JPH0432634Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ウエハ、マスク、シヤドウマスク
等の被露光部材に所定のパターンを露光する露光
装置において、移動テーブルに載置する被露光部
材の露光中心に対する位置決めを容易に行うこと
が可能な露光装置における被露光部材位置決め装
置に関する。

〔従来の技術〕

従来の露光装置における被露光部材位置決め装
置としては、第９図に示す構成のものが知られて
いる。

この従来例は、被露光部材１を載置する移動テ
ーブル２の載置面上の被露光部材のサイズに応じ
た露光中心Ｏを基準に夫々所定間隔を保つて３つ
のピン嵌挿穴３ａ，３ｂ，３ｃを穿設し、載置す
る被露光部材１のサイズに応じて、ピン嵌挿穴３
ａ，３ｂ，３ｃを選択して、これらに位置決めピ
ン４ａ，４ｂ，４ｃを嵌挿し、両位置決めピン４
ａ，４ｂ，４ｃに被露光部材１の周縁を当接させ
ることにより、露光中心に対する位置決めを行う
ようにしている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来の被露光部材の位置決
め装置にあつては、移動テーブルに位置決めピン
を嵌挿するピン嵌挿穴を被露光部材のサイズに応
じて多数穿設する必要があるので、これら多数の
ピン嵌挿穴によつて移動テーブルの剛性の低下や
変形を生じるおそれがあるため、移動テーブルを
肉厚にして強固に製作することが必要となり、移
動テーブル自体の重量が増加して、露光時の高速
移動及び位置決め精度に大きな影響を与えると共
に、位置決めピンを嵌挿していないピン嵌挿穴に
は、塵埃等が堆積し、これが被露光部材の装着時
に載置面或いは被露光部材に付着するおそれがあ
り、さらに載置する被露光部材のサイズは予め穿
設されたピン嵌挿穴によつて限定され、それ以外
のサイズの被露光部材については位置決めが不能
である等の問題点があつた。

そこで、この考案は、上記従来例の問題点に着
目してなされたものであり、被露光部材をそのサ
イズにかかわらず容易に位置決めするこができ、
しかも移動テーブルに剛性低下等の影響を与える
ことがない露光装置における被露光部材位置決め
装置を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この考案は、被露
光部材をXY方向に移動自在の移動テーブルに載
置して所定のパターンを露光する露光装置におい
て、前記移動テーブルに、当該移動テーブルの移
動方向の何れか一方に沿つて伸び、露光中心に対
して位置決めされて配設された固定スケールと、
該固定スケールの長手方向に移動可能に保持され
且つ当該長手方向と直交して前記移動テーブル上
面に延長した第１の移動スケールと、該第１の移
動スケールに、その長手方向に移動可能に保持さ
れ且つ当該長手方向と直交する方向に延長する第
２の移動スケールとを備えたことを特徴としてい
る。

〔作用〕

この考案においては、予め知られた被露光部材
のサイズに応じて移動テーブルに移動方向に沿つ
て位置決めして配設された固定スケールに対して
第１の移動スケールを被露光部材のサイズに合わ
せて平行移動させ、次いで第２の移動スケールを
第１の移動スケールを平行移動させることにより
位置決め位置を任意に設定し、この設定状態で第
１の移動スケール及び第２の移動スケールで形成
される直角面に被露光部材を点又は線接触させる
ことにより、被露光部材の露光中心に対する位置
決めを行う。

〔実施例〕 以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明
する。

まず、この考案を適用し得る縮小投影露光装置
の概要を第８図について説明する。

図中、１１は縮小投影露光装置であつて、ウエ
ハ、シヤドウマスク等の被露光部材１２を載置す
るXYステージ１３と、その上面に対向して固定
配置された縮小レンズ１４と、その上方位置に配
置されたレチクル１５を載置するレチクル載置台
１６と、その上方位置に配置された光源部１７と
を有しており、光源部１７からの露光光線がレチ
クル１５及び縮小レンズ１４を介して移動テーブ
ル装置としてのXYZステージ１３上の被露光部
材１２に照射され、レチクル１５に形成された回
路パターン等の所定のパターンを被露光部材１２
上に縮小投影露光する。

