JP6030136B2 - ペリクル - Google Patents
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Description
[3] 前記共重合体の重量平均分子量が、8万以上16万以下である、[1]または[2]に記載のペリクル。
[4] 前記共重合体のフッ素含有量が、前記共重合体全質量に対して64質量%以上71質量%以下である、[1]〜[3]のいずれかに記載のペリクル。
[5] 前記共重合体が、下記式(3)で表される構造単位をさらに含む、[1]〜[4]のいずれかに記載のペリクル。
本発明のペリクルは、ペリクル枠と、その一方の開口部に張設されたペリクル膜と、ペリクル枠の内側面に設けられた粘着層とを有する。
1)基板上に、粘着層用塗布液を塗布した後、乾燥させて、厚み10μmの粘着層を形成する。基板は、特に限定されず、ガラス基板やペリクル枠などでありうる。
2)次いで、得られた粘着層表面に、標準粒子を載置する。標準粒子は、塵埃などの異物を模したものであり、例えば粒径が66〜125μmのガラス製ビーズやポリスチレン製ビーズなどとしうる。
3)そして、図3に示されるように、標準粒子20が保持された粘着層22に、その表面に対して45°傾斜した方向から、エアーガン24によりエアーを当てる。そして、エアーを当てたときの標準粒子20の移動量を測定する。
4)エアーの元圧力を、0.1〜3.0kg/cm2Gの範囲で大きくしながら、前記3)の操作を行う。そして、標準粒子20の移動量が1mm未満となるエアーの元圧力の最大値を「異物保持力」とする。
本発明の一実施の形態のペリクル10は、1)ペリクル枠12の内側面に粘着層18を形成するステップと、2)ペリクル枠12の一方の開口部にペリクル膜14を張設するステップと、を経て得ることができる。
まず、粘着材である前記共重合体を、溶媒に溶解させて粘着層用塗布液を得る。用いられる溶媒は、特に限定されず、上記共重合体を溶解して、ペリクル枠12の内面に良好に塗布しうるものであればよい。そのような溶媒の例には、メチルエチルケトンなどのケトン類、エステル類などが含まれる。粘着材である前記共重合体と溶媒との混合比率は、後述する粘度の範囲を満たすように設定されることが好ましい。
粘着層18を形成した後、ペリクル枠12の一方の開口部に、ペリクル膜14を張設して、ペリクル10を得ることができる。ペリクル膜14の張設は、通常の方法で行うことができる。例えば、通常用いられる接着剤を、ペリクル枠12の一方の端面に塗布して接着剤層16を形成し、当該接着剤層16上にペリクル膜14を固定すればよい。
このようにして得られるペリクルは、ペリクル枠12の下端部に設けられたマスク接着剤層(不図示)を介してマスク(不図示)上に装着される。それにより、マスク(不図示)に異物が付着するのを防止しうる。マスクに付着した異物は、それに露光光の焦点が合うと、ウェハへの解像不良を引き起こす。そのため、ペリクル10は、マスク(不図示)の露光エリアを覆うように装着される。
商品名:Viton−A100(デュポンエラストマー(株)製、1,1−ジフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、−(CH2CF2)−の構成単位の含有割合:78質量%、−[CF2CF(CF3)]−の構成単位の含有割合:22質量%、重量平均分子量:14.5万、フッ素含有量:66質量%)を準備した。そして、溶剤であるメチルエチルケトン(和光純薬工業(株)、試薬特級)に、Viton−A100を、溶液全体に対して30重量%となるように加えて、撹拌して溶解させた。得られた溶液を、ポリテトラフルオロエチレン(polytetrafluoroethylene:PTFE)製のフィルター(孔経:3ミクロン)で濾過して、不溶解物および異物を除去して、粘着層用塗布液を得た。粘着層用塗布液の23℃における粘度は、170cPであった。
得られた粘着層用塗布液を、アルミニウム合金製のペリクル枠の内側面に、内径0.5mmの吐出口(横穴)を有する外径1.5mmの針の当該吐出口から滴下しながら、均一に引き延ばして塗布した。その後、得られた塗膜を乾燥させて、厚み10μmの粘着層を形成した。粘着層中の、前記共重合体の含有量は100質量%であった。
粒径105〜125μmのガラス製の標準粒子を、ペリクル枠の内側面に設けられた粘着層に付着させて、サンプルを得た。次いで、得られたサンプルを1mの高さから落下させて、付着させた標準粒子の脱落の有無を観察して、粘着層の異物保持力を評価した。
粒径66μmのポリスチレン製の標準粒子を、馬毛を用いて、ペリクル枠の内側面に設けられた粘着層上に付着させて、サンプルを得た。次いで、サンプルの粘着層上の標準粒子から直線距離で1cm離れた位置から、粘着層表面に対して45度傾斜した角度から、エアーガンにて10秒間エアーブローしたときの、標準粒子の移動量を測定した(図3参照)。エアーブローは、エアー元圧力が0.1〜3.0kg/cm2G(0.981×10−2〜2.94×10−1MPa)の範囲で、段階的に大きくしながら行った。そして、エアーブローによる標準粒子の移動量が1mm未満となるエアー元圧力の最大値を「異物保持力」とした。
ポリスチレン製の標準粒子の粒径を92μmとした以外は、評価Bと同様に、異物保持力を評価した。
粘着層用塗布液を、石英ガラスのプレート上に塗布した後、乾燥させて、厚さ30μmの粘着層を得た。粘着層中の前記共重合体の含有量は100質量%であった。そして、得られた粘着層の耐光性を、以下の方法で評価した。
1)まず、光照射前の粘着層の赤外線吸収スペクトルを、日本分光(株)製 FT−IR6000を用いて測定した。
2)次いで、浜松ホトニクス(株)製 L5837を用いて、空気雰囲気下にて、波長193nmのArFエキシマレーザー光を粘着層に直接照射した。照射条件は、周波数500Hz、エネルギー密度1(mJ/cm2)/pulse、照射量500または1000(J/cm2)とした。
3)次いで、光照射後の粘着層の赤外線吸収スペクトルを、前述と同様にして測定した。
4)そして、光照射前後の赤外線吸収スペクトルを照合した。そして、光照射後の赤外線吸収スペクトルにおいて、新たな吸収ピークの生成や、吸収ピーク(特に波長1350〜1120cm−1の吸収ピーク)の消失などの有無を確認し、それにより粘着層に含まれる樹脂の化学構造の変化の有無を確認した。
得られた粘着層に、浜松ホトニクス(株)製 L5837を用いて、空気雰囲気下にて、波長193nmのArFエキシマレーザー光を直接照射した。照射条件は、周波数500Hz、エネルギー密度1(mJ/cm2)/pulse、照射量500または1000(J/cm2)とした。
ガス捕集条件:150℃、30分加熱
Vitonに代えて、商品名:アフラス(旭硝子(株)製、1,1−ジフルオロエチレン・テトラフルオロエチレン・プロピレン共重合物、[−(C2H2F2)a−(C2F4)b−(C3H6)c−]、重量平均分子量:11万、フッ素含有量:50質量%)を用いた以外は実施例1と同様にして粘着層用塗布液を得た。
商品名:フォンブリンYHVAC140/13(Ausimont K.K.製、パーフルオロポリエーテル、CF3−[(O−CF(CF3)−CF2)n−(O−CF2)m]−O−CF3(nおよびmは整数)、数平均分子量:約7000、20℃における動粘度:1400±200cSt(1.4×10−3±0.2×10−3m2/s)、20℃における蒸気圧:5×10−13Torr(6.67×10−11Pa)以下)を準備した。そして、フッ素溶媒であるパーフルオロ(2−ブテニルテトラヒドロフラン)に、フォンブリンYHVAC140/13を溶解させて、粘着層用塗布液を得た。得られた塗布液中のフッ素溶媒の含有量は20質量%とした。
商品名:テフロン(登録商標)AF1601(DuPont社製、フッ素樹脂、重量平均分子量:約20万〜22万)と、商品名:フォンブリンYHVAC18/8(Ausimont K.K.製、パーフルオロポリエーテル、CF3−[(O−CF(CF3)−CF2)n−(O−CF2)m]−O−CF3(nおよびmは整数)、数平均分子量:約3000、20℃における動粘度:180±20cSt(0.18×10−3±0.02×10−3m2/s)、20℃における蒸気圧:2×10−8Torr(2.66×10−6Pa)以下)とを準備した。
3、12 ペリクル枠
5 マスク
9 遮光パターン
10 ペリクル
16 接着剤層
8、18、22 粘着層
20 標準粒子
24 エアーガン
24A ノズル
Claims (5)
- 前記共重合体中の、前記式(1)で表される構造単位の含有割合が、前記共重合体全質量に対して50質量%以上85質量%以下である、請求項1に記載のペリクル。
- 前記共重合体の重量平均分子量が、8万以上16万以下である、請求項1又は2に記載のペリクル。
- 前記共重合体のフッ素含有量が、前記共重合体全質量に対して64質量%以上71質量%以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のペリクル。
- 前記粘着層の厚みが3〜20μmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載のペリクル。
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