TWI356797B - - Google Patents

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1356797 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關使詩光罩（以下也稱為遮罩）的遮罩箱、 遮罩ϋ、圖案轉移方法以及顯示裝置的製造方法。特別是 有關於在液晶顯示面板（LCDP)與電漿顯示面板（pDp)等= 製造步驟使用的搬送大型光罩，且使 便用先罩時，能夠簡便 地在曝光裝置的裝卸，可抑制裝卸時的粒子（parade)污 染、破損等的遮罩箱、料£案轉移方法以及顯示: 置的製造方法。 x 【先前技術】 近年來’纟⑽與PDP等的顯示裝置的製造步驟之 中，一般用於面板數目增加的製造成本減少的方法，傾向 於大型化面板用的母基板的尺寸。在LCDp、pDp等的顯^ 裝置的製造步驟之中，相對應於上述，用於圖案轉移的： ♦罩等也有大型化的傾向。再者，上述大型化的光罩由遮罩 製造者輸送至遮罩使用者時’為了保護來自輸送時的衝 擊’以收容在遮罩箱内部的固定狀態下輸送。 . 用來搬送、保管光罩等的遮罩的遮罩箱的各種構造 w 開發出來》 例如，在特開平2005_173556號公報中，已揭示 - 有互相抵接的週邊凸緣部的本體部以及蓋體部所構成， .部用來收容大型的精密片（sheet)狀（半）製品的密封2 器，並且特徵為本體部以及蓋體部各自設置了熱塑性樹月t 2130-9138-PF;Ahddub 5 1356797 ' 片的補強用肋材（rib)的真空或壓空成型體的大型精密片 狀（半）製品用密封容器的技術。 此較為輕量的大型精密片狀（半）製品用密封容器，對 於大型精密片狀（半）製品，不會有不適當的應力且安全， 而且在保持氧贫的狀態下，收納•支持以及搬送。 .. 再者，製造光罩等遮罩的遮罩製造者，在已製造的遮 . 罩等收納於如上述的遮罩箱的狀態下，傳遞給遮罩使用者。 φ 另一方面，遮罩使用者使用從遮罩製造者傳遞來的光 罩，轉移想要的圖案至被轉移體而製造顯示裝置等。在此 製u步驟之中，遮罩使用者於光罩收納在專用的遮罩匣的 狀態下，搬送曝光機（例如遮罩對準曝光機），或者是將已 使用的光罩從曝光機搬送至其他地方。再者，大型的曝光 裝置於光罩设置在專用的遮罩匣的狀態下，搬送裝置内部。 上述專用的遮罩£，對應曝光裝置等而使用各種的構 造° 籲 例如，在特開2000-1 9720號公報中，揭示了一種可使 用於液晶顯示元件或是半導體元件的製造步驟中，且自動 地交換往曝光 尤裝置檢查裝置荨的遮罩與光罩原版 • (retiCle)等或是玻璃基板等（總稱為遮罩）的基板交換裝 "i的技冑再者’在此文獻中記載了 -種可使用於曝光裝 置等的遮罩交換的過程中，安裝了可讀取的管理瑪的防塵 . 用的遮罩匣。 • 此遮罩匣由遮罩匣蓋、以及遮罩能夠決定位置的狀態 下載置，而大約矩形平板狀的遮罩E盤所構成。 2130-9138-PF;Ahddub 6 1356797 並且，上述的基板交換裝置，具有遮罩搬送機構，此 搬运機構持有由遮罩E中取出的遮罩而往曝光裝置移動， 並且遮罩搭載於曝光裝置的略為平板狀的搭载台上。 【發明内容】 因此，如上所述，遮罩劁土去 早裂&者在收納光罩等的遮罩於 遮罩箱的狀態下’傳遞給遮罩傕用去 t早便用者。因此，遮罩使用者 傳遞來的遮罩，首先，由遮罩箱中 早相〒取出遮罩，然後更換於 專用的遮罩匣再使用。 然而’隨著液晶顯示器(LCD)、平板顯示器(FpD)、電 漿顯示器⑽)、薄膜電晶體基板(TFT)、彩色滤光片（⑺ 等的大型化，這必的傲 > 也 叱一叼裊畈，為了可使用於例如大約 或者以上的大型的光罩，大型化的傾向變得 更加顯著。其次，以人力進行大型化且重量大的光罩的處 理’作業者的負荷會變大。 籲 #上所述，特別是遮罩使用者，必需進行從遮罩製造 者傳遞而形成想要的圖案的光I，由冑送用的遮罩箱取出 此光罩，更換至曝光裝置用的遮罩厘的作業。這些上述的 - 大型的光罩為非常精緻的製品，必需非常注意對此光罩的 接觸與破損，以及考慮到變成大型化處理變成因難時，具 有與作業者承受的負荷變大的問題。 ' 有鑑於上述的情況，本發明的目的在於提供一種遮罩 耘、遮罩匣、圖案轉移方法、顯示裝置的製造方法，能夠 容易進行由遮罩箱至遮罩匣更換遮罩的作業。 2130-9138-PF;Ahddub 7 1356797 3 、- 為了達成上述目的’本發明的遮罩箱，其為能夠搬送 而收容光罩、與搭載上述光罩而使用的裝置（例如製造裝置 及/或檢查裝置等）之中使用的載置上述光罩用的遮罩匣的 遮罩箱’其特徵在於：從上述遮罩箱取出上述光罩時，是 在上述遮罩匣至少載置著上述光罩的狀態下取出光罩。 -. 如此，即使遮罩使用者不進行從遮罩製造者於收納狀 態下傳遞來的遮罩更換至例如曝光裝置等的遮罩匣的作 鲁 業，也可完成，所以可大幅度地減輕作業者的負荷，且提 昇作業性。 再者’可以大幅地減低在作業之中失誤而損傷遮罩的 危險性，而能夠安全地進行作業。 此外’一旦遮罩大型化，會導入專用的處理裝置等， 可以假定安全地進行上述更換作業，如此，即使不導入處 理裝置專’也龍夠安全地進行更換作業。 此外’本發明中的遮罩包含光罩、光罩原版 鲁（reticle)、光罩基板（ph〇tomask Mank)、玻璃基板等。 再者，製造裝置包含電子元件製造用的曝光裝置、遮 罩供給裝置、基板交換裝置以及遮罩搬送裝置等。 ' 並且’载置”’除了單純的載置之外，還包含在位 “ 置決定的狀態下支持以及位置決定下的狀態收容、保持或 者在保持的狀態下收容等。因此，”載置”也包含具有設 ' 置於各種的構造的遮罩匣。再者，例如，遮罩製造者，於 .將遮罩保持於遮罩匣的狀態下收容，且在此遮罩匣保持於 遮罩相的狀態下收容，且也可以由遮罩箱傳遞於遮罩使用 2130-9138-PF;Ahddub 8 1356797 者，而遮罩使用者，從遮罩箱取出每個遮罩匡的遮罩，可 直接供給於曝光裝置等。 再者，遮罩匣可使用於製造裝置及/或檢查裝置之中， 並且至少為載置光罩的匿，例如，可列舉將上述遮罩匿在 載置狀態下搭載於裝置，或者在進行取出之目的時能夠使 用的遮罩Ε盤或者能夠裝卸的遮罩搭載台等。包含可指定 於曝光裝置等，或者視為附屬品的東西。 再者，本發明的遮罩箱，最好包括：―遮罩保持裝置， 保持上述光罩；一£保持裝置，保持上述遮罩n ; 一箱本 體，設置上述遮罩保持裝置以及上述匿保持裝置；以及一 箱蓋’可自由裝卸地安裝在上述箱本體，且覆蓋上述光罩。 如此，不會損傷遮罩或者產生粒子污染，而且在密閉 的狀態下，能夠安定地固定而收容遮罩以及_。 因此，即使在以空運或者陸運等進行遮罩輸送的情況 下’而能夠抑制遮罩由於遮罩匣 Α 早比π哔振動而損傷，或者因 為摩擦而產生粒子，甚至於$占沒丨* 成备精緻地形成的圖案等 的困擾。 再者，本發明的遮罩箱，最好在 ^ 4, Μ L 仕興上述遮罩匣不接觸 的狀I下支持上述光罩，且取出上述光 S往既定的方向移動，而上述 更^遮罩 丄砍巡卓匣载置著上述光罩。 如此，遮罩保持裝置，可保 ^ ^ ^ g ^ 个兴遮罩匣接觸的狀態 下的遮罩’所以能夠確實防止 子的困擾。 Μ與適罩摩擦而產生粒 再者’較佳者，在收容上述光 吁具有支持該光罩 2130-9138-PF;Ahddub 1356797 插鎖，且使上述遮罩E往既定的方向移動時， 最=最好導引該移動…，該遮罩支持插鎖 最好貫通遮罩E的一部分，而支持遮罩。 如此’可以單純化構造，同時能夠降低生產成本， :在由遮罩箱取出遮罩㈣，能夠使得在遮罩E中的遮 容易成為於載置的狀態 再者，上述遮罩保持裝置最好保持著載置力上述遮罩 匿的狀態的上述光罩。 如此，藉由利用遮罩保持裝置解除保持狀態，因為遮 罩能夠設置於遮罩匣中，而能夠容易地進行作業。 