KR20100028040A - 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법 - Google Patents

대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20100028040A
KR20100028040A KR1020097026229A KR20097026229A KR20100028040A KR 20100028040 A KR20100028040 A KR 20100028040A KR 1020097026229 A KR1020097026229 A KR 1020097026229A KR 20097026229 A KR20097026229 A KR 20097026229A KR 20100028040 A KR20100028040 A KR 20100028040A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame body
frame
pellicle
gripping
large pellicle
Prior art date
Application number
KR1020097026229A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101191055B1 (ko
Inventor
아키히로 다니무라
다쿠로 마에다
Original Assignee
아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 filed Critical 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤
Publication of KR20100028040A publication Critical patent/KR20100028040A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101191055B1 publication Critical patent/KR101191055B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70783—Handling stress or warp of chucks, masks or workpieces, e.g. to compensate for imaging errors or considerations related to warpage of masks or workpieces due to their own weight
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70791—Large workpieces, e.g. glass substrates for flat panel displays or solar panels
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70983—Optical system protection, e.g. pellicles or removable covers for protection of mask

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지고, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체를 파지하는 데 있어서, 상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 프레임체로서, 상기 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지함으로써, 프레임체를 확실히 파지하고, 또한 포토마스트 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 한다.
대형 펠리클 프레임체