XYZステージ１３は、XYZ軸の３軸方向に移
動可能に構成され、Ｚ軸方向に移動させることに
より、焦点調整を行う。

縮小レンズ１４を保持する筒体１８の被露光部
材１２に対向する下端部には、露光光線を透過す
る透孔１９と、その周囲に等角間隔で形成された
４つの空気吹き出しノズル２０とが設けられてい
る。各ノズル２０は、共通の空気供給源２１に絞
り２２を介して接続されていると共に、共通の差
圧変換器２３の一方の入力側に接続されている。
差圧変換器２３の他方の入力側は、絞り２４を介
して前記空気供給源２１に接続されていると共
に、大気に連通されている。これらノズル２０、
空気供給源２１、絞り２２，２４及び差圧変換器
２３で空気マイクロメータ２５が構成されてい
る。

そして、差圧変換器２３の検出信号が制御装置
２６に供給され、この制御装置２６で目標値設定
器２６ａで予め設定した所定の目標値と比較して
その差値である偏差信号が増幅器等で構成される
駆動回路２６ｂに供給され、これにより、モータ
等のアクチユエータ２７を作動させる駆動出力を
形成し、これをXYZステージ１３のＺ軸駆動機
構に供給してこれを駆動し、ノズル２０と被露光
部材１２との間の間隔を適正値に調節する。

また、XYZステージ１３のXY方向の移動は、
被露光部材１２に形成された原点マーク（図示せ
ず）を光学的に読取り、これに基づいて制御原点
を設定してから、パターンの露光間隔に応じて
XY方向の絶対距離を検出する例えばレーザ測長
機２８からの測定値フイードバツク信号が供給さ
れる駆動回路２６ｂによつて順次ステツプアンド
リピート動作される。

XYZステージ１３の上面には、第１図に示す
ように、載置台３０が設けられ、この載置台３０
の上面に被露光部材１２を吸着保持する被露光部
材保持装置３１が設けられている。

この被露光部材保持装置３１は、載置台３０の
上面に載置台中心から外方に向けて放射上に突出
形成されたチヤツク載置座３２と、これらチヤツ
ク載置座３２に対応する位置に透孔３３ａが穿設
され、載置台３０上にビス止めされたチヤツク位
置決め板３３と、このチヤツク位置決め板３３の
透孔３３ａ内に吸着保持された長尺のチヤツク本
体３４ａ〜３４ｄ及び短尺のチヤツク本体３４ｅ
〜３４ｈとを備えている。

各チヤツク本体３４ａ〜３４ｈは、第２図及び
第３図に示すように、下面に長手方向に沿う吸着
溝３５が形成されていると共に、内部に吸着溝３
５と連通する吸引通路３６が形成され、この吸引
通路３６に上面に開口する複数の吸着口３７が連
通され、各吸着口３７には、上面に形成された互
いに独立した吸着溝３８が連通され、さらに吸引
通路３６の各吸着口３７間に、開閉弁を構成する
スプール３９を気密に嵌挿する貫通孔４０を有
し、この貫通孔４０は吸引通路３６に連通する関
係で前記チヤツク本体３４ａ〜３４ｈの長手方向
と直交する方向に貫通して穿設されている。

スプール３９は、第４図ａ及びｂに示すよう
に、中実の円柱体の中央部に環状溝で構成される
連通部４１が形成されていると共に、連通部４１
の左側にスプール３９の移動を抑制する弾性部材
としてのＯリング４２を装着する環状溝４３が形
成され、さらに両端側に夫々ストツパを兼ねるＥ
型止め輪４４Ｌ，４４Ｒが装着された構成を有
し、表面が黒色のレイデント処理されて露光時に
光の反射を防止すると共に、貫通孔４０と気密性
と摺動性を高めるようにされている。

そして、第４図ａに示すように止め輪４４Ｒが
チヤツク本体３４ａ〜３４ｈの側面に当接してい
る閉位置では、連通部４位置が吸引通路３６とは
連通せず、連通部４１の右側に隣接する外周面に
よつて隣接する吸引通路３６間が遮断され、逆に
第４図ｂに示すようにスプール３９を右に作動さ
せて止め輪４４Ｌがチヤツク本体３４ａ〜３４ｈ
の側面に当接している閉位置では、連通部４１が
吸引通路３６に連通して隣接する吸引通路３６と
吸着口３７、吸着溝３８との間が連通される。

