DE3885003T2

DE3885003T2 - Filmherstellungverfahren und Einstellvorrichtung dazu.

Info

Publication number: DE3885003T2
Application number: DE88304851T
Authority: DE
Inventors: Makoto Fujimoto; Toshio Kaya; Hiroaki Nakagawa
Original assignee: Mitsui Petrochemical Industries Ltd
Current assignee: Mitsui Chemicals Inc
Priority date: 1987-05-28
Filing date: 1988-05-27
Publication date: 1994-02-10
Anticipated expiration: 2008-05-28
Also published as: KR880014664A; EP0513859A2; US4828640A; CA1320070C; ATE168789T1; EP0293239B1; CA1300857C; EP0513859B1; DE3856223D1; DE3885003D1; EP0293239A3; EP0513859A3; DE3856223T2; KR960016311B1; EP0293239A2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Schutzfilmen, die als Schutzbeläge für Photomasken, Strichplatten und dergleichen verwendet werden, sowie eine Vorrichtung zu deren Herstellung. Im besonderen betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von Filmen, das beim Abziehen eines in einem Herstellungsprozeß auf einem Substrat gebildeten Films und beim Ankleben des abgezogenen Films an eine Seitenoberfläche eines Rahmens angewandt wird, und eine Vorrichtung, die zum Abziehen des gebildeten Films verwendet wird.
In den letzten Jahren sind Schutzfilme, typisiert durch Überzüge, in zunehmendem Umfang an Photomasken und Strichplatten (nachfolgend einfach Masken genannt) mit dem Zweck vorgesehen worden, Oberflächen mit Maskenmustern zu schützen und um zu verhindern, daßsich Fremdkörper, z.B. Staubteilchen, darauf ablagern. Um einen Überzug nach einem herkömmlichen Verfahren herzustellen, wird zunächst ein Film auf einem Substrat durch Schleuderbeschichtung oder dergleichen gebildet, dann abgezogen und an einer Seitenoberfläche eines Überzugsrahmens angeklebt. Danach wird ein Teil des über den Überzugsrahmen hinausragenden Films abgeschnitten.
An dieser Stelle erfolgt zuallererst das Abziehen des Films von dem Substrat herkömmlicherweise wie folgt: Stücke eines breiten Klebebands mit einem kleinen Elastizitätsmodul werden an einem Rand des Films in der Form eines # angeklebt, und der Film wird sorgfältig von einer Seite abgezogen, indem das Klebeband manuell gehalten wird. Nach dem Lösen des Films werden die Stücke des an beiden Seiten des Films vorhandenen Klebebands von Hand gehalten, und der Film wird auf einen Überzugsrahmen mit einem auf dessen seitlichen Endoberflächen aufgebrachten Klebstoff gelegt und daran angeklebt. Da jedoch der Film, wenn er abgezogen wird, dünn ist, wird er teilweise gedehnt und neigt folglich dazu, beschädigt zu werden, es sei denn, der Film wird mit einer konstanten Geschwindigkeit und gleichmäßig senkrecht zu der Abziehrichtung abgezogen. Es war jedoch nicht einfach, den Film gleichmäßig mit einer konstanten Geschwindigkeit abzuziehen, ohne ein Zerbrechen zu verursachen.
Zweitens erfolgt das Aufkleben des Films auf den Überzugsrahmen herkömmlicherweise durch Halten der Stücke des in der Form eines # um den Rand des Films geklebten erwähnten Klebebands mit beiden Händen, um den Film von dem Substrat abzuziehen, und durch Auflegen des Films auf den Überzugsrahrnen, dessen mit dem Klebstoff beschichtete Seite nach oben gerichtet ist. Wenn jedoch der Film durch einfaches Auflegen auf den Überzugsrahmen aufgeklebt wird, kann auf der Fllmoberfläche eine Schlaffheit auftreten, und es ist nicht möglich, den Film gleichmäßig auf der gesamten Oberfläche der Seltenfläche des Rahmens aufzukleben, so daß Blasen in den aufgeklebten Teil eindringen und eine unebene Oberfläche verursachen können. Aus diesem Grund ist es wünschenswert, den Film auf dem Rahmen so anzubringen, daß der Film durch leichtes und gleichmäßiges Anlegen einer Spannung an den Film von den vier Seiten in einen gespannten Zustand gebracht wird. Es ist jedoch nicht leicht, eine Spannung an den Film in eine ebene Anordnung in einer Weise anzulegen, daß keine übermäßige Spannung oder Schlaffheit in der Filmoberfläche verursacht wird. Außerdem gibt es Fälle, wo der auf dem Rahmen aufgebrachte Klebstoff zu den inneren und äußeren Seiten des Rahmens verdrängt wird, und der verdrängte Klebstoff den Film dazu bringt, an den Kanten des Films, wie Fig. 9 zeigt, anzuschwellen. Wenn ein solcher geschwollener Teil vorhanden ist, besteht die Möglichkeit, daß der Film bei dem geschwollenen Teil zerbrochen wird, wenn der Überzug durch eine Vorrichtung zum Anbringen des Überzugs an der Maske gehalten wird. Das Anlegen einer starken Spannung, um ein Anschwellen infolge des verdrängten Klebstoffs auszuschließen, ist nicht wünschenswert, da der Film dazu neigt, zerbrochen zu werden.
Drittens werden die Schutzfilme zum Zeitpunkt ihrer Herstellung oder Anwendung (der Zeitpunkt, wenn sie an der Maske angebracht werden) im allgemeinen durch Luftstrahlen gereinigt, wobei die Filmoberfläche vibriert. Da jedoch die Dicke des Überzugsfilms sehr klein ist, kann an den Kanten des Überzugsrahmens ein Bruch auftreten.
