JP5473283B2 - 半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ - Google Patents
半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5473283B2 JP5473283B2 JP2008251441A JP2008251441A JP5473283B2 JP 5473283 B2 JP5473283 B2 JP 5473283B2 JP 2008251441 A JP2008251441 A JP 2008251441A JP 2008251441 A JP2008251441 A JP 2008251441A JP 5473283 B2 JP5473283 B2 JP 5473283B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- pressure
- sensitive adhesive
- semiconductor processing
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 69
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 67
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 67
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 66
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 112
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 14
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 13
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 3
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M Carbamate Chemical compound NC([O-])=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002507 cathodic stripping potentiometry Methods 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005648 ethylene methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011086 glassine Substances 0.000 description 1
- 229920000554 ionomer Polymers 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920001083 polybutene Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 1
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Description
〔第1の実施形態〕
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体加工用テープの平面図であり、図2は同実施形態に係る半導体加工用テープの断面図(図1におけるX−X断面図)である。
図4は本発明の第2の実施形態に係る半導体加工用テープにおける粘着シートの平面図である。上記第1の実施形態に係る半導体加工用テープ1の粘着シート3は、図4に示すような形状の粘着シート3Aであってもよい。
図5は本発明の第3の実施形態に係る半導体加工用テープにおける粘着シートの平面図である。上記第1の実施形態に係る半導体加工用テープ1の粘着シート3は、図5に示すような形状の粘着シート3Bであってもよい。
図6は本発明の第4の実施形態に係る半導体加工用テープにおける粘着シートの平面図である。上記第1の実施形態に係る半導体加工用テープ1の粘着シート3は、図6に示すような形状の粘着シート3Cであってもよい。
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
アクリル酸ブチル90質量部とアクリル酸10質量部とを共重合した重量平均分子量600,000の共重合体の34%トルエン溶液100質量部に対し、重量平均分子量3,000、4官能の紫外線硬化型ウレタンアクリレートオリゴマー43質量部および多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン社製,コロネートL)5質量部を混合し、エネルギー線硬化型粘着剤組成物を得た。
粘着シート3の形状を図8に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。実施例2における粘着シート3の先端辺33の凸方向の距離Dは2mmであった。
粘着シート3の形状を図9に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。実施例3における粘着シート3の先端辺33の凸方向の距離Dは5mmであった。
粘着シート3の形状を図10に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。実施例4における粘着シート3の先端辺33の凸方向の距離Dは32mmであった。
粘着シート3の形状を図11に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。実施例5における粘着シート3の先端辺33の直線部分の長さLは50mm、凸方向の距離Dは7mmであった。
粘着シート3の形状を図12に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。実施例5における粘着シート3の先端辺33の直線部分の長さLは90mm、凸方向の距離Dは7mmであった。
粘着シート3の形状を図13に示す形状にする以外、実施例1と同様にして半導体加工用テープのロールを作製した。比較例1における粘着シート3の先端辺33は直線状であり、すなわち凸方向の距離Dは0mmであった。
マウンターとしてリンテック社製のRAD−2500m/8を使用して、実施例および比較例で得られた半導体加工用テープのロールから粘着シート3を繰り出し、粘着シート3を図14に示すリングフレーム5の中央部に、図3に示すように貼付した。具体的には、粘着シート3の長手方向とリングフレーム5の開口部51の長手方向とが一致するように粘着シート3を繰り出して、粘着シート3の先端辺33(実施例の場合、凸状の先端辺33の頂点/頂辺部分)から漸次リングフレーム5に接触するように、粘着シート3を貼付した。
2…剥離シート
3,3A,3B,3C…粘着シート
3a…基材
3b…粘着剤層
31,31A,31B,31C…側辺
32…中間辺
33,33A,33B,33C…先端辺
33a…円弧状部分
33b…直線状部分
33Ca…上底部
34,34A,34B,34C…後端辺
4…補助シート
4a…基材
4b…粘着剤層
5…リングフレーム
51…開口部
6…樹脂封止物
Claims (9)
- 基材と粘着剤層とを備えた半導体加工用の粘着シートであって、
相対向する2辺は互いに平行な直線状になっており、
前記直線状の2辺の間には、前記粘着シートが被着体に貼付されるときに、前記被着体に最初に接触する先端辺が位置しており、
前記先端辺は、前記粘着シートの外側に凸になっており、前記凸には凹状部がなく、
前記先端辺の凸方向の距離は、前記粘着シートの貼付方向の全長の0.5〜15%の長さである
