JP4861090B2 - ロアチャックパッドの保持構造 - Google Patents
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Description
本発明はロアチャックパッドの保持構造、さらに詳細にはウエハを研磨するに際して前記ウエハを吸引保持する真空チャック装置に、前記ウエハと前記真空チャック装置の真空チャック面との間に介装されるロアチャックパッドの保持構造に関する。
たとえばウエハのエッジを研磨するに際しては、図６に示すように円筒状に捲回され、かつ回転する研磨布などの研磨パッド１に、ウエハ２のエッジ２１を回転させて接触させて研磨することが行われている。前記ウエハ２を保持し、回転させるチャック装置には、ウエハ２を吸引することによりチャック面３に吸着させ保持する真空チャック装置が知られている。前述のチャック面３は、たとえば特開平９−９２７１０号に開示されているように多孔質板あるいは空気透過穴が形成された金属板が使用されており、この多孔あるいは穴を介して空気を吸引することによりウエハ２をチャック面３に保持するようになっている。
このようにウエハ２をチャック面３に保持するに際しては、上述の文献及び特開平９−２７２０５４号に記載されているように、弾性のあるロアチャックパッド４を介して前記ウエハ２をチャック面３に保持することが行われている。
従来、このようなロアチャックパッド４は、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、所定のパターン状に空気透過穴４１が形成されたロアチャックパッド本体４０のチャック面３側の表面に粘着層４２が設けられた構造になっている。そして前記粘着層４２に、剥離紙５を貼着した保持構造で前記ロアチャックパッド４を保存あるいは運搬するようになっている。
前記ロアチャックパッド４を使用するに際しては、前記剥離紙５を剥離したのち、チャック面３に前記粘着層４２により接着させる。この際、前記空気透過穴４１のパターン構造が円形帯状のように、ロアチャックパッド４のたとえば内側部分Ｐ１と外側部分Ｐ２が離間している場合、すなわちロアチャックパッド４が２以上の部分に分割されている場合には、前記パターン構造が崩れないように、前記分割部分Ｐ１、Ｐ２（前記内側部分と外側部分）を接続するブリッジ４３が設けられ、一体化されている。
したがって、前記ロアチャックパッド４をチャック面３に貼着した後、図８に示すように前記ブリッジ４４をハンドワークで切除する必要があった。
特開平９−９２７１０号公報
特開平９-２７２０５４号公報
本発明は上述の課題を解決するためなされたものであり、空気透過穴のパターン構造に内側部分と外側部分を離間する構造を有するロアチャックパッドの保持構造であっても、前記内側部分と外側部分を接続するブリッジをチャック面に貼着した後切除する必要のないロアチャックパッドの保持構造を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明によるロアチャックパッドの保持構造は、表裏面を貫通する空気透過穴が設けられ、かつ一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドの前記粘着層に剥離フィルムが設けられたロアチャックパッドの保持構造において、前記空気透過穴のパターン構造によって２以上の分割部分に分離された構造を有するロアチャックパッドの他方の面に保護フィルムを介して微粘着層を備えた保持フィルムを設けたことを特徴とする。
本発明によれば、空気透過穴を備えたロアチャックパッドの他方の面に保護フィルムを介して微粘着層を備えた保持フィルムを設けている。このため前記保護フィルムを剥離したのち、空気透過穴のパターン構造を保持するように、前記ロアチャックパッドの他方の面を一時的に微粘着層に貼着し、一方の面の剥離フィルムを剥離紙、チャック面に貼着し、その後前記保持フィルムを剥離することによって、チャック面にロアチャックパッドを固定することができる。このため、前記空気透過穴のパターン構造に内側部分と外側部分を離間する構造を有する場合も、ブリッジを設ける必要がなく、ブリッジを切除する工程を省くことが可能となる。
本発明によるロアチャックパッドの保持構造は、表裏面を貫通する空気透過穴が設けられ、かつ一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドの前記粘着層に剥離フィルムが設けられたロアチャックパッドの保持構造において、前記空気透過穴のパターン構造によって２以上の分割部分に分離された構造を有するロアチャックパッドの他方の面に保護フィルムを介して微粘着層を備えた保持フィルムを設けたことを特徴とする。