Als andere Verfahren zur Herstellung von Schutzfilmen sind die folgenden Verfahren vorgeschlagen worden: (1) ein Verfahren, bei dem ein lösbarer Film auf einem Substrat durch Verwendung eines Materials gebildet wird, das eine Fest-Gel-Umwandlung erfahren kann, und dann ein dünner Film darauf gebildet wird. Dieses Laminat wird dann in warmes Wasser getaucht, und der ablösbare Film wird einer Fest-Gel- Umwandlung unterzogen, um den dünnen Film zu veranlassen, in dem Wasser zu schimmen. Danach wird dieser dünne Film mit Hilfe eines Rahmens aus dem Wasser ausgeschöpft und dann einer Heizung und Trocknung unterzogen (Japanese Patent Laid-Open No. 182730/1984). (2) ein Verfahren, bei dem, nachdem ein Film auf einem Substrat gebildet ist, ein Überzugsrahmen mit einem daran angebrachten Klebstoff gegen den Film gedrückt wird, damit der Film daran ankleben kann1 und nach dem Anlkeben der Überzugsrahmen zusammen mit dem Film von dem Substrat getrennt wird. (3) ein Verfahren, bei dem, nachdem ein Film auf einem Substrat gebildet ist, ein Rahmen mit einem daran angebrachten Klebstoff auf das Laminat gelegt wird, um anzukleben. Diese Struktur wird im Wasser getaucht, um den Film von dem Substrat zu trennen, und der Rahmen mit dem daran befestigten Film wird von dem Wasser abgehoben und kann dann trocknen (Japanese Patent Laid-Open No. 237450/1985). Und (4) ein Verfahren, bei dem, nachdem ein Film auf einem Substrat gebildet ist, das Substrat in deionisiertem Wasser eingeweicht wird, um die Verbindung zu lösen. Ein Aluminium-Abziehring ist an der Filmoberfläche angebracht und wird benutzt, um den Film abzuziehen (Dokument EP-A-0119387). Bei den Fällen (1), (3) und (4) ist es jedoch erforderlich, den Film nach seiner Wiedergewinnung aus dem Wasser zu trocknen, und diese Verfahren können nicht auf einen lösbaren Film oder einen Film angewandt werden, dessen Oberfläche mit einer Oberflächenbehandlung mit einer löslichen Substanz versehen worden ist. Ferner können im Fall des früheren Verfahrens, bei dem der in dem Wasser schwimmende dünne Film durch den Rahmen ausgeschöpft wird, Falten oder Erschlaffungen in der Filmoberfläche auftreten. Ferner besteht bei dem Fall (2) oben, wenn der Rahmen gegen das Substrat gepreßt wird, die Gefahr, daß das Substrat beschädigt wird und der Film während der Reinigung durch den Luftstrom zerbrochen werden kann. Außerdem muß der Film so abgezogen werden, daß er von dem Teil, wo die Innenseite des Rahmens an die Endoberfläche des Substrats geklebt ist, abgehoben wird. Da jedoch der Raum zwischen dem Film und dem Substrat den Zustand eines Vakuums annimmt, ist eine starke Kraft zum Abziehen des Films erforderlich. Daher gibt es Fälle, wo der Film zerbrochen und der Rahmen einer Deformation infolge einer lokal angelegten starken Kraft unterworfen wird.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Abziehen eines dünnen Films von einem Substrat mit Hilfe einer Vorrichtung bereitgestellt, das die Schritte umfaßt:
Pressen einer Abziehvorrichtung, die durch einen flexiblen kreisförmigen Rahmen gebildet wird, gegen den dünnen auf dem Substrat aufgebrachten Film, und Abziehen des dünnen Films zusammen mit der Abziehvorrichtung von dem Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß der ringförmige Rahmen ein darauf aufgebrachtes Klebemittel besitzt und mit mindestens einem Griffteil, z.B. ein Ansatz, ein Handgriff, eine Nase oder dergleichen, der seitlich über den Rand des Substrats hinausragt, oder der von dem Rand des Rahmens nach oben herausragt, versehen ist, und daß der ringförmige Rahmen einen Elastizitätsmodul von 15,000 - 30,000 kg/cm² und eine Biegefestigkeit von 50 - 120 g/10 cm besitzt, und daß der Abziehschritt das Ergreifen des Griffteils der Abziehvorrichtung umfaßt, nachdem die Abziehvorrichtung und der dünne Film zusammengeklebt worden sind, und Ziehen des Griffteils der Abziehvorrichtung nach oben.
Wenn ein Teil der Abziehvorrichtung ergriffen und von dem Substrat weggezogen wird, wird die Abziehvorrichtung von dem Substrat getrennt, wobei sie in der Form eines Auslegers gebogen wird, und der an der Abziehvorrichtung angeklebte Film wird nach und nach von einer Randkante des Substrats abgezogen.
Das Verfahren enthält bevorzugt die Schritte:
Aufkleben eines Klebebands bei einem Abzugsstartbereich an einem Randbereich des auf einem Substrat aufgebrachten Films in einer Weise, daß das Klebeband über das Substrat hinausragt, Pressen der Abziehvorrichtung gegen den auf dem Substrat aufgebrachten dünnen Film, so daß die Abziehvorrichtung auf das Klebeband gelegt wird, und Ergreifen eines Teils der nach außen über das Klebeband hinausragenden Abziehvorrichtung, um dadurch den dünnen Film von dem Substrat abzuziehen.
Somit ist möglich, den Film von der Endoberfläche abzuziehen, auch wenn die anhaftenden Teile der Vorrichtung auf dem Substrat mit dem darauf aufgebrachten Film zu einem gewissen Grad versetzt sind.
