JP6423569B2 - 接着シートおよびその使用方法 - Google Patents
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Description
上記の課題を解決するために、例えば特許文献1には、表面基材、粘着剤、剥離シートから構成される粘着シートが提案されている。特許文献1の粘着シートでは、表面基材および粘着剤と剥離シートとの剥離力(180度)をそれぞれ所定範囲に調整している。
そこで、本発明の目的は、カス上げ不良を十分に抑制できる接着シートおよびその使用方法を提供することである。より具体的には、インライン式の装置で、接着シートの抜き加工工程、カス上げ工程、さらには被着体への貼付工程までのプロセスを行う際にカス上げ不良を十分に抑制できる接着シートおよびその使用方法を提供することである。
F2<F1<F3 ・・・(F1)
本発明の一態様に係る接着シートにおいて、前記接着シートが、長尺状であり、前記第1領域は、前記第2シートの平面視における幅方向の両端部または該両端部の近傍を含むことが好ましい。
本発明の一態様に係る接着シートの使用方法において、前記抜き加工部は、前記第2領域内に設けられることが好ましい。
以下、本発明について実施形態を例に挙げて、図面に基づいて説明する。本発明は実施形態の内容に限定されない。なお、図面においては、説明を容易にするために拡大または縮小をして図示した部分がある。
まず、本実施形態に係る接着シートについて説明する。
本実施形態に係る接着シート100は、図1および図2に示すように、長尺状(帯状)であり、第1シート1と、第2シート2と、接着剤層3と、を備えている。第1シート1および第2シート2は、接着剤層3の両面に設けられている。
第1シート1は、第1基材シート11と、第1剥離層12とを備えている。第1シート1と接着剤層3とは第1剥離層12を介して積層されている。第2シート2は、第2基材シート21と、第2剥離層22とを備えている。第2シート2と接着剤層3とは第2剥離層22を介して積層されている。
第2シート2は、平面視において、第1領域21aと、第2領域21bと、を有している。第1領域21aの接着剤層3からの剥離性と、第2領域21bの接着剤層3からの剥離性とは、異なっている。また、第1領域21aは、互いに対向する端部、すなわち、第2シート2の平面視における幅方向の両端部を含んでいる。より具体的には、第1領域21aは、第2シート2の平面視における幅方向の両端部の近傍に、この両端部に沿って、長さ方向にわたり連続的に設けられている。
F2<F1<F3 ・・・(F1)
前記(F1)の条件を満たさない場合には、カス上げ工程において、抜き加工部31が第1シート1から剥離しやすく、第1シート1上に抜き加工部31を残すことが困難となる。また、カス上げ工程において、連続状カス部32を構成する接着剤層3が第1シート1側に残りやすい。
なお、剥離力F1、剥離力F2および剥離力F3の測定方法は、上記の方法に限定されない。剥離力が大き過ぎる場合または小さ過ぎる場合には、上記の方法では測定できないためである。そのような場合には、剥離力の測定条件(試料の大きさおよび速度など)を適宜変更して、剥離力F1、剥離力F2および剥離力F3の大小関係を調べることができる。また、例えば、剥離力が大き過ぎて剥離力を測定できない場合には、この試料の剥離力は、剥離力が測定できた試料よりも剥離力が大きいといえる。
剥離力F3は、例えば、下記方法(i)〜(v)のいずれかの方法などにより調整できる。すなわち、第2シート2における第1領域21aの剥離力F3を、第2領域21bの剥離力F2よりも大きくできる。
(i)第2シート2における第1領域21aに第2剥離層22を設けない(図2参照)。
(ii)第2シート2における第1領域21aの第2剥離層22に対し、コロナ処理およびプラズマ処理などの改質処理を施す。
(iii)第2シート2における第1領域21aの第2剥離層22の効力を失活させる。
(iv)第2シート2における第1領域21aに対し、UV照射などを行い、重剥離化する。
(v)第2シート2における第2領域21bの第2剥離層22および第1領域21aの第2剥離層22を、異なる剥離剤を用いて形成する。
本実施形態に用いる第1シート1は、第1基材シート11と、第1剥離層12とを備えている。また、本実施形態に用いる第2シート2は、第2基材シート21と、第2剥離層22とを備えている。
第1シート1の厚みは、特に制限されないが、通常、20μm以上250μm以下であり、38μm以上100μm以下であることが好ましい。
第2シート2の厚みは、特に制限されないが、通常、20μm以上250μm以下であり、25μm以上75μm以下であることが好ましく、25μm以上50μm以下であることがより好ましい。
このような剥離剤としては、例えば、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、および長鎖アルキル基系樹脂などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、安価で安定した性能が得られる観点から、シリコーン系樹脂が好ましい。
第1剥離層12または第2剥離層22の厚みは、それぞれ、0.01μm以上2.0μm以下であることが好ましく、0.05μm以上0.5μm以下であることがより好ましい。
本実施形態に用いる接着剤層3は、公知の接着剤を用いて形成することができる。このような接着剤としては、特に限定されないが、アクリル系接着剤、ゴム系接着剤、シリコーン系接着剤、ポリウレタン系接着剤、ポリエステル系接着剤、エポキシ系接着剤、およびポリイミド系接着剤などが挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。このような接着剤は、接着シートの用途に応じて、適宜選択できる。また、このような接着剤は、必要に応じて、硬化助剤、エネルギー線硬化性成分、および他の樹脂成分を含有していてもよい。
例えば、接着シートの用途がチップのダイボンド工程に用いられるフィルム状接着剤またはフリップチップ実装に用いられるアンダーフィルシートなどの場合、接着剤としては、好ましくはエポキシ系接着剤またはポリイミド系接着剤を用いることができる。
接着シートの用途がダイシング時のウエハ固定機能とダイボンド時のダイ接着機能とを同時に兼ね備えた、ダイシングダイボンディングフィルムの場合、接着剤としては、好ましくはアクリル系重合体などのバインダー成分およびエポキシ系接着剤を含み、また必要に応じて、エネルギー線硬化性化合物、エネルギー線硬化型重合体および硬化助剤などを含むものを用いることができる。
接着シートの用途が半導体ウエハの裏面保護膜の場合、接着剤としては、好ましくはアクリル系重合体などのバインダー成分、エポキシ系接着剤および硬化助剤を含み、また必要に応じて、エネルギー線硬化性化合物、エネルギー線硬化型重合体、フィラー、および着色剤などを含むものを用いることができる。
まず、本実施形態に係る接着シートの使用方法について説明する。
本実施形態に係る接着シートの使用方法は、本実施形態に係る接着シート100を使用する方法であって、以下説明する抜き加工工程およびカス上げ工程を備える方法である。
抜き加工部31は、図3に示すように、第2シート2における第2領域21b内に設けることが好ましい。また、抜き加工部31は、接着シート100の長さ方向にわたって、複数個所に設けられている。
抜き加工工程におけるハーフカットは、接着シート100が切断されないような切れ目4を入れることをいう。切れ目4により、接着剤層3および第2シート2は切断されるが、第1シート1は切断されない。なお、切れ目4は、接着シート100の第2シート2側から、第2シート2および接着剤層3を通り、第1シート1まで到達している。なお、切れ目4は、少なくとも、接着剤層3と第1シート1との界面まで到達していればよいが、接着剤層3を完全に切り込み、第1シート1の表面に、切込が形成されることが好ましい。
このようなハーフカットにおいては、公知の抜き刃を適宜用いることができる。
抜き加工工程におけるハーフカットは、抜き加工部31の全周にわたって施され、抜き加工部31が設けられる。
抜き加工部31以外の部分は、接着シート100から第2シート2を剥離する際に、一緒に剥離される連続状カス部32となる。
この補助テープ5を長さ方向にわたって貼付することにより、切れ目4を入れられている第2シート2を一体化することができる。そのため、後述するカス上げ工程において、接着剤層3の表面の第2シート2を剥離することができる。
補助テープ5としては、公知の粘着テープを用いることができる。
連続状カス部32は、第2シート2および補助テープ5とともに取り除かれる。この連続状カス部32を接着シート100から取り除くことにより、図5に示すように、抜き加工部31の形状に切り抜かれた接着剤膜が得られる。
ここで、抜き加工部31の平面視における形状は、特に限定されず、使用目的に応じて適宜変更できる。抜き加工部31の平面視における形状としては、多角形(三角形、四角形および五角形など)、円形、楕円形および星型などが挙げられる。
なお、本実施形態に係る接着シートの使用方法においては、カス上げ工程の後に、抜き加工部31を被着体に貼付する貼付工程を備えていてもよい。この貼付工程においては、第1シート1を剥離し、抜き加工部31を被着体に貼付する。
また、本実施形態に係る接着シートの使用方法においては、前記抜き加工工程、前記カス上げ工程および前記貼付工程が、インライン式の装置によって、連続して行われることが好ましい。
本実施形態によれば、次のような作用効果を奏することができる。
(1)連続状カス部32は、第2シート2とともに取り除かれる。連続状カス部32は、第1領域21aを含む領域において、第1シート1および第2シート2と接着している。そして、第1シート1の接着剤層3からの剥離力F1よりも、第1領域21aにおける第2シート2の接着剤層3からの剥離力F3の方が大きい。そのため、カス上げ工程において、連続状カス部32を構成する接着剤層3が第1シート1側に残ることを抑制できる。このようにして、カス上げ不良を十分に抑制できる。
(2)第2領域21bにおける第2シート2の接着剤層3からの剥離力F2よりも、第1シート1の接着剤層3からの剥離力F1の方が大きい。そのため、カス上げ工程において、第1シート1上に、抜き加工部31を残すことができる。
(3)本実施形態においては、抜き加工工程、カス上げ工程および貼付工程が、インライン式の装置によって、連続して行われることが好ましい。このように一連の工程が連続して行われることにより、接着シート100を効率よく使用でき、作業性および生産性を向上できる。
次に、本発明の第二実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態では、接着シート100に代えて接着シート100Aを用いた以外は第一実施形態と同様の構成であるので、接着シート100Aおよびその使用方法について説明し、それ以外の説明を省略する。
本実施形態に係る接着シート100Aは、図7に示すように、長尺状であり、第1シート1と、第2シート2と、接着剤層3と、を備えている。第1シート1および第2シート2は、接着剤層3の両面に設けられている。
第2シート2は、平面視において、図7に示すように、第1領域21aと、第2領域21bと、を有している。第1領域21aと、第2領域21bとは、接着剤層3からの剥離性が異なっている。また、第1領域21aは、第2シート2の平面視における幅方向の両端部を含んでいる。そして、第1領域21aは、第2シート2の平面視における幅方向の両端部の近傍だけでなく、平面視における長さ方向の一部において、平面視における幅方向の中央近傍まで設けられている。より具体的には、平面視において、複数の抜き加工部31の間の部分においては、第1領域21aが幅方向の中央近傍まで設けられている。
本実施形態によれば、前記第一実施形態における作用効果(1)〜(3)と同様の作用効果、並びに、下記作用効果(4)を奏することができる。
(4)第1領域21aは、第2シート2の平面視における幅方向の両端部の近傍だけでなく、平面視における長さ方向の一部において、平面視における幅方向の中央近傍まで設けられている。そのため、第二実施形態では、第1領域21aの面積が、前記第一実施形態における第1領域21aの面積よりも大きくなる。よって、カス上げ工程において、連続状カス部32を構成する接着剤層3が第1シート1側に残ることをより確実に抑制できる。
本発明は前述の実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、前述の実施形態では、所定形状に切り抜かれた接着剤膜を、チップのダイボンド工程に用いられるフィルム状接着剤、ダイシングダイボンディングフィルム、アンダーフィルシート、半導体ウエハの裏面保護膜などに用いられる接着剤膜として用いたが、これに限定されない。所定形状に切り抜かれた接着剤膜の用途としては、ラベル、ステッカーおよびワッペンなどが挙げられる。
前述の実施形態では、接着剤層3は平面視において全面にわたって設けられているが、これに限定されない。例えば、接着剤層3には、平面視において、接着剤が存在しない空間部が形成されていてもよい。
本実施形態に係る接着シートの一例として、第1シート1には、第1剥離層12が設けられ、接着剤層3と第1シート1とは、第1剥離層12を介して積層され、第2シート2には、第2剥離層22が設けられ、接着剤層3と第2シート2とは、第2剥離層22を介して積層され、第2シート2における第1領域21aの第2剥離層22に対し、プラズマ処理が施されている接着シートが挙げられる。
本実施形態に係る接着シートの一例として、第1シート1には、第1剥離層12が設けられ、接着剤層3と第1シート1とは、第1剥離層12を介して積層され、第2シート2には、第2剥離層22が設けられ、接着剤層3と第2シート2とは、第2剥離層22を介して積層され、第1シート1および第2シート2の材質がポリエチレンテレフタレートであり、第2シート2における第1領域21aの第2剥離層22に対し、プラズマ処理が施されている接着シートが挙げられる。
[実施例1]
第1シートとして下記の重剥離シートを準備し、第2シートとして下記の軽剥離シートを準備した。なお、第1シートおよび第2シートは、長尺状のシートである。
・第1シート(重剥離シート)
製品名:SP−PET38T124−2、リンテック株式会社製
厚み:38μm
基材シートの材質:ポリエチレンテレフタレート(PET)
・第2シート(軽剥離シート)
製品名:SP−PET381031、リンテック株式会社製
厚み:38μm
基材シートの材質:ポリエチレンテレフタレート(PET)
剥離層への処理:あり(剥離層の幅方向の両端部近傍で、両端部に沿った領域にプラズマ処理を施し、第1領域を形成した。)
次に、第1シートおよび第2シートの間に、乾燥後の厚みが25μmの接着剤層を形成して、接着シートを得た。具体的には、まず、第1シート(重剥離シート)に、接着剤を、乾燥後の厚さが25μmとなるようにナイフコーターで塗工し、その後乾燥して接着剤層を形成した。次いで、第2シート(軽剥離シート)を積層して巻き取り、長尺状の接着シートを得た。
次いで、得られた長尺状の接着シートを230mmの幅に裁断した。第2シート(軽剥離シート)に形成された第1領域は、第2シートの平面視における幅方向の両端部を含み、端部からの距離は約10mmであった。
試料の大きさ:幅100mm×長さ100mm
引っ張り速度:300mm/分
引っ張り方向:180°方向
装置内温度:30℃
抜き加工部の直径:200mm
フィード速度:20mm/sec
第2シートに第1領域を形成しないこと以外は、実施例1と同様にして、接着シートを得た。
そして、得られた接着シートについて、実施例1と同様にして、接着シートから連続状カス部を取り除いた。このときの接着剤層の状態を確認したところ、連続状カス部における接着剤層の幅方向における端部が重剥離シートから剥がれずに、長さ方向に伸びて切れていた。
第2シートとして下記の軽剥離シートを用い、剥離層への処理を下記のように変更した以外は、実施例1と同様にして、接着シートを得た。
・第2シート(軽剥離シート)
製品名:SP−PET381031、リンテック株式会社製
厚み:38μm
基材シートの材質:ポリエチレンテレフタレート(PET)
剥離層への処理:あり(剥離層の幅方向の両端部近傍で、両端部に沿った領域に加え、平面視において複数の抜き加工部の間の部分においては、幅方向の中央近傍を含む領域(図7参照)に、プラズマ処理を施し、第1領域を形成した。)
そして、得られた接着シートについて、実施例1と同様にして、接着シートから連続状カス部を取り除いた。このときの接着剤層の状態を確認したところ、連続状カス部における接着剤層の切れ、抜き加工部における接着剤層の泣き別れは発生していなかった。
Claims (5)
- 接着剤層と、前記接着剤層の両面に設けられた第1シートおよび第2シートと、を備え、
前記第2シートの平面視における互いに対向する端部または該端部の近傍(前記端部の近傍は、前記第2シートの平面視における前記端部とシート中央との間の前記端部側の一部であり、前記互いに対向する端部の間の距離をLとした場合に、前記端部からの距離がL/23以下となる部分である)を含む第1領域と、前記第1領域以外の第2領域とは、前記接着剤層からの剥離性が異なっており、
前記第1シートの前記接着剤層からの剥離力をF1とし、
前記第2領域における第2シートの前記接着剤層からの剥離力をF2とし、
前記第1領域における第2シートの前記接着剤層からの剥離力をF3とした場合に、下記数式(F1)の条件を満たす
ことを特徴とする接着シート。
F2<F1<F3 ・・・(F1) - 請求項1に記載の接着シートにおいて、
前記第1シートには、第1剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第1シートとは、前記第1剥離層を介して積層され、
前記第2シートには、第2剥離層が設けられ、
前記接着剤層と前記第2シートとは、前記第2剥離層を介して積層される
ことを特徴とする接着シート。 - 請求項1または請求項2に記載の接着シートにおいて、
前記接着シートが、長尺状であり、
前記第1領域は、前記第2シートの平面視における幅方向の両端部または該両端部の近傍を含む
ことを特徴とする接着シート。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の接着シートを使用する方法であって、
前記接着シートにおける前記接着剤層および前記第2シートに切れ目を入れるハーフカットを施して、前記接着剤層を、抜き加工部と、前記抜き加工部以外の連続状カス部とに分ける工程と、
前記接着シートから前記連続状カス部を取り除く工程と、
を備えることを特徴とする接着シートの使用方法。 - 請求項4に記載の接着シートの使用方法において、
前記抜き加工部は、前記第2領域内に設けられる
ことを特徴とする接着シートの使用方法。
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