本発明による好ましい形態にあっては、前記剥離フィルムは、前記ロアチャックパッドより大きな面積を有し、前記保持フィルムは前記剥離フィルムの前記ロアチャックパッドが設けられていない余白部分に貼着されていることを特徴とする。
さらに本発明による好ましい他の形態では、前記保持フィルムの一辺は前記剥離フィルムより突出した突出部を備えていることを特徴とする。
また本発明による好ましい他の形態では、前記剥離フィルムの一辺の余白部分は他の余白部分より大きな幅を備えた固定部分を有していることを特徴とし、前記保持フィルムの一辺は剥離フィルムの余白部分から前記剥離フィルムの所定の一辺を回り込んで、剥離フィルムの裏側に達し、固定部分を形成していることを特徴とする。
本発明による好ましい、他の形態では、前記保持フィルムは保持フィルム本体と微粘着層とを有し、前記保持フィルム本体はポリエステルフィルムであり、前記微粘着層はアクリル系粘着剤である。
図１は本発明によって保持されるロアチャックパッドの平面図、図２は本発明のロアチャックパッドの保持構造の平面図、図３は断面図であるが、これらの図より明らかなように、ロアチャックパッド４は、この実施例では、一部の円弧部分が切りかかれた截弧円形状であり、所定のパターン構造を有する空気透過穴４１が形成されている。この実施例において、前記パターン構造は、２つの円形帯状の空気透過穴４１１、４１２と外側の円形帯状の空気透過穴４１１を直線帯状に接続する中央部の空気透過穴４１３が設けられている。そして従来のようにブリッジ４３を備えていない。このため、ロアチャックパッド４は相互に一体化されておらず、５つの分割部分Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４、Ｐ５に分離されている。
図３に示すように、本発明によるロアチャックパッドの保持構造によれば、前記ロアチャックパッド本体４０の下部にはロアチャックパッド４の下面に設けられた粘着層４２を介して剥離フィルム５が貼着されている。この剥離フィルム５としては、たとえば剥離処理をされたポリエステルフィルム、剥離紙等を使用することが可能である。
一方、ロアチャックパッド４の上面には保護フィルム６が設けられているとともに、さらに保護フィルム６上に保持フィルム本体７０に微粘着層７１を備えた保持フィルム７が接続されている。
この実施例では、前記剥離フィルム５は、ロアチャックパッド４より大きな面積を有し、前記ロアチャックパッド４はその中央部に設けられている。このロアチャックパッド４を覆うように保護フィルム６が設けられているが、この保護フィルム６の一辺は、前記剥離フィルム５より突出して突出部分６１を形成している。
この保護フィルム６に設けられる保持フィルム７は、図３に図１のＡ−Ａ断面図を示すように微粘着層７１を備えており、剥離フィルム５の前記ロアチャックパッド４が設けられていない余白部分５１に前記保持フィルム７が貼着されている。この図３（ａ）に示す実施例においては、保持フィルム５の一辺（この実施例では、前記突出部分６１が形成された辺と隣接する辺）の余白部分５１の幅Ｌは他の辺の幅Ｌ１に比較して大きく取ってあり、前記保持フィルム７と剥離フィルム５の接着幅が大きくなり、容易に剥離しない固定部分７２を形成するようになっている。
また、図３（ｂ）に示す実施例では、前記保持フィルム７の一辺（この実施例では、前記突出部分６１が形成された辺と隣接する辺）は剥離フィルム５の余白部分５１から前記剥離フィルム５の所定の一辺５２を回り込んで、剥離フィルム５の裏側５３に達し、固定部分７２を形成している。この実施例によれば、前述の図３（ａ）の実施例に比較して固定部分７２は堅固に固着される。
前記保護フィルム６としては、前記保持フィルム７の微粘着層７１と強固に接着しないものを選択する。たとえば剥離処理をされたポリエステルフィルムなどを使用することができる。一方、保持フィルム本体７０としてとしては、同様にポリエステルフィルムを使用することができ、微粘着層７１としてはアクリル系粘着剤を使用することができる。この微粘着層７１は前記保護フィルム６及び剥離フィルム５と強固に接着せず、緩やかに粘着し、かつ容易に剥離可能なものであれば基本的にいかなるものでもよい。
前記保持フィルム７は前述のように、剥離フィルム５とその余白部分５１で緩く貼着されており、かつ保護フィルム６が前記ロアチャックパッド４を覆っているため、直接ロアチャックパッド４と保持フィルム７の微粘着層７１が接触することはない。このため、前記微粘着層７１と長時間接触することによるロアチャックパッド４の劣化および前記ロアチャックパッド４と保持フィルム７の強固な接着を防止することができる。
