JP5352137B2 - 剥離用テープ - Google Patents
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Description
シート剥離装置としては、例えば、特許文献1に開示されている。同文献におけるシート剥離装置は、ウエハに貼付された円形の接着シートに、エッジ部材に巻き掛けられた剥離用テープを接着し、ウエハとエッジ部材との相対移動に同期して剥離用テープの巻き取りを行うことで接着シートをウエハから剥離する構成が採用されている。ここで、剥離用テープは、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた帯状のテープが採用されている。
また、剥離用テープが接着シートの直径よりも小さい幅となる帯状に設けられているため、図6に示されるように、エッジ部材40を介して剥離用テープPTを矢印a方向に引っ張ったときに、テーブルT上のウエハWに貼付された接着シートSが、剥離用テープPTの幅に沿って破れ易くなる、という不都合がある。
また、剥離用テープPTの幅が接着シートSの直径に比べて相当に小さいため、つまり、接着シートSがウエハWに接着している領域に対して剥離用テープPTと接着シートSとの接着領域が相当に小さいため、接着シートSの剥離動作中に剥離用テープPTが接着シートSから分離して剥離不良を生ずる、という不都合もある。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを剥離する際に、接着を伴うことなく把持部を把持若しくは掴むことができ、専用の剥離装置を用いることなく接着シートを剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体に貼付された接着シートの大きさよりも小さい剥離用テープを用いた場合であっても、接着シートの破断を回避しつつ確実に剥離することのできる剥離用テープを提供することにある。
基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートに接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備え、
前記接着部は、前記把持部よりも幅広の平面形状に設けられるとともに、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を把持部の両側に備え、前記把持部からの剥離力を、当該把持部を基準とした前記接着シートの両縁部に付与可能に設けられる、という構成を採っている。
また、接着部が把持部よりも幅広の平面形状となる構成では、剥離用テープが接着シートの幅よりも小さい場合であっても、剥離に際して接着シートが破れてしまうような不都合を効果的に回避することができる。
更に、前記把持部と接着部との間の接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられているため、剥離用テープに剥離力が付与されたときに、剥離方向の力が繋ぎ部によって左右方向に分散するため、剥離用テープや接着シートに局所的な力が加わることを防止し、接着シートが剥離用テープの幅に沿って破れてしまうといった不都合を解消することができる。
また、剥離用テープが接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を備えていることで、接着シートが外縁部から確実に剥離されるようになり、この点からも接着シートの破断原因を回避することができる。
特に、接着剤層が接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられた構成では、剥離用テープの接着剤が接着シート以外の部分に接着して、当該接着シートの剥離を妨げたり、被着体を載置するテーブル等に接着剤が付着して汚れてしまうといった不都合を確実に解消できる。また、剥離力を接着シートの縁部に確実に付与することが可能となり、接着シートの剥離不良を解消することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
10a ショルダ部
11 把持部
13 繋ぎ部
L1 弦
L2 弧
L3 中心線
A 接着剤層
As 弦縁部
Aa 弧縁部
BS 基材シート
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体に貼付された接着シートに貼付して当該接着シートを被着体から剥離するための枚葉の剥離用テープであって、
基材シートの所定領域に接着剤層が設けられて接着シートに接着する接着部と、接着剤層が設けられない把持部とを備え、
前記接着部は、前記把持部よりも幅広の平面形状に設けられるとともに、前記接着シートの外縁部分に沿うショルダ部を把持部の両側に備え、前記把持部からの剥離力を、当該把持部を基準とした前記接着シートの両縁部に付与可能に設けられていることを特徴とする剥離用テープ。 - 前記把持部と接着部との接続部外縁にスロープ状の繋ぎ部が設けられていることを特徴とする請求項1記載の剥離用テープ。
- 前記接着剤層は、前記接着シートの外周部分と同一の平面形状に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の剥離用テープ。
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JP2008170989A JP5352137B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 剥離用テープ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008170989A JP5352137B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 剥離用テープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP5352137B2 true JP5352137B2 (ja) | 2013-11-27 |
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Family Applications (1)
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JP2008170989A Expired - Fee Related JP5352137B2 (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 剥離用テープ |
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2008
- 2008-06-30 JP JP2008170989A patent/JP5352137B2/ja not_active Expired - Fee Related
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