WO2013168782A1 - 基板ケース、基板運搬ケース、ケースカバー、基板運搬システム及び基板運搬方法 - Google Patents

基板ケース、基板運搬ケース、ケースカバー、基板運搬システム及び基板運搬方法 Download PDF

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case
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敬 神林
瑛子 鈴木
安住　美菜子
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株式会社ニコン
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    • Y02W30/80—Packaging reuse or recycling, e.g. of multilayer packaging

Definitions

  • the present invention relates to a substrate case for accommodating and transporting a large rectangular flat substrate therein, a substrate transport case used for the substrate case, a case cover, a substrate transport system including these, and a substrate transport method using them. About.
  • a glass blank used for manufacturing a liquid crystal display (LCD) panel or a plasma display (PD) panel a mask blank in which a light shielding film or a resist film is laminated on the surface of the glass substrate
  • a photomask in which a circuit pattern is formed through a photolithography process.
  • the manufactured substrate is housed and sealed in a dust-proof substrate case (inner case) in a clean room.
  • a substrate is heavy.
  • the mass of a substrate having a diagonal dimension of about 1.8 m is about 50 kg for a single substrate, and the mass of a substrate having a diagonal size of about 2.4 m is over 100 kg for a single substrate.
  • a caster is provided at the lower end of the substrate case.
  • the substrate is accommodated in the substrate case in a vertical position where the front and back surfaces are vertical.
  • substrate case is erected so that a board
  • the casters are provided at the four corners of the bottom of the case, which is the lower end at this time (see Patent Document 1).
  • the substrate case in which the substrate is accommodated is packaged by a case cover made of a fabric that suppresses dust generation used in cleanware in an intermediate clean room called a pass box.
  • the case cover is formed in an envelope shape having an opening on the lower surface side and covering the case main body from above, and on the lower surface side, one standing surface side that extends vertically in parallel with each other (for example, the surface side of the substrate) To the other standing surface side (same as the back surface side).
  • the bottom surface portion is formed, for example, in the shape of a tongue that passes through the lower side of the case main body portion in the region where the casters are not disposed, and connects the above-mentioned standing surfaces. (See, for example, Patent Document 2).
  • a case main-body part is covered with a case cover, and it is comprised so that a particle (dust) may not adhere easily.
  • the size of the substrate case becomes larger than the shape dimension required on the basis of the substrate size. That is, the position of the center of gravity increases with the increase in the size of the substrate, and considering the overturning stability, it is necessary to increase the thickness of the substrate case significantly beyond the originally required thickness.
  • the outer dimensions of the substrate case required on the basis of this substrate size are approximately 2000 ⁇ 1800 ⁇ 250 mm, and the mass of the substrate case including the substrate is approximately 300 kg. .
  • the height of the substrate case 101 is 1800 mm and the center of gravity is at a height of 900 mm as shown in FIG.
  • the substrate case 101 falls.
  • this static fall angle is set to 15 degrees, which is a standard for general home appliances, the required substrate case thickness is about 480 mm.
  • the volume of the space occupied by the substrate case is about twice that of the substrate case based on the substrate size.
  • the substrate case containing the substrate is a heavy object having a mass of about 300 kg, and that there is a high risk of damaging an expensive substrate if it falls, it is desirable to make the tipping angle even larger.
  • the static fall angle is 30 degrees, the space volume occupied by the substrate case exceeds four times that of the substrate case based on the substrate size.
  • the conventional case cover as described above has not yet been sufficiently effective in preventing particle adhesion to the substrate case during transportation of the substrate. Specifically, when the case cover is unpacked in a clean room with an intermediate level of cleanliness at the substrate transport destination, in reality, a large number of particles adhere to the outer surface of the case body, and these particles are removed. It took a lot of man-hours to do. That is, there has been a problem that the loading process from unpacking the substrate case to taking out the substrate takes time.
  • transportation means such as trucks and airplanes are used for transportation from the substrate manufacturing factory to the next process factory.
  • an impact or vibration acts on the substrate transportation case from the outside (for example, the floor surface of the truck).
  • conventional packing equipment has not been provided with means for absorbing these shocks and vibrations. For this reason, there has been a concern that impacts and vibrations acting from the outside may be transmitted to the substrate via the substrate carrying case and the substrate case, possibly damaging the substrate.
  • a large substrate having a diagonal dimension exceeding 2 m is expensive, and a substrate case for storing such a large substrate and a substrate carrying case are also expensive, so that measures have been required.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a transporting equipment and a transporting method capable of transporting a large substrate in a more stable state and / or more quickly. To do. Another object of the present invention is to provide a substrate case that can stably move an accommodated substrate with a small and simple configuration according to the substrate size. Another object of the present invention is to provide a means capable of reducing the number of steps in the substrate loading process and improving the throughput in the manufacturing process using the substrate. Another object of the present invention is to provide packaging equipment that can transport a substrate safely with a simple configuration.