再者，為了達成上述目的，本發明的遮罩匣，其為在 搭載光罩而使用的裝置，例如製造裝置及/或檢查裝置之 中’載置光罩而使用的遮罩E ’其特徵在於：錢容上述 光罩以及遮罩E於遮罩箱時，為了保持或支持鮮，包括 用來使設於遮軍箱的保持或支持裝置到達上述光罩的貫通 孔或開口部。 因此，本發明也包含遮罩匣，且即使該遮罩匣為被收 容在遮罩箱的狀態下，也能夠確實地保持或者支持遮罩。 再者，為了達成上述目的，本發明的遮罩匣，其為在 收容光罩的遮罩箱中，以與上述光罩不接觸的狀態下收容 著’並且’從上述遮罩箱取出上述光罩時，是在上述遮罩 E載置著上述光罩的狀態下取出光罩的遮罩匣，其特徵在 於：在取出上述光罩時，使上述遮罩匣往既定的方向移動 用的導引構件上’具有可導引的被導引面。 2130-9138«PF;Ahddub 10 1356797 - _因此，本發明作為遮罩E會有效用，即使在遮罩匿不 進打更換遮罩的作業也會完成，因此，可大幅減輕作業者 的負荷，同時提昇作業性。再者，可確實防止遮罩匿與遮 罩摩擦而產生的粒子的困擾。 #者’上述導引構件最好為在與上述遮罩E不接觸的 -·狀態下支持上述光罩的遮罩支持插銷，並且，上述被導引 _面形成於上述遮罩匣，且為上述遮罩支持插銷貫通的貫通 孔的孔表面。 如此，可使構造單純化，且可達成製造成本降低。 為了達成上述目的，本發明的圖案轉移方法，其為包 括下列步釋的圖案轉移方法：從用來搬送光罩的遮罩箱取 出上述光罩；使用載置而搭載於上述遮罩E的上述光罩， 而藉由曝光裝置進行圖案轉移曝光，其中從上述遮罩箱取 出上述光罩時，是在上述遮罩匣載置著上述光罩的狀態下 取出光罩。 隹如上所述，本發明作為圖案轉移方法會有效用，即使 在遮罩匣不進行更換遮罩的作業也會完成，因此，可大幅 減輕作業者的負荷，同時提昇作業性。 ‘ 為了達成上述目的，本發明的顯示裝置的製造方法， - 其為包括下列步驟的顯示裝置的製造方法：從用來搬送光 罩的遮罩箱取出上述光罩；使用載置而搭載於上述遮罩匣 - 的上述光罩，而藉由曝光裝置進行圖案轉移曝光於使用於 - 顯示裝置的被轉移體上，其中，從上述遮罩箱取出上述光 罩時，是在上述遮罩匣載置著上述光罩的狀態下取出光罩。 2130^9138-PF;Ahddub 11 1356797 ·- 如上所述，本發明包含顯示裝置的製造方法，即使在 遮罩匣不進行更換遮罩的作業也會完成，因此，可大幅減 輕作業者的負荷，同時提昇作業性。 並且，顯示裝置，可列舉液晶顯示器、平面面板顯示 器、電漿面板顯示器等。 • 為了達成上述目的，本發明的遮罩箱，其特徵在於： . 在收納光罩的遮罩箱之中，將光罩與載置上述光罩的遮罩 # 匿維持水平方向的位置關係，並且包括一保持裝置，將上 述光罩以及遮罩匿固定於遮罩箱，上述保持裝置維持著上 述水平方向的位置關係，能夠裝卸上述光罩以及上述遮罩 匣。 為了達成上述目的，本發明的光罩設置方法，其為藉 由施以光罩製造或檢查用的處理的裝置，將光罩設置於施 以上述處理的既定的位置的方法，其特徵在於，包括下列 階段：將光罩載置於遮罩E ’而針對遮罩E的底面方向固 ♦ 《光罩以及遮罩E的位置關係；維持上述位置關係，並且 在上述遮罩箱内的既定的位置固定光罩以及遮罩E;搬送 收納著遮罩匣的遮罩箱至上述裝置附近；維持上述水平方 向的位置關係，並且在遮"載置著光罩的狀態下，從遮

— ㈣取出光罩以及遮罩匡；以及將已載置著光罩的遮罩E 直接設置於施以上述處理的既定的位置。 • 如上所述，根據本發明，遮罩使用者可開放遮罩製造 者傳遞來的遮罩，從遮罩箱更換遮罩的重大負荷。特別是， 一方面，超過大約300mm的大型遮罩中，根據本發明具有 2130-9138-PF;Ahddub 12 負荷減輕與安全性大的好處 可得到大幅減少遮罩的粒子 的效果。 °再者’在遮罩匣的更換時， 的附著或非預期的破損等良好 【實施方式】 [遮罩箱的第一實施形態] 第1圖為用來說明本發明的笛 ,.$ 的第—實施形態的遮罩箱的 遮罩的安裝的狀態的概略圖 _ u)顯不為剖面圖，（b)顯承 马A-A剖面圖。 