となると、
目標値設定器２６ａで予め設定された焦点調整目標値
と、差圧変換器２３から出力される差圧検出信号との差
値でなる偏差信号が駆動回路２６ｂに供給され、この駆
動回路２６ｂからアクチュエータ２７にＸＹＺステージ
１３をＺ軸方向に移動させる駆動信号が出力され、ＸＹ
Ｚステージ１３が偏差信号が零となるようにＺ軸支方向
に上下動されて焦点調整が行われる。

そして、焦点調整が終了すると、ＸＹＺステージ１３が
ＸＹ方向に適宜移動させて、被露光部材１２を所定のパ
ターン露光位置にセットし、次いで所定パターンを露光
してから、再度ＸＹＺステージ１３をＸＹＺ方向に移動
させて、被露光部材１２を新たなパターン露光位置に移
動させ、再度露光を行い、全ての露光位置の露光が終了
した新たなシャドウマスクＳＭに交換する場合には、３
方電磁切換弁３４を大気側に切換えることにより、被露
光部材保持装置３１によるシャドウマスクＳＭの真空吸
着状態を解除してから露光済みのシャドウマスクＳＭを
例えば図示しないアンローディング装置でチャック本体
３７上から取り出し、新たなシャドウマスクＳＭをチャ
ック本体３７上に載置する。

そして、サイズの異なる被露光部材１２を新たに位置決
めする場合には、Ｘ方向移動スケール４４Ｘ及びＹ方向
移動スケール４４Ｙを被露光部材１２のサイズに応じて
平行移動させることにより、容易に被露光部材１２の位
置決めを行うことができる。このとき、被露光部材保持
装置３１の吸着領域も同時に変更する。

このように上記実施例によると、Ｘ方向固定スケール４
３Ｘ及びＹ方向固定スケール４３Ｙが方形枠状に形成さ
れ、それらの両側板部４５ａ，４５ｂに個別にＸ方向移
動スケール４４Ｘ及びＹ方向移動スケール４４Ｙが摺動
可能に保持されているので、固定スケールの剛性が大き
く、大きなサイズの被露光部材１２を位置決めする場合
でもＸ方向移動スケール４４Ｘ及びＹ方向移動スケール
４４Ｙの直角度が狂うことがなく正確な位置決めを行う
ことができる。しかも、固定スケール４３Ｘ及び４３Ｙ
を方形枠状に形成することにより、固定スケール４３Ｘ
及び４３Ｙ内に位置するチャック本体３７又は閉塞具３
８が露出しているので、被露光部材１２のサイズ変更時
におけるチャック本体３７又は閉塞具３８の脱着を容易
に行うことができる。

また、吸着保持する被露光部材１２の厚みが厚い場合に
は、第１１図に示すように、ガイドプレート３６の円形
透孔３６ａ_０〜３６ａ_４に対するチャック本体３７の嵌
合方向を逆側即ち小径部３７ａ_１側を円形透孔３６ａ_０
〜３６ａ_４に嵌合させることにより、ガイドプレート３
６の上面とチャック本体３７に載置された被露光部材１
２の上面迄の距離ｔを厚みが薄い被露光部材１２のそれ
と一致させることができ、露光基準面が変動することが
ないので、焦点調整の際の移動量を小さくして迅速な焦
点調整を行うことができる。

なお、上記実施例においては、方形の被露光部材１２を
位置決めする場合について説明したが、円形の被露光部
材１２を位置決めする場合には、Ｘ方向移動スケール４
４Ｘ及びＹ方向移動スケール４４Ｙの基準面５１ａ，５
１ｂの中間位置にも基準面を形成し、この中間基準面に
円形の被露光部材１２を点接触させるようにすればよい
ものである。

また、被露光部材１２を吸着保持する被露光部材保持装
置３１は、上記構成に限定されるものではなく、任意の
構造の保持装置を適用し得る。

さらに、固定スケール４３Ｘ，４３Ｙと移動スケール４
４Ｘ，４４Ｙとの係合関係は、テーパー面による場合に
限らず、凸条と凹溝等の他の係合関係とすることがで
き、要は固定スケール４３Ｘ，４３Ｙに対して移動スケ
ール４４Ｘ，４４Ｙを平行移動可能に構成されていれば
よいものである。

さらに、上記実施例においては、この考案を縮小投影露
光装置に適用した場合について説明したが、他の露光装
置にも適用し得るものである。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、被露光部材を
載置する移動テーブルの載置面に、それぞれ露光中心に
向かって延長するＸ方向固定スケール及びＹ方向固定ス
ケールを配置し、両固定スケールに個別にその延長方向
に摺動可能にＸ方向移動スケール及びＹ方向移動スケー
ルを配設した構成としたので、被露光部材を載置する移
動テーブルの上面に位置決め用の加工を何ら施す必要が
なく、従来例のようなピン挿通穴内で堆積した塵埃によ
る載置面及び被露光部材の汚染を防止することができる
と共に、移動テーブルの剛性を損なうことがないので、
移動テーブル自体を軽量化することができ、しかも第１
及び第２の移動スケールはステップ状ではなく連続的に
移動可能であるので、位置決めする被露光部材のサイズ
が限定されることがなく、あらゆるサイズの被露光部材
の位置決めを容易に行うことができ、さらにＸ方向及び
Ｙ方向固定スケールの剛性を高めることができるので、
Ｘ方向及びＹ方向移動スケールで形成される位置決め基
準面の直角度を高精度に維持することができ、被露光部
材が大型化しても正確な位置決めを行うこができる等の
効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図この考案の一実施例を示す平面図、第２は第１図
の要部を拡大した平面図、第３図は第２図の正面図、第
４図及び第５図はそれぞれＸ方向固定スケールを示す平
面図及び正面図、第６図及び第７図はそれぞれ第２図の
VI−VI線及びVII−VII線断面図、第８図は第７図の端面
図、第９図(a)及び(b)はそれぞれチャック本体の一例を
示す平面図及び断面図、第１０図は閉塞具の一例を示す
断面図、第１１図はチャック本体を倒立させた状態の断
面図、第１２図はこの考案を適用し得る縮小投影露光装
置を示す概略構成図、第１３図は従来例を示す平面図で
ある。 図中、１１は縮小投影露光装置、１２は被露光部材、１
３はＸＹＺステージ、１４は縮小レンズ、１５はレチク
ル、１６レチクル載置台、１７は光源部、３０は載置
台、３１は被露光部材保持装置、３７はチャック本体、
３８は閉塞具、４１は被露光部材位置決め装置、４３Ｘ
はＸ方向固定スケール、４３ＹはＹ方向固定スケール、
４４ＸはＸ方向移動スケール、４４ＹはＹ方向移動スケ
ール、５０ａはインチ目盛り、５０ｂはセンチメートル
目盛り、５５はストッパねじである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ｐ 8418−4Ｍ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】被露光部材をＸＹ方向に移動自在の移動テ
   ーブルに載置して所定のパターンを露光する露光装置に
   おいて、前記移動テーブルの被露光部材載置面に、当該
   移動テーブルの両移動方向に沿って伸び、露光中心に対
   して位置決めされて配設されたＸ方向及びＹ方向固定ス
   ケールと、該Ｘ方向及びＹ方向固定スケールに個別にそ
   の長手方向に移動可能に保持され且つ当該長手方向と直
   交して前記移動テーブル上面に延長したＸ方向及びＹ方
   向移動スケールとを備えたことを特徴とする露光装置に
   おける被露光部材位置決め装置。
2. 【請求項２】前記Ｘ方向及びＹ方向固定スケールは、露
   光中心からの目盛りを備えている請求項(1)記載の露光
   装置における被露光部材位置決め装置。
3. 【請求項３】前記Ｘ方向及びＹ方向固定スケールは、所
   定間隔を保つ一対の側板部と、該側板部間をその両端位
   置で連接する連結杆部とを有する方形枠状に形成されて
   いる請求項(1)又は(2)記載の露光装置における被露光部
   材位置決め装置。