JP5586387B2 - ペリクル - Google Patents
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Description
[3]前記接着剤成分にジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーを含むことを特徴とする[1]又は[2]に記載のペリクル
[4]前記接着剤成分中のジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーの含有量が30〜70質量%であることを特徴とする[3]に記載のペリクル。
[5]前記接着剤層がジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系ポリマーを含有することを特徴とする[1]〜[4]のいずれか一項に記載のペリクル。
[6]枠体上にジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーを含む接着剤を塗布する第一の工程、前記接着剤とシクロオレフィン系樹脂からなるペリクル膜を2分〜50分接触させる第二の工程、前記接着剤を硬化させる第三の工程、をこの順に含むペリクルの製造方法。
本実施形態に係るペリクルで使用する接着剤層の接着剤成分は、ペリクル膜を溶解し、ペリクル膜を形成する光学用有機高分子材料と接着剤成分の混合成分から形成される混合層を形成する為、分子間相互作用によって接着させるよりも接着力が強固なものとなる。その為、繰り返しエアブローを行っても膜が枠体から剥がれにくい。
ところで、フォトマスクはその製造時にその表面を洗浄する為に酸性物質を含むマスク洗浄剤を使用している。近年、マスク洗浄剤中に含まれる硫酸イオンと、空気中に存在するアンモニアなどの塩基性物質とが露光中に反応を起こし、マスク上に異物を発生させることが知られている。その為、膜材はアンモニア透過係数が小さいものを使用することが好ましい。
上記により基板上に形成されたペリクル膜は、アルミニウム合金、ステンレススチール、樹脂等に粘着材を貼り付けた仮枠により、基板から剥がし取って所望のペリクル枠体に貼り替えても良い。また基板上で所望のペリクル枠体を接着後、基板から剥がし取っても良い。
ぺリクル膜とペリクル枠体に接着するための接着剤は、ペリクル膜を溶解する材料であれば如何なる種類でも良い。好ましくは、硬化型(熱硬化、光硬化、嫌気性硬化等)の材料である。前記材料の中でも、紫外線硬化型の接着剤は硬化時間を調整し易く、特に好ましい。
ペリクル膜とペリクル膜を溶解する材料を含む接着剤とを接触させた後、硬化させることにより、前記光学用有機高分子材料と前記接着剤層を形成させるために用いた接着剤成分との混合成分から形成される混合層が形成される。
α+5×(β−α)/100・・・・式(1)
α+95×(β−α)/100・・・式(2)
明度は、SEM画像をグレースケール表示等のコントラストを数値化する方法で表示可能である。
混合層の厚みは、ペリクル膜と接着剤を接触させてから接着剤を硬化させるまでの時間の調整や、接着剤中のペリクル膜を溶解する材料の含有量を調整により調節することが出来る。
接着剤層中に含まれるジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系ポリマーの含有量は60質量%以上であることが好ましく、より好ましくは70質量%以上、更に好ましくは90質量%以上である。
マスク粘着材の厚さは通常0.2mm以上とされるが、フォトマスクへの均一な貼付のために、好ましくは1mm以上とされる。上記マスク粘着材の粘着面をフォトマスクに貼り付けるまでの間保護するために、シリコーンやフッ素で離型処理されたポリエステルフィルムが使用される。
ペリクルを輸送する際のケースは、アクリル系、ABS系、PVC系、PET系等の材料を、射出成型や真空成型することにより作成される。これらの材料は帯電を防止するために、帯電防止剤を練り込んでも良いし、帯電防止構造をもったポリマー(クレハ製BAYON(商標)、旭化成製ADION(商標))を利用しても良い。
以下に、より具体的に本実施形態を実施例をあげて説明する。
ペリクル枠体は、外径580mm×350mmのアルミニウム合金製の長方形のものを使用し、枠体の辺の幅が長辺、短辺共に7mmのものを用いた。また、ペリクル枠体とマスク粘着材の和(スタンドオフ)は7mmであった。用いたペリクル枠体は黒色アルマイト処理を施したマイクロクラックのない物であった。
を形成させるために用いた接着剤中に含まれるジシクロペンテニルアクリレートの含有量