Description

대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법{FRAME OF LARGE PELLICLE AND GRASPING METHOD OF FRAME}
본 발명은, LSI, 액정 디스플레이 (LCD) 를 구성하는 박막 트랜지스터 (TFT)나 칼라 필터 (CF) 등을 제조할 때의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크나 레티클에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해서 사용되는 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 것이다. 특히 액정용 대형 펠리클의 구성 부재로서 장변 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 것이다.
본 발명은 펠리클의 구성 부재인 프레임체에 관한 기술인데, 먼저 펠리클에 대해 설명한다.
종래, 반도체 장치의 제조에 있어서는, 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 리소그래피 공정에 있어서, 일반적으로 펠리클이라고 하는 방진(防塵) 수단을 이용하여 포토마스크나 레티클에 대한 이물질의 부착을 방지하는 것이 이루어지고 있다. 펠리클은 포토마스크 혹은 레티클의 형상에 맞춘 형상을 갖는 두께 수밀리 정도의 프레임체의 상부 가장자리면에, 두께 10 ㎛ 이하의 니트로셀룰로오스, 셀룰로오스 유도체, 또는 불소 폴리머 등의 투명한 고분자막 (이하,「펠리클막」이라고 한다) 을 전장 (展張) 하여 접착한 것이다. 일반적으로는, 펠리클은 그 프레임체의 하부 가장자리면에 점착재를 도포 점착과 함께, 이 점착재층에 보호 필름을 적층시킨 제품 형태로 출하되는 경우가 많다.
상기 점착재층은, 펠리클을 포토마스크 혹은 레티클에 고착시키기 위한 것이고, 또한 상기 보호 필름은 그 점착재층이 그 용도로 제공될 때까지 점착재의 접착력을 유지하기 위해서, 그 점착재층의 접착면을 보호하는 것이다.
이와 같은 펠리클은, 일반적으로는 펠리클 제조자로부터, 포토마스크 혹은 레티클을 제조하는 메이커 (이하「마스크 제조자」라고 한다) 에게 공급된다. 마스크 제조자는, 펠리클로부터 상기 보호 필름을 박리하고, 펠리클을 점착재층에 의해 포토마스크 혹은 레티클에 부착한 후, 그 마스크 혹은 레티클을 리소그래피를 실시하는 메이커, 예를 들어 반도체 장치 제조자, 또는 액정 패널 제조자에게 공급한다.
펠리클의 취급은, 펠리클이 방진 수단으로서 사용되는 성격상, 진애가 부착되지 않도록 취급할 필요가 있다. 통상적으로, 펠리클을 취급할 때에는, 프레임체의 외측면에 형성된 구멍에 핀 형상의 지그를 삽입함으로써 파지하고, 지그 본체를 가짐으로써, 펠리클에 직접 손이 닿지 않도록 하는 것이 일반적이다 (예를 들어 특허 문헌 1 을 참조). 또한, 회전 레버를 삽입하기 위한 홈을 프레임체의 외측면에 형성함으로써 회전 레버를 갖는 지그를 사용하여 파지하고, 그 지그의 본체를 가짐으로써, 펠리클에 직접 손이 닿지 않도록 하는 것도 제안되어 있다(예를 들어 특허 문헌 2 를 참조).
또한, 펠리클 제조자로부터 마스크 제조자에게 펠리클을 운반할 때에는, 진 애를 부착시키지 않도록, 밀봉성을 갖는 수납 용기에 펠리클을 넣어 운반하는 것이 일반적이다. 당연하게, 수납 용기 내에서 펠리클이 확실하게 고정되어 있을 것이 요구되므로, 프레임체의 외측면에 형성된 구멍에 핀 형상의 지그를 삽입함으로써 펠리클을 수납 용기에 고정시키는 방법도 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 3 을 참조).
또, 프레임체의 외측면에 형성된 수평 돌출부를 수납 용기를 구성하는 트레이와 뚜껑 사이에 끼움으로써 펠리클을 수납 용기에 고정시키는 방법도 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 4 또는 5 를 참조).
또한, 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부 또는 홈 혹은 구멍에 의한 펠리클의 파지·고정 기능에 머물지 않고, 펠리클 프레임체 형상은 여러가지 검토가 이루어지고 있다. 예를 들어, 펠리클의 내부와 외부의 통기성을 확보하기 위해서, 프레임체의 외측면에서 내측면으로 관통한 필터가 형성된 구멍을 형성하는 것이 제안되어 있다 (예를 들어 특허 문헌 6 참조).
또한, 포토마스크의 패턴면에서 펠리클막까지의 거리 (스탠드 오프) 제어 (예를 들어 특허 문헌 7 ∼ 9 를 참조), 마스크 점착재의 비져나옴 제어 (예를 들어 특허 문헌 10 또는 11 을 참조), 마스크 점착재의 단차 형성 (예를 들어 특허 문헌 12 를 참조), 포토마스크에 대한 부착시의 가압 영역 확보 (예를 들어 특허 문헌 13 을 참조) 를 위해, 프레임체의 상부 가장자리면 또는 하부 가장자리면에 홈이나 돌기나 단차를 형성한 각종 형상이 제안되어 있다.
최근, LCD 의 대형화에 따라, 포토마스크 및 거기에 사용하는 펠리클도 대형 화되어, 가장 긴 변의 길이가 1 m 를 초과하는 것이 출시되었다. 향후에도, 펠리클, 포토마스크의 대형화는 LCD 의 대형화·생산 효율 향상에는 필요 불가결할 것으로 생각된다.
대형 포토마스크의 경우, 소재가 합성 석영 기판인 경우가 많아, 재료비는 매우 고가이다. 그 때문에, 설정된 유효 노광 영역 사이즈에 대해, 포토마스크 사이즈는 최대한 작게 설계하는 것이 일반적이다.
대형 포토마스크에 부착되는 대형 펠리클의 경우, 포토마스크 사이즈의 제약때문에, 유효 노광 영역에서 포토마스크의 외주단 (端) 까지 사이에 부착되는 펠리클 프레임체의 폭에도 제약이 있어, 펠리클이 대형화되었다 하더라도 프레임체의 폭은 크게 할 수 없는 게 실정이다.
또한, 포토마스크의 패턴면에서 펠리클막까지의 거리 (스탠드 오프) 가 노광기의 광학계에 의해 제약되기 때문에, 프레임체의 높이에도 제약이 있어, 펠리클이 대형화되었다 하더라도, 프레임체의 높이도 크게 할 수 없는 게 실정이다.
한편, 펠리클막의 면적이 1000 ㎠ 이상인 대형 펠리클 프레임체의 휨을 억제하는 방법으로는, 프레임체의 장변의 폭을 단변의 폭보다 크게 하는 것이 제안되어 있다 (특허 문헌 14 참조).
또한, 최근에는, 마스크 등의 메이커가 펠리클을 수납 용기로부터 취출하면 직접 마스크에 부착되도록, 수납 용기로부터 펠리클을 취출할 때에 보호 필름을 트레이에 부착시킨 상태에서, 보호 필름과 점착재의 계면으로부터 펠리클을 취출하는 방법이 채용되고 있어, 취출시에 펠리클에 비뚤어짐 휨을 발생시키지 않고 취출하 는 방법이 요구되고 있다 (예를 들어 특허 문헌 15 를 참조).
특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 평9-204039호
특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 2005-326634호
특허 문헌 3 : 일본 공개특허공보 2006-267179호
특허 문헌 4 : 일본 공개특허공보 평10-48812호
특허 문헌 5 : 일본 공개특허공보 평10-48811호
특허 문헌 6 : 일본 공개특허공보 2001-133960호
특허 문헌 7 : 일본 공개특허공보 2002-182373호
특허 문헌 8 : 일본 공개특허공보 2002-182371호
특허 문헌 9 : 일본 공개특허공보 2000-298333호
특허 문헌 10 : 일본 공개특허공보 2005-338722호
특허 문헌 11 : 일본 공개특허공보 2000-292910호
특허 문헌 12 : 일본 공개특허공보 2006-163035호, 도 6
특허 문헌 13 : 일본 공개특허공보 2005-308901호
특허 문헌 14 : 일본 공개특허공보 2001-109135호
특허 문헌 15 : 일본 공개특허공보 2007-017811호
발명의 개시
발명이 해결하고자 하는 과제
전술한 바와 같이, 대형 펠리클에 있어서는, 프레임체의 폭·높이의 제약 때문에, 프레임체 변부의 휨은 펠리클의 대형화에 따라 커졌다. 그리고, 본 발명자가 가장 긴 변의 크기가 1.4 m ∼ 2.0 m 인 대형 펠리클의 제작을 검토한 결과, 종래의 방법에서는 프레임체의 파지가 매우 곤란한 것을 발견하였다.
즉, 전술한 특허 문헌 1 ∼ 5 에 기재된 바와 같이, 프레임체의 대향하는 2 변의 외측면에 형성된 홈이나 구멍에 핀·슬라이드 등의 지그를 삽입함으로써 파지 또는 고정시키는 종래의 방법에서는, 프레임체 변부의 휨에 의해, 핀·슬라이드 등의 지그가 홈이나 구멍으로부터 빠지기 쉬워져, 이미 프레임체의 외측면 홈이나 구멍에서는 파지·고정이 불가능한 상황이다. 예를 들어, 구멍에 핀을 삽입하는 방법 (특허 문헌 1) 이나, 회전 레버를 홈에 끼워 넣는 방법 (특허 문헌 2) 의 경우, 프레임체의 각 변에서 거의 한 점에서의 지지가 되기 때문에, 하중이 집중되기 쉬워, 프레임체 변부의 휨에 의해 용이하게 빠져버리는 경우가 있다.
프레임체의 소재 변경에 의한 고강성화도 대책으로서 생각할 수 있는데, 펠리클에 요구되는 무발진(無發塵) 등의 품질을 감안한 경우, 용이하게 프레임체의 소재를 변경할 수 없는 게 실정이다.
지금까지, 전술한 바와 같이 프레임체 형상에 대해서는, 다양한 것이 고안되었지만, 기본적으로는 제약 받고 있는 프레임체의 폭·높이 범위 내에서의 프레임체 형상의 연구이기 (예를 들어 특허 문헌 6 ∼ 12 를 참조) 때문에, 프레임체의 고강성화에는 충분히 기여하고 있지 않다.
또한, 프레임체의 폭·높이의 범위 밖에서의 프레임체 형상의 연구도 검토되고 있다 (예를 들어 특허 문헌 4 또는 5 를 참조). 이것은, 출원 당시의 프레임체에 대한 제약에 대해서는 우수한 기술이라고 할 수 있다. 즉, 특허 문헌 4 또는 5 의 출원 당시에는, LSI 용도의 펠리클이 주류였기 때문에, LSI 용도의 포토마스크 사이즈는 일반적으로 한 변이 5 ∼ 7 인치 (127 ∼ 178 ㎜) 로, 액정 디스플레이 (LCD) 용도의 대형 포토마스크 사이즈 (한 변이 330 ∼ 1400 ㎜) 에 비하면 작은 것이기 때문에, 대형 포토마스크 사이즈에 비해, 펠리클 사이즈 보다 포토마스크 사이즈를 비교적 크게 할 수 있었다. 그 때문에, 프레임체의 폭·높이의 범위 밖에서의 프레임체 형상의 연구는 그다지 문제가 되지 않았다.
그러나, 향후, 더 나은 대형 펠리클이 보급됨에 따라 표면화될 것으로 생각되는 과제, 즉 포토마스크 사이즈를 최대한 작게 하기 위해서, 펠리클의 대형화의 요망에 비해서는, 프레임체의 폭·높이는 필요 이상으로 크게 할 수 없다는 과제에 대해, 펠리클의 파지 방법을 개선할 필요가 있다.
취출 방법에 대해서는, 예를 들어 직사각형 프레임체의 변의 중앙부 근방에 배치된 보호 필름에 상당하는 탭 (누름대 (代)) 을 접착 테이프에 의해 펠리클 수납 용기에 고정시킨 펠리클을 펠리클 유지구에 의해 유지하면서, 또한 펠리클 유지구에 가해지는 하중을 검출하면서, 유지구와 수납 용기의 거리를 떨어뜨려 펠리클을 박리시키는 방법도 있다 (예를 들어 특허 문헌 13). 그러나, 이 방법에서는, 대형 펠리클의 경우, 변의 중앙부에 배치된 탭 (누름대) 이 접착 테이프에 의해 수납 용기에 유지되어 있기 때문에, 비록 하중을 검출하면서 박리시켰다고 해도, 프레임체의 휨을 피할 수 없을 것으로 생각된다 (특허 문헌 13 의 도 9 를 참조).
즉, 펠리클 프레임체는, 확실하게 파지할 수 있는 것에 추가로, 그 후의 수납 용기로부터의 펠리클의 취출시에 프레임체에 휨이나 비틀림을 발생시키지 않고, 취출할 수 있는 방법이 요구되고 있는 것이다. 그리고, 특히 펠리클 자체의 무게가 커져, 취급도 곤란해지는 대형 펠리클에 있어서는, 수납·운반·보관시에는, 확실한 파지는 물론, 수납 용기로부터의 취출시, 취출 후 직접 마스크 등에 부착되도록, 보호 필름과 점착재의 계면으로부터 펠리클의 비뚤어짐 휨을 발생시키지 않고 취출하는 방법이 요구되고 있다.
즉, 본 발명은 펠리클 프레임체의 취급시나, 수납·운반·보관시에 프레임체를 확실하게 파지할 수 있고, 또한 포토마스크 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 하는 펠리클 프레임체를 제공하는 것이다. 또한, 펠리클 프레임체를 사용한 대형 펠리클의 파지 방법을 제공한다.
과제를 해결하고자 하는 수단
본 발명자들은, 상기 과제를 해결하기 위해서 예의 검토한 결과, 포토마스크로부터의 제약을 받지 않도록, 펠리클 프레임체의 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 형성함으로써, 가장 긴 변의 길이가 1.4 m ∼ 2.0 m 인 대형 펠리클의 파지라는 상기 과제를 해결하게 하는 것을 상기하였다. 검토 결과, 그 수단은, 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클에도 유효하게 사용할 수 있는 것을 발견하고 본원 발명의 완성에 이르렀다. 즉, 본 발명은 이하의 것이다.
1. 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체로서, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재를 구비할 수 있는, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체에 있어서, 상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 대형 펠리클 프레임체.
2. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상에 있는 상기 1 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
3. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상으로서 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 있는 상기 2 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
4. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 홈 혹은 구멍인 상기 1 ∼ 3 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
5. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 넓어진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 상기 4 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
6. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 좁아진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 상기 4 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
7. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 각 변에 있어서, 그 파지용 볼록부 또는 오목부가 차지하는 길이가 각각 변의 길이에 대해 10 ％ 이상인 상기 1 ∼ 6 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
8. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있는 홈인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
9. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 홈인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
10. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부에 복수 개씩 형성되어 있는 구멍인 상기 1 ∼ 6 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
11. 상기 1 ∼ 10 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지는 대형 펠리클.
12. 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1.4 m 이상 2.0 m 이하인 상기 11 에 기재된 대형 펠리클.
13. 프레임체의 높이에 대한 폭의 비가 1.5 ∼ 4.0 인 상기 11 ∼ 12 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클.
14. 상기 1 ∼ 10 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법으로서, 상기 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
15. 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 상기 13 에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
16. 상기 11 ∼ 13 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 방법으로서, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 대형 펠리클의 프레임체 형상의 교정 방법.
17. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
18. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 판 형상의 돌출부 또는 막대 형상의 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
19. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 판 형상이고, 또한 프레임체의 네 귀퉁이부에서 변의 중앙부에 걸쳐 그 돌출부의 돌출량이 커진 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
20. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 선단이 갈고리 형상을 하고 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 19 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
21. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때에 포토마스크의 외주 측면 및/또는 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 20 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
22. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때에 별도 부품과 조합함으로써, 그 포토마스크에 프레임체를 물리적으로 고정시킬 수 있도록 형성되어 있는 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 21 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
23. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있는 판 형상의 돌출부인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
24. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 판 형상의 돌출부인 상기 7 에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
25. 파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부에 복수 개씩 형성되어 있는 막대 형상의 돌출부인 상기 1 ∼ 3 및 17 ∼ 18 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체.
26. 상기 17 ∼ 25 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지는 대형 펠리클.
27. 프레임체의 가장 긴 변의 길이가, 1.4 m 이상 2.0 m 이하인 상기 26 에 기재된 대형 펠리클.
28. 프레임체의 높이에 대한 폭의 비가 1.5 ∼ 4.0 인 상기 26 ∼ 27 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클.
29. 상기 17 ∼ 25 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법으로서, 상기 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
30. 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 상기 29 에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
31. 상기 26 ∼ 28 중 어느 하나에 기재된 대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 방법으로서, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 대형 펠리클의 프레임체 형상의 교정 방법.
발명의 효과
본 발명의 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법에 의해, 펠리클의 취급시나, 수납·운반·보관시에 프레임체를 확실하게 파지할 수 있고, 또한 포토마스크 등에 부착할 때에는 비뚤어짐이나 휨을 발생시키지 않고 수납 용기로부터 펠리클을 간단하게 취출할 수 있게 되었다.
도 1A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 1B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하는 도면으로, 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
도 1C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 오목부가 홈) 를 설명하는 도면으로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 1D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼록부가 판 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 1E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼 록부가 판 형상) 를 설명하는 도면으로, 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
도 1F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태 (파지용 볼록부가 판 형상) 를 설명하는 도면으로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 2A 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 펠리클을 도시한다.
도 2B 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 홈을 포함하는 부분 확대 종단면도를 도시한다.
도 2C 는 종래의 소형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 3A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시 하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 3G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 4A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 4B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 5A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 5B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 6C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
도 7A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 7B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 7C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다.
도 8A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 8D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 9C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 10A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다.
도 10B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다.
도 11A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 11E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 일 형태예를 설명하기 위한 부분 확대 종단면도이다.
도 12A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 외측면 방향에서 본 부분 개략도 이다.
도 12B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 12C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 12D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈의 형태예를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 13A 는 대형 펠리클 프레임체에 있어서 코너부에 형성된 구멍의 배치를 설명하기 위한 도면으로, 프레임체의 외측면 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 13B 는 대형 펠리클 프레임체에 있어서 코너부에 형성된 구멍의 배치를 설명하기 위한 도면으로, 펠리클막을 보는 방향에서 본 부분 개략도이다.
도 14A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 14G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 15D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 16D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 17G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
도 18A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18F 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 18G 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 복수 형성된 형태예이다.
도 19A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 19D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 20E 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다.
도 21A 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 나사 고정을 도시하였다.
도 21B 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 커플러에 의한 고정을 도시하였다.
도 21C 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 탄성체에 의한 고정을 도시하였다.
도 21D 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 끼움에 의한 고정을 도시하였다.
도 22A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 포토마스크에 접착된 대형 펠리클을 도시한다.
도 22B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 대형 펠리클 프레임체를 도시한다.
도 23A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 12 의 형태와 동일하며, 단변과 장변에 각각 3 개씩 돌출부를 형성한 경우이다.
도 23B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도면으로, 도 12 의 형태와 동일하며, 단변과 장변에 각각 1 개씩 돌출부를 형성하고, 추가로 4 귀퉁이에 1 개씩 돌출부를 형성한 경우이다.
도 23C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 12 의 형태와 동일하며, 도 23A 에서 변마다 돌출부를 일체화시킨 경우이다.
도 24A 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 구부러져 있는 변부가 포토마스크에 접하는 형태를 도시하였다.
도 24B 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 포토마스크에 형성된 홈에 박혀 있는 형태를 도시하였다.
도 25 는 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부에 별도 부품을 조합하여 대형 펠리클을 고정시켰을 때의 부분 확대 종단면도이다.
도 26A 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 단면이 직사각형인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26B 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26C 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 26D 는 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 프레임체의 내측면에 형성된 돌출부로서, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다.
도 27 은 실시예 1 에서 사용한 보호 필름의 평면 형상을 도시하는 모식도이다.
부호의 설명
1 펠리클 프레임
2 마스크 점착재
3 프레임체의 상부 가장자리면
4 프레임체의 하부 가장자리면
5 프레임체의 외측면
6 프레임체의 내측면
7 파지용 홈 혹은 구멍 또는 돌출부
7a 파지용 홈 혹은 구멍의 안쪽으로 넓어진 내부 공간 또는 파지용 돌출부의 선단부
7b 파지용 홈의 개구부
7c 파지용 홈의 최심부
9 포토마스크
10, 20 프레임체
11 보호 필름
11a 누름대
11b 누름대
15 별도 부품
16 파지 부재
21 홈
30 프레임체 (종래품)
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 이하에 설명하는 실시형태는 본 발명의 구성의 예로서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 제한되는 것은 아니다. 본 발명의 효과를 발휘하는 한, 다양하게 형태를 변경해도 된다.
본 발명의 대형 펠리클 프레임체는, 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체로서, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재를 구비할 수 있고, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체에 있어서, 상 기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 것이다. 여기서, 프레임체의 다각형 형상이란 통상적으로 대략 4 각형 형상인데, 모서리부에 절결이나 R 부를 가진 다각형 형상이어도 된다.
도 1A 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 일 형태를 설명하기 위한 사시도로, 도 1A 및 도 1D 는 포토마스크에 접착된 대형 펠리클, 도 1B 및 도 1E 는 프레임체를 포함하는 부분 확대 종단면도, 도 1C 및 도 1F 는 대형 펠리클 프레임체를 도시한다. 도 2 는, 종래 소형 펠리클 프레임체의 일 형태 (예를 들어 특허 문헌 2 의 타입) 를 설명하기 위한 사시도로, 도 2A 는 포토마스크에 접착된 펠리클, 도 2B 는 프레임체의 홈을 포함하는 부분 확대 종단면도, 도 2C 는 펠리클 프레임체를 도시한다.
예를 들어 도 1 에 도시된 바와 같이, 대형 펠리클은 프레임체 (10) 와, 프레임체 (10) 의 상부 가장자리면 (3) 에 접착된 펠리클막 (1) 과, 프레임체 (10) 하부 가장자리면 (4) 에 도포 점착된 점착재 (2) 로 이루어진다. 여기서 펠리클막 (1) 은 프레임체 (10) 의 상부 가장자리면 (3) 에 접착제 (도시 생략) 를 개재하여 접착되어 있다. 또한, 도 1A 및 도 1B 에서는, 펠리클 프레임체 (10) 가 점착재 (2) 를 개재하여 포토마스크 (9) 에 접착되어 있다. 포토마스크 (9) 에 접착되기 전에는, 대형 펠리클은 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 (4) 에 점착재 (2) 를 개재하여 보호 필름 (도시 생략) 이 점착된 구조를 가지고 있다.
펠리클막 (1) 의 재질, 점착재 (2) 의 재질·형상, 접착제의 재질, 보호 필름의 재질·형상은, 종래 일반적으로 사용되고 있는 것을 사용할 수 있다.
펠리클막으로는, 투명한 고분자막, 예를 들어 니트로셀룰로오스, 셀룰로오스 유도체, 또는 불소 폴리머를 사용할 수 있다. 펠리클막의 두께는 광선 투과율, 막강도를 고려하여 설정하는 것으로, 예를 들어 10 ㎛ 이하 0.1㎛ 이상이 바람직하다. 펠리클막을 프레임체의 상부 가장자리면에 접착하는 데에 있어서는 접착제, 예를 들어 아크릴 수지 접착제, 에폭시 수지 접착제, 실리콘 수지 접착제, 또는 함불소 실리콘 접착제 등의 불소계 폴리머가 사용된다.
점착재로는, 스티렌에틸렌부틸렌스티렌, 스티렌에틸렌프로필렌스티렌, 혹은 올레핀계 등의 핫멜트 점착재, 실리콘계 점착재, 아크릴계 점착재, 또는 발포체를 기재로 한 점착 테이프를 사용할 수 있다. 점착재 층의 두께는 프레임체 두께와 점착재 두께의 합계가 규정된 막과 마스크의 거리를 초과하지 않는 범위로 설정하는 것으로, 예를 들어 10 ㎜ 이하 0.01 ㎜ 이상이 바람직하다.
보호 필름으로는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 또는 폴리에틸렌 수지로 이루어지는 필름을 사용할 수 있다. 또한, 점착재의 점착력에 따라 이형제, 예를 들어 실리콘계 이형제, 또는 불소계 이형제를 보호 필름의 표면에 도포해도 된다. 보호 필름의 두께는, 예를 들어 1 ㎜ 이하 0.01 ㎜ 이상이 바람직하다.
프레임체 (10) 의 재질은, 기계적 강도가 유지되는 것이면 특별히 한정은 하지 않는다. 예를 들어, 금속, 수지, 복합재를 들 수 있는데, 보다 상세하게 말하면, 알루미늄이나 그 합금, 예를 들어 두랄루민, 철이나 철계 합금, 예를 들어 스테인리스, 엔지니어링 플라스틱, 섬유 강화 플라스틱 (FRP) 및 탄소 섬유 강화 플라스틱 (CFRP) 을 들 수 있다. 또한, 대형화에 의한 자중 (自重) 의 증가를 고려하면, 경량이고, 또한 강성을 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들어 알루미늄이나 그 합금이 바람직하다.
프레임체 (10) 의 제법은, 종래 일반적으로 행해지고 있는 제법이면 된다. 예를 들어, 일체물의 판을 절단·절삭 가공하면 된다. 또한, 펠리클의 대형화에 따라 일체물의 판의 준비가 곤란한 경우에는, 절단·절삭 가공에 추가로 용접 가공이나, 성형 가공 (금속이면 다이캐스트 성형, 수지이면 사출 성형) 하는 것을 들 수 있다. 이 때에 파지용 볼록부 또는 오목부를 일체로 성형하는 것이 바람직하지만, 후술하는 바와 같이 볼록부의 경우에는 자유롭게 탈착할 수 있는 부품으로 성형하고, 나중에 부착하는 것도 바람직하다.
또한, 프레임체의 표면에는, 반사 방지를 위해서 흑색 크롬 도금, 흑색 알루마이트, 흑색 도장 등의 흑색화 처리를 실시해도 된다. 또한, 프레임체의 내측면에는, 이물질을 포착하기 위해서 점착재를 도포해도 된다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 프레임체 (10) 의 가장 긴 변 (이하「장변」이라고도 한다. 마찬가지로 프레임체의 가장 짧은 변을「단변」이라고도 한다) 의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클 프레임체를 대상으로 하고 있다. 이와 같은 프레임체, 프레임체의 변 (도 1A 및 도 1D 의 장변의 길이 (L), 단변의 길이 (S)) 의 길이에 비해서는, 프레임체의 폭 (도 1B 및 도 1E 의 w)·높이 (도 1B 및 도 1E 의 h) 가 작아, 소형 펠리클 프레임체와 비교하여 강성이 낮아질 수 밖에 없다.