Geeigneterweise besitzt die Abziehvorrichtung einen an einer Oberfläche davon aufgebrachten Klebstoff, um an den auf dem Substrat gebildeten Film angeklebt zu werden, um dadurch den vorerwähnten Nachteil zu überwinden.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung umfaßt das Verfahren ferner die Schritte:
Abschrägen einer oder beider Kanten eines Überzugsrahmens, gebildet durch eine Innenfläche und eine Endfläche davon, an der ein Überzugsfilm haften soll, und einer Kante des Überzugsrahmens, die durch eine Außenfläche und eine Endfläche davon gebildet wird,
Aufbringen eines Klebemittels auf die abgeschrägte Endfläche des Überzugsrahmens,
Strecken und Aufsetzen des Überzugsfilms auf den Überzugsrahmen, auf dem das Klebemittel aufgebracht ist, und
Abschneiden eines Teils des Überzugsfilms entlang der Außenfläche des Überzugsrahmens.
Daher wird bei der vorliegenden Erfindung in einem Verfahren zum Abziehen eines Films ein kreisförmiger, flexibler provisorischer Rahmen an einen Film, der auf einem Substrat gebildet ist, angeklebt, wodurch es möglich ist, den Film nach und nach und gleichmäßig von den angeklebten Teilen an beiden Seiten abzuziehen, da ein Teil davon gehalten und abgezogen wird. Dies erleichtert das Abziehen mit Hilfe einer mechanischen Einrichtung, z.B. eines Roboters, und erlaubt es, den Film mit einer festen Geschwindigkeit abzuziehen, und macht es möglich, den Film in einem ebenen Zustand und ohne darin erzeugte Welligkeit zu halten, um dadurch die oben beschriebenen Nachteile des Stands der Technik zu überwinden.
Weiter kann es Probleme überwinden, daß, wenn der Film gegen einen Überzugsrahmen mit leicht an den Film angelegter Spannung gedrückt wird, der Film an einer Kante des Rahmens infolge eines verdrängten Klebemittels aufgebläht wird, und daß der Film durch eine Kante des Rahmens während der Luftreinigung zerbrochen wird.
Diese Erfindung wird weiter auf dem Weg eines nichteinschränkenden Beispiels mit Verweis auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, bei denen:
Fig. 1 eine Draufsicht einer Abziehvorrichtung der Erfindung ist, die auf ein Substrat mit einem darauf gebildeten Film geklebt ist;
Fig. 2 eine Schnittansicht davon ist;
Fig. 3 eine Schnittansicht davon während des Abziehens ist;
Fig. 4 bis 6 Zeichnungen sind, die ein Verfahren zum Prüfen der Biegefestigkeit der Abziehvorrichtung veranschaulichen, wobei
Fig. 4 eine Draufsicht eines Prüfstücks ist;
Fig. 5 eine Schnittansicht vor dem Ziehen ist;
Fig. 6 eine Schnittansicht ist, die einen Zustand nach dem Ziehen veranschaulicht;
Fig. 7 eine Schnittansicht wichtiger Teile ist, die einen Zustand darstellt, nachdem ein Überzugsfilm angeklebt worden ist;
Fig. 8 eine Schnittansicht wichtiger Teile ist, die einen Zustand darstellt, nachdem der Überzugsfilm angeklebt worden ist; und
Fig. 9 eine Schnittansicht wichtiger Teile eines herkömmlichen Beispiels ist.
Bei der vorliegenden Erfindung wird ein Film von einem Substrat mit einer Abziehvorrichtung abgezogen, die durch einen flexiblen kreisförmigen Rahmen mit einem darauf aufgebrachten Klebstoff gebildet wird. Der Rahmen wird gegen den auf einem Substrat aufgebrachten dünnen Film gedrückt, Ergreifen eines Teils der Abziehvorrichtung, nachdem die Abziehvorrichtung und der dünne Film zusammengeklebt sind, und Abziehen der Abziehvorrichtung und des Films von dem Substrat, um dadurch den dünnen Film von dem Substrat abzuziehen.
Da die Vorrichtung nachgiebig ist, wenn ein Teil der Abziehvorrichtung ergriffen und von dem Substrat weggezogen wird, wird die Abziehvorrichtung von dem Substrat getrennt, während sie in der Form einer Konsole gebogen wird, und der an die Abziehvorrichtung angeklebte Film wird nach und nach von einem Randkantenbereich des Substrats abgezogen. Ein Teil der Randkante der Vorrichtung, der seitlich über das Substrat hinausragt, kann ergriffen werden, aber bevorzugt wird jedoch ein besonderer Teil, z.B. ein Ansatz, ein Handgriff, eine Nase oder dergleichen, integral mit der Vorrichtung gebildet, und dieser Teil wird ergriffen.
Wie oben beschrieben, ist gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung die Abziehvorrichtung kreisförmig und flexibel, so daß, wenn ein Teil der Abziehvorrichtung ergriffen und abgezogen wird, sich die Abziehvorrichtung in der Form einer Konsole biegt und der Film abgezogen werden kann, und das Abziehen nach und nach bewirkt werden kann. Daher kann selbst ein dünner Film, der dazu neigt, zu zerreisen, wenn er mit einem Mal stark abgezogen wird, abgezogen werden, ohne zerrissen zu werden. Ferner kann durch Ergreifen eines Teils der Vorrichtung und durch einfaches Wegziehen der Vorrichtung das Abziehen gleichmäßig an den angeklebten Bereichen, die senkrecht zu der Abziehrichtung verlaufen, durchgeführt werden, und der Film kann daher relativ gleichmäßig abgezogen werden, auch wenn die