的第一實施形態的遮 的概略放大圖，（a) 再者，第2圖為用來說明本發明 ’罩相、遮罩保持裝置以及匣保持裝置 顯示為侧面圖，（b)顯示為上視圖。 本體2、箱蓋3、遮 以能夠搬送（包含輸 第1、2圖之中，遮罩箱1是由箱 罩保持裝置4以及匣保持裝置5構成， 送）的方式收納光罩10與遮罩昆1〇〇。 並且’本實施形態雖然使用使顯示裝置製造用的大型 ^ 10作為遮罩，然而，不限於光罩1〇。 <箱本體〉 箱本體2為略為矩形狀的平板，在周緣部形成有凸部 21。凸部21與箱蓋3嵌合，且進行箱蓋3的位置決定。 Λ 者5^目本體2在8處設有可載置遮罩El 00的周緣 :的安裝…本實施形態雖然於矩形的光罩ι〇的各個 :的2處分別配設安裝台22，然而，不限於此配置，例如， 視光罩10的形狀或尺寸作不同的配置。 13 2130-9138*PF；Ahddub 1356797 如第2圖所示，安裝台22形成可自由地嵌入滑塊的遮 罩保持裝置4的導部45以及g保持裝置5的導部55的導 溝22卜再者，在導溝221的下方，形成有較導溝μ〗的 溝寬度還寬的邊框收納溝222。 再者，安裝台22在光罩1〇側的端部突出設置有遮罩 支持插銷23。 此遮罩支持插銷23為先端部變細的形狀的插銷，且貫 通遮罩E 100的貫通孔並且在是浮出於遮罩匿1〇〇 的狀態（不接觸狀態）下支持著光罩1〇。再者，遮罩支持插 銷23嵌入於貫通孔1〇2，在取出方向（參照第3圓）舉起遮 罩匣100 導引著遮罩匣1〇〇，使方向不會誤差。藉由 使用遮罩支持插鎖23作為支持構件，可使構造單純化，且 可達成製造成本降低。

再者，安裝台22以及遮罩支持插銷23的材料通常可 使用金屬，而例如與遮罩匿1〇〇或光罩1〇接觸的部分也可 以安裝由樹脂等的材料構成的緩衝構件（圖未顯示）。 、雖然圖未顯示’但是，箱本體2的周緣部可藉由銘框 補強的樹脂板構成，使收容的遮罩的主平面成為垂直的姿 勢，而在下部兩側設置一對腳輪（caster)，再者，在兩邊 的上部以及下部安裝把手。A^ ^ 于丹者，箱本體2藉由鏍絲或手 拉器细鄉鍵等的結合裝置來安裝箱蓋3。並且，箱本體2 與箱蓋3藉由0型環等的密封元件於密閉狀態下連結。 〈箱蓋〉 箱蓋3為可自由地裝卸於箱本體2的蓋子。此箱蓋 2130-9138-PF;Ahddub 14 1356797 為覆蓋著箱本體2的矩形箱狀，由矩形狀的 上板與突出設 置於上板的周緣部的側板構成。 雖然圖未顯示’但是’箱蓋3的周緣部可藉由鋁框補 強的樹脂板構成，且在下部兩側設置一對腳輪，再者，在 兩邊的上部以及下部安裝著把手。 〈遮罩保持裝置〉 遞罩保持裝置4是用來保持光罩10的裝置，以自由調

整位置的方式固；t於箱本體2上。此遮罩保持裝置4包括 載置於安裝台22的螺著部44、設置於從螺著部44突出設 置成鉤狀的先端部的載置面41以及位置決定突出部42 = 以及突出設置於螺著部44的下面且與導溝221嵌合的導 45。 ° 載置面41與光罩10的端面抵接，且在設置時使得遮 罩箱1與遮罩的主平面成為垂直，位於下側的載置面η承 受光罩1G的重量。再者’位置歧突出部42在朝著光罩 10的方向具有廣的斜面。此斜面以夹置著光罩的方气 形成著，以進行光罩10的位置決定（光罩10的表面與直工 方向的位置決定 螺著部44設有供螺絲43貫通的孔，插入此孔的螺絲、 心與以自由移動的方式收納於邊框收納溝m的邊框 結合。藉此’此遮罩保持裝£ 4在螺著於安裝台22的同時， 藉由鬆開螺絲43’可向滑塊方向移動。再者，載置面Ο 以及位置0突出部42的高度的位置，是對應於支持在遮 罩支持插銷23的光罩1〇的高度的位置，所以藉由螺著， 15 2130-9138*PF；Ahddub 1356797 =◦罩保持裝置4往光罩i。的方向移動，而容“保持 〈匣保持裝置> 厘保持以來料料^⑽ 調整位置的方式固定 裝置以自由 設置於安裝台22的料 此E保持裝置5包括 晉“心 螺著54、設置於從螺著部54突出# 置成鉤狀的先端部的保持面5 大出叹 的下面且盥導溝221 ^ 及X出⑦置於螺著部54 -、导溝221嵌合的導部55。 保持面51朝著遮罩匣〗η 保持面51與載置於安裝a c 桩鏑B 的遮罩E 100的上側角部線 接觸’且以將遮罩E 1〇。擠屢在安裝台22 罩匣100。 飞保持遮 螺著部54設有供螺絲53貫通的孔，插入此孔的螺絲 53與以自由移動的方式收納於邊框收㈣奶的邊框刊 結合。藉此，此E保持裝置5在螺著於安裝台22的同時， 藉f鬆開螺絲53，可向滑塊方向移動。再者，保持面Η 的同度的位置，是對應於載置於安裝台22的遮罩匣1〇〇的 高度的位置’所以藉由螺著’可使E保持裝置5往遮罩匿 100的方向移動，而容易地保持遮罩匣1〇〇。 〈遮罩匣〉 在製造裝置及/或檢查裝置（圖未顯示）之中，遮罩匣 100雖然使用於搭載遮罩時，然而，在此顯示作為矩形狀 的平板，且在對應於遮罩支持插銷23的位置設有貫通孔 102。再者’遮罩匣100對應著各個貫通孔1〇2，突出設置 2130-9i38-PF;Ahddub 16 1356797 有位置決定插銷1{)1’該位置決定插銷1〇1進行載置於遮 罩匣1〇〇的上面的光罩ίο的位置決定。 並且，在本實施形態的遮罩匣1〇〇令，可載置光罩 並且’藉由以位置決定插们01 $定位置，成為設立光罩 10的構造，然而，設立的形態不限於此構造。 再者，遮罩匣100、遮罩保持裝置4以及匣保持裝置5 的材料通常可使用金屬、然而，例如與遮罩E1GQ 5戈光罩 10接觸的部分也可以安裝由樹脂等的材料構成的緩衝元件 (圖未顯示）。 說明上述構造的遮罩箱1的動作。 首先，在第1(a)圖所示的狀態下，遮罩箱J收納著光 罩1〇以及遮罩Ε100β再者，在輸送時，料箱i通常為 直立的狀態下輸送》 其次’參照圖式，說明由遮罩箱！取出光罩1〇的動作。 第3圖為顯示用來說明本發明的第—實施形態的遮罩 箱的遮罩的卸除的狀態的概略剖面圖。 ，在同圖之中’傳遞於遮罩使用者的遮罩箱卜首先放 置成為遮罩的主平面成為水平 ^ 卞且由第Ua)圖的狀態，卸 下箱蓋3。其次，鬆開各個螺絲43以及螺絲&接著遮罩 保持裝置4以及匣保持裝晉5 #港袖&十i 竹发1b彺滑塊的方向移動，直到不 與上方取出的遮罩匣1〇〇干涉的位置。 其次，藉由作業者，逆置ΙΨ丨h 爷遮罩匣100在取出方向（正上方） 舉起。此時’遮罩匣1〇〇與光罩板扭，口 + 興尤罩1ϋ抵接，且直到藉由位置 決疋插銷101而決定位置护置去拉描 1遮罩支持插銷23會導引遮罩匣 2130-9l38-PF；Ahddub 17 1356797 m，所以不會與光罩10產生異常的衝擊，而可使順利地 將遮罩E100抵接於光W。亦即，《者根據位置決定 插銷101的導引，慢慢地將遮罩匣1〇〇舉起，在藉由位置 決定插銷101決定光罩1G的位置的狀態下，載置於遮㈣ 1 0 0。藉此，由遮罩箱1取屮古罢Λ 早相1取出先罩1〇時，是在光罩1〇設於 遮罩匣100的狀態下，取出光罩10。 再者，設於遮罩IE 100的光罩10可在曝光裝置等使 用’例如保管直到下回的製造日時，可藉由回復上述順序， 而可使光罩10容易且安全地收納於遮罩箱i之中。亦即， 作業者將設有光罩10的遮罩匣1〇〇降下 插銷23貫通於貫通孔102’遮罩支持插销23會：= S 100往正下方向，所以對於光罩1〇不會造成異常的衝 擊，可由遮罩更1〇〇浮起，且可使遮罩昆1〇〇順利地載置 於安裝台22。亦即，作業者根據位置決定插銷1〇1的導引， 只要慢慢'地將遮罩E 100降下，可藉由遮罩支持插銷23支 持光罩ίο，並且，可將遮罩匣100載置於安裝台22。 如上所述，根據本實施形態的遮罩箱1，在由遮罩製 造者收納於遮罩箱！的狀態下被收納的光罩1 〇，遮罩使用 者的作業者可完成將其更換為例如曝光裝置等的遮罩匣 100的更換作業（可極為容易地，且安全地進行更換作業）， 所以可大幅地減輕作業的負荷，同時提昇作業性。 再者，可大幅地減低更換作業中失誤而完全地損傷光 罩的危險性，且可安全地進行作業。 再者，藉由設置遮罩保持裝置4以及匣保持裝置5， 2130-9138-PF；Ahddub 18 1356797 可確實地保持光罩10以及遮罩匣100’所以即使於空運或 陸運等進行光罩10輸送的情況，也可避免光罩1〇破損、 或者因摩擦而產生大量的粒子、以及’對於精緻地形成圖 案造成損傷等的困擾。

並且’遮罩箱1設置遮罩支持插銷23，而光罩為 由遮罩匣100浮起的狀態，換言之，是以與遮罩匣不接觸 的狀態下支持，並且，將遮罩匣1〇〇導引向既定的方向， 所以在搬送中遮罩g 100與光罩不會接觸。藉此，可確實 防止遮罩匣100與光罩10摩擦而產生的粒子的困擾。藉由 上述所述，在搬送中，藉由遮罩箱直接保持固定光罩，且 能夠以最小接觸面積保持的同時，在光草取㈣，藉由從 遮罩箱取出遮罩E的動作，可實現光罩自動設置於遮罩匡 的態樣。藉此，作業者從遮罩箱取出光罩上，使設置於遮 罩E的作業大幅地降低。再者，在從遮罩箱取出光罩、將 光罩收容於遮罩箱時，光罩經常被遮罩ϋ保護著，所以可 抑制損傷或破損大幅地降低。上述特別是對於―邊超過 1000顧的大型遮罩具有顯著的效果。 [遮罩箱的第二實施形態] 第4圖為用來說明本發 诚罢认〜 旳第—實施形態的遮罩箱的 A ^叫顯不為剖面圖，（b)顯不 為B-B剖面圖。 再者，第5圖為用來說明★災 罩箱、逆1明的第二實施形態的遮 罩相、遮罩的保持裝置以及匣 MS - ^ ^ 卡持裝置的概略放大圖，（3) 顯不為側面圖，（b)顯示為上視圖。 2130-9138-PF;Ahddub 19 1356797 第4、5圖之中，第二實施形態的遮罩箱13與第一實 施形態遮罩箱1相比，遮罩匣l〇〇a具有在光罩1〇位置決 定的狀態下收納的構造，同時遮罩保持裝置4a、匡保持裝 置5a及其構造不同。其他構成要素略與第一實施形態相 同0 囚此，第 予相同的符號，省略其詳細的說明。 〈遮罩匣〉 在製造裝置及/或檢查裝置（圖未顯示）之中，遮罩匣 100a’可使用於搭載遮罩時，在此，顯示為矩形狀的平板， 在周緣部突出設置著決定光罩1〇位置，同時收納的壁部 113。此壁部113為略為矩形環狀的形狀，且由下依序包括 載置於光罩1G的周緣部的載置面⑴、抵接於光罩^的 側面而進行位置決定的位置決定面112、與用來容易地收 納光罩10的傾斜的導引面114。 再者，遮罩E 100a在對應於遮罩保持裝置^的位置， 形成有開口部115。获，士 . .. _ I比藉此，由於遮罩Ε 100&保持載置於 置面111的光罩1〇，所以遮罩保持裝置4a可以移動。 〈遮罩保持裝置〉 遮罩保持裝置4a是用來保持光罩μ 調整位置的方式固定於箱本Μ卜裝置Μ自由

上。此遮罩保持裝置4a的 載置面41以及办署、；±_〜办， J 置决疋犬出部42的高度的位置，是 於收納在遮罩匣1〇〇的 疋對應 _的M的高度的位置，所以刺田 開口部11 5可使遗罩你姓壯 用 吏遮罩保料置4a往光罩1Q的方向移動， 2l30-9138-pp;Ahddub 20 1356797 而藉由螺著，可容易地保持光罩1〇β 〈匣保持裝置〉 匿保持裝置5a是用來保持遮罩匣1〇 〇a的裝置，以自 由調整位置的方式固定於箱本體2上。此匣保持裝置5a的 保持面51的高度的位置，是對應於遮罩匣1〇〇a的壁部ιΐ3 的高度的位置，所以藉由螺著，可使匿保持裝置往遮罩 匣l〇〇a的方向移動，而容易地保持遮罩匣1〇〇a。再者， 保持面51與遮罩匡100a的壁部113的上側角部線接觸1 且以將遮罩匣100a擠壓在安裝台22的方 10〇a。 林莳遮罩匣 說明上述構造的遮罩箱la的動作。 首先’在第4(a)圖所示的狀態下，遮罩箱ia收 光罩10以及遮罩匣l〇〇a。 作。其次，參照圖式’說明由遮罩箱la取出光罩1〇的動 第6圖為顯示用來說明本發明的第二實施形態的 釦的遮罩的卸除的狀態的概略剖面圖。 ”' 在同圖之中，傳遞於遮罩使用者的遮 ::橫置，從且由…的狀態，卸下箱蓋水 罩保持裝置…塊的〜 決定面"2,在位置決定的狀態下 ：由位置 匣l〇〇a。 罩〗〇可載置於遮罩 2l3〇-9i38-PP；Ahddub 1356797 其次’鬆開各個螺絲53，匣保持裝置5a往滑塊的方 向移動’直到不與上方取出的遮罩匣1〇〇a干涉的位置。藉 由此動作，可解除匣保持裝置5a的保持狀態，所以可容易 地且安全地，在位置決定的狀態下將收納於遮罩匣1〇〇&的 光罩10從遮罩箱la取出。 再者’設於遮罩匣l〇〇a的光罩1〇可在曝光裝置等使 • 用，例如保管直到下回的製造曰時，可藉由回復上述順序， • 而可使光罩10容易且安全地收納於遮罩箱la之中。亦即， 作業者將設有光罩10的遮罩匣100a載置於安裝台22 (為 了決定此載置位置，可設置位置決定裝置（圖未顯示））。其 次，以匣保持裝置5a，保持遮罩匣100a，接著，藉由遮罩 保持裝置4a，保持光罩1 〇，可安全且容易地將光罩丨〇收 納於遮罩箱1 a。 如上所述，本實施形態的遮罩箱la，可得到與遮罩箱 1略為同樣的效果，再者，藉由解除以遮罩保持裝置的 ® 保持狀態，光罩10可被設於遮罩匣100a，所以可容2地 進行作業。 [遮罩匣的一實施形態] 冉者，本發明的遮罩匿會有效用。本發明的遮罩厘為 與上述遮罩匣100略為相同的構造，在取出光罩時 : 具有導引遮罩匣100往既定的方向移動的遮罩支持插銷Μ 的被導引面（第2(a)圖所示的貫通孔102的表而、 ^ J Qm 。 如上所述’本發明的遮罩匣100也右蚀 t令政，即使在遮罩 S 100不進行更換光罩10的作業也可完成， x所以可大幅地 2130-9138-PF;Ahddub 22 減輕作業者的負荷，同時提昇作業性。再者，可確實防止 遮罩H 100與光罩1〇摩擦而產生的粒子的困擾。 [圖案轉移方法的一實施形態] 再者，本發明的圖案轉移方法會有效用。本發明的圖 案轉移方法係從用以搬送光罩10用的遮罩箱1取出光罩 10的步驟’藉由使用載置於上述遮罩E 1G0而搭載的上述 光罩10的曝光裝置，具有圖案轉移的曝光步驟的圖案轉移 方法之中’光罩10從遮罩箱1取出時，在光罩Π)設於遮 罩匣100的狀態下取出的方法。 如上所述，本發明的圖案轉移方法也有效，即使在遮 罩匿100不進行更換光罩1G的作業也會完成，所以可大幅 地減輕作業者的負冑’同時提昇作業性。 [顯示裝置的製造方法之一實施形態] 者’本發明的顯示裝置的製造方法會有效用 明的顯示裝置的製造方法白 如 方法包括從用以搬送光S 10用的遮 罩：1取出光草U)的步辣;使用載置而搭載於上 100的上述光罩丨^ _._ 藉由曝光裝置將具有圖案轉移於頻 1置使用的被轉移體的曝光步驟的顯示裝 ^ Γ二罩10從遮罩箱1取出時，在光罩設於遮罩% 100的狀態下取出的方法。 匣 所述，本發明的顯示裝置的製造方法也有效， 使在遮罩UOO不進行更換光罩1G的作業 可大幅地減輕作業者的負荷，同時提昇作業性。以 以上，僅以較佳的實施形態說明本發明的遮罩箱、遮 2130-9138-PF/Ahddub 23 1356797 罩匣、圖案轉移方法以及顯示裝置的製造方法1而本發 明的遮罩箱、遮罩E、㈣轉移方法以及顯示裝置的製造 方法不限於上述的實施形態，可在本發明的範圍内作各種 的變更實施。 例如，遮罩保持裝置與匿保持裝置也可以是連結成_ 體的構造。 本發明也可適用於用來保管遮罩的遮罩箱，特別是， 可適用於在聰或PDP等㈣造步驟所使耗大型遮革。 【圖式簡單說明】 第1圖為用來說明本發明 遮罩的安裝的狀態的概略圖， 為A-A剖面圖。 的第一實施形態的遮罩箱的 (a)顯示為剖面圖，（b)顯示 第2圖為用來說明本路 a不發明的第一實施形態的遮罩箱的 遮罩的保持裝置以及匣保持萝

子褒置的概略放大圖’（a)顯示為 侧面圖，（b)顯示為上視圖。 第3圖顯示為用來說明 妹 月本發明的第一實施形態的遮罩 相的遮罩的卸除的狀態的概略剖面圖。 ^圖為用來說明本發明。的第二實施形態的遮罩箱的 :、的狀態的概略圖，(a)顯示為剔面圖，㈨ 為B-B剖面圖。 第5圖為用來說明本發明 遮罩的保持裝置以及匣保持裝 側面圖，（b)顯示為上視圖。、 的第二實施形態的遮罩箱的 置的概略放大圖，（a)顯示為 2130-9138-PF；Ahddub 24 1356797

V .- · 第6圖顯示為用來說明本發明的第二實施形態的遮罩 箱的遮罩的卸除的狀態的概略剖面圖。 【主要元件符號說明】 1、1 a ~遮罩箱； 3〜箱蓋； 5、5a〜匣保持裝置； 21〜凸部； 23~遮罩支持插銷； 42〜位置決定突出部； 44、54~螺著部； 100、100a〜遮罩匣； 221~導溝； 2~箱本體； 4、4&~遮罩保持裝置； 10~光罩；。 22~安裝台； 41~載置面； 4 3、5 3 ~ 螺絲 '; 45、55〜導部； 1 0 2〜貫通孔； 2 2 2〜邊框收納溝。

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Claims (1)

135679^ 〇90134〇36號十、申請專利範園： 100年9月2曰修正替換頁 罩 1. 一種遮罩箱，收容能夠搬 而使用的裝置之中使用的載置 其特徵在於： 运的光罩、與搭載上述光 上述光罩用的遮罩匣， 上述遮罩箱，包括： 遮罩保持裝置’保持上述光罩； 匣保持裝置，保持上述遮罩匣；

相本體 置；以及 設置上述遮罩保持裝 置以及上述匣保持裝 箱蓋，可自由裝卸地安裝在上述箱本體，且覆 光罩， …其中取出上述光罩時，是藉由從上述遮罩箱中取出上 述遮罩g，以上述遮罩匿載置著上述光罩的狀態下取出上 述光罩，且上述遮㈣持裝置及上述㈣持裝置被移動至 在上述遮罩匣的取出方向上不與上述遮罩匣干涉的位置。 2. 如申請專利範圍第丨項所述的遮罩箱，其中上述遮 罩匣是由上方取出。 3. 如申請專利範圍第1或2項所述之遮罩箱，其中在 與上述遮罩匣不接觸的狀態下支持上述光罩，且取出上述 光罩％，使上述遮罩匣往取出方向移動，而上述遮罩匣載 置著上述光罩。 4. 如申請專利範圍第3項所述之遮罩箱，其中收容上 述光罩時’具有支持該光罩的遮罩支持插銷，且使上述遮 罩E往既定的方向移動時，該遮罩支持插銷導引該移動。 2130-9138-PF1 26 I35679Z 第096134036號 100年9月2日修正替換頁 5. 如申請專利範圍第4項所述之遮罩箱，其中取出上 述光罩時，上述光罩被载置於上述遮罩匣上的固定位置。 6. 如申請專利範圍第1項所述之遮罩箱，其中該遮罩 保持裝置保持著載置於上述遮罩匣的狀態的上述光罩。 7. —種遮罩匣，在搭載光罩而使用的裝置之中，载置 光罩而使用，且與上述光罩一起收容於遮罩箱中， 其特徵在於： 在收容上述光罩以及上述遮罩匣於上述遮罩箱時，為 了保持上述光罩’包括用來使設於上述遮罩箱的保持構件 裝置到達上述光罩的開口部， 其中由上述遮罩箱取出上述光罩時，藉由解除上述保 持構件的保持狀態，以上述遮罩匿載置著上述光罩的狀綠 下取出上述光罩。 心 8.種圖案轉移方法，包括下列步驟： 從用來搬送光罩的遮罩箱取出上述光罩；以及 將上述光罩以載置於上述遮罩昆的狀態下搭載於 裝置進行圖案轉移曝光， 其特徵在於： 上述遮罩箱，包括： 遮罩保持裝置，保持上述光罩； 匣保持裝置，保持上述遮罩匣； 置；以及 箱本體，設置上述遮罩保持裝置 以及上述ϋ保持裝 箱蓋，

且覆蓋上述 2130-9138-PF1 27 1356797 第096134036號 100年9月2日修正替換頁

光罩， 從上述遮罩箱取屮 出述光罩時，藉由解除上述遮罩保 持裝置及上述匣保掊梦罢 干待裝置’使上述遮罩保持裝置及 保持裝置移動至上述遮罩匣取 涉的位置，並在上述遮罩匣+ °不與上述遮罩匣干 上述光罩。 冑置者上述光罩的狀態下取出 2130-9138-PF1 28