一方、載置台３０のチヤツク載置座３２には、
チヤツク本体３４ａ〜３４ｈの吸着溝３５に連通
すると共に、裏面側に貫通する吸引孔４５が穿設
され、これら吸引孔４５が第１図に示すように載
置台３０の裏面側に配設された配管４６に通じ、
さらに配管４６は外部の固定部に設けられた３方
切換弁４７を介して真空ポンプ等の気体吸引手段
４８に接続されている。

また、第１図に示すように、載置台３０の前端
面３０ａに被露光部材位置決め装置５１が着脱自
在に配設されている。

この被露光部材位置決め装置５１は、第５図〜
第７図に示す如く、載置台３０の前端面３０ａに
着脱自在に配設された固定スケール５２と、この
固定スケール５２にＸ方向に平行移動可能に保持
された第１の移動スケール５３と、この第１の移
動スケール５３にＹ方向に平行移動可能に保持さ
れた第２の移動スケール５４とを備えている。

固定スケール５２は、載置台３０の前端面に沿
つてＸ方向に延長する垂直板部５２ａと、その上
端から前方に即ち載置台３０とは反対側に延長す
る水平板部５２ｂと、垂直板部５２ａの上端側に
後方に即ち載置台３０の上面側に延長する突条５
２ｃとを有する。そして、垂直板部５２ａには、
第６図に示すように、その左右両側位置に下端縁
から上方に延長する台形状のボルト導入部５５と
これに続く長円形状のボルト固定部５６とでなる
切欠５７Ｌ，５７Ｒが形成されていると共に、左
右両端部に水平板部５２ｂに連設して前方側に直
角に折り曲げた折曲部５８Ｌ，５８Ｒが形成され
ている。ここで、切欠５７Ｌ，５７Ｒのボルト固
定部５６は、その幅及び高さが固定スケール５２
を載置台３０にボルト締めする際のボルト径に対
して幅広に選定されている。また、水平板部５２
ｂには、Ｘ方向に延長する長孔５９が穿設されて
いると共に、この長孔５９に沿つてその前方側に
露光中心からのＸ方向距離を表すインチ目盛り６
０が、後方側に同様のミリメートル目盛り６１が
夫々刻設され、さらに前方側端縁に下方に直角に
折り曲げられた折曲部６２が形成されている。そ
して、垂直板部５２ａの上端部、水平板部５２ｂ
及び折曲部６２で第１の移動スケール５３を案内
する案内部６３が構成されている。

第１の移動スケール５３は、固定スケール５２
の案内部６３に係合する断面鞍状の摺動部５３ａ
と、この摺動部５３ａから後方にＹ方向に延長す
る断面鞍状の案内部５３ｂとを備えている。摺動
部５３ａには、第６図に示すように、固定スケー
ル５２の長孔５９に対向する位置にボルト挿通孔
７１が穿設され、摺動部５３ａを固定スケール５
２の案内部６３に係合させた状態でボルト挿通孔
７１及び長孔５９内にボルト７２を挿通し、その
固定スケール５２の水平板部５２ｂの下面側に突
出した端部にナツト７３を螺合させることによ
り、固定スケール５２にＸ方向に平行移動可能に
保持されている。また、案内部５３ｂには、長手
方向に沿う長孔７４が穿設され、この長孔の左側
に露光中心ＯからのＹ方向距離を表すインチ目盛
り７５が、右側に同様のミリメートル目盛り７６
が夫々刻設されていると共に、先端部が後方側に
延長されて被露光部材１２の位置決め部７７とさ
れている。

第２の移動スケール５４は、第１の移動スケー
ル５３の案内部５３ｂに係合する断面鞍状の摺動
部５４ａと、この摺動部５４ａから右方にＸ方向
に延長する位置決め部５４ｂとを備えている。摺
動部５４ａには、第７図に示すように、第１の移
動スケール５３の案内部５３ｂに形成された長孔
７４に対向する位置にボルト挿通孔８１が穿設さ
れ、この摺動部５４ａを第１の移動スケール５４
の案内部５４ｂに係合させた状態で、そのボルト
挿通孔８１及び長孔７４内に固定ボルト８２を挿
通し、その第１の移動スケール５３の案内部５３
ｂの下面側に突出した端部にナツト８３を螺合さ
せることにより、第１の移動スケール５３にＹ方
向に平行移動可能に保持されている。