Abziehvorrichtung nicht an einer Mehrzahl von Stellen weggezogen wird. Folglich ist es unwahrscheinlich, daß lokales Erschlaffen oder übermäßige Spannung in der Filmoberfläche auftritt. Der Film, der von dem Substrat abgezogen wird, ist an der Vorrichtung angeklebt und wird dadurch gehalten, kann in einem ebenen Zustand gehalten werden, und Falten oder Erschlaffung kann insoweit nicht auftreten als die Vorrichtung nicht verdreht oder gebogen wird, so daß die Handhabung erleichtert werden kann. Da es ferner möglich ist, das Abziehen durch Verwendung einer mechanischen Einrichtung, z.B. eines Roboters, auszuführen, trägt die Erfindung Kraft der oben beschriebenen Aspekte zur Arbeitsersparnis bei und verbessert die betriebliche Leistungsfähigkeit. Da außerdem das Abziehen leicht mit einer festen Geschwindigkeit durchgeführt werden kann, ist es unwahrscheinlich, daß ein Bruch in dem Film auftritt.
Das Verfahren ist typischerweise auf Schutzfilme anwendbar, die auf Masken angebracht werden, kann aber ebensogut auf Filme in anderen Gebieten angewandt werden.
Wenn der auf dem Substrat aufgebrachte Film abgezogen wird, ist es wichtig, ihn von einer Kante des Substrats abzuziehen. Wenn versucht wird, ihn von einer Stelle abzuziehen, die von der Kante des Substrats entfernt ist, nimmt der Raum zwischen dem Substrat und dem Film ein Vakuum an, so daß eine relativ starke Kraft erforderlich ist, und wenn Luft in diesen Raum eintritt, um das Vakuum aufzuheben, tritt plötzlich ein Abblättern auf. Daher kann eine Beschädigung des Films, die einen Bruch zur Folge hat, wahrscheinlich auftreten.
Wenn das Abziehen durch Verwendung der vorerwähnten Abzlehvorrichtung erfolgt, wird der Klebstoff an diese Vorrichtung angebracht und die Vorrichtung wird gegen den dünnen Film auf dem Substrat gedrückt, um, wie oben beschrieben, das Ankleben zu bewirken. Jedoch gibt es, abhängig von einer Stelle oder der Viskosität des Klebstoffs, Fälle, wo sich der Klebstoff nicht zu der Kante des Substrats ausbreitet. Folglich wird in diesem Fall das Abziehen von einer Stelle bewirkt, die von der Kante des Substrats entfernt ist, und das vorerwähnte Problem kann leicht auftreten. Es ist möglich, den Klebstoff in Bereichen anzubringen, die nahe an der Umfangskante der Abziehvorrichtung liegen, oder dem Klebstoff zu erlauben, sich ausreichend auf der Endfläche auszubreiten, wenn die Vorrichtung nach dem Auftragen eines Klebstoffs mit einer guten Fließfähigkeit gegen den Film gedrückt wird. In diesem Fall wird der Klebstoff oft aus den Endflächen herausgedrückt, und eine starke Kraft ist erforderlich, den an der Kantenfläche des Substrats angeklebten Film abzuziehen. Aus diesem Grund tritt ein plötzliches Abblättern auf, das den Film möglicherweise beschädigt. Wenn die Vorrichtung angeklebt wird, ist daher nötig, die Positionierung so auszuführen, daß der Klebstoff bis zu den Kanten der Endflächen reicht, aber nicht daraus hervortritt. Eine solche Positionierung beeinhaltet jedoch einen feinfühligen Vorgang und ist schwierig durchzuführen.
Eine weitere Ausführung der Erfindung überwindet das vorerwähnte Problem und macht es möglich, den Film von der Endfläche abzuziehen, auch wenn die anhaftenden Bereiche der Vorrichtung auf dem Substrat mit dem darauf aufgebrachten Film zu einem gewissen Grad versetzt sind.
Gemäß dieser Ausführung wird ein Klebeband bei einem Abziehanfangsbereich bei einem Randbereich des auf einem Substrat aufgebrachten Films so aufgeklebt, daß das Klebeband über die Kante des Substrats hinausragt. Eine Abziehvorrichtung, gebildet durch einen flexiblen kreisförmigen Rahmen mit einem darauf aufgebrachten Klebstoff, wird so gegen den auf dem Substrat aufgebrachten dünnen Film gedrückt, daß die Abziehvorrichtung auf das Klebeband aufgesetzt wird, und ein Teil der über das Klebeband nach außen überstehenden Abziehvorrichtung wird verwendet, um den dünnen Film von dem Substrat abzuziehen.
Daher ist es nicht nötig, das Ankleben durch genaues Positionieren der Abziehvorrichtung so durchzuführen, daß die Abziehvorrichtung mit der Endfläche des Substrats ausgerichtet sein wird. Wenn die Abziehvorrichtung auf dem Substrat in geeigneter Weise so positioniert wird, daß die Abziehvorrichtung lediglich auf das bei der Abziehanfangsposition aufgeklebte Klebeband gelegt wird, wird das Abziehen des Films von der Endfläche möglich, selbst wenn die Position der Abziehposition zu einem gewissen Grad versetzt ist. Folglich wird die Häufigkeit, wo der Film während des Abziehens beschädigt wird, wesentlich vermindert, so daß die Produktionsausbeute verbessert wird.