本発明によるロアチャックパッドをチャック面３に貼着する場合（図３（ｂ）の構造を例として説明するが、図３（ａ）の場合も同様である）、まず、図４及び図５に示すように前記保持フィルム７を前記固定部分７２の対向する辺７３から剥離させる（図４（ａ）及び図１参照）。このとき、保持フィルム７は固定部分７２によって剥離フィルム５に固定されているため、完全に剥離されることはなく、めくれるようになっている。
その後、保護フィルム６の突出部分６１より保護フィルム６を剥離し（図４（ｂ））、除去した後、めくれ上がった保持フィルム７を再びロアチャックパッド４上に重ね合わせて前記ロアチャックパッド４を緩く粘着させる（図４（ｃ））。上述の保持フィルム７のロアチャックパッド４への積層は、前述のように前記保持フィルム７の端部が固定部分７２によって剥離フィルム５に固定されており、完全に分離されていないため、容易に行うことができる。
さらに、剥離フィルム５を前記ロアチャックパッド４より剥離させてめくり上げ（図４（ｄ）、前記粘着パッド４の粘着層４２をチャック面３に当接させて接着した後（図５（ａ））、前記保持フィルム７を剥離させることにより、ロアチャックパッド４をチャック面３に設置することが可能である（図５（ｂ））。
少なくとも前記保持フィルム７は透明であるのが好ましい。保持フィルム７が透明であると、チャック面３へロアチャックパッド４を移し替える際、透明フィルムより転写位置が視認でき、位置決めが容易になるからである。他の剥離フィルム、保護フィルムは、必ずしも透明であることはないが、もちろん透明であってもよい。
以上、本発明によれば、空気透過穴を備えたロアチャックパッドの他方の面に保護フィルムを介して微粘着層を備えた保持フィルムを設けている。このため前記保護フィルムを剥離したのち、空気透過穴のパターン構造を保持するように、前記ロアチャックパッドの他方の面を一時的に微粘着層に貼着し、一方の面の剥離フィルムを剥離紙、チャック面に貼着し、その後前記保持フィルムを剥離することによって、チャック面にロアチャックパッドを固定することができる。このため、前記空気透過穴のパターン構造に内側部分と外側部分を離間する構造を有する場合も、ブリッジを設ける必要がなく、ブリッジを切除する工程を省くことが可能となる。
１ 研磨パッド
２ ウエハ
３ チャック面
４ ロアチャックパッド
４０ ロアチャックパッド本体
４１ 空気透過穴
４２ 粘着層
４３ ブリッジ
５ 剥離フィルム（紙）
５１ 余白部分
６ 保護フィルム
６１ 突出部分
７ 保持フィルム
７０ 保持フィルム本体
７１ 微粘着層
７２ 固定部分
２ ウエハ
３ チャック面
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４０ ロアチャックパッド本体
４１ 空気透過穴
４２ 粘着層
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６１ 突出部分
７ 保持フィルム
７０ 保持フィルム本体
７１ 微粘着層
７２ 固定部分
Claims (6)
- 表裏面を貫通する空気透過穴が設けられ、かつ一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドの前記粘着層に剥離フィルムが設けられたロアチャックパッドの保持構造において、前記空気透過穴のパターン構造によって２以上の分割部分に分離された構造を有するロアチャックパッドの他方の面に保護フィルムを介して微粘着層を備えた保持フィルムを設けたことを特徴とするロアチャックパッドの保持構造。
- 前記剥離フィルムは、前記ロアチャックパッドより大きな面積を有し、前記保持フィルムは前記剥離フィルムの前記ロアチャックパッドが設けられていない余白部分に貼着されていることを特徴とする請求項１記載のロアチャックパッドの保持構造。
- 前記保護フィルムの一辺は前記剥離フィルムより突出した突出部を備えていることを特徴とする請求項１または２記載のロアチャックパッドの保持構造。
- 前記剥離フィルムの一辺の余白部分は他の余白部分より大きな幅を備えた固定部分を有していることを特徴とする請求項１から３記載のいずれかのロアチャックパッドの保持構造。
- 前記保持フィルムの一辺は剥離フィルムの余白部分から前記剥離フィルムの所定の一辺を回り込んで、剥離フィルムの裏側に達し、固定部分を形成していることを特徴とする請求項１から３記載のいずれかのロアチャックパッドの保持構造。
- 前記保持フィルムは保持フィルム本体と微粘着層とを有し、前記保持フィルム本体はポリエステルフィルムであり、前記微粘着層はアクリル系粘着剤である請求項１から５記載のいずれかのロアチャックパッドの保持構造。
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