(単位は質量%)を表している。
次に、ペリクル枠体長辺のうち一辺を選び、選んだ長辺の長さ方向中点を、ノズル口径が直径0.65mmのものを用いて、ペリクルの内側で、接着エリアから5mmの膜面の位置に45度の方向から、ノズル口径から膜面までの距離を3mmに保ちながら、エアブローを行った。この時のエアブローの風圧は0MPaから1.0MPaに0.1MPaずつ徐々に風圧を上げていった。
最後に、作成したペリクルのペリクル膜の厚みに対する混合層の厚みの割合(混合層の割合)を測定した。測定点は、前記耐風圧試験を行った辺とは異なる側のペリクル枠体長辺の中点とした。ペリクル膜の厚みに対する混合層の厚みの割合(混合層の割合)を表1に
示す。
使用する接着剤をジシクロペンテニルアクリレートを30質量%、ウレタンアクリレー
トプレポリマーを60質量%、その他は、アクリル酸エステル、光開始剤、安定剤を配合
させたUV硬化型の接着剤とした以外は参考例1と同様にしてペリクルを作製した。実施
例2で用いた接着剤の配合比と混合層の割合を表1に示す。
次いで、参考例1と同様に耐風圧試験を行った。その結果を表2に記載する。
使用する接着剤をジシクロペンテニルアクリレートを50質量%、ウレタンアクリレー
トプレポリマーを40質量%、その他は、アクリル酸エステル、光開始剤、安定剤を配合
させたUV硬化型の接着剤とした以外は参考例1と同様にしてペリクルを作製した。実施
例3で用いた接着剤の配合比と混合層の割合を表1に示す。
次いで、参考例1と同様に耐風圧試験を行った。その結果を表2に記載する。
使用する接着剤をジシクロペンテニルアクリレートを70質量%、ウレタンアクリレー
トプレポリマーを20質量%、その他は、アクリル酸エステル、光開始剤、安定剤を配合
させたUV硬化型の接着剤とした以外は参考例1と同様にしてペリクルを作製した。実施
例4で用いた接着剤の配合比と混合層の割合を表1に示す。
次いで、参考例1と同様に耐風圧試験を行った。その結果を表2に記載する。
使用する接着剤をジシクロペンテニルアクリレートを80質量%、ウレタンアクリレー
トプレポリマーを10質量%、その他は、アクリル酸エステル、光開始剤、安定剤を配合
させたUV硬化型の接着剤とした以外は参考例1と同様にしてペリクルを作製した。参考例5で用いた接着剤の配合比と混合層の割合を表1に示す。
次いで、参考例1と同様に耐風圧試験を行った。その結果を表2に記載する。
使用する接着剤をイソボニルアクリレート50質量%、ウレタンアクリレートプレポリ
マーを40質量%、その他は、アクリル酸エステル、光開始剤、安定剤を配合させたUV
硬化型の接着剤とした以外は参考例1と同様にしてペリクルを作製した。比較例1で用い
た接着剤の配合比と混合層の割合を表1に示す。
次いで、参考例1と同様に耐風圧試験を行った。その結果を表2に記載する。
Claims (6)
- 光学用有機高分子材料からなるペリクル膜と、前記ペリクル膜の表面上に接着された接着剤層と、前記接着剤層と接する枠体と、を備えるペリクルであって、前記接着剤層と前記ペリクル膜の間に、前記光学用有機高分子材料と前記接着剤層を形成させるために用いた接着剤成分との混合成分から形成される混合層を有し、前記ペリクル膜の厚みに対する前記混合層の厚みが0.05〜0.7倍であることを特徴とするペリクル。
- 前記光学用有機高分子材料が、シクロオレフィン系樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のペリクル。
- 前記接着剤成分にジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル。
- 前記接着剤成分中のジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーの含有量が30〜70質量%であることを特徴とする請求項3に記載のペリクル。
- 前記接着剤層がジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系ポリマーを含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のペリクル。
- 枠体上にジシクロペンタジエン骨格を有するアクリル系モノマーを含む接着剤を塗布する第一の工程、前記接着剤とシクロオレフィン系樹脂からなるペリクル膜を2分〜50分接触させる第二の工程、前記接着剤を硬化させる第三の工程、をこの順に含むペリクルの製造方法。
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