ことを特徴とする半導体加工用粘着シート。 - 前記先端辺には、前記互いに平行な直線状の2辺に垂直な直線部分がないことを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 前記先端辺には、前記互いに平行な直線状の2辺に垂直な直線部分が存在し、前記直線部分の長さは90mm以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 前記先端辺は、頂点部分に円弧状部分を有するとともに、前記円弧状部分の各端部に連続する直線状部分を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 前記先端辺は、円弧状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 前記先端辺は、底辺のない三角形状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 前記先端辺は、下底のない台形状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体加工用粘着シート。
- 長尺の剥離シートと、
前記剥離シートの剥離面上に積層された、請求項1〜7のいずれかに記載の粘着シートと
を備え、ロール状に巻き取られた半導体加工用テープであって、
前記粘着シートにおける前記互いに平行な直線状の2辺は、それぞれ前記半導体加工用テープの幅方向両側部に近接しており、
前記粘着シートにおける前記先端辺は、前記粘着シートが前記半導体加工用テープのロールから繰り出されるときに繰り出し先端部に位置している
ことを特徴とする半導体加工用テープ。 - 前記剥離シートの剥離面上には、前記粘着シートとは異なる位置に補助シートが積層されていることを特徴とする請求項8に記載の半導体加工用テープ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008251441A JP5473283B2 (ja) | 2008-09-29 | 2008-09-29 | 半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008251441A JP5473283B2 (ja) | 2008-09-29 | 2008-09-29 | 半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010083921A JP2010083921A (ja) | 2010-04-15 |
JP5473283B2 true JP5473283B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=42248205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008251441A Active JP5473283B2 (ja) | 2008-09-29 | 2008-09-29 | 半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5473283B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6168553B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2017-07-26 | 日立マクセル株式会社 | ダイシング用粘着テープおよび半導体チップの製造方法 |
JP7045201B2 (ja) * | 2018-01-24 | 2022-03-31 | リンテック株式会社 | 長尺積層シートおよびその巻収体 |
CN111629892A (zh) * | 2018-01-24 | 2020-09-04 | 琳得科株式会社 | 长条层叠片的卷料 |
CN111655470A (zh) * | 2018-01-24 | 2020-09-11 | 琳得科株式会社 | 长条层叠片及其卷料 |
WO2019146607A1 (ja) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | リンテック株式会社 | 長尺積層シートおよびその巻収体 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0864558A (ja) * | 1994-08-02 | 1996-03-08 | Texas Instr Inc <Ti> | マイクロ電子機械式デバイスを製造する方法 |
JP2005203749A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-07-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | ウェハ加工用テープおよびその製造方法 |
-
2008
- 2008-09-29 JP JP2008251441A patent/JP5473283B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010083921A (ja) | 2010-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102544301B1 (ko) | 수지막 형성용 시트 적층체 | |
KR101817408B1 (ko) | 적층 필름의 제조 방법, 적층 필름 및 그것을 이용한 반도체 장치의 제조 방법 | |
TWI724109B (zh) | 黏著薄片及其使用方法 | |
JP5473283B2 (ja) | 半導体加工用粘着シートおよび半導体加工用テープ | |
US20130273718A1 (en) | Tape for processing wafer, method for manufacturing tape for processing wafer, and method for manufacturing semiconductor device | |
KR20160135717A (ko) | 전자 소자 밀봉용 적층 시트 및 전자 디바이스의 제조 방법 | |
JP5379377B2 (ja) | 表面保護用シートおよび半導体ウエハの研削方法 | |
WO2018101090A1 (ja) | 両面粘着シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP2008311514A (ja) | 半導体ウエハの研削方法および表面保護用シート | |
US9523023B2 (en) | Adhesive sheet | |
JP4902812B2 (ja) | 粘接着剤層付き半導体チップの製造方法 | |
JP5438522B2 (ja) | ダイシング−ダイボンディングテープ及びその製造方法 | |
JP6170678B2 (ja) | 半導体ウエハ加工用シートおよびその製造方法 | |
JP5323331B2 (ja) | ウェハ加工用シート | |
JP5666659B2 (ja) | ウェハ加工用シート | |
JP6278178B2 (ja) | ウエハ加工用テープ | |
JP6879716B2 (ja) | 半導体用シートの製造方法および製造装置、並びに切り込み刃 | |
JP2010192535A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4785080B2 (ja) | ウエハ加工用テープ | |
JP2017139409A (ja) | ダイボンドダイシングシート | |
TWI712669B (zh) | 黏著薄片及其使用方法 | |
JP2013129723A (ja) | 粘着シートおよび半導体チップの製造方法 | |
TWI615890B (zh) | 晶圓加工用膠帶 | |
JP2014135336A (ja) | 半導体ウエハ加工用シートおよびその製造方法 | |
WO2015046069A1 (ja) | ダイシング-ダイボンディングテープ及び粘接着剤層付き半導体チップの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5473283 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |