ATE96235T1 - Filmherstellungverfahren und einstellvorrichtung dazu. - Google Patents
Filmherstellungverfahren und einstellvorrichtung dazu.Info
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- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13435887A JP2673987B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 膜の引剥し方法 |
JP13435787A JPH0812418B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | ペリクルの製造方法 |
EP88304851A EP0293239B1 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungverfahren und Einstellvorrichtung dazu |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ATE96235T1 true ATE96235T1 (de) | 1993-11-15 |
Family
ID=27231591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
AT88304851T ATE96235T1 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Filmherstellungverfahren und einstellvorrichtung dazu. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | ATE96235T1 (de) |
-
1988
- 1988-05-27 AT AT88304851T patent/ATE96235T1/de not_active IP Right Cessation
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