프레임체 (10) 의 장변의 길이 (L) 가 1 m 이상이 되면, 강성이 낮아지는 경 향이 현저하게 보인다. 도 2 에 도시된 종래의 LSI 용의 소형 펠리클 프레임체 (30) 에서는, 장변의 길이 (L) 가 겨우 15 ㎝ 이하, 단변의 길이 (S) 가 겨우 13 ㎝ 이하이고, 또한 프레임체 (30) 의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비는 (w/h) = 0.3 ∼ 0.8 이었다. 그런데, 본 발명이 대상으로 하는 대형 펠리클 프레임체에서는, 장변의 길이 (L) 가 1 m 이상이고, 2 m 에 이르는 경우도 있어, 향후 더욱 대형화될 가능성도 있을 수 있다. 또한, 단변에 있어서도 단변의 길이 (S) 가 예를 들어 75 ㎝ 이상이다. 또한, 대형 펠리클 프레임체에 있어서의 프레임체의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비는, 예를 들어 (w/h) = 1.5 ∼ 4.0 으로 크기 때문에 강성의 저하가 크고, (w/h) = 2.3 ∼ 4.0 의 프레임체에서는 특히 강성의 저하가 크다. 또한, 추가적인 대형화에 의해 (w/h) 는 4 를 초과하는 경우도 있을 수 있다.
따라서, 본 발명이 대상으로 하는 대형 펠리클 프레임체에서는, 종래의 프레임체와 비교하여, 펠리클막의 표면의 법선 방향에 있어서의 휨량이 매우 크다. 이와 같이, 대형 펠리클 프레임체의 휨 방식은, 종래의 소형 펠리클의 휨 방식과는 완전히 상이하다. 또한, 프레임체의 폭 (w) 과 높이 (h) 의 비 (w/h) 가 종래의 프레임체의 그것과 비교하여 큰 데다, 프레임체의 변 자체가 길기 때문에, 펠리클막의 장력에 의해 펠리클막의 표면과 평행한 방향의 휨량도 커져 버린다. 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 볼록부 또는 오목부를 이용하여 펠리클막의 장력에 의한 프레임체의 변형을 교정할 수도 있다. 이 점에 대해서는 후술한다.
본 발명의 프레임체는, 마스크 형상과 유사한 직사각형이 일반적이지만, 마 스크 등의 여러가지 형상에 대응하여, 다각 형상의 프레임체이면 특별히 한정하지 않는다. 또한, 본 발명에서는, 장변의 길이가 1 m 이상인 프레임체를 대상으로 하고 있는데, 프레임체의 형상이 (1) 직사각형인 경우에는 장변의 길이가 1 m 이상인 프레임체, (2) 정방형인 경우에는 한 변의 길이가 1 m 이상인 프레임체, (3) 다각형인 경우에는 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 프레임체를 각각 대상으로 한다. 본 발명에서는, 이하에 설명하는 조건을 만족시키면, 보다 효과를 발휘하므로, 이하에 설명한다.
첫째로, 상기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 오목부를 갖는 프레임체인 양태에 대해 설명한다. 그 오목부로는 홈 또는 구멍이 있다. 또한, 본원 발명에 있어서, 홈이란, 프레임체의 외측면, 내측면, 상부 가장자리면, 또는 하부 가장자리면에 형성된 오목부로서, 이들 면에 있어서의 그 오목부의 개구부 둘레 방향 길이가 그 개구부 높이 방향 길이의 1.5 배 이상인 것을 말하고, 구멍이란, 그 개구부 둘레 방향 길이가 그 개구부 높이 방향 길이의 1.5 배 미만인 것을 말한다.
프레임체에 형성된 파지용 홈 혹은 구멍에 대해 설명한다. 도 3 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 3A ∼ 도 3G 는 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 4 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 4A ∼ 도 4B 는 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 5 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 5A ∼ 도 5B 는 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다. 도 6 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 6A ∼ 도 6G 가 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태예이다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 3 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있다. 이하, 특별히 언급이 없는 경우에는, 홈과 구멍을 구별하지 않고, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 으로 설명한다.
또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 4 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 5 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 6 에 도시된 바와 같이, 프레임체의 내측면 (6) 에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다.
파지용 홈 혹은 구멍을 프레임체의 어느 면에 형성할지는, 파지에 사용하는 지그 또는 장치의 설계에 따른 위치로 할 수 있지만, 외측면에 형성하는 것이 지그 또는 장치의 설계상 바람직하다. 또한, 파지용 홈 혹은 구멍을 프레임체의 외 측면 또는 내측면에 형성하는 경우에는, 파지할 때에 펠리클막의 접착제층 또는 마스크와의 점착재층에 불필요한 힘이 작용하지 않도록, 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 형성하는 것이 바람직하다. 따라서, 파지용 홈 혹은 구멍은, 프레임체의 외측면 상으로서, 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 형성하는 것이 보다 바람직하다.
프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 상부 가장자리면 (3) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태로 해도 된다. 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 하부 가장자리면 (4) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태여도 된다. 프레임체의 내측면 (6) 에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 내측면 (6) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태여도 된다. 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 깊이는, 프레임체의 표면을 기준으로 외측면 또는 내측면에서 패인 홈 혹은 구멍 (7) 의 경우에는 프레임체 폭의 0.01 ∼ 0.9 배의 깊이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배의 깊이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.3 배의 깊이가 더욱 바람직하다. 또한, 상부 가장자리면 또는 하부 가장자리면에서 패인 홈 혹은 구멍 (7) 의 경우에는 프레임체 높이의 0.1 ∼ 1 배 (또한 1 배는 관통의 경우이다) 의 깊이가 바람직하고, 0.1 ∼ 0.5 배의 깊이가 보다 바람직하며, 0.1 ∼ 0.3 배의 깊이가 더욱 바람직하다.
또한 본 실시형태에 관한 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 7 에 도시된 바 와 같이 프레임체의 각 변부에 복수의 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 가지고 있어도 된다. 도 7 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 7A ∼ 도 7C 가 파지용 홈 혹은 구멍이 복수 형성된 형태예이다. 조합으로는, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어 도 7A) 가 있다. 또한 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어 도 7C) 가 있다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 에서는, 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍, 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍, 또는, 프레임체의 내측면에서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍의 각각에 대해, 추가로 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍도 가지고 있어도 된다. 예를 들어, 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 상부 가장자리면에서 하방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우 (예를 들어, 도 7B), 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 하부 가장자리면에서 상방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍과 프레임체의 내측면에 서 외측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍을 두 개 갖는 경우가 있다.
또한 프레임체의 4 개의 표면 중 3 개의 표면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태 또는 프레임체의 4 개 표면 모두로부터 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태도 있다. 프레임체의 복수의 표면에 파지용 홈 혹은 구멍을 형성함으로써, 파지·고정이 더욱 확실해진다. 또한, 프레임체의 상이한 표면을 파지하는 2 종 이상의 파지구에 대해서도, 동일한 하나의 프레임체로 대응할 수 있다는 장점도 있다.
또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 상기 서술한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 이외에, 통기용 구멍 (펠리클을 마스크에 장착했을 때 펠리클과 마스크로 갇힌 공간과 외부의 통기에 사용하는 구멍) 등의 별도 용도에 사용하는 구멍 또는 홈을 가지고 있어도 된다. 이와 같은 별도 용도에 사용하는 구멍 또는 홈을 형성하기 위해서는, 파지용 볼록부 또는 오목부가 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 홈 또는 구멍인 것이, 가공 자유도가 높아져 보다 바람직하다.
파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 단면 형상은, 직사각형 (예를 들어 도 6A), 사다리꼴 (예를 들어 도 4A, 도 5A, 도 6E), 다각형, 원형·반원형 또는 타원형 (예를 들어 도 6B) 등, 특별히 상관 없다. 또한, 예를 들어 도 4A 에서 도시한 바와 같이, 홈 혹은 구멍이 깊어지는 방향을 따라 홈의 폭 혹은 구멍 내경이 작아지는 형태여도 된다. 필요에 따라 홈 혹은 구멍의 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 이 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 를 갖는 것이 바람직하다. 예를 들어, L 자 형상 (예를 들어 도 3C, 도 4B, 도 5B, 도 6C 및 도 6G, 도 7C), T 자 형상 (예를 들어 도 3D, 도 6D) 이다. 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지·고정이 더욱 확실해진다. 또한, 안쪽으로 넓어진 공간부의 형상으로는, 상기 서술한 바와 같이 프레임체의 폭방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 되고, 프레임체의 높이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 되며, 프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 넓어진 것이어도 된다.
또한, 파지용 홈 혹은 구멍이 안쪽으로 좁아진 공간부를 갖는 것도 바람직하다. 이 경우, 홈 혹은 구멍의 입구보다 작은 파지 부재를 삽입했을 때, 그 파지 부재가 안쪽의 좁아진 부분과 접촉하여 위치 결정됨으로써, 홈 혹은 구멍에 대해 파지 부재의 빠짐을 방지하면서 파지할수 있다. 안쪽으로 좁아진 공간부의 형상으로는, 도 3B, 도 4A, 도 5A 와 같이 프레임체의 폭방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 되고, 프레임체의 높이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 되며, 프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것이어도 된다.
프레임체의 길이 방향의 단면 형상이 안쪽으로 좁아진 것의 예로는, 변부에 부분적으로 존재하는 둘레 방향 홈으로서, 그 홈의 개구부 둘레 방향의 길이가 그 홈의 깊이 (홈의 개구부와 홈의 최심부의 최단 거리를 말한다) 보다 큰 홈을 들 수 있다 (도 12 참조). 또한, 그 홈의 개구부 둘레 방향의 길이가 그 홈의 깊이보다 작은 경우도 들 수 있다. 이와 같은 형상의 파지부를 갖는 프레임체이면, 그 홈에 끝이 좁아진 판 형상의 파지구에 의해 위치 결정하면서 파지할 수 있게 된다. 또한, 홈의 깊이에 대한 홈의 개구부 둘레 방향의 길이의 비는 0.5 ∼ 30 배가 바람직하고, 2 ∼ 20 배가 보다 바람직하며, 3 ∼ 10 배가 가장 바람직하다. 그 비가 0.5 이상이면 파지 부재를 삽입하기 쉽고, 30 이하이면 파지구가 빠지기 어렵다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태는, 도 3 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (10) 의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향해, 또한 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 를 갖는 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 을 갖는 형태이다. 여기서, 프레임체의 외측면 (5) 에서 내측 방향을 향한 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 외측면 (5) 의 법선 방향으로 패인 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 패인 형태로 해도 된다. 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 의 형상은, 예를 들어 L 자 형상 (예를 들어 도 3C 및 도 3G), T 자 형상 (예를 들어 도 3D) 이다. 안쪽으로 넓어진 공간부 (7a) 가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지가 더욱 확실해진다.
도 8 내지 도 9 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈 또는 구멍 (7) 의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다. 도 8A, 도 8C 및 도 8D 와 도 9 에 도시된 바와 같이, 파지용 홈 또는 구멍 (7) 의 배치는, 4 변 모두에 파지용 오목부를 가지고 있으면 되고, 프레임체 (10) 의 변부 전체 둘레에 걸쳐 배치되어도 되고 (도 8A), 프레임체 (10) 의 변부에 부분적으로 배치되어도 된다 (도 8C ∼ 도 8D, 도 9A ∼ 도 9C). 부분적인 배치의 경우, 지그나 장치 등의 파지 부재의 위치에 맞추어 프레임체의 특정 지점에 파지용 홈 또는 구멍을 배치시킬 수도 있다. 부분적으로 파지용 홈을 배치하는 경우, 프레임체의 어느 변부에도 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다. 한편, 후술하는 비교예에서 도시하는 바와 같이, 대향하는 변 2 개에만 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 양태 (도 8B) 에 있어서는, 휨의 발생을 충분히 억제할 수 없다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 오목부가 홈인 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 오목부가 차지하는 길이가 각각 10 ％ 이상인 것이, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 20 ％ 이상, 가장 바람직하게는 30 ％ 이상이다. 또한, 프레임체에 파지 이외의 기능을 갖는 부분을 가공으로 형성하는 여지를 남길 필요가 있는 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 오목부가 차지하는 길이가 각각 90 ％ 이하인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 80 ％ 이하, 가장 바람직하게는 70 ％ 이하이다. 그 파지용 오목부의 각 변부에 있어서의 배치는 각 변부의 각 중심에 대해 대칭인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 바람직하다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 오목부가 구멍 인 경우, 그 배치는 프레임체의 어느 변부에도 복수 개씩 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 파지용 홈 (7) 은, 홈의 측벽의 일방 측을 깎아낸 단 (段) 절삭 형상 홈이어도 된다. 또한, 파지용 구멍 (7) 은, 구멍의 측벽면의 일방 측을 깎아낸 세로 분할 통 형상의 구멍이어도 된다. 요컨대, 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 홈의 측벽면 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체 (10) 의 표면의 일부를 구성하고 있어도 된다. 이와 같은 형태로는, 예를 들어 홈 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체의 표면에 도달하여, 홈 혹은 구멍의 측벽면을 프레임체의 표면에서 판 형상 홈 혹은 구멍이 있다. 또한, 세로 분할 원통의 구멍에는, 주축을 통과하는 종단면으로 자른 횡단면이 반원의 구멍은 물론, 주축을 통과하지 않는 종단면으로 자른 구멍도 포함된다. 그 단면 형상의 예를 도시하면, 예를 들어 도 3F 및 도 3G, 도 6F 및 도 6G, 도 7B 이다. 특히, 홈의 측벽면 혹은 구멍의 측벽면이 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 일부를 구성하고 있는 형태 (예를 들어, 도 3F 및 도 3G, 도 6F 및 도 6G, 도 7B) 가 바람직하다. 프레임체 (10) 의 하부 가장자리면 (4) 에는, 점착재 (2) 가 부착되어 있지만, 하부 가장자리면 (4) 과 포토마스크 (9) 의 표면 사이의 거리는, 점착재 (2) 의 두께 만큼 넓어질 뿐, 파지 부재가 삽입되기 쉽고, 또한 홈 혹은 구멍의 직경을 작게 할 수 있기 때문에, 프레임체의 강도가 저하될 우려가 적다. 단, 상기 형태의 프레임체를 사용하는 경우에는, 파지시에는 점착재층이나 펠리클막의 접착부 에 여분의 힘을 부여하지 않도록 유의할 필요가 있다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 발진 방지를 위해, 홈 혹은 구멍과 파지 부재의 접촉부는, 홈 혹은 구멍이나, 파지 부재의 적어도 일방에 어떠한 표면 처리를 실시해 두어도 된다. 예를 들어, 실리콘 고무 등의 쿠션재로 피복하는 것을 들 수 있다.
도 10 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 홈 (7) 의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다. 도 10A 에 도시된 바와 같이 파지용 홈 (7) 은, 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측으로 비스듬하게 배치시킬 수도 있다. 또한 도 10B 에 도시된 바와 같이 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측, 하부 가장자리면측에서 상부 가장자리면측으로 반복하여 배치시킬 수도 있다.
또한, 프레임체의 외측면에 있어서, 4 개의 코너 부분에 도 13 에 기재된 바와 같은 경사 방향으로 관통된 구멍을 형성해도 된다. 이와 같은 관통 구멍을 형성함으로써, 그 관통 구멍 내에 막대 형상의 지그를 통과시켜 파지할 수도 있게 된다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 개개의 홈 폭 또는 구멍 내경은, 그것을 형성하는 프레임체의 폭 (w) 혹은 높이 (h) 보다 작고, 예를 들어 상부 가장자리면 (3) 혹은 하부 가장자리면 (4) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.01 ∼ 1 배 길이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.2 배가 더욱 바람직하다. 예를 들어 외측면 (5) 혹은 내측면 (6) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.01 ∼ 1 배 길이가 바람직하고, 0.01 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하며, 0.01 ∼ 0.2 배가 더욱 바람직하다. 또한, 홈 혹은 구멍의 깊이가 깊은 경우에는, 프레임체 강성의 저하를 피하기 위해서, 홈의 폭 혹은 구멍 내경은 작은 것이 바람직하다. 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 의 안쪽으로 넓어진 공간 (7a) 을 형성하는 경우에는, 넓어진 공간 (7a) 의 폭 혹은 내경은, 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 작게 한다.
파지용 홈 혹은 구멍 (7) 은, 펠리클 프레임체의 파지 (펠리클막을 접착하기 전의 프레임체의 파지와, 펠리클막을 접착한 후의 프레임체의 파지의 쌍방을 포함한다) 에 이용되고, 펠리클을 취급할 때, 펠리클을 수납 용기에 수납할 때, 펠리클을 수납 용기로부터 취출할 때에 효과적으로 이용된다.
파지용 홈 혹은 구멍을 파지 부재로 파지·고정시키는 방법을 설명한다. 도 11 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 도 11A 는 단면이 T 자 형상인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 플라스틱 등의 탄성체로 형성된 로크 기구를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11B 는 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 단면이 L 자 형상인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 걸림부를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11C 는 프레임체의 외측면에 형성된 단면이 L 자 형상으로, 측벽면이 프레임체 표면의 일부를 구성하는 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 걸림부를 갖는 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11D 는 프레임체의 하부 가장자리면에 단면이 사다리꼴 형상의 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 L 자 형상의 파지 부재 (16) 의 선단부를 삽입하여 파지·고정시킨 형태, 도 11E 는 프레임체의 내측면에 형성된 단면이 직사각형인 파지용 홈 혹은 구멍 (7) 에 파지 부재 (16) 를 삽입하여 파지·고정시킨 형태를 도시하였다. 도 11A ∼ 도 11E 에서는, 파지용 홈 혹은 구멍을 파지 부재 (16) 가 확실하게 파지·고정된다.
본 발명에 있어서는, 전술한 대형 펠리클 프레임체를 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 휨을 적게 하기 때문에 바람직하다. 보다 바람직하게는, 대형 펠리클 프레임체의 각 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이다.
또한, 펠리클을 포토마스크로부터 박리할 때에는, 파지용 홈 혹은 구멍을 파지한 다음 박리할 수 있으므로, 박리시에 박리력을 확실하게 전달할 수 있다.
둘째로, 상기 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부를 갖는 양태에 대해 설명한다. 그 볼록부로는, 판 형상인 것 또는 막대 형상인 것이 있다. 또한, 본원 발명에 있어서, 판 형상의 볼록부란, 프레임체의 외측면, 내측면, 상부 가장자리면, 또는 하부 가장자리면에 형성된 볼록부로서, 이들 면에 있어서의 그 볼록부의 둘레 방향 길이가 높이 방향 길이의 1.5 배 이상인 것을 말하고, 막대 형상의 볼록부란, 그 볼록부의 둘레 방향 길이가 그 볼록부의 높이 방향 길이의 1.5 배 미만인 것을 말한다.
먼저, 프레임체에 형성된 볼록부 (이하「돌출부」라고도 한다) 에 대해 설명한다. 도 14 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 14A ∼ 도 14G 는 프레임체의 외측면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 15 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 15A ∼ 도 15D 는 프레임체의 상부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 16 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 16A ∼ 도 16D 는 프레임체의 하부 가장자리면에 돌출부가 형성된 형태예이다. 도 17 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 17A ∼ 도 17G 가 프레임체의 내측면에 돌출부가 형성된 형태예이다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 14 에 도시된 바와 같이 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 갖는다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 15 에 도시된 바와 같이 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 16 에 도시된 바와 같이 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 또한, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 17 에 도시된 바와 같이 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다.
여기서, 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 는, 외측면 (5) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부는, 상부 가장자리면 (3) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 는, 하부 가장자리면 (4) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 는, 내측면 (6) 의 법선 방향으로 돌출된 형태 외에, 법선 방향에 대해 경사 방향으로 돌출된 형태로 해도 된다. 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부 및 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부의 돌출량은, 돌출시키는 프레임체의 표면을 기준으로 프레임체 폭의 0.1 ∼ 10 배 길이, 바람직하게는 0.1 ∼ 5 배 길이, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 3 배 길이이다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부 및 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부의 돌출량은, 돌출시키는 프레임체의 표면을 기준으로 프레임체 폭의 0.1 ∼ 10 배 길이, 바람직하게는 0.1 ∼ 5 배 길이, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 3 배 길이이다.
프레임체의 상부 가장자리면 (3) 에서 상방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우 및 프레임체의 하부 가장자리면 (4) 에서 하방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우에는, 파지·고정을 확실화하는 것 이외에, 펠리클막 (1) 표면의 법선 방향의 휨에 대해 돌출부 (7) 가 보강 리브로서 작용한다.
한편, 프레임체의 외측면 (5) 에서 외측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우, 및 프레임체의 내측면 (6) 에서 내측 방향을 향한 돌출부 (7) 를 형성한 경우에는, 파지·고정을 확실화하는 것 이외에, 펠리클막 (1) 을 당겼을 때에 펠리클막 (1) 의 표면과 평행 방향으로 가해지는 장력에 의해 프레임체가 중앙 방향으로 휘는 것에 대해 보강 리브로서 작용한다.
그리고 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체 (10) 는, 도 18 에 도시된 바와 같이 프레임체에 복수의 돌출부 (7) 를 가지고 있어도 된다. 도 18 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 각종 형태예를 도시하는 부분 확대 종단면도로, 도 18A ∼ 도 18G 는 돌출부가 복수 형성된 형태예이다. 조합으로는, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 외측면에서 외측 방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부와 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우, 프레임체의 상부 가장자리면에서 상방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한 프레임체의 하부 가장자리면에서 하방향을 향한 돌출부와 프레임체의 내측면에서 내측 방향을 향한 돌출부를 두 개 갖는 경우가 있다. 또한 프레임체의 4 개의 표면 중 3 개의 표면에 돌출부를 형성하는 형태 또는 프 레임체의 4 개 표면 모두에 돌출부를 형성하는 형태도 있다. 프레임체의 복수의 표면에 돌출부를 형성함으로써, 파지·고정이 더욱 확실해지고, 또한 프레임체의 보강 방향을 늘릴 수 있다. 또한, 프레임체의 상이한 표면을 파지하는 2 종 이상의 파지구에 대해서도, 동일한 하나의 프레임체로 대응할 수 있다는 장점도 있다.
돌출부 (7) 의 단면 형상은, 직사각형 (예를 들어 도 14A 및 도 14B, 도 15A, 도 16A, 도 17A 및 도 17B), 사다리꼴 (예를 들어 도 14F, 도 15D, 도 16A, 도 17F), 다각형, 원형·반원형 (예를 들어 도 15B, 도 15C) 또는 타원형 (예를 들어 도 14G, 도 17G) 등, 특별히 상관하지 않는다. 필요에 따라 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다.
도 19 와 도 20 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도이다. 도 19A, 도 19C 및 도 19D 와 도 20 에 도시된 바와 같이, 돌출부 (7) 의 배치는, 4 변 모두에 파지용 볼록부를 가지고 있으면, 프레임체 (10) 의 변부 전체 둘레에 걸쳐 배치되어도 되고 (도 19A), 프레임체 (10) 의 변부에 부분적으로 배치되어도 된다 (도 19C ∼ 도 19D, 도 20A ∼ 도 20E). 부분적인 배치의 경우, 부착되는 포토마스크 취급시의 파지·고정 위치, 포토마스크의 얼라이먼트 마크 위치, 포토마스크를 노광기에 세트할 때의 파지·고정 위치에 적응시켜, 프레임체의 특정 지점에 돌출부를 배치시킬 수도 있다. 부분적으로 돌출부에 배치하는 경우, 프레임체의 어느 변부에도 배치해 두는 것이 바람직하다. 프레임체의 휨에 대해 강도 보강이 된다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 볼록부가 판 형상인 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 볼록부가 차지하는 길이가 각각 10 ％ 이상인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 보다 바람직하다. 더욱 바람직하게는 20 ％ 이상, 가장 바람직하게는 30 ％ 이상이다. 또한, 프레임체에 파지 이외의 기능을 갖는 부분을 가공으로 형성할 여지를 남길 필요가 있는 경우에는, 각 변의 길이에 대해 그 파지용 볼록부가 차지하는 길이가 각각 90 ％ 이하인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 80 ％ 이하, 가장 바람직하게는 70 ％ 이하이다. 그 파지용 볼록부의 각 변부에 있어서의 배치는 각 변부의 각 중심에 대해 대칭인 것이 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어 바람직하다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 파지용 볼록부가 막대 형상인 경우에는, 그 배치는, 프레임체의 어느 변부에도 복수 개씩 배치해 두는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체를 파지할 때에, 자중에 의한 하중의 편중을 균일 분산시킬 수 있어, 휨의 발생을 억제할 수 있다.
도 10 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 돌출부의 배치를 설명하기 위한 프레임체의 측면 방향에서 본 개략도이다. 도 10A 에 도시된 바와 같이 돌출부는, 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으로 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측으로 비스듬하게 배치시킬 수도 있다. 또한 도 10B 에 도시된 바와 같이 프레임체의 측면 방향에서 보았을 때, 변 방향으 로, 상부 가장자리면측에서 하부 가장자리면측, 하부 가장자리면측에서 상부 가장자리면측으로 반복하여 배치시킬 수도 있다.
도 21 은 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부가 프레임체 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 형태일 때의 부분 확대 종단면도로, 도 21A 는 나사 고정, 도 21B 는 커플러에 의한 고정, 도 21C 는 탄성체에 의한 고정, 도 21D 는 끼움에 의한 고정을 도시하였다. 도 21 에 도시된 바와 같이 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체 (10) 의 돌출부 (7) 는, 프레임체 (10) 의 변부에 자유롭게 탈착할 수 있게 고정되어 있는 것이 바람직하다. 펠리클 프레임체보다 강성이 높은 포트마스크에 부착한 후에는, 펠리클 프레임체의 강성은 상관없어지기 때문에, 강성 향상이나, 고정·파지에 사용했던 돌출부는, 제거하도록 해도 된다. 이렇게 함으로써, 포토마스크 취급시의 파지·고정 위치, 포토마스크를 노광기에 세트할 때의 파지·고정 위치로부터의 제약을 회피할 수도 있게 된다.
또한, 펠리클을 포토마스크로부터 박리할 때에는, 돌출부를 부착할 수 있게 해두어도 된다. 이렇게 함으로써, 펠리클 프레임체의 강성 향상을 도모할 수 있어, 돌출부를 파지·고정시킬 수 있으므로, 박리시에 박리력을 확실하게 전달할 수 있다.
탈착 방법은, 탈착 가능한 기계적 고정 방법이면 어떤 것이어도 된다. 예를 들어, 도 21 에 도시된 바와 같이, 나사, 커플러, 탄성체의 삽입, 끼움 등을 들 수 있다. 바람직하게는, 발진 방지를 위해, 접촉부는 어떠한 표면 처리를 실시해 두어도 된다. 예를 들어, 실리콘 고무 등의 쿠션재로 피복하는 것을 들 수 있다. 돌출부가 탈착될 수 있는 경우, 돌출부는 프레임체보다 강성이 높은 소재로 형성하고 있어도 된다. 돌출부를 장착하기 위한 구멍 혹은 홈의 크기 (내경) 는, 프레임체의 외측면 혹은 내측면에 돌출부를 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.01 ∼ 1 배의 크기, 바람직하게는 0.01 ∼ 0.5 배의 크기, 보다 바람직하게는 0.01 ∼ 0.2 배의 크기이다. 또한, 프레임체의 상부 가장자리면 혹은 하부 가장자리면에 돌출부를 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.01 ∼ 1 배의 크기, 바람직하게는 0.01 ∼ 0.5 배의 크기, 보다 바람직하게는 0.01 ∼ 0.2 배의 크기이다. 프레임체의 강성 저하를 피하기 위해서, 구멍 혹은 홈은 작은 것이 바람직하다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 예를 들어 도 19 또는 도 20 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (10) 의 돌출부 형상이 판 형상인 것이 바람직하다. 판의 두께는, 그것을 형성하는 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 얇고, 예를 들어 돌출부 (7) 의 돌출량의 0.01 배 이상의 두께가 바람직하고, 0.1 배 이상의 두께가 보다 바람직하다. 돌출부 (7) 를 갈고리형으로 하는 경우에는, 갈고리 형상의 꺽여진 선단부 (7a) 는, 판을 형성하는 프레임체의 폭 (W) 혹은 높이 (h) 보다 크게 해도 된다. 여기서, 도 20(c) 에 도시된 바와 같이, 돌출부 (7) 가 판 형상인 경우, 프레임체의 네 귀퉁이부에서 변의 중앙부에 걸쳐, 돌출부의 돌출량을 연속적으로 크게 해도 된다. 이렇게 함으로써, 강성이 약한 변부 중앙 부근의 강성이 보강되게 되어, 프레임체의 네 구석부의 강성과 변부의 강 성이 균일해진다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 예를 들어 도 22 에 도시된 바와 같이, 프레임체 (20) 의 돌출부 (7) 형상을 막대 형상으로 해도 된다. 도 22 는, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체의 다른 형태 (돌출부가 막대 형상) 를 설명하기 위한 사시도로, 도 22A 는 포토마스크에 접착된 대형 펠리클, 도 22B 는 대형 펠리클 프레임체를 도시한다. 막대 형상의 돌출부 (7) 의 단면 형상은, 직사각형, 사다리꼴, 다각형, 원형, 타원형 등, 특별히 상관없다. 필요에 따라 구석에 곡률 R 이나 C 면을 형성해도 된다. 돌출부 (7) 는, 프레임체 (20) 의 상부 가장자리면, 하부 가장자리면, 외측면 또는 내측면 중 어느 것에 형성해도 된다. 도 22 는, 외측면에 돌출부를 형성한 형태예이다. 막대의 직경은, 예를 들어 상부 가장자리면 (3) 혹은 하부 가장자리면 (4) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 폭의 0.1 ∼ 2 배 길이가 바람직하고, 0.1 ∼ 0.5 배 길이가 보다 바람직하다. 예를 들어 외측면 (5) 혹은 내측면 (6) 에 형성하는 경우에는, 프레임체 높이의 0.1 ∼ 3 배 길이가 바람직하고, 0.1 ∼ 1 배 길이가 보다 바람직하다. 도 23 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에 있어서 막대 형상의 돌출부의 배치를 설명하기 위한 펠리클막을 보는 방향의 개략도로, 도 23A 는 도 22 의 형태와 동일하고, 단변과 장변에 각각 3 개씩 돌출부를 형성한 경우, 도 23B 는 단변과 장변에 각각 1 개씩 돌출부를 형성하고, 추가로 4 귀퉁이에 1 개씩 돌출부를 형성한 경우, 도 23C 는 도 23A 에서 변마다 돌출부를 일체화시킨 경우이다. 도 23C 에서는, 3 개의 막대 형상 돌출부 (7) 가 일체화되어 있기 때문에, 강도의 향상을 전망할 수 있는 것 외에 제거할 때에는 작업성이 좋다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 돌출부는 선단이 갈고리 형상을 하고 있는 것이 바람직하다. 예를 들어, L 자 형상 (예를 들어 도 14C 및 도 14E, 도 15C, 도 16D, 도 17C 및 도 17E), T 자 형상 (예를 들어 도 14D, 도 17D) 이다. 갈고리가 없는 경우와 비교하여, 파지 부재에 대해 걸 수 있으므로, 파지·고정이 더욱 확실해진다.
본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 혹은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가, 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 도 24 는, 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부를 포함하는 부분 확대 종단면도로, 도 24A 는 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 구부러져 있는 변부가 포토마스크에 접하는 형태, 도 24B 는 돌출부가 L 자 형상이고, 선단이 포토마스크에 형성된 홈에 박혀 있는 형태를 도시하였다. 도 24A 에 도시된 바와 같이, 하부 가장자리면 (4) 에 대해 수직 방향인 L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 가 점착재 (2) 의 하면보다 돌출된 경우, L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 는 포토마스크 (9) 의 외측면에 거의 접하도록 배치한다. 혹은 도 24B 에 도시된 바와 같이, 포토마스크 (9) 의 외측면보다 내측에 하부 가장자리면 (4) 에 대해 수직 방향인 L 자 형상 돌출부의 선단부 (7a) 를 배치해야 하는 경우, 포토마스크 (9) 의 표면을 선단부 (7a) 와 동 형상으로 깎아도 된다. 도 24A 및 도 24B 의 어느 경우에도, 펠리클을 포토마스크에 부착할 때, 펠리클의 위치 맞춤 간이화나, 펠리클의 부착 위치 정밀도 향상의 효과를 발휘한다.
그리고 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부가 펠리클을 포토마스크에 부착했을 때, 포토마스크의 외주 측면 및 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 프레임체의 돌출부의 좌우 어느 일방을 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성하고, 타방을 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성하는 형태이다. 혹은, 프레임체의 돌출부를 F 자 형상으로 하고, 선단측이 구부러져 있는 부분을 포토마스크의 외주 측면에 접하도록 형성하고, 앞측이 구부러져 있는 부분을 포토마스크에 형성된 홈에 접하도록 형성하는 형태이다. 이와 같이, 펠리클을 포토마스크에 부착할 때, 펠리클의 위치 맞춤의 간이화나, 펠리클의 부착 위치 정밀도 향상의 효과를 발휘하는 한, 형태를 변형시켜도 된다.
도 25 는, 대형 펠리클 프레임체에 형성된 돌출부에 별도 부품을 조합하여 대형 펠리클을 고정시켰을 때의 부분 확대 종단면도이다. 도 25 에 나타내는 바와 같이 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체에서는, 프레임체의 돌출부 (7) 가, 펠리클을 포토마스크 (9) 에 부착했을 때에, 별도 부품 (15) 과 조합함으로써, 포토마스크 (9) 에 프레임체 (10) 를 물리적으로 고정시킬 수 있도록 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이렇게 함으로써, 펠리클을 포토마스크에 확실하게 부착시켜, 탈락 등을 방지할 수 있다. 프레임체의 돌출부 (7) 에 별도 부품 (15) 을 부착하는 방법으로는, 나사 고정, 커플러, 탄성체를 사용한 끼워맞춤, 끼 움 등, 각종 고정 방법을 이용해도 된다.
돌출부는, 파지·고정에도 이용되고, 펠리클을 취급할 때, 수납 용기에 수납할 때, 펠리클을 수납 용기로부터 취출할 때에 효과적으로 이용된다. 돌출부를 파지 부재로 파지·고정시키는 방법을 설명한다. 도 26 은, 본 실시형태에 관련된 대형 펠리클 프레임체를 파지 부재로 파지·고정시킬 때의 모습을 설명하기 위한 부분 확대 종단면도로, 도 26A 는 단면이 직사각형인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26B 는 프레임체의 외측면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26C 는 프레임체의 상부 가장자리면에 형성된 돌출부로서, 단면이 L 자 형상인 돌출부를 파지·고정시킨 형태, 도 26D 는 프레임체의 내측면에 형성된 돌출부로서, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부를 파지·고정시킨 형태를 도시하였다. 도 26A 및 도 26C 에서는, 돌출부를 파지 부재 (16) 가 확실하게 파지·고정시킨다. 도 26B 에서는, 돌출부의 L 자 선단부 (갈고리 부분) 가 파지 부재 (16) 에 걸려 더욱 확실하게 파지·고정된다. 또한, 도 26D 에서는, 2 개의 직사각형 형상의 돌출부 사이에 파지 부재 (16) 에 걸려 확실하게 파지·고정된다. 상기에 설명한, 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 오목부를 갖는 양태, 및 프레임체가 모든 변부에 각각 파지용 볼록부를 갖는 양태에 대해서는, 하나의 프레임체 내에서 파지용 오목부와 볼록부를 조합하여 사용해도 되는 것은 말할 필요도 없다. 스페이스 효율을 중시하는 경우에는 오목부가 바람직하고, 프레임체의 보강 효과를 중시하는 경우에는 볼록부가 바람직하지만, 전술한 여러가지 양태의 범위 내에서 파지구의 설계에 맞추어 설계할 수 있다.
본 발명의 대형 펠리클 프레임체를 파지하는 데에 있어서는, 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 바람직하고, 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 2 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 보다 바람직하며, 프레임체의 각 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하는 것이 가장 바람직하다.
펠리클막을 접착한 프레임체에는, 펠리클막이 수축되고자 하는 장력에 의해 내측 방향으로 잡아당겨지는 응력이 가해진다. 본 실시형태에 있어서, 프레임체의 내측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태의 경우, 파지용 홈 혹은 구멍에 삽입된 파지 부재를 개재하여 프레임체의 변부에 외측의 응력을 가할 수 있다. 이로써, 상기 응력에 의해 발생하는 프레임체의 약간의 변형을 교정할 수 있다. 그리고 프레임체의 상부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태, 프레임체의 하부 가장자리면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태, 또는 프레임체의 외측면에서 파지용 홈 혹은 구멍이 패인 형태 중 어느 것에 있어서도, 예를 들어 홈 혹은 구멍의 안쪽으로 넓어진 공간부를 형성하고, 파지 부재의 삽입의 선단부에 로크 기구를 형성함으로써, 프레임체가 펠리클막에 의한 내측에 대한 변형을 교정할 수 있다. 마찬가지로, 프레임체에 형성된 볼록부에 대해서도, 볼록부를 파지함으로써, 프레임체 펠리클막에 의한 내측 방향에 대한 변형을 교정할 수 있다. 또한, 상기 프레임체의 내측에 대한 변형을 교정하는 방법은, 펠리클막의 수축 장력에 의한 내측에 대한 변형을 교정하는 경우 이외에도, 프레임체의 자중이나, 막 장력 이외의 외력에 의해 변형을 교정하는 경우에도 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 데에 있어서는, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 각 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 동시에 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 것이 바람직하다.
실시예
본 발명자들은, 전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 대형 펠리클 프레임체를 사용하여 실험한 결과, 다음과 같은 실시예에 나타내는 바와 같은 좋은 결과가 얻어졌다.
[실시예 1]
장변의 길이가 1600 ㎜, 단변의 길이가 1400 ㎜, 폭이 14 ㎜, 높이가 6 ㎜ 인 사변형 알루미늄 합금제의 프레임체를 준비하였다. 각 변의 외측면의 높이 3 ㎜ 의 위치에, 각 변의 중앙, 및 각 변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 3 점을 중심으로 하여, 개구부 둘레 방향의 길이 200 ㎜, 개구부의 높이 1.5 ㎜, 홈의 깊이 3 ㎜ 홈을, 프레임체의 4 변 모두에 대해 각 변 3 지점씩 절삭 가공에 의해 형성하였다.
프레임체의 하부 가장자리면에, 표면에 아크릴계 점착제가 도포된 폴리에틸렌 발포체 기재 (두께 1 ㎜) 를 점착재층으로서 부착하였다. 다음으로, 상기 프레임체와 동일한 프레임 형상의 보호 필름으로서, 장변의 중앙부에 치수가 폭 10 ㎜ × 길이 900 ㎜ 의 누름대, 단변의 중앙부에 치수가 폭 10 ㎜ × 길이 750 ㎜ 의 누름대, 및 네 귀퉁이의 정점에 정점을 중심으로 반경 10 ㎜ 의 누름대를 각각 프레임체의 외측 방향으로 비져나오도록 형성하고 (도 27 참조), 실리콘계 이형제가 표면에 도포된 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지제의 보호 필름을 그 점착재층 상에 적층시켰다.
이와 같이 하여 얻은 보호 필름이 부착된 대형 펠리클 프레임체를, ABS 수지재로 진공 성형된 수납 용기의 트레이 위에 탑재하고, 상기 누름대 8 지점을 점착 테이프 (테이프 사이즈 : 장변 15 ㎜ × 940 ㎜, 단변 15 ㎜ × 790 ㎜, 네 귀퉁이 15 ㎜ × 60 ㎜) 를 개재하여 트레이에 점착 고정시켰다.
[실시예 2]
장변의 길이가 1800 ㎜, 단변의 길이가 1600 ㎜, 폭이 16 ㎜ 인 것 이외에는, 상기 실시예 1 과 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
[실시예 3]
장변의 길이가 2000 ㎜, 단변의 길이가 1800 ㎜, 폭이 18 ㎜ 인 것 이외에는, 상기 실시예 1 과 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
[실시예 4]
각 변의 중앙 및 각 변의 양 단으로부터 150 ㎜ 인 3 점에, 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 프레임체의 4 변 모두에 대해 각 변 3 지점씩 형성한 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
[비교예 1]
단변의 외측면의 전체 둘레에 걸쳐, 개구부의 높이 1.5 ㎜, 홈의 깊이 3 ㎜ 홈을 형성하고, 장변에는 파지부를 형성하지 않았던 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
[실시예 5]
장변의 중앙 및 양 단으로부터 150 ㎜ 인 위치에서, 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 3 지점씩 형성하고, 단변의 중앙에 프레임체의 외측면에 개구부의 직경 3 ㎜, 깊이 3 ㎜ 의 원형 구멍을 1 지점씩 형성한 것 이외에는, 상기 실시예 2 와 동일한 프레임체를 준비하여, 실시예 1 과 동일하게 트레이에 고정시켰다.
이하의 표 1 에 상기 실시예 1 ∼ 5 와 비교예 1 에 대한 평가 결과를 나타낸다.
펠리클 프레임체의 확실한 파지 평가는, 트레이에 점착 고정시키기 전의 프레임체로 실시하였다. 실시예 1 ∼ 3 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 폭 100 ㎜, 두께 0.75 ㎜ 의 판 형상의 파지 부재를 갖는 지그를 12 조 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 홈에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 비교예 1 의 경우에는, 양 단변의 중앙 및 양 단변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 총 6 점을 중심으 로 한 6 지점에 동일한 지그를 삽입하여 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 실시예 4 ∼ 5 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 직경 2 ㎜ 의 막대를 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 구멍에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 수평으로 들어 올린 후, 수평 상태에서 1 초 동안 1 회의 비율로, 300 ㎜ 의 높이를 5 회 상하시켜, 모든 파지 부재가 모든 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나오지 않은 경우를「○」, 일부의 파지 부재가 대응하는 일부의 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나온 경우를「△」, 모든 파지 부재가 모든 파지용 홈 또는 구멍으로부터 빠져 나와 펠리클 프레임체가 낙하된 경우를「×」로 나타낸다.
또한, 펠리클 프레임체의 휨 방지 평가는, 수평으로 놓인 트레이에 보호 필름을 개재하여 점착 고정시킨 프레임체로 실시하였다. 실시예 1 ∼ 3 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 폭 100 ㎜, 두께 0.75 ㎜ 의 판 형상의 파지 부재를 갖는 지그를 12 조 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 홈에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 비교예 1 의 경우에는, 양 단변의 중앙 및 양 단변의 양 단으로부터 250 ㎜ 인 총 6 점을 중심으로 한 6 지점에 동일한 지그를 삽입하여 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 또한, 실시예 4 ∼ 5 의 경우에는, 파지 부재로서 강화 플라스틱으로 제작한 직경 2 ㎜ 의 막대를 준비하고, 그 파지 부재를 프레임체의 각 변에 있어서 모든 파지용 구멍에 삽입하고 동시에 파지하여, 프레임체를 수평으로 들어 올렸다. 들어 올리는 속도는 매초 1 ㎝ 로 하고, 보호 필름과 점착재의 계면이 완전히 박리되기 직전 펠리클 프레임체의 변의 휨량이 10 ㎜ 미만인 경우를「◎」, 10 ㎜ 이상 15 ㎜ 미만인 경우를「○」, 15 ㎜ 이상 20 ㎜ 미만인 경우를「△」(실용상 문제가 아닌 하한 레벨), 20 ㎜ 이상인 경우를 「×」 (실용상 문제인 레벨) 로 나타낸다.
Figure 112009077713244-PCT00001

Claims (16)

  1. 복수의 변으로 이루어지는 다각형 형상을 갖는 프레임체로서, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재를 구비할 수 있는, 상기 프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1 m 이상인 대형 펠리클의 상기 프레임체에 있어서,
    상기 프레임체는, 모든 변부에 각각 파지용 볼록부 또는 오목부를 갖는 대형 펠리클 프레임체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상에 있는 대형 펠리클 프레임체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 외측면 상으로서 상부 가장자리면 및 하부 가장자리면에서 이간된 위치에 있는 대형 펠리클 프레임체.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 홈 혹은 구멍인 대형 펠리클 프레임체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 넓어진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 대형 펠리클 프레임체.
  6. 제 4 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 안쪽으로 좁아진 공간부를 갖는 홈 또는 구멍인 대형 펠리클 프레임체.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 각 변에 있어서, 그 파지용 볼록부 또는 오목부가 차지하는 길이가 각각 변의 길이에 대해 10 ％ 이상인 대형 펠리클 프레임체.
  8. 제 7 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부 전체 둘레에 걸쳐 형성되어 있는 홈인 대형 펠리클 프레임체.
  9. 제 7 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 변부에 부분적으로 형성되어 있는 홈인 대형 펠리클 프레임체.
  10. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    파지용 볼록부 또는 오목부가, 프레임체의 모든 변부에 복수 개씩 형성되어 있는 구멍인 대형 펠리클 프레임체.
  11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 대형 펠리클 프레임체와, 그 프레임체의 상부 가장자리면에 접착된 펠리클막과, 그 프레임체의 하부 가장자리면에 도포 점착된 점착재로 이루어지는 대형 펠리클.
  12. 제 11 항에 있어서,
    프레임체의 가장 긴 변의 길이가 1.4 m 이상 2.0 m 이하인 대형 펠리클.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    프레임체의 높이에 대한 폭의 비가 1.5 ∼ 4.0 인 대형 펠리클.
  14. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법으로서, 상기 대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    대형 펠리클 프레임체의 모든 변부에 있어서 모든 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하는 대형 펠리클 프레임체의 파지 방법.
  16. 제 11 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 기재된 대형 펠리클의 프레임체 형상을 교정하는 방법으로서, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 모든 변부에 있어서 각각 적어도 1 지점 이상의 파지용 볼록부 또는 오목부를 파지하고, 상기 대형 펠리클의 프레임체의 적어도 1 지점에 응력을 가함으로써 그 프레임체의 변형을 적게 하는 대형 펠리클의 프레임체 형상의 교정 방법.
KR1020097026229A 2007-07-06 2008-07-02 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법 KR101191055B1 (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-179041 2007-07-06
JP2007179041 2007-07-06
JP2007179054 2007-07-06
JPJP-P-2007-179054 2007-07-06
PCT/JP2008/061945 WO2009008294A1 (ja) 2007-07-06 2008-07-02 大型ペリクルの枠体及び該枠体の把持方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127015729A Division KR101264571B1 (ko) 2007-07-06 2008-07-02 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20100028040A true KR20100028040A (ko) 2010-03-11
KR101191055B1 KR101191055B1 (ko) 2012-10-15

Family

ID=40228472

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127015729A KR101264571B1 (ko) 2007-07-06 2008-07-02 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법
KR1020097026229A KR101191055B1 (ko) 2007-07-06 2008-07-02 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020127015729A KR101264571B1 (ko) 2007-07-06 2008-07-02 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법

Country Status (5)

Country Link
JP (2) JP2010102357A (ko)
KR (2) KR101264571B1 (ko)
CN (2) CN102681334B (ko)
TW (2) TWI498671B (ko)
WO (1) WO2009008294A1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130112737A (ko) * 2012-04-04 2013-10-14 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 펠리클 프레임 및 펠리클
KR20160034800A (ko) * 2014-09-22 2016-03-30 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 펠리클 프레임 및 펠리클
US20200401039A1 (en) * 2018-03-05 2020-12-24 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle, exposure master, exposure device and method for manufacturing semiconductor device

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5051840B2 (ja) * 2007-11-22 2012-10-17 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法
JP5134436B2 (ja) * 2008-05-27 2013-01-30 信越化学工業株式会社 リソグラフィ用ペリクル
KR101287700B1 (ko) * 2008-09-12 2013-07-24 아사히 가세이 이-매터리얼즈 가부시키가이샤 펠리클 프레임, 펠리클 및 펠리클 프레임의 사용 방법
JP5411596B2 (ja) * 2009-06-24 2014-02-12 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル
JP5411595B2 (ja) * 2009-06-24 2014-02-12 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル
JP2011034020A (ja) * 2009-08-06 2011-02-17 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ペリクル収納容器
US8685598B2 (en) 2009-10-07 2014-04-01 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle and mask adhesive therefor
JP4879308B2 (ja) * 2009-10-29 2012-02-22 信越化学工業株式会社 ペリクル剥離用冶具および剥離方法
JP4951051B2 (ja) * 2009-10-30 2012-06-13 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びペリクル
JP5731147B2 (ja) * 2010-09-01 2015-06-10 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル用枠体及びペリクル
JP5579545B2 (ja) * 2010-09-03 2014-08-27 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法
JP2012093595A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレームおよびペリクル
JP5722760B2 (ja) * 2011-02-08 2015-05-27 信越化学工業株式会社 ペリクル製造用キット
JP5649134B2 (ja) * 2011-02-08 2015-01-07 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム
JP5618888B2 (ja) * 2011-04-04 2014-11-05 信越化学工業株式会社 ペリクル及びペリクル膜の製造方法
JP5663376B2 (ja) * 2011-04-04 2015-02-04 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム、その製造方法、及びペリクル
JP5940283B2 (ja) * 2011-11-04 2016-06-29 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP2013195950A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Toppan Printing Co Ltd ベルクル及びフォトマスク
JP6030136B2 (ja) * 2012-08-02 2016-11-24 三井化学株式会社 ペリクル
JP5864399B2 (ja) * 2012-10-22 2016-02-17 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
JP5984187B2 (ja) * 2013-04-22 2016-09-06 信越化学工業株式会社 ペリクルとフォトマスクのアセンブリ
JP5997380B2 (ja) * 2013-06-21 2016-09-28 三井屋工業株式会社 板材の端部の処理方法、板材の製造方法、板材の端部の処理装置、及び、板材
JP6389353B2 (ja) * 2013-08-15 2018-09-12 旭化成株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
KR101918687B1 (ko) 2014-01-28 2018-11-14 삼성전자주식회사 펠리클
SG11201608777TA (en) * 2014-05-02 2016-12-29 Mitsui Chemicals Inc Pellicle frame, pellicle and method of manufacturing the same,original plate for exposure and method of manufacturing thesame, exposure device, and method of manufacturingsemiconductor device
DE102014111995B4 (de) 2014-08-21 2022-10-13 Infineon Technologies Ag Verfahren zum ergreifen, zum bewegen und zum elektrischen testen eines halbleitermoduls
EP3196699A4 (en) * 2014-09-19 2018-05-16 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle, production method thereof, exposure method
JP6367342B2 (ja) 2014-09-19 2018-08-01 三井化学株式会社 ペリクル、ペリクルの製造方法及びペリクルを用いた露光方法
CA3206173A1 (en) * 2014-11-17 2016-05-26 Asml Netherlands B.V. Mask assembly
KR102082784B1 (ko) * 2014-12-11 2020-03-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP6347741B2 (ja) * 2014-12-25 2018-06-27 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP6519190B2 (ja) * 2015-01-16 2019-05-29 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠
JP2016139103A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠
CN107112271B (zh) * 2015-02-19 2020-08-18 株式会社 V 技术 防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法
JP6376601B2 (ja) * 2015-05-18 2018-08-22 信越化学工業株式会社 ペリクル支持手段及びこれを用いたペリクル支持装置とペリクル装着方法
CN115202162A (zh) 2015-12-14 2022-10-18 Asml荷兰有限公司 用于制造隔膜组件的方法
CA3233586A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-22 Asml Netherlands B.V. A membrane assembly
JP6559585B2 (ja) * 2016-01-25 2019-08-14 日本特殊陶業株式会社 ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法
JP6604651B2 (ja) * 2016-02-22 2019-11-13 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
JP6526588B2 (ja) * 2016-03-10 2019-06-05 日本特殊陶業株式会社 ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法
JP6532428B2 (ja) * 2016-05-26 2019-06-19 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP7017900B2 (ja) * 2016-11-11 2022-02-09 旭化成株式会社 ペリクル構造体、ペリクル収納体及び固定方法
JP6706575B2 (ja) * 2016-12-22 2020-06-10 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びこれを用いたペリクル
JP7357432B2 (ja) * 2017-10-10 2023-10-06 信越化学工業株式会社 Ｅｕｖ用ペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付露光原版、露光方法、及び半導体の製造方法
KR20200071080A (ko) * 2017-10-27 2020-06-18 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 펠리클 프레임 및 펠리클 조립체
JP6899759B2 (ja) * 2017-12-12 2021-07-07 日本軽金属株式会社 Ｆｐｄ（フラットパネルディスプレイ）用ペリクル枠体及びその製造方法
US10768534B2 (en) * 2018-08-14 2020-09-08 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Photolithography apparatus and method and method for handling wafer
JP7103252B2 (ja) 2019-02-01 2022-07-20 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム、ペリクル、マスク粘着剤付ペリクルフレーム、ペリクル付露光原版、露光方法及び半導体の製造方法
JP7347789B2 (ja) * 2019-07-09 2023-09-20 三井化学株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
TW202129404A (zh) * 2020-01-21 2021-08-01 日商信越化學工業股份有限公司 防護薄膜框架、防護薄膜、帶防護薄膜的曝光原版及曝光方法、以及半導體或液晶顯示器的製造方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4833051A (en) * 1984-08-20 1989-05-23 Nippon Kogaku K.K. Protective device for photographic masks
JP2595993B2 (ja) * 1987-10-09 1997-04-02 株式会社ニコン 露光用原板作成装置及び方法
JP3242693B2 (ja) * 1992-05-15 2001-12-25 富士通株式会社 ペリクル貼り付け装置
JPH095982A (ja) * 1995-06-17 1997-01-10 Mitsui Petrochem Ind Ltd マスク保護装置の剥離方法
JPH09106066A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Nikon Corp ペリクルライナーの剥離方法
JPH1048811A (ja) * 1996-08-07 1998-02-20 Mitsui Petrochem Ind Ltd マスク保護装置とペリクル枠
JP4007752B2 (ja) * 1999-07-30 2007-11-14 旭化成エレクトロニクス株式会社 大型ペリクル用枠体及び大型ペリクル
JP2002131892A (ja) * 2000-10-27 2002-05-09 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクルの剥離方法及びその装置
US6524754B2 (en) * 2001-01-22 2003-02-25 Photronics, Inc. Fused silica pellicle
JP2003222990A (ja) * 2001-11-21 2003-08-08 Asahi Glass Co Ltd ペリクルのフォトマスクへの装着構造
US7205074B2 (en) * 2002-12-31 2007-04-17 Intel Corporation Venting of pellicle cavity for a mask
JP2004240010A (ja) * 2003-02-04 2004-08-26 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクルの収納方法
JP4030888B2 (ja) * 2003-02-05 2008-01-09 Ｓｍｋ株式会社 モジュール用ソケット
JP4330377B2 (ja) * 2003-05-15 2009-09-16 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクルの組立方法及び大型ペリクルの組立装置
JP4497845B2 (ja) * 2003-06-04 2010-07-07 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクルの収納方法
JP2005202011A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Mitsui Chemicals Inc ペリクル
JP2005308901A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレーム及びそれを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル
JP2005326634A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Mitsui Chemicals Inc ペリクルの収納方法
JP2006146064A (ja) * 2004-11-24 2006-06-08 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 大型ペリクル剥離用仮枠
JP4391435B2 (ja) * 2005-03-22 2009-12-24 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
WO2006113859A2 (en) * 2005-04-20 2006-10-26 Yazaki Corporation Photomask assembly incorporating a metal/scavenger pellicle frame
JP2006301525A (ja) * 2005-04-25 2006-11-02 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレーム
JP2006323178A (ja) * 2005-05-19 2006-11-30 Shin Etsu Chem Co Ltd リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法
JP4677632B2 (ja) * 2005-07-08 2011-04-27 レーザーテック株式会社 ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法
JP2008083166A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Toppan Printing Co Ltd ペリクルフレーム
JP5052106B2 (ja) * 2006-11-22 2012-10-17 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクルの収納方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130112737A (ko) * 2012-04-04 2013-10-14 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 펠리클 프레임 및 펠리클
KR20160034800A (ko) * 2014-09-22 2016-03-30 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 펠리클 프레임 및 펠리클
US20200401039A1 (en) * 2018-03-05 2020-12-24 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle, exposure master, exposure device and method for manufacturing semiconductor device
US11852968B2 (en) * 2018-03-05 2023-12-26 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle, exposure master, exposure device and method for manufacturing semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
TW200919081A (en) 2009-05-01
KR101264571B1 (ko) 2013-05-14
KR20120074334A (ko) 2012-07-05
CN101689018A (zh) 2010-03-31
WO2009008294A1 (ja) 2009-01-15
TWI641904B (zh) 2018-11-21
KR101191055B1 (ko) 2012-10-15
JP5792274B2 (ja) 2015-10-07
TW201523125A (zh) 2015-06-16
CN102681334A (zh) 2012-09-19
CN102681334B (zh) 2015-09-30
TWI498671B (zh) 2015-09-01
JP2014098913A (ja) 2014-05-29
CN101689018B (zh) 2013-03-20
JP2010102357A (ja) 2010-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101264571B1 (ko) 대형 펠리클 프레임체 및 그 프레임체의 파지 방법
KR102666696B1 (ko) 펠리클 및 그 장착 방법
JP4391435B2 (ja) ペリクル収納容器
KR101450683B1 (ko) 펠리클 수납 용기
JP4855885B2 (ja) マスクケース、マスクカセット、パターン転写方法及び表示装置の製造方法
KR102112516B1 (ko) 펠리클
TWI472871B (zh) 防塵薄膜組件收納容器
JP2006301525A (ja) ペリクルフレーム
JP6304884B2 (ja) ペリクルの貼り付け方法
JP2010060992A (ja) 大型ペリクル構造体及び大型ペリクル収納構造体
JP5269438B2 (ja) 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法
JP6389353B2 (ja) ペリクル枠体及びペリクル
JP2014167627A (ja) 収納容器からの大型ペリクルの取出し方法
KR20150046716A (ko) 펠리클
JP4664746B2 (ja) リソグラフィ用大型ペリクル収納体
JP2011186327A (ja) 大型ペリクル用枠体、及び大型ペリクル
JP5579545B2 (ja) 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法
JP5345445B2 (ja) 精密機器用工具箱
JP6975702B2 (ja) ペリクルフレームおよびペリクル
KR100903543B1 (ko) 대형 펠리클 수납 용기

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150917

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160921

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170920

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180920

Year of fee payment: 7