  • a first embodiment illustrating the present invention is a substrate case for accommodating a rectangular flat plate-shaped substrate having a diagonal dimension exceeding 2 m and transporting the substrate.
  • This substrate case is provided with a substrate support portion that supports the front, rear, left, and right edges of the substrate in the plate thickness direction on the upper surface side, and a lower case (for example, implementation) that has three or more moving casters on the lower surface side.
  • the vessel point in the front-rear direction and the vessel point in the left-right direction calculated based on the outer shape of the lower case in plan view, respectively It is configured to be attached to a frame-like region that is outside the second quadrilateral formed by tying.
  • a second embodiment illustrating the present invention is a substrate carrying case for storing and carrying a substrate case in which a substrate is held.
  • the substrate carrying case is provided with a caster provided on the lower surface side to accommodate the substrate case, and a lid member that covers the substrate case accommodated in the carrying case body and is attached to the upper surface side of the carrying case body.
  • a shock absorbing member that absorbs an impact acting on the caster from the outside during transport is provided between the transport case body and the caster.
  • a third aspect illustrating the present invention is to cover the outer periphery of the substrate case in which the substrate is accommodated, and to attach dust to the substrate case during transportation of the substrate. It is a bag-like case cover which suppresses.
  • the substrate case includes a substrate case main body that accommodates the substrate, and a plurality of caster structures that have wheels at the lower ends and are provided to protrude downward from the substrate case main body.
  • the case cover is formed with a plurality of caster insertion holes through which the respective caster structures are vertically inserted in accordance with the arrangement positions of the plurality of caster structures in the substrate case main body, and the opening edges of the caster insertion holes are
  • the shape and dimensions can be changed according to the cross section of the caster structure passing through the caster insertion hole, and when the wheel is exposed to the outside of the cover through the caster structure in the caster insertion hole, the opening edge passes through the caster structure. It changes according to the cross section, and is configured to close a gap that may occur between the caster structure and the caster insertion hole.
  • a fourth aspect illustrating the present invention is a substrate transport system for transporting a large substrate, the substrate case of the first aspect, and the substrate case A substrate transport system having a case cover for packing the substrate case and a substrate transport case for storing the substrate case.
  • the substrate case includes a plurality of caster structures each including the casters and projecting downward from the lower case
  • the case cover is A plurality of caster insertion holes through which the caster structures are inserted vertically are formed in accordance with the arrangement positions of the plurality of caster structures in the lower case,
  • the opening edge of the caster insertion hole is configured such that the shape and dimension can be changed according to the passage cross section of the caster structure passing through the caster insertion hole.
  • the substrate carrying case is A transport case main body provided with a caster on the lower surface side to accommodate the substrate case, and a lid member that covers the substrate case accommodated in the transport case main body and is attached to the upper surface side of the transport case main body.
  • substrate conveyance case provided with the buffer member which absorbs the impact which acts on the said caster from the outside at the time of conveyance between the said conveyance case main-body part and the said caster.
  • a fifth aspect illustrating the present invention includes a step of housing a substrate in the substrate case of the first aspect, a step of packing the substrate case with a case cover, Storing the packed substrate case in a substrate carrying case.
  • the substrate case includes a plurality of caster structures each including the casters and projecting downward from the lower case
  • the case cover is A plurality of caster insertion holes through which the caster structures are inserted vertically are formed in accordance with the arrangement positions of the plurality of caster structures in the lower case,
  • the opening edge of the caster insertion hole is configured such that the shape and dimension can be changed according to the passage cross section of the caster structure passing through the caster insertion hole.
  • the substrate carrying case is A transport case main body provided with a caster on the lower surface side to accommodate the substrate case, and a lid member that covers the substrate case accommodated in the transport case main body and is attached to the upper surface side of the transport case main body.
  • substrate conveyance case provided with the buffer member which absorbs the impact which acts on the said caster from the outside at the time of conveyance between the said conveyance case main-body part and the said caster.
  • the caster attached to the lower case is inside the first quadrangle that is the outer shape of the substrate supported by the substrate support portion, and is a vessel in the front-rear direction of the lower case in plan view. It is attached to a frame-like region that is outside the second quadrangle formed by connecting the points and the Bessel points in the left-right direction.
  • the first square is a square on which the substrate load acts.
  • the second quadrangle is a quadrangle that connects the positions of fulcrums where bending deformation in the front-rear direction and the left-right direction is minimized when a load is applied to the substrate case. Therefore, according to this structure, the board
  • the impact acting on the caster from the outside during transport is absorbed between the transport case main body housing the substrate case and the caster provided on the lower surface side of the transport case main body.
  • a cushioning member is provided.
  • a plurality of caster insertion holes through which each caster structure is inserted up and down are formed in accordance with the position of the caster structure in the substrate case main body.
  • the opening edge of the caster insertion hole is configured so that the shape and dimension can be changed according to the cross section of the caster structure passing through the caster insertion hole, and when the wheel is exposed to the outside of the cover through the caster structure in the caster insertion hole.
  • the opening edge changes along the passage cross section of the caster structure, and is configured to close a gap that may occur between the caster structure and the caster insertion hole.
  • a large substrate can be transported more quickly in a more stable state.
  • FIGS. 1 and 2 An example of a substrate case to which the present invention is applied is shown in FIGS. 1 and 2, an example of a case cover to which the present invention is applied is shown in FIG. 12, and an example of a substrate carrying case to which the present invention is applied is shown in FIGS. 1 and 17, (a) is a plan view of the substrate case 1 and the substrate carrying case 7 as viewed from above, (b) is a front view as viewed from the front, and (c) is a side view as viewed from the right side. . 2 and 18 are perspective views of the substrate case 1 and the substrate carrying case 7 as viewed obliquely from above.
  • the front, rear, left, and right sides of the substrate case 1, the case cover 5, and the substrate carrying case 7 are respectively shown in the directions of the arrows shown in FIGS. 1 (a), 12, and 17 (a). However, how to take these directions is arbitrary.
  • the illustrated substrate case 1 has a large-sized glass substrate 2 having a size of 1800 ⁇ 1600 ⁇ t17 mm (diagonal dimension is about 2.4 m) and a mass of about 110 kg, and a horizontal orientation in which the front and back surfaces of the substrate are horizontal.
  • the glass substrate 2 is housed inside the case, and the housed glass substrate 2 is protected and transported.
  • the board case 1 is generally a box-like shape whose thickness in the vertical direction is thinner than the length in the front-rear direction and the left-right direction, and the upper case unit 10 and the lower case separated by a substantially middle part in the vertical direction.
  • the unit 20 is the main component.
  • the upper case unit 10 has a box shape that opens downward as a whole
  • the lower case unit 20 has a box shape that opens as a whole, and covers the upper case unit 10 from above the lower case unit 20.
  • the board case 1 shown in FIGS. 1 and 2 is formed by connecting the two by fastening means such as bolts.
  • Both the upper case unit 10 and the lower case unit 20 are composed of a metal frame that forms the skeleton of each case unit, and a resin box member that is attached to each frame and protects the glass substrate 2 from dust and particles. Composed. That is, as shown in FIG. 2, the upper case unit 10 includes a metal upper frame 11 that forms a skeleton of the case unit, and a resin upper box member 12 attached to the upper frame 11. .
  • the lower case unit 20 includes a metal lower frame 21 that forms the skeleton of the case unit, and a resin lower box member 22 attached to the lower frame 21.
  • the upper frame 11 includes a plurality of reinforcing bars extending obliquely in front and rear, right and left, and in addition to an outer frame surrounding the outer periphery of the substrate.
  • the outer frame and the reinforcing bar are formed of, for example, a channel material obtained by bending a stainless steel plate having a predetermined thickness into a C shape or a U shape, or a drawing material made of an aluminum alloy having a predetermined cross-sectional shape.
  • the upper frame 11 is configured by being integrally connected by fastening means.
  • the upper box member 12 has a cover plate that covers the upper surface of the glass substrate 2 and front and rear, left and right side plates that are connected to the side end portions of the cover plate and extend downward, and is configured in a box shape that opens downward.
  • the lid plate and the front, back, left, and right side plates are each formed by cutting a resin plate having a predetermined thickness into a predetermined shape, and the upper box member 12 is configured by hermetically connecting them by means such as adhesion or fusion.
  • the lower frame 21 is basically configured in the same manner as the upper frame 11, and includes a plurality of reinforcing bars extending obliquely in front, rear, left, and right and in addition to an outer frame surrounding the outer periphery of the substrate.
  • the lower frame 21 is provided with a caster 30 for movement.
  • four pedestal portions 25 projecting downward are provided on the lower surface side of the lower frame 21, and a moving caster 30 is attached to the lower end of each pedestal portion 25.
  • the structure which consists of the base part 25 and the caster 30 is called the caster structure 3 (FIG. 4).
  • the pedestal portion 25 is formed, for example, by bending a stainless steel plate having a predetermined plate thickness into a rectangular tube shape, and is fixed to the lower surface of the lower frame 21 by fastening means such as bolts (see FIG. 4).
  • fastening means such as bolts
  • FIG. 4 an example in which the cross-sectional shape is a rectangular tube shape is shown as the pedestal portion 25, but the cross-sectional shape of the pedestal portion 25 may be a cylindrical shape, a columnar shape, a prismatic shape, or the like.
  • the pedestal portion 25 exemplifies a configuration in which a stainless alloy plate having a predetermined thickness is bent and formed into a box frame shape with an open top surface. 30 is fixed by fastening means such as bolts.
  • the caster 30 is a swivel type in which the wheel 35 can swivel 360 degrees in a horizontal plane, and in the figure, a caster 30 is shown with a stopper mechanism 39 that restricts the rotation of the wheel 35 so that the substrate case 1 does not move.
  • the caster 30 includes a swivel type caster in which an axle turns in an arbitrary direction within a horizontal plane, and a fixed type caster to which the axle is fixed, and at least two casters at the front or rear may be a swivel type.
  • all four wheels use turning casters.
  • frame 21 via the base part 25 is explained in full detail behind.
  • the caster 30 is provided with a protective cover 38 that protects the side surfaces of the wheels 35 and the rolling surfaces before and after the traveling direction.
  • the protective cover 38 includes a rectangular frame-shaped protective frame portion 38a that surrounds the side surface and the rolling surface of the wheel 35 in a plan view, and a tongue-shaped fixed piece that protrudes upward from the protective frame portion 38a on the side of the wheel.
  • the portion 38b is formed, for example, by punching and bending a stainless alloy plate having a predetermined plate thickness into the shape shown in the figure.
  • the protective cover 38 is attached to the caster 30 so that the protective frame portion 38a surrounds the side surface and the rolling surface of the wheel 35, and the fixed piece portion 38b extending upward is fixed to the sheet metal member holding the axle of the caster 30 with a bolt or the like. It is attached by doing.
  • the substrate case 1 in which the protective cover 38 is attached to the caster 30 when the substrate case 1 is moved using the caster 30, there are obstacles such as pallets and tools on the floor surface in the moving direction. Even in this case, it is possible to suppress the collision of the wheel 35 with the obstacle, and it is possible to prevent the tire portion made of the polymer material in the wheel 35 from being damaged, and to suppress the fragmentation of the tire portion and the diffusion of the wear piece into the clean room. be able to. Also, to prevent the board case 1 Upon carrying a forklift, inserting the claw of a forklift fork insertion area S F, a situation such as nails of the forklift are damaging the wheel in contact with the wheel 35 when pulled out in advance be able to.
  • the lower box member 22 is basically configured in the same manner as the upper box member 12.
  • FIG. 3 shows a schematic plan view of the lower box member 22.
  • the lower box member 22 has a bottom plate 22a that covers the lower surface of the glass substrate 2, and front and rear left and right side plates 22b, 22c, 22d, and 22e that are connected to the side edges of the bottom plate and open upward. Configured.
  • the bottom plate 22a and the front, rear, left and right side plates 22b, 22c, 22d, and 22e are each formed by cutting a resin plate having a predetermined thickness into a predetermined shape, and these are hermetically connected by means such as adhesion or fusion.
  • the lower box member 22 is configured.
  • FIG. 3 shows four L-shaped diagonal support portions 23 a provided to support the corners of the glass substrate 2 and two front and rear locations provided to support the central portion of the long side of the glass substrate 2.
  • the substrate support part 23 is formed by a total of eight support parts including a long side support part 23b of the glass substrate 2 and a short side support part 23c of two right and left parts provided so as to support the center part of the short side of the glass substrate 2. An example is shown.
  • the substrate support part 23 of the present configuration example has the front and rear and left and right edges of the glass substrate 2, that is, the front and rear long sides and the left and right short edges of the glass substrate 2 in a plate thickness direction by a total of eight support parts. Configured to support. Therefore, four L-shaped diagonal support portions 23a at diagonal positions, two front and rear long side support portions 23b along the long side, and two left and right short side support portions 23c along the short side are provided.
  • the outline shape of the substrate support portions 23 formed by being connected to each other is substantially the same quadrangle as the outer shape (1800 ⁇ 1600 mm) of the glass substrate 2 in plan view.
  • the lower box member 22 is provided with a holding structure for fixing and holding the glass substrate 2 supported by the substrate support portion 23 so as not to move in the box.
  • the mating surface of the lower end portion of the upper box member 12 and the upper end portion of the lower box member 22 is formed with a fitting structure that fits to each other, and covers the upper case unit 10 from above the lower case unit 20.
  • the glass substrate 2 accommodated in the box is held in a sealed state.
  • the glass substrate 2 is housed and held in a sealed state inside the protective box formed by the upper box member 12 and the lower box member 22, and the protective box is surrounded by the metal upper frame 11 and lower frame 21. Protected.
  • the external dimensions of the substrate case 1 are larger than the external dimensions of the glass substrate 2 by a certain amount.
  • each part is optimized, and when the upper case unit 10 and the lower case unit 20 are connected, the substrate case main body portion excluding the caster structure 3 (the pedestal portion 25 and the caster 30)
  • the external dimensions of the upper case unit 10 and the lower case unit 20, which are structural parts of the main body that accommodates and holds the glass substrate 2 are suppressed to 2030 ⁇ 1810 ⁇ 250 mm.
  • the arrangement positions of the casters 30 attached to the lower frame 21 are set as follows.
  • the substrate case 1 accommodates the glass substrate 2 in the case in a horizontal orientation in which the front and back surfaces of the substrate are horizontal.
  • the bottom surface of the substrate case (substrate case body) is as wide as 2030 ⁇ 1810 mm, and the length is about 1810 mm even in the short side direction. Therefore, unlike the case where the glass substrate 2 is accommodated in the vertical orientation (the bottom surface is 2030 ⁇ 250 mm), there is almost no possibility that the static falling angle becomes a problem (see FIG. 27 and the related description). Therefore, regarding the substrate case 1 having the casters 30 on the bottom surface, considering the overturning stability when an external force is applied, the arrangement position conditions of the casters 30 are examined.
  • FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining a mechanical relationship when an external force to be pressed downward is applied to the end of the substrate case 1.
  • the caster 30 is provided at a position that is separated from the position of the center of gravity BC of the substrate case 1 having a mass W by a distance r to the left and right in the horizontal direction. Acts downward on the edge. At this time, a moment is generated in the substrate case 1 by the external force F that causes the substrate case 1 to rotate counterclockwise about the left caster 30 (lifts the right end side of the substrate case 1).
  • the arrangement position condition (hereinafter referred to as the first condition) of the caster 30 for preventing the substrate case 1 from falling is r ⁇ RF / ( W + F).
  • FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the mechanical relationship when an external force that lifts upward acts on the end of the substrate case 1.
  • the caster 30 is provided at a position that is a distance r from the position of the center of gravity BC of the substrate case 1 of the mass W to the left and right in the horizontal direction, and the external force F is a distance R from the center of gravity to the left. It acts upward on the end of the case that is only apart. At this time, a moment is generated in the substrate case 1 by the external force F that causes the substrate case 1 to rotate clockwise about the right caster 30 (lifts the left end side in the figure).
  • the arrangement position condition of the casters 30 for preventing the substrate case 1 from falling (hereinafter referred to as the second condition) is r ⁇ RF / ( WF).
  • the position of the center of gravity BC is the center of the substrate case main body
  • the external force F applied at the time of operation is 10 kg
  • the resultant force N of the acceleration ⁇ acting leftward in the horizontal direction on the center of gravity BC of the substrate case 1 and the gravitational acceleration 1G acting in the vertical direction is as shown in FIG. It acts in the direction of angle ⁇ 1 with respect to the vertical direction in which gravitational acceleration acts.
  • the caster 30 When an impact force is applied to the substrate case 1, the caster 30 does not act as a rolling element in which the wheel 35 is freely rotatable, and acts on the ground contact point 35 p of the wheel as a fulcrum. At this time, the geometrical relationship between the center of gravity BC and the ground contact point 35p of the left wheel is such that the angle formed with the vertical direction is ⁇ 2 as shown in FIG.
  • the position of the center of gravity BC is set as the center of the substrate case main body.
  • the caster 30 is provided at a position that is a distance r in the horizontal direction from the position of the center of gravity, and the height in the vertical direction from the position of the center of gravity to the ground contact point 35p of the wheel is h.
  • ⁇ 1 ⁇ 2 ( ⁇ / 1G) ⁇ (r / h) from FIGS. 7B and 7C.
  • the arrangement position condition of the casters 30 for preventing the substrate case 1 from falling (hereinafter referred to as the third condition) is r> ⁇ h / 1G. It becomes.
  • a glass substrate 2 having a mass of 110 kg is accommodated in the substrate case 1. Therefore, the substrate case 1 is required to be small in deformation when the glass substrate 2 is accommodated, and to be small in deformation in the state in which the glass substrate 2 is accommodated. For this reason, the position of the caster 30 is set so as to satisfy both the small deformation during the storing operation of the glass substrate 2 and the small deformation of the entire case in the state in which the glass substrate 2 is stored.
  • the load of the glass substrate 2 acts on the L-shaped diagonal supports at four diagonal positions.
  • the region of the contour shape of the substrate support portion 23 formed by mutually connecting the portion 23a, the two long side support portions 23b along the long side and the two short side support portions 23c along the short side. It is. Therefore, by providing the caster 30 directly under the contour shape of the substrate support portion 23, excessive force such as twisting or bending does not act on the lower case unit 20 during the storing operation of the glass substrate 2, and the deformation of the case is suppressed. Is done.
  • the outline shape of the substrate support portion 23 is substantially the same as the outer shape of the glass substrate 2 supported by the substrate support portion 23.
  • the arrangement position condition (hereinafter referred to as the fourth condition) of the caster 30 for suppressing the deformation of the case with respect to the load acting at the time of storing the glass substrate is the glass supported by the substrate support portion 23.
  • the deformation of the entire substrate case is small in a state in which the glass substrate is accommodated.
  • the substrate case 1 in which the glass substrate 2 is accommodated has a total mass of four casters 30 provided on the lower surface side of the lower case unit 20. Supported. In other words, the load of the glass substrate 2 and the upper case unit 10 acts on the lower case unit 20, and the entire mass is supported at four caster placement positions. And in the state which such a load acted, the deformation
  • the substrate case 1 When the substrate case 1 is viewed from the front or the back, the substrate case 1 is supported by two casters 30 and 30 provided on the left and right sides along the long side direction. Further, when the substrate case 1 is viewed from the right side or the left side, the substrate case 1 is supported by two casters 30 and 30 provided in the front-rear direction along the short side direction.
  • the lower case unit 20 is a beam extending left and right with the mounting positions of the two casters 30 and 30 attached to the left and right along the long side direction (pedestal portions 25 and 25, the same applies below) as the fulcrum
  • the bending of the beam is minimized when the two casters 30 and 30 are disposed at the left and right vessel points.
  • the deflection of the beam is 2 This is minimized when the casters 30, 30 are arranged at the vessel points in the front-rear direction.
  • the Bessel point is a support position where the deflection on the neutral axis of the beam is minimized when the beam to which the equally distributed load acts is supported at two points, and 2 when the total length of the beam is L.
  • the distance between the fulcrums of the two vessel points is represented by 0.559L.
  • the outer dimensions of the main body of the lower case unit 20 are a length Lx in the long side direction (left-right direction) of 2030 mm and a length Ly in the short side direction (front-back direction) of 1810 mm.
  • Bessel point P B before and after the two locations, distance between supporting points of P B becomes Ly 1012mm.
  • the arrangement position condition (hereinafter referred to as the fifth condition) of the caster 30 for suppressing the deformation of the entire substrate case 1 with the glass substrate 2 accommodated is calculated based on the outer shape of the lower case unit 20.
  • This is an outer peripheral area of a quadrangle (second quadrangle, 1135 ⁇ 1012 mm in this configuration example) B 2 formed by connecting the forward and backward vessel points P B and the horizontal vessel points P B.
  • the position of the caster 30 has been examined from the viewpoint of the stability of the overturn when an external force is applied and the deformation of the substrate case 1 due to the load.
  • the conditions examined above are summarized as follows.
  • the caster 30 is disposed in an area where the horizontal distance from the position of the center of gravity BC of the substrate case 1 is r ⁇ 54 mm, specifically, outside the radius of 54 mm from the centroid of the substrate case 1 in plan view. It was an area.
  • the arrangement position is a region where the horizontal distance from the center of gravity of the substrate case 1 is r ⁇ 430 mm, specifically, an area outside the radius of 430 mm from the centroid of the substrate case 1 in plan view.
  • the substrate case 1 (lower case unit 20) in plan view as shown in FIG. This is a region S 1 outside the circle with a diameter of 860 mm centered on the centroid.
  • the fifth condition is summarized.
  • the fourth condition is a condition for suppressing deformation of the lower case unit 20 due to a load acting on the substrate support portion 23 during the storing operation of the glass substrate 2.
  • the caster 30 is disposed at the outer shape projection region of the glass substrate 2 supported by the substrate support 23, specifically, the outer peripheral region of the first quadrangle B 1 of 1800 ⁇ 1600 mm (FIG. 3). It was.
  • the fifth condition is a condition for suppressing deformation of the entire lower case unit 20 in a state where the glass substrate 2 is accommodated.
  • the fourth condition and the fifth condition are summarized, a condition in which both are suppressed, that is, a case in which the deformation of the glass substrate 2 during the storing operation is suppressed and the glass substrate 2 is accommodated.
  • the condition for suppressing the overall deformation is a frame inside the first quadrangle B 1 defined by the fourth condition and outside the second quadrangle B 2 defined by the fifth condition. the Jo region S 2.
  • the frame-like region S 2 in this configuration example is the inside of the 1800 ⁇ 1600 mm first quadrangle B 1 on which the glass substrate is projected, and before and after being calculated based on the outer shape of the lower case unit 20. This is outside the second square B 2 of 1135 ⁇ 1012 mm formed by connecting the direction Bessel point and the horizontal Bessel point.
  • the preferable position of the caster 30 is determined as the region S 1 outside the radius 430 mm (diameter 860 mm) from the centroid of the substrate case 1 that satisfies the first to third conditions from the standpoint of tipping stability. More preferably, a region that satisfies all of the first to fifth conditions, that is, a frame-like region S 2 that is inside the first quadrangle B 1 of 1800 ⁇ 1600 mm and outside the second quadrangle B 2 of 1135 ⁇ 1012 mm. Is required.
  • the corners of the four positions of the frame-shaped region S 2 is a rectangular frame shape (four corners). Then, adjacent to the inner side of the two casters 30, 30 arranged in the left and right along the long side direction, is provided with insertable fork insertion space S F nails (fork) of a forklift (see Figure 1).
  • the front side and rear side of the lower case unit 20, the fork insertion region mark 40 indicating the fork insertion area S F is displayed side by side ( Figure 1).
  • Left and right fork insertion area S F, S F is formed in a region including the left and right two sides extending in the back and forth in the second rectangle B 2 described above.
  • the arrangement pitch of the two casters 30 and 30 arranged side by side along the long side direction is 1500 mm
  • the arrangement pitch of the two casters 30 and 30 arranged front and rear along the short side direction is 1140 mm.
  • the center pitch of the left and right fork insertion areas S F and S F is 1000 mm
  • the width of each fork insertion area is 300 mm.
  • the height from the bottom surface of the main body of the lower case unit 20 to the floor surface is about 300 mm.
  • the base part 25 is described as an attachment position of the caster 30, and description of the caster 30 is abbreviate
  • the fork insertion area S F of the left is formed in a region including the left side of the second rectangle B 2 and is partially overlapped with the frame-shaped region S 2
  • the right fork insertion region S F is formed in a region including the second right side of the rectangle B 2 partially overlap the frame-shaped region S 2.
  • the fork insertion area S F of the left and right are overlapping both areas S 1 described above.
  • the substrate case 1 is supported in the region including the frame-shaped region S 2 not only when moving using the casters 30 but also when transporting using a forklift or the like. Therefore, according to the substrate case 1, it is possible to provide a substrate case that has high fall stability and that suppresses deformation of the case including not only when the glass substrate is stored but also when it is moved by a caster or when it is transported by a forklift.
  • the case where the glass substrate 2 having a size of 1800 ⁇ 1600 ⁇ 17 mm is accommodated has been described as an example.
  • the type, aspect ratio, diagonal size, etc. of the substrate may be changed as appropriate.
  • the configuration in which the casters 30 on each corner of the frame-shaped region S 2 the arrangement position of the casters may be any within the frame-shaped region S 2, for example, a frame-shaped region S 2 castors 30 You may comprise by providing in each center part of the long side and short side in.
  • the casters 30 attached to the lower case unit 20 are inside the first quadrangle B 1 that is the outer shape of the glass substrate 2 supported by the substrate support portion, and are flat.
  • the lower case unit 20 is attached to a frame-like region S 2 outside the second quadrangle B 2 formed by connecting the front and rear vessel points and the left and right vessel points, respectively. Therefore, according to this structure, the board
  • a case cover 5 for packaging the substrate case 1 is configured as follows.
  • An external perspective view schematically showing the case cover 5 is shown in FIG.
  • the illustrated case cover 5 includes an upper cover portion 51 that covers the upper half of the substrate case body portion from above, a lower cover portion 52 that covers the lower half of the substrate case body portion from below, and an upper cover portion 51 and a lower cover portion 52.
  • a connection structure 53 is formed as a main body in a closed state so as to wrap the entire substrate case main body.
  • the upper cover portion 51 and the lower cover portion 52 are integrally connected on one side surface (for example, the rear side surface) in the front-rear direction or the left-right direction, and are connected over the other three side surfaces (the same front, left and right side surfaces).
  • the structure 53 can be opened and closed.
  • Both the upper cover portion 51 and the lower cover portion 52 are made of clean wear material that is preferably used in a clean room. It is desirable that this fabric can be used in a clean room having a cleanness of about 100 to 1000 class.
  • a polyeltel material that has few short fibers as a dust generation source and uses long fibers (filaments), and that has an antistatic effect by weaving conductive fibers or the like.
  • the fabric preferably has a surface resistance of 1E + 12 ⁇ (1 ⁇ 10 12 ⁇ ) or less according to IEC (International Electrotechnical Commission) standards. Specifically, Electi (registered trademark) of Teijin Textile Co., Ltd., Waveron (registered trademark) of Teijin Frontier Co., Ltd., Nomex (registered trademark) of DuPont Co., Ltd., and the like can be used.
  • connection structure 53 uses a fastener (referred to as a wire fastener, zipper, or chuck) that is preferably used in a clean room, and the connection structure 53 is closed to connect the upper cover portion 51 and the lower cover portion 52. When this is done, it is sewn into a rectangular parallelepiped bag that wraps around the substrate case body.
  • FIG. 13 shows a drawing-substituting photograph of the connecting structure 53 (hereinafter referred to as “Fursner”).
  • the lower cover portion 52 of the case cover 5 is formed with caster insertion holes 55 through which the caster structures 3 are vertically inserted in accordance with the positions of the caster structures 3 of the substrate case 1.
  • the opening edge 55a of the caster insertion hole 55 is configured such that its shape and dimension can be changed according to the passage cross section of the caster structure 3 passing through the caster insertion hole 55.
  • the caster structure 3 includes a pedestal portion 25 that protrudes downward from the substrate case main body portion, and a caster 30 attached to the pedestal portion 25 (the caster 30 is a substrate case main body portion).
  • the opening edge 55a of the caster insertion hole 55 changes in accordance with the cross section of the pedestal 25 passing through the caster insertion hole 55 up and down. Configured to do.
  • FIG. 14 shows a drawing substitute photograph of the vicinity of the opening edge 55a in the caster insertion hole 55.
  • the caster 30 is inserted into the caster insertion hole 55 and the opening edge 55a is engaged with the pedestal 25.
  • FIG. 15 shows a drawing substitute photograph in the stopped state.
  • the caster insertion hole 55 is formed so that an elastic member such as rubber or a tension coil spring is sewn on the opening edge 55a so that the opening shape and the opening diameter can be changed within a predetermined range.
  • the opening diameter of the caster insertion hole 55 is reduced in the free state where no external force acts on the caster insertion hole 55 due to the elasticity (tensile force) of the elastic member bag-sewn on the opening edge portion. It is set to be smaller than the diagonal dimension (or diameter) of the portion 25.
  • the opening diameter of the caster insertion hole 55 is increased, and the caster 30 and the pedestal portion 25 can be freely inserted. Is set as follows.
  • the opening edge 55a of the caster insertion hole follows the passage cross section of the pedestal 25 as shown in FIG.
  • the opening shape and the opening size are changed, and the gap is closed and locked so that the base portion 25 is tightened from the outer periphery by the elasticity of the elastic member.
  • caster insertion holes 55 are formed in accordance with the positions of the caster structures 3 provided so as to protrude downward in the substrate case main body, and when the caster structures 3 are inserted into the respective caster insertion holes 55.
  • the caster insertion holes 55 are locked by closing the gap so as to tighten the pedestal portion 25 by the elasticity of the elastic member.
  • the upper cover 51 is covered from the upper side of the substrate case 1 to the substrate case main body, and the fastener 54 is closed and the upper cover 51 and the lower cover 52 are connected, as shown in FIG.
  • the entire substrate case main body is packaged by the case cover 5, and only the casters 30 (and the lower part of the pedestal portion 25) are exposed from the case cover 5.
  • the substrate case 1 packaged by the case cover 5 can be moved freely using the casters 30.
  • the caster insertion hole 55 is locked with an elastic member provided at the opening edge so as to tighten the pedestal portion 25 from the outer periphery so that the particles adhere to the substrate case main body during substrate transportation.
  • the horizontal movement of the casters 30 and the rotation of the wheels 35 are not hindered when the substrate case 1 is moved using the casters 30.
  • the case cover 5 includes an upper cover portion 51 that covers the upper portion of the substrate case main body portion, a lower cover portion 52 that covers the lower portion, and a fastener 53 that connects these in an openable and closable manner. Since the caster insertion hole 55 is formed, the packaging and unpacking operations of the substrate case 1 can be performed easily and quickly.
  • case cover 5 it is possible to reduce the man-hours for removing particles adhering to the substrate case 1 in the carrying-in process to the clean room after transporting the substrate, and the use of the glass substrate.
  • the throughput of manufacturing photomasks and various displays can be improved.
  • the upper cover portion 51 and the lower cover portion 52 are connected to each other on one side and opened and closed by a fