KR20130112737A

KR20130112737A - 펠리클 프레임 및 펠리클

Info

Publication number: KR20130112737A
Application number: KR1020130005759A
Authority: KR
Inventors: 카즈토시 세키하라
Original assignee: 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date: 2012-04-04
Filing date: 2013-01-18
Publication date: 2013-10-14
Also published as: CN103365074A; JP2013214013A; TW201403216A; JP5795747B2; TWI460533B; KR102044230B1

Abstract

(과제) 강성이 향상된 수지제의 펠리클 프레임을 제공한다.
(해결 수단) 용융 가압 성형해서 얻어진 수지제의 펠리클 프레임(10)이 섬유 형상의 보강 물질이 혼합되어 있는 열가소성 수지로 형성되어 있다. 바람직하게는 펠리클 프레임(10)의 적어도 내측 표면이 자외선에 내광성을 갖는 수지 피막(16)으로 피복되어 있다.

Description

펠리클 프레임 및 펠리클{PELLICLE FRAME AND PELLICLE}

본 발명은 수지제의 펠리클 프레임 및 수지제의 펠리클 프레임을 사용한 펠리클에 관한 것이다.

LSI나 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서, 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하는 리소그래피의 작업이 행하여진다. 이 때에, 포토마스크 또는 레티클에 먼지가 부착되어 있으면 전사한 패턴이 변형되거나 엣지가 매끄럽지 못한 것으로 되는 것 이외에, 하지(下地)가 검게 오염되거나 하는 등의 현상이 발생할 경우가 있다. 먼지가 광을 흡수하거나 광을 외곡해 버리기 때문이다. 이 작업은 통상 클린룸에서 행해지고 있지만, 포토마스크를 항상 청정하게 유지하는 것은 어려워 투명한 펠리클막이 펠리클 프레임에 점착된 펠리클이 사용되고 있다. 예를 들면, 리소그래피시에 펠리클을 포토마스크 상에 적재하여 포토마스크로의 이물 부착을 방지하면서 초점을 포토마스크의 패턴 상에 맞춰서 노광함으로써 펠리클막 상에 부착된 이물에 영향받지 않고 전사할 수 있다.

최근, 펠리클에도 저비용화가 강하게 요구되게 되었고, 펠리클의 구성 재료중에서 가장 비용이 소요되는 것은 펠리클 프레임이다. 종래의 펠리클 프레임은 금속제의 판재 또는 각파이프재로부터 기계 절삭 가공에 의해 깎아내서 형성하고 있었기 때문이다. 이 때문에, 펠리클 프레임을 저비용화하기 위한 다양한 검토가 행하여져 왔다. 예를 들면, 하기 특허문헌 1에는 알루미늄 합금의 다이캐스팅에 의해 펠리클 프레임을 형성하는 것이 기재되어 있다.

일본 특허 공개 2002-318451호 공보

알루미늄 합금의 다이캐스팅에 의해 형성한 펠리클 프레임은 종래의 금속제의 판재 또는 각파이프재로부터 기계 절삭 가공에 의해 깎아내서 형성한 펠리클 프레임에 비해서 저비용화할 수 있다. 그러나, 다이캐스팅에 의해 형성된 펠리클 프레임에는 용탕(溶湯)의 유동 거리가 길어 충전시의 공기 혼입 등에 의한 내부 결함이 발생하기 쉽고, 표면에도 핀홀 등의 결함이 발생하기 쉽다. 또한, 다이캐스팅용의 알루미늄 합금에는 다이캐스팅에서의 탕 흐름성 향상용으로서 여러가지 원소가 첨가되고 있고, 다이캐스팅에 의해 얻어진 펠리클 프레임 중에 금속간 화합물이 많이 생성되기 쉽기 때문에, 알루마이트 처리를 실시한 펠리클 프레임에 흰점, 피트라고 하는 외관상의 결함도 발생하기 쉽다. 이들 점으로부터, 현재 알루미늄 합금의 다이캐스팅에 의해 형성한 펠리클 프레임은 실용에 제공되고 있지 않다.

또한, 알루미늄 합금의 다이캐스팅에 의해 형성한 펠리클 프레임보다 저비용화할 수 있는 것으로서 수지제의 펠리클 프레임이 고려된다. 그러나, 수지제의 펠리클 프레임은 그 강성이 저하하여 허용할 수 없을 정도의 휨이 발생하거나, 부착한 펠리클막에 주름이 발생하거나 한다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로서, 강성이 향상된 수지제의 펠리클 프레임, 및 그 펠리클 프레임을 사용한 펠리클을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 이루어진 특허청구 범위의 청구항 1에 기재된 펠리클 프레임은, 용융 가압 성형해서 얻어진 수지제의 펠리클 프레임이 섬유 형상의 보강 물질이 혼합되어 있는 열가소성 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1에 기재되어 있는 것이며, 상기보강 물질이 길이가 0.2∼10㎜이고, 또한 굵기가 0.05∼20㎛인 것을 특징으로 한다.

청구항 3에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1 또는 청구항 2에 기재되어 있는 것이며, 상기 보강 물질이 탄소 섬유, 아라미드 섬유, 유리 섬유, 카본 나노튜브로 이루어지는 군에서 선택된 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1∼3 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 보강 물질의 함유량이 상기 열가소성 수지에 대하여 중량비로 5∼50%의 범위인 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1∼4 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 용융 가압 성형이 사출성형인 것을 특징으로 한다.

청구항 6에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1∼5 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 열가소성 수지가 폴리프로필렌, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 폴리페닐렌에테르, 폴리아미드, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머로 이루어지는 군에서 선택된 것을 특징으로 한다.

청구항 7에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 1∼6 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 펠리클 프레임의 적어도 내측 표면이 자외선에 내광성을 갖는 수지 피막으로 피복되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 8에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 7에 기재되어 있는 것이며, 상기수지 피막이 불소 수지 또는 실리콘 수지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

청구항 9에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 7 또는 청구항 8에 기재되어 있는 것이며, 상기 수지 피막이 흑색인 것을 특징으로 한다.

청구항 10에 기재된 펠리클 프레임은 청구항 7∼9 중 어느 한 항에 기재되어 있는 것이며, 상기 펠리클 프레임의 내측 표면을 덮는 상기 수지 피막이 점착성 수지로 이루어지는 내면 점착층에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 11에 기재된 펠리클은 청구항 1∼10 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 프레임의 일면측에 펠리클이 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(발명의 효과)

본 발명의 펠리클 프레임은 수지제이어도 섬유 형상의 보강 물질이 혼합되어 있는 열가소성 수지로 형성되어 있고, 허용할 수 없을 정도의 휨이 발생하거나 하지 않아 실용 충분한 강성을 갖고 있다. 이 펠리클 프레임을 사용한 펠리클은 부착된 펠리클막에 주름이 발생하거나 하지 않아 충분하게 실용에 제공할 수 있는 것이다.

도 1은 본 발명에 의한 펠리클 프레임의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)의 횡단면도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)의 사출성형 직후의 사시도이다.
도 4는 도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)을 사용해서 얻어진 펠리클의 사시도이다.

본 발명에 의한 펠리클 프레임의 일례를 도 1에 나타낸다. 도 1은 장방형의 펠리클 프레임(10)의 사시도이며, 긴변부의 측면에 통기 구멍(12)과 지그 구멍(14, 14)이 형성되어 있다. 통기 구멍(12)은 펠리클 프레임(10)의 긴변부를 관통하고 있고, 일면측에 펠리클막을 부착한 펠리클의 내측 통기에 사용된다. 또한, 지그 구멍(14)은 긴변부의 측면에 개구되어 있는 오목부이며, 펠리클 프레임(10)이나 펠리클의 이동 등의 때에 이동 지그의 선단부가 삽입되는 것이다. 펠리클 프레임(10)의 네 모서리의 코너부는 평면 또는 곡면으로 형성되어 있고, 다른 물에의 접촉에 의한 발진 등의 방지를 도모하고 있다.

펠리클 프레임(10)은 섬유 형상의 보강 물질이 혼합되어 있는 열가소성 수지 로 형성되어 있다. 섬유 형상의 보강 물질은 길이가 0.2∼10㎜이고 또한 굵기가 0.05∼20㎛인 것이 바람직하다. 보강 물질로서는 탄소 섬유, 아라미드 섬유, 유리 섬유, 카본 나노튜브로 이루어지는 군에서 선택된 것을 적합하게 사용할 수 있다. 섬유 형상의 보강 물질의 열가소성 수지에 대한 함유량은, 함유량이 증가할수록 펠리클 프레임(10)의 탄성율 및 강도가 향상됨과 아울러 열팽창율이 저하해서 치수 안정성도 향상된다. 그러나, 과도하게 보강 물질을 함유한 열가소성 수지는 그 성형성 및 얻어진 펠리클 프레임(10)의 외관이 악화되는 경향이 있다. 따라서, 보강 물질의 함유량을 열가소성 수지에 대하여 중량비로 5∼50%(더욱 바람직하게는 30∼50%)로 함으로써 성형성 및 외관을 양호하게 유지하면서 얻어진 펠리클 프레임(10)의 강도 등의 물성의 향상을 도모할 수 있어 바람직하다.

이 열가소성 수지로서는 강도, 성형성 등의 관점으로부터 폴리프로필렌, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 폴리페닐렌에테르, 폴리아미드, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머로 이루어지는 군 중에서 선택된 것이 바람직하다. 그 중에서도 폴리아미드, 폴리페닐렌설파이드는 강성의 관점으로부터 바람직하고, 폴리에테르에테르케톤은 내광성의 관점으로부터도 바람직하다. 이밖에, 폴리이미드 수지, 에폭시 수지 등이어도 열가소성을 보이는 것은 사용 가능하다. 이들 열가소성 수지 중에 보강 물질 이외에, 예를 들면 흑색화용의 산화철, 이산화티탄 등의 안료나 카본블랙 등을 혼입해도 좋다.

도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)은 그 X-X에서의 횡단면도인 도 2(a)에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 내측 표면이 자외선에 내광성을 갖는 수지 피막(16)으로 피복되어 있는 것이 바람직하다. 리소그래피 등에서 조사되는 자외선에 대하여 펠리클 프레임(10)을 형성하는 열가소성 수지를 보호해서 내광성을 향상시킬 수 있고, 또한 펠리클 프레임(10)의 내측을 형성하는 열가소성 수지 중의 보강 물질로부터의 발진을 방지할 수 있기 때문이다. 또한, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 전표면을 수지 피막(16)으로 피복함으로써 펠리클 프레임(10)의 전표면을 형성하는 열가소성 수지 중의 보강 물질로부터의 발진을 방지할 수 있다.

수지 피막(16)에는 펠리클 프레임(10)의 내표면을 형성하는 열가소성 수지와 다른 수지이며, 자외선에 내광성을 갖는 수지, 예를 들면 불소 수지 또는 실리콘 수지를 적합하게 사용할 수 있다. 수지 피막은 흑색인 것이 바람직하다. 수지 피막(16)의 흑색화는 자외선에 내광성을 갖는 수지 중에 산화철, 이산화티탄, 카본블랙 등을 배합함으로써 행할 수 있다. 그 중에서도 자외선의 차폐 효과가 높고 또한 열화의 우려가 없는 산화철을 배합하는 것이 바람직하다. 단, 펠리클 프레임(10)을 형성하는 열가소성 수지가 흑색화되어 있을 경우 수지 피막(16)은 투명이라도 좋다.

또한, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 전표면을 수지 피막(16)으로 피복하고, 또한 펠리클 프레임(10)의 수지 피막(16)의 내측 표면을 점착성 수지로 이루어지는 내면 점착층(18)으로 피복함으로써 펠리클 프레임(10)의 내측 표면에 부착된 이물의 탈락을 방지하고, 펠리클 프레임(10)의 자외선에 대한 내광성 및 발진성을 한층더 향상시킬 수 있다. 특히, 수지 피막(16)에 산화철 등의 흑색화재가 함유되어 있을 경우에는, 수지 피막(16) 중의 흑색화재의 박리 등에 의한 발진을 내면 점착층(18)에 의해 효과적으로 방지할 수 있다. 내면 점착층(18)은 점착성을 갖는 실리콘 수지, 아크릴 수지 등을 도포함으로써 형성할 수 있다. 또한, 도 2(a)에 나타낸 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 내측 표면에만 수지 피막(16)이 형성되어 있을 경우라도 수지 피막(16)을 내면 점착층(18)으로 피복해도 좋다.

여기에서, 펠리클 프레임(10)을 형성하는 열가소성 수지가 충분한 내광성을 갖고 있을 경우, 예를 들면 보강 물질로서의 탄소 섬유를 배합한 폴리에테르에테르케톤은 흑색이며 또한 충분한 내광성을 갖기 때문에, 형성한 펠리클 프레임(10)은 그 내측 표면에 점착성의 실리콘 수지 등을 도포해서 수지 피막(16)을 형성함으로써 실용에 제공할 수 있다.

도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)은 섬유 형상의 보강 물질을 혼합한 열가소성 수지를 용융 가압 성형해서 형성할 수 있다. 이 용융 가압 성형으로서는 사출성형을 적합하게 채용할 수 있다. 보강 물질은 사출성형시에 열가소성 수지 펠릿과 혼합해도 좋지만, 미리 보강 물질을 균일하게 분산시킨 열가소성 수지 펠릿을 사용하는 것이 바람직하다. 종래의 열가소성 수지를 사용한 사출성형에 의한 펠리클 프레임은 치수 정밀도의 점에서 금속의 절삭가공품에 크게 뒤떨어지고 있었다. 이러한 종래의 수지제의 펠리클 프레임에 대하여 섬유 형상의 보강 물질을 혼입한 열가소성 수지를 사출성형해서 얻어진 도 1의 펠리클 프레임(10)은, 열팽창에 의한 치수 오차가 저감되어 치수 정밀도를 실용 가능한 범위로 할 수 있다.

도 3에 사출성형의 금형으로부터 인출된 펠리클 프레임(10a)을 나타낸다. 펠리클 프레임(10a)에는 그 한쪽의 끝면에 게이트부(20)가 부착되어 있다. 게이트부(20)를 제거한 펠리클 프레임(10)에는 게이트부(20)의 제거 흔적의 평활화나 금형의 맞춤면의 버 제거를 하기 위해, 펠리클 프레임(10)의 양단면을 가볍게 손다듬질 또는 매우 약간의 기계 절삭하는 것이 바람직하다. 또한, 도 3의 펠리클 프레임(10a)의 긴변부의 측면에 도 1에 나타내는 통기 구멍(12)과 지그 구멍(14, 14)을 기계 가공으로 형성하여, 도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)을 얻을 수 있다. 또한, 펠리클 프레임(10a)의 사출성형시에 통기 구멍(12)과 지그 구멍(14, 14)을 동시에 성형하는 것은 가능하지만, 금형 구조가 복잡해진다.

얻어진 펠리클 프레임(10)의 내측 표면 또는 전표면에 필요에 따라서 도 2(a) 또는 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 불소 수지 또는 실리콘 수지를 스프레이 도포, 롤 도포, 딥핑 등에 의해 도포해서 수지 피막(16)을 형성한다. 이 도포방법은 도포하는 재질에 따라 적당하게 선택할 수 있다. 또한, 형성한 수지 피막(16)의 내측 표면에, 필요에 따라서 도 2(c)에 나타내는 내면 점착층(18)을 점착성의 실리콘 수지, 아크릴 수지 등을 스프레이 도포, 롤 도포, 딥핑 등에 의해 도포해서 형성한다.

도 1의 펠리클 프레임(10)을 사용한 펠리클을 도 4에 나타낸다. 도 4의 펠리클(30)은 펠리클 프레임(10)의 일면측에 펠리클막(22)이 펠리클막 접착층(도면에는 나타내지 않는다)을 통해서 부착되어 있고, 타면측에 마스크 점착층(26)이 부착되어 있다. 마스크 점착층(26)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 필름에 이형층을 설치한 세퍼레이터(28)로 보호되어 있다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 긴변부의 측면에 형성한 통기 구멍(12)은 펠리클(30) 내로의 먼지 등의 침입을 방지하기 위해, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)의 다공질막 등으로 구성되는 필터(24)로 피복되어 있다.

도 4에 나타내는 펠리클(30)은 도 1의 펠리클 프레임(10)이 종래의 금속제의 펠리클 프레임과 동등한 성능을 유지하면서, 사출성형 등에 의해 저비용으로 생산 되기 때문에 전체적으로 저비용화를 도모할 수 있다. 또한, 도 4의 펠리클(30)은 구성 재료 전체가 수지제이며, 종래의 금속제의 펠리클 프레임과는 다른 이점을 갖고 있다. 즉, 최근 ArF 레이저 광원(193㎚) 등을 사용하는 노광 환경에 있어서는, 노광 중의 마스크 또는 펠리클의 표면으로의 이물 형상 생성물(헤이즈)이 문제가 되고 있다. 이 원인으로서 금속제의 펠리클 프레임(예를 들면, 알루미늄제의 펠리클 프레임의 알루마이트 피막) 중의 산이나 알칼리성 이온 성분의 관여가 의심되고 있다. 도 1의 펠리클 프레임(10)은 이물 형상 생성물(헤이즈)의 원인이 되는 이온 성분을 일체 함유하고 있지 않기 때문에 이들 용도에 있어서도 이물 형상 생성물의 발생 억제를 기대할 수 있다.

펠리클(30)은 용융 가압 성형으로 펠리클 프레임(10)을 형성할 수 있는 크기이면 적용이 가능하며, 그 밖에는 특별히 제한될 일이 없다. 그러나, 펠리클(30)이 대형으로 될수록 펠리클 프레임(10)의 성형기가 대형으로 되고, 성형용의 금형 비용도 증대해서 저비용화의 장해가 되기 때문에, 적용할 수 있는 펠리클(30)은 그 변 길이가 100∼1400㎜, 바람직하게는 100∼800㎜, 더욱 바람직하게는 100∼600㎜의 범위로 하는 것이 좋다.

[실시예]

이하, 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.

(실시예)

길이가 2∼6㎜이고 굵기가 5∼7㎛인 탄소 섬유를 폴리아미드에 40% 함유하는 탄소 섬유 함유 열가소성 수지(상품명;NXMR-C-40B 미쓰비시레이온 가부시키가이샤 제품)를 이용하여, 도 1에 나타내는 장방형의 펠리클 프레임(10)을 사출성형에 의해 제작했다. 사출성형해 냉각한 금형으로부터 인출한 도 3에 나타내는 펠리클 프레임(10a)에는 게이트부(20)가 형성되어 있었다. 게이트부(20)를 절단해서 얻은 펠리클 프레임(10)의 양단면을 프레이즈반으로 0.2㎜ 면삭했다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 엣지부를 샌드페이퍼로 가볍게 손다듬질을 행하여 게이트부(20)의 제거 흔적 및 금형 맞춤면의 버를 제거했다. 이 때, 펠리클 프레임(10)의 긴변부의 측면에 통기 구멍(12)과 지그 구멍(14, 14)을 기계 가공에 의해 형성하고, 도 1에 나타내는 펠리클 프레임(10)을 형성했다. 그 치수는 149×113×높이 4.7㎜, 내치수 145×109㎜이다.

이 펠리클 프레임(10)을, Class10의 클린룸에 반입하고, 순수와 계면활성제로 세정하여 충분하게 건조시켰다. 그 후에 불소계 수지(상품명; 사이톱 아사히가라스 가부시키가이샤 제품)를 불소계 용매로 희석하고, 또한 산화철(상품명; 도다컬러 도다 고교 가부시키가이샤 제품)을 혼합한 용액을 펠리클 프레임(10)에 스프레이법에 의해 도포하여, 도 2(b)에 나타낸 바와 같이 펠리클 프레임(10)의 전면에 두께 15㎛의 수지 피막(16)을 형성했다. 또한, 펠리클 프레임(10)의 내면에 톨루엔으로 희석한 실리콘 점착제를 스프레이 도포하여, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이 수지 피막(16)의 내측 표면 상에 두께 10㎛의 내면 점착층(18)을 형성했다.

이어서, 펠리클 프레임(10)의 상단면에 펠리클막 접착층으로서 실리콘 점착제(신에츠 카가쿠 고교 가부시키가이샤 제품; 상품명 KR3700)를 도포하고, 하단면에 마스크 점착층(26)으로서 실리콘 점착제(신에츠 카가쿠 고교 가부시키가이샤 제품; 상품명 KR3700)를 도포하여 건조, 경화시켰다. 마스크 점착층(26)은 세퍼레이터(28)을 부착해서 보호하고, 통기 구멍(12)을 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)제의 다공질막 필터(24)로 피복했다. 또한, 펠리클막 접착층 상에 불소계 수지로 이루어지는 두께 약 0.8㎛의 펠리클막(22)을 붙이고, 외측의 잉여막을 커터에 의해 절제해서 도 4에 나타내는 펠리클(30)을 얻었다.

이 펠리클(30)을 암실 내에서 집광 램프에 의해 외관 검사한 결과, 표면에 사출성형이나 수지로부터 유래되는 결함은 특별히 볼 수 없었다. 또한, 펠리클(30)의 취급시에 펠리클막(22)에 주름이 많아지는 등의 문제도 특별히 보이지 않았다. 이어서, 이 펠리클(30)을 정반 상에 두고 펠리클 프레임(10)의 휨량을 계측한 결과, 긴변부의 중앙에서 한쪽 0.22㎜, 짧은변부의 중앙에서 한쪽 0.1㎜의 휨량으로 되어 있었지만 사용상 충분히 허용할 수 있는 것이었다.

(비교예)

실시예와 동일 형상이고 또한 동일 치수의 펠리클 프레임을, 탄소 섬유 함유 열가소성 수지 대신에 폴리아미드(섬유 형상의 보강 물질 없슴)를 사용한 것 이외에는 실시예와 모두 동일한 공정으로 펠리클을 제작했다. 이 펠리클을 정반 상에 두고 펠리클 프레임의 휨량을 계측한 결과, 긴변부의 중앙에서 한쪽 1.0㎜, 짧은변부의 중앙에서 한쪽 0.5㎜정도의 휨량으로 되어 있었다. 또한, 이 펠리클의 취급시에는 펠리클 프레임의 긴변부의 중앙을 유지하면 펠리클막에 즉시 주름이 발생해버리기 때문에 코너부를 파지하지 않으면 취급할 수 없었다. 또한, 이 펠리클 프레임에는 성형 공정에 기인한다고 생각되는 비틀림이 발생되어 있고, 정반 상에 두었을 때에 2개의 코너부가 각각 0.5㎜정도 부상되는 것이 보여졌다. 이러한 비틀림이 발생한 펠리클 프레임은 펠리클용으로는 도저히 사용할 수 없는 것이었다.

본 발명에 의한 펠리클 프레임 및 펠리클은 반도체 디바이스, 프린트 기판, 액정 또는 유기 EL 디스플레이 등의 제조공정에서 사용할 수 있다.

10 : 펠리클 프레임 10a : 사출성형 직후의 펠리클 프레임
12 : 통기 구멍 14 : 지그 구멍
16 : 수지 피막 18 : 내면 점착층
20 : 게이트부 22 : 펠리클막
24 : 필터 26 : 마스크 점착층
28 : 세퍼레이터 30 : 펠리클

Claims

용융 가압 성형해서 얻어진 수지제의 펠리클 프레임은 섬유 형상의 보강 물질이 혼합되어 있는 열가소성 수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항에 있어서,
상기 보강 물질은 길이가 0.2∼10㎜이고 또한 굵기가 0.05∼20㎛인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 보강 물질은 탄소 섬유, 아라미드 섬유, 유리 섬유, 카본 나노튜브로 이루어지는 군에서 선택된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 보강 물질의 함유량은 상기 열가소성 수지에 대하여 중량비로 5∼50%의 범위인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 용융 가압 성형은 사출성형인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 열가소성 수지는 폴리프로필렌, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리아세탈, 폴리페닐렌에테르, 폴리아미드, 폴리페닐렌설파이드, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머로 이루어지는 군에서 선택된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펠리클 프레임의 적어도 내측 표면은 자외선에 내광성을 갖는 수지 피막으로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 7 항에 있어서,
상기 수지 피막은 불소 수지 또는 실리콘 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 수지 피막은 흑색인 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펠리클 프레임의 내측 표면을 덮는 상기 수지 피막은 점착성 수지로 이루어지는 내면 점착층에 의해 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 프레임의 일면측에 펠리클이 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클.