Bei den oben beschriebenen Aspekten der Erfindung besteht der Grund für die Verwendung einer flexiblen Abziehvorrichtung darin, daß, wenn die Vorrichtung aus einem starren Material besteht, das Abziehen auf einmal über die ganze Oberfläche des Films erfolgt, so daß eine starke Kraft erforderlich ist, und der Film daher leicht zerbrochen werden kann. Dennoch ist unerwünscht, wenn die Vorrichtung hochelastisch und sehr flexibel ist oder eine kleine Elastizität hat und schwer zu biegen ist. Wenn die Vorrichtung hochelastisch und sehr flexibel ist, und wenn ein Teil der Vorrichtung durch einen Roboter ergriffen wird, um den Film zu halten, senkt sich das freie Ende der Vorrichtung, und es wird schwierig, die Vorrichtung korrekt auf den auf dem Substrat angebrachten Film zu legen. Als Folge davon können die anhaftenden Teile leicht versetzt werden, oder es wird unmöglich, das Ankleben aller Teile auszuführen. Auch wenn der von dem Substrat durch Ankleben der Vorrichtung daran abgezogene Film in einem folgenden Vorgang an einen Rahmen angeklebt wird, kann der Film leicht einer Verformung oder Erschlaffung infolge der Verformung der Vorrichtung unterliegen, die es unmöglich macht, den Film auf dem Rahmen zu strecken. Dies hat einen verschlechterten Handhabungswirkungsgrad zur Folge. Wenn indessen die Elastizität klein ist und die Vorrichtung schwer zu biegen ist, kann das Abziehen des Films nicht stetig erfolgen und neigt dazu, intermittierend ausgeführt zu werden. Als Folge können sich zahlreiche Falten senkrecht zu der Abziehrichtung bilden.
Geeigneterweise umfaßt erfindungsgemäß die Abziehvorrichtung zum Abziehen eines auf einem Substrat gebildeten Films einen kreisförmigen Rahmen mit einem Elastizitätsmodul von 15,000 - 35,000 kg/cm² und einer Biegefestigkeit von 50 - 120 g/10 cm. Ein Klebstoff wird an einer Oberfläche davon angebracht, so daß sie an dem auf dem Substrat gebildeten Film angeklebt wird.
Da die Abziehvorrichtung geeignet flexibel ist, ist es möglich, das Abziehen des Films stetig und fortschreitend auszuführen, und da die Abziehvorrichtung sich nicht übermäßig biegt, kann die Handhabung erleichtert werden.
Eine hier erwähnte Biegefestigkeit bedeutet eine Spannung, die wie folgt gemessen wird: Wie in Fig. 4 gezeigt, wird ein kreisförmiger Rahmen 2 benutzt mit einem Innendurchmesser von 180 mm, einem Außendurchmesser von 220 mm, einer Länge der Vorrichtung einschließlich der Nasen 1, die an gegenüberliegenden Seiten davon hervorstehend gebildet sind, von 300 mm und einer Dicke von 1.5 mm. Wie Fig. 5 zeigt, ist eine Nase 1 befestigt, und ein Ende einer Schnur 3 mit einer Länge von 600 mm ist mit der anderen Nase 1 verbunden, während das andere Ende der Schnur senkrecht bei einem festen Punkt gezogen wird und die Ablenkung bei Punkt a 100 mm wird.
Eine Abziehvorrichtung, die die Erfindung verkörpert, ist in Fig. 1 bis 4 dargestellt.
Wie Fig. 1 und 2 zeigen, wird ein Klebeband 7 mit einer Breite von 20 mm und einer Länge von 10 - 100 mm zuerst an einen Abziehteil eines Nitrozellulose-Films 6, der auf einem Glassubstrat 5 durch Schleuderbeschichtung oder dergleichen gebildet ist, so aufgeklebt, daß es über die äußere Kante des Films 6 hinausragt. Danach werden zwei Nasen 9, die jeweils an gegenüberliegenden Seiten einer Abziehvorrichtung 8 vorhanden sind, die, wie Fig. 4 zeigt, durch einen Rahmen 2 gebildet wird, und auf der ein Klebstoff 10 auf einer gesamten Umfangsoberfläche davon aufgebracht ist, durch einen Roboter (ein Teil davon ist mit Verweiszeichen 11 bezeichnet) von oben ergriffen und über das Substrat 5 getragen. Mit der Seite der Abziehvorrichtung 8, an der der Klebstoff 8 nach unten schauend angebracht ist, wird die Abziehvorrichtung 8 auf den Nitrozellulose-Film 6 gelegt und daran so angeklebt, daß eine der Nasen 9 an dem Klebeband 7 haftet und über dieses hinausragt. Die über das Klebeband 7 hinausragende Nase 9 wird dann durch den Roboter ergriffen und mit einer festen Geschwindigkeit abgezogen (Fig. 3).
Wenn ein Abziehtest gemäß dieser Ausführung 150 Mal durchgeführt wurde, betrug die Zahl der Fälle, wo es möglich war, den Nitrozellulose- Film ohne zu Zerbrechen abzuziehen, 145, und die Erfolgsrate betrug 96.7%. Wenn ein Abziehtest ohne Verwendung des Klebebands 7 in der gleichen Weise wie die oben beschriebene Ausführung durchgeführt wurde, betrug die Zahl der erfolgreichen Fälle 25 aus 100 Abziehvorgängen, und die Erfolgsrate war nur 25%.
Für die Abziehvorrichtung 8 wird ein Material mit einem Elastizitätsmodul von 15,000 - 35,000 kg/cm² und einer Biegefestigkeit von 50 - 120 g/10 cm verwendet. Folglich wurde kein Nitrozellulose-Fllm, bei dem Falten senkrecht zu der Abziehrichtung gebildet werden, erhalten. Ferner behält der Film 6, der durch die Vorrichtung 8 an dessen Umfangsteil gehalten wird, eine im wesentlichen ebene Anordnung bei, selbst wenn ein Ende der Vorrichtung 8 in der Form einer Konsole gehalten wird. Daher kann zu dem Zeitpunkt, wenn der Film in einem folgenden Prozeß auf einem Rahmen gestreckt wird, die Handhabung erleichtert werden.
Als nächstes werden Vergleichsbespiele, bei denen Abziehvorrichtungen aus anderem Material als dem oben beschriebenen verwendet werden, beschrieben.

Vergleichsbeispiel 1

Wenn 2.65 um dicke Nitrozellulose-Filme unter Verwendung einer Metallvorrichtung mit einem Elastizitätsmodul von 40,000 kg/cm² und einer Biegefestigkeit von 150 g/10 cm mit einer Geschwindigkeit von 10 mm/s abgezogen wurden, war es nicht möglich, jeden Film stetig abzuziehen, und der Zustand war so, daß der Film intermittierend abgezogen wurde. Als Folge davon wurden Filme erhalten, in denen zahlreiche Falten senkrecht zu der Abziehrichtung gebildet wurden.

Vergleichsbeispiel 2

Wenn eine Kunstharzvorrichtung mit einem Elastizitätsmodul von 50,000 kg/cm² und einer Biegefestigkeit von 20 g/10 cm verwendet wurde, wurden, wenn eine Nase der Vorrichtung durch einen Roboter ergriffen und gehalten wurde, den folgenden verschlechterten Handhabungseigenschaften begegnet: Das freie Ende des Nitrozellulose-Films senkte sich, wodurch die anhaftende Stelle versetzt wurde, und machte es unmöglich, die gesamte Vorrichtung genau an den Film auf dem Substrat anzukleben. Ferner war es nicht möglich, den Film nachfolgend in einem Rahmen zu strecken.
Es wurde erwähnt, daß ein Problem bei den Verfahren nach dem Stand der Technik das Anschwellen des Klebstoffs und des Films an den Kanten des Überzugsrahmens war. Ein weiterer Aspekt der Erfindung vermindert oder eliminiert dieses Problem.
Bei diesem Aspekt der Erfindung werden eine oder beide Kanten eines Überzugsrahmens, gebildet durch eine Innenfläche und eine Endfläche davon, an der ein Überzugsfilm haften soll, und eine Kante des Oberzugsrahmens, die durch eine Außenfläche und die Endfläche davon gebildet wird, abgeschrägt, d.h. unter einem Winkel abgeschnitten. Der Klebstoff wird auf die abgeschrägte Endfläche des Überzugsrahmens aufgebracht, und der Überzugsfilm wird gestreckt und auf den mit dem Klebstoff versehenen Überzugsrahmen gelegt. Zuletzt wird ein Teil des Überzugsfilms entlang der Außenfläche des Überzugsrahmens abgeschnitten.
Das Strecken des Überzugsfilms kann manuell durch Ergreifen des zum Abziehen des Films verwendeten Klebebands in einer Weise durchgeführt werden, die einem herkömmlichen Verfahren gleicht.
Es ist jedoch schwierig, den Film gegen den Überzugsrahmen zu drücken und ihn durch gleichmäßiges Anlegen einer Spannung so zu strecken, daß keine übermäßige Spannung an die Filmoberfläche angelegt wird oder Falten darin gebildet werden. Dieses Problem kann durch provisorisches Aufnehmen des auf dem Substrat gebildeten Films mit Hilfe eines provisorischen Rahmens und durch Strecken des Films auf dem Überzugsrahmen unter Verwendung dieses provisorischen Rahmens überwunden werden. Ein Klebstoff wird nämlich auf einen kreisförmigen provisorischen Rahmen aufgebracht, der an den auf dem Substrat befindlichen Film angeklebt wird. Nachdem der Film mit dem provisorischen Rahmen abgezogen wurde, wird der provisorische Rahmen gegen den Überzugsrahmen gedrückt oder umgekehrt, oder die zwei Elemente werden gegeneinander gedrückt, um dadurch das vorerwähnte Problem zu überwinden. Da der Film auf dem Substrat auf den provisorischen Rahmen übertragen wird, Ist es, auch wenn der provisorische Rahmen von Hand gehalten wird, möglich, die Filmoberfläche in einem ebenen Zustand zu halten. Daher ist es möglich, den Film auf dem Überzugsrahmen mit an den Film angelegter Spannung durch einfaches Drücken des provisorischen Rahmens gegen den Überzugsrahmen oder umgekehrt oder durch einfaches Zusammendrücken der zwei Elemente zu strecken (s. Fig. 7).