一方、載置台３０の前端面には、第５図に示す
ように、位置決め用ストツパー９１が固着されて
いると共に、その左側に固定スケール５２におけ
る切欠５７Ｌ，５７Ｒのボルト固定部５６に対応
する位置にボルト穴８２Ｌ，８２Ｒに穿設され、
これらボルト穴８２Ｌ，８２Ｒに固定スケール５
２を脱着可能に保持する固定ボルト８３Ｌ，８３
Ｒが螺合されている。これら固定ボルト８３Ｌ，
８３Ｒは、第７図に示すように、頭部８３ａと、
これより小径で固定スケール５２のボルト固定部
５６を形成する周縁部に当接する当接面８３ｂを
有する押圧段部８３ｃと、これより小径でボルト
固定部５６内に挿入される段部８３ｄと、これよ
り小径のねじ部８３ｅとで構成されている。

次に、上記実施例の動作を説明する。今、載置
台３０から被露光部材保持装置５１が取り外され
ており、被露光部材保持装置５１が被露光部材１
２が吸着保持されておらず、３方切換弁４７が大
気側に切換えられて保持装置３１の各チヤツク本
体３４ａ〜３４ｂが気体吸引手段４８から切り離
されているものとする。

この状態から、ウエハ、マスク等の被露光部材
１２を被露光部材保持装置３１に位置決めして載
置するには、まず被露光部材１２のサイズに応じ
て被露光部材保持装置３１の吸着領域を設定す
る。

この吸着領域の設定を行うには、例えば第１図
で鎖線図示の８インチ×８インチのマスク１２を
吸着保持する場合には、３方切換弁４７を大気側
に切換えた状態で、長尺のチヤツク本体３４ａ〜
３４ｄについては、被露光部材保持装置３１の中
心側から２つ目までのスプール３９を開位置と
し、残りの外方側のスプール３９を閉位置とす
る。これによつて、中心部から３番目迄の吸着口
３７及び吸着溝３８までは吸引通路３６、吸引孔
４５及び配管４６を通じて３方切換弁４７に接続
されることになり、第４番目以降の吸着口３７及
び吸着溝３８については、少なくとも第３番目の
スプール３９によつて吸引通路３６が遮断されて
いるので、３方切換弁３７とは切り離される。同
様に、短尺のチヤツク本体３４ｅ〜３４ｈについ
ては、中心側の第１番目のスプール３９のみを開
位置とし、残りのスプール３９を閉位置とするこ
とによつて、中心側の第１番目の吸着口３７及び
吸着溝３８のみを３方切換弁４７に接続する。

このようにして被露光部材保持装置３１の吸着
領域の設定が終了してから又はその前に、被露光
部材位置決め装置５１を載置台３０に装着する。

すなわち、まず載置台３０のボルト穴８２Ｌ，
８２Ｒに螺合されている固定ボルト８３Ｌ，８２
Ｒをその当接面８３ｂと載置台３０の前端面３０
ａとの間隔が固定スケール５２の切欠５７Ｌ，５
７Ｒ部の肉厚以上となるように緩める。この状態
で、固定スケール５２を、その切欠５７Ｌ，５７
Ｒのボルト導入部５５を固定ボルト８３Ｌ，３８
Ｒの段部８３ｄと上方側から対向させてから下降
させることにより、段部８３ｄがボルト固定部５
６内に挿入されると共に、突条５２ｃが載置台３
０の上面に当接してその下降が阻止される。この
状態では、ボルト固定部５６の幅が固定ボルト８
３Ｌ，８３Ｒの段部８３ｄの径に比較して幅広と
なつているで、固定スケール５２は左右方向即ち
Ｘ軸方向に移動が可能であり、したがつて、固定
スケール５２を右動させて、その折曲部５８Ｒを
載置台３０の前端面３０ａに設けた位置決め用ス
トツパー９１が当接させて位置決めし、この状態
で、固定ボルト８３Ｌ，８３Ｒを閉め付けること
により、その当接面８３ｂが固定スケール５２の
切欠５７ｆ，５７Ｒの周囲に圧接して固定スケー
ル５２が突条５２Ｃと載置台３０の上面との当接
により直角度を確保して固定される。

このように固定スケール５２が載置台３０に位
置決めして固定されることにより、固定スケール
５２の水平板部５２ｂに刻設された目盛り６０及
び６１が露光中心ＯからのＸ軸方向の距離を正確
に表すことになる。

したがつて、第１の移動スケール５３の固定ボ
ルト７２を緩めて、摺動部５３ａの右端が目盛り
６０の８インチ位置になるように第１の移動スケ
ール５３を固定スケール５２の案内部６３に沿つ
て摺動させ、この位置で固定ボルト７２を締め付
けて第１の移動スケール５３を固定スケール５２
に固定保持させる。これによつて、第１の移動ス
ケール５３の案内部５３ｂの先端に形成された位
置決め部７７が露光中心Ｏから８インチの位置に
固定される。

この状態から、第２の移動スケール５４の固定
ボルト８２を緩め、その摺動部５４ａの後端が第
１の移動スケール５３の案内部５３ｂのインチ目
盛り７５の８インチ位置となるように第２の移動
スケール５４を案内部５３ｂに沿つて摺動させ、
この位置で固定ボルト８２を締め付けて第２の移
動スケール５４を第１の移動スケール５３に固定
する。これによつて、第２の移動スケール５４の
位置決め部５４ｂの後端縁が露光中心Ｏから８イ
ンチの位置に固定される。

そして、この状態で、被露光部材１２を第１及
び第２の移動スケール５３及び５４の位置決め部
７７及び５４ｂに隣接する２片が当接するように
被露光部材保持装置３１のチヤツク本体３４ａ〜
３４ｈ上に載置することにより、被露光部材１２
を露光中心Ｏに対して正確に位置決めすることが
できる。

その後、３方切換弁４７を気体吸引手段４８側
に切換える。これにより、各チヤツク本体３４ａ
〜３４ｈがその下面の吸着溝３５から空気が吸引
されて、載置台３０のチヤツク載置座３２に真空
吸着され、これと同時に各チヤツク本体３４ａ〜
３４ｈの被露光部材１２によつて完全に覆われる
吸着口３７及び吸着溝３８から空気が吸引される
ことになり、被露光部材１２が真空吸着されてチ
ヤツク本体３４ａ〜３４ｈ上に位置決めされた状
態で保持される。

この被露光部材の保持状態で、まずXYZスラ
イダ１３をＺ軸方向に移動させて、焦点調整を行
う。この焦点調整は、空気供給源２１から圧力空
気を絞り２２を介してノズル２０に供給して空気
マイクロメータ２５を作動状態とし、この状態で
制御装置２６を作動状態とする。

このように焦点調整制御装置２６が作動状態と
なると、目標値設定器２６ａで予め設定された焦
点調整目標値と、差圧変換器２３から出力される
差圧検出信号との差値でなる偏差信号が駆動回路
２６ｂに供給され、この駆動回路２６ｂからアク
チユエータ２７にXYZステージ１３をＺ軸方向
に移動させる駆動信号が出力され、XYZステー
ジ１３が偏差信号が零となるようにＺ軸方向に上
下動されて焦点調整が行われる。

そして、焦点調整が終了すると、XYZステー
ジ１３がXY方向に適宜移動させて、被露光部材
１２を所定のパターン露光位置にセツトし、次い
で所定パターンを露光してから、再度XYZステ
ージ１３をXY方向に移動させて、被露光部材１
２を新たなパターン露光位置に移動させ、再度露
光を行い、全ての露光位置の露光が終了すると、
３方切換弁４７を大気側に切換えて、チヤツク本
体３４ａ〜３４ｈの吸着口３７及び吸着溝３８か
らの空気の吸引を停止させて、露光済みの被露光
部材１２を取り出す。

そして、サイズの異なる被露光部材１２を新た
に位置決めする場合には、第１の移動スケール５
３及び第２の移動スケール５４を被露光部材１２
のサイズに応じて平行移動させることにより、容
易に被露光部材１２の位置決めを行うことができ
る。このとき、被露光部材保持装置３１の吸着領
域も同時に変更する必要があり、この変更を行う
際に、被露光部材位置決め装置５１が邪魔となる
場合には、固定ボルト８３Ｌ，８３Ｒを緩めて、
固定スケール５２を載置台３０から取り外し、吸
着領域の変更が終了したら再度固定スケール５２
を前述したようにして載置台３０に装着する。

なお、上記実施例においては、被露光部材位置
決め装置５１を載置台３０の前端面３０ａに装着
する場合について説明したが、これに限定される
ものではなく、載置台３０の後端面或いは左右側
面に装着するようにしてもよく、さらには載置台
３０の上面に装着するようにしてもよい。

また、上記実施例においては、固定スケール５
２が載置台３０に着脱自在に配設されている場合
について説明したが、これに限定されるものでは
なく、固定スケール５２を載置台３０と一体に形
成し、第１の移動スケール５３を着脱自在とする
ようにしてもよい。

さらに、固定スケール５２及び第１の移動スケ
ール５３の案内部と、これらに案内される第１の
移動スケール５３の摺動部５３ａ及び第２の移動
スケール５４の摺動部５４ａとの形状は、上記実
施例に限らず、各摺動部５３ａ，５４ａを平板上
に形成し、且つその中央部に案内部の長孔内に係
合する突条を形成して長孔によつて案内するよう
にしてもよく、要は第１の移動スケール５３及び
第２の移動スケール５４が平行移動可能に構成さ
れていればよいものである。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、固定
スケールと、これに平行移動可能に保持された第
１の移動スケールと、これに平行移動可能に保持
された第２の移動スケールとを設け、第１及び第
２の移動スケールによつて被露光部材の位置決め
を行うように構成したので、被露光部材を載置す
る移動テーブルの上面に位置決め用の加工を何ら
施す必要がなく、従来例のようなピン挿通穴内で
堆積した塵埃による載置面及び被露光部材の汚染
を防止することができると共に、移動テーブルの
剛性を損なうことがないので、移動テーブル自体
を軽量化することができ、しかも第１及び第２の
移動スケールはステツプ状ではなく連続的に移動
可能であるので、位置決めする被露光部材のサイ
ズが限定されることがなく、あらゆるサイズの被
露光部材の位置決めを容易に行うことができる等
の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図は第１図の−線拡大断面図、第３図は第
１図の−線拡大断面図、第４図ａ及びｂは
夫々開位置及び閉位置を示す第１図の−線断
面図、第５図及び第６図は夫々被露光部材位置決
め装置の拡大平面図及び正面図、第７図は第５図
の−線断面図、第８図はこの考案を適用し得
る縮小投影露光装置の概略構成図、第９図は従来
例を示す平面図である。 図中、１１は縮小投影露光装置、１２は被露光
部材、１３はXYZステージ、１４は縮小レンズ、
１５はレチクル、１６レチクル載置台、１７は光
源部、３０は載置台、３１は被露光部材保持装
置、５１は被露光部材位置決め装置、５２は固定
スケール、５２ａは垂直板部、５２ｂは水平板
部、５３は第１の移動スケール、５３ａは摺動
部、５３ｂは案内部、５４は第２の移動スケー
ル、５４ａは摺動部、５４ｂは位置決め部、５７
Ｌ，５７Ｒは切欠、６０，６１は目盛り、６３は
案内部、７５，７６は目盛り、７７は位置決め
部、８３Ｌ，８３Ｒは固定ボルトである。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被露光部材をXY方向に移動自在の移動テー
   ブルに載置して所定のパターンを露光する露光
   装置において、前記移動テーブルに、当該移動
   テーブルの移動方向の何れか一方に沿つて伸
   び、露光中心に対して位置決めされて配設され
   た固定スケールと、該固定スケールの長手方向
   に移動可能に保持され且つ当該長手方向と直交
   して前記移動テーブル上面に延長した第１の移
   動スケールと、該第１の移動スケールに、その
   長手方向に移動可能に保持され且つ当該長手方
   向と直交する方向に延長する第２の移動スケー
   ルとを備えたことを特徴とする露光装置におけ
   る被露光部材位置決め装置。 (2) 前記固定スケール及び前記第１の移動スケー
   ルは露光中心からの目盛りを備えている実用新
   案登録請求の範囲第１項記載の露光装置におけ
   る被露光部材位置決め装置。 (3) 前記固定スケールは、移動テーブルの側面に
   着脱自在に配設され外面に露光中心からの目盛
   りを形成した垂直板部と、その上端から外方に
   延長して形成された第１の移動スケールを案内
   保持する案内部と、前記垂直板部に形成された
   移動テーブルの上面に係合する係合突条とを備
   えている実用新案登録請求の範囲第１項又は第
   ２項記載の露光装置における被露光部材位置決
   め装置。