Das Abschrägen erfolgt durch Anbringen einer schrägen Oberfläche oder Rundung an der Kante, und wenn eine schräge Oberfläche angebracht wird, wird diese mit einem Winkel von 0.1 - 0.7 C, bevorzugt 0.2 - 0.4 C, gebildet.
Wie in Fig. 7 und 8 dargestellt, werden zuerst eine Kante, gebildet durch eine Innenfläche eines Überzugsrahmens 21 und eine Endfläche, an der ein Überzugsfilm 23 haften soll, und eine Kante, gebildet durch eine Außenfläche des Überzugsrahmens 21 und eine Endfläche, abgeschrägt, und ein Klebstoff 22 wird auf die Endfläche des Überzugsrahmens 21 mit Ausnahme der abgeschrägten Teile 21a so aufgebracht, daß er darauf aufgehäuft wird (Fig. 8). Vor oder nach diesem Auftragen wird ein auf dem Substrat gebildeter Überzugsfilm 23, wie zuvor beschrieben, auf einen provisorischen Rahmen 24 übertragen. Danach wird durch Ergreifen des provisorischen Rahmens 24 der Überzugsfilm 23 auf die Seite des Überzugsrahmens 21 gelegt, auf die der Klebstoff 22 aufgetragen ist. Der provisorische Rahmen 24 wird niedergedrückt, oder der Überzugsrahmen 21 wird angehoben, oder die beiden Elemente werden zusammengedrückt, um dadurch den Überzugsfilm 23 auf den Überzugsrahmen 21 zu kleben (Fig. 7). Danach wird ein Teil des Films 23, der über den Überzugsrahmen 21 hinausragt, an der Kante des Überzugsrahmens 21 abgeschnitten.
Wenn die Abschrägung kleiner als 0.1 ist, wird ein anschwellender Teil erzeugt, wie in Fig. 9 gezeigt, und wenn der Überzug an der Maske anbracht wird, besteht die Gefahr, daß der Film zerbricht. Ferner wird, wenn die Abschrägung größer als 0.7 ist, die Klebeoberfläche klein, so daß die Haftfähigkeit schwächer wird und der Film während der Lufttrocknung abblättern kann.
Außerdem wird, wie in Fig. 8 gezeigt, nachdem der Klebstoff 22 auf die Endfläche des Überzugsrahmens mit Ausnahme der abgeschrägten Teile 21a aufgebracht ist, der Überzugsfilm 23 auf die Endfläche gelegt ist und Spannung an den provisorischen Rahmen oder an den Überzugsrahmen oder an beide angelegt ist, der Klebstoff 22 zu den inneren und äußeren Seiten des Rahmens herausgedrückt und zu den abgeschrägten Teilen 21a verdrän9t (s. Fig. 7). An dieser Stelle wird eine Spannung so angelegt, daß die Dicke des Überzugsfllms um 1 - 10%, bevorzugt um 3 - 7%, kleiner wird.
Wenn der Film so aufgeklebt wird, daß die Dicke des Überzugsfilms um 1% oder weniger abnimmt, können in dem Film leicht Falten gebildet werden. Ferner wird, wenn der Film durch Anlegen einer Spannung so aufgeklebt wird, daß die Dicke des Überzugsfilms um mehr als 10% abnimmt, die Dicke des Films in der Nähe der Seitenendoberfläche des Rahmens klein, so daß der Film bei der Luftbestrahlung leicht zerbrochen werden kann.
Daher wird bei diesem Aspekt der Erfindung, obwohl der an die Seitenendoberfläche des Überzugsrahmens angelegte Klebstoff zu der Innen- und Außenseite des Rahmens verdrängt wird, der verdrängte Klebstoff zu den abgeschrägten Teilen herausgedrückt und wird dadurch aufgenommen, so daß der Film an den Kanten des Rahmens nicht anschwillt. Folglich kann zum Zeitpunkt der Handhabung des auf eine Maske aufzubringenden Films das Problem, daß der Film zerbrochen wird, oder ein ähnliches Problem überwunden werden. Außerdem kann während der Reinigung durch Luft, auch wenn der Überzugsfilm vibriert, das Brechen des Films an den Kanten des Rahmens verhindert oder die Zahl der Fälle solcher Brüche vermindert werden.

Claims

1. Verfahren zum Abziehen eines dünnen Films von einem Substrat mit Hilfe einer Vorrichtung, umfassend die folgenden Stufen:

Aufpressen einer Abziehvorrichtung (8), die aus einem flexiblen kreisförmigen Rahmen (2) besteht, gegen den dünnen Film (6), der auf dem Substrat aufgebracht ist, und Abziehen des dünnen Films zusaiimen mit der Abziehvorrichtung von dem Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß auf den ringförmigen Rahmen (2) ein Klebemittel (10) aufgebracht ist, und mindestens ein Griffteil vorgesehen ist, wie eine Öse bzw. ein Ansatz (9), ein Handgriff oder ein Haken, der seitlich über das Substrat (5) hinausragt, am Umfang des Rahmens, oder der nach oben vom Umfang des Rahmens hinausragt, und daß der ringförmige Rahmen einen Elastizitätsmodul von 15 000 bis 30 000 kg/cm² und eine Biegefestigkeit von 50 bis 120 g/10 cm besitzt, und daß die Abziehstufe das Ergreifen des Griffteils der Abziehvorrichtung umfaßt, nachdem die Abziehvorrichtung und der dünne Film zusammengeklebt worden sind, und Ziehen des Griffteils der Abziehvorrichtung nach oben.

2. Verfahren zum Abziehen eines Films (6) mit Hilfe einer Abziehvorrichtung nach Anspruch 1, das ferner die folgenden Stufen umfaßt:

Aufkleben eines Klebebands (7) an einem peripheren Teil des Films (6) bei Beginn des Abziehens, der so auf das Substrat (5) aufgebracht ist, daß das Klebeband über das Substrat hinausragt, und

Aufpressen der Abziehvorrichtung (8) auf den dünnen Film, der auf das Substrat aufgebracht ist, so daß die Abziehvorrichtung auf das Klebeband aufgesetzt wird.

3. Abziehvorrichtung (8) zum Abziehen eines Films (6), der auf einem Substrat (5) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einem flexiblen ringförmigen Rahmen (2) besteht, und mindestens ein Griffteil vorgesehen ist, wie eine Öse bzw. ein Ansatz (9), ein Handgriff oder ein Haken, der seitlich am Umfang des Rahmens über das Substrat (5) hinausragt oder der nach oben vom Umfang des Rahmens hinausragt, und daß der ringförmige Rahmen einen Elastizitätsmodul von 15 000 bis 30 000 kg/cm² und eine Biegefestigkeit von 50 bis 120 g/10 cm besitzt.

4. Abziehvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Klebemittel (10) auf eine Oberfläche davon so aufgebracht ist, daß es an dem auf dem Substrat gebildeten Film haftet.

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend die folgenden Stufen:

Abrunden bzw. Abschrägen einer oder beider Kanten eines Häutchenrahmens (21), gebildet durch eine innere Oberfläche davon und eine Endoberfläche davon, an der ein Häutchenfilm (23) haften soll, und eine Kante des Häutchenrahmens, die gebildet wird durch eine Außenfläche davon und die Endoberfläche davon,

Aufbringen eines Klebemittels (22) auf die abgeschrägte Endfläche des Häutchenrahmens,

Strecken und Aufsetzen des Häutchenfilms auf den Häutchenrahmen, auf den das Klebemittel aufgebracht ist, und

Abschneiden eines Teils des Häutchenfilms entlang der Außenseite des Häutchenrahmens.

6. Verfahren nach Anspruch 5, wobei der Häutchenfilm abgezogen und festgehalten wird von einem provisorischen Rahmen (24) durch Aufkleben des provisorischen Rahmens auf den auf dem Substrat gebildeten Film, bevor der Film an dem Häutchenrahmen haftet.

7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Abschrägen bzw. Abrunden erreicht wird durch Bildung von schrägen Oberflächen (21a) in einem Winkel von 0,1 bis 0,7 C.

8. Verfahren nach Anspruch 6, wobei der provisorische Rahmen (24) eine Abziehvorrichtung entsprechend Anspruch 3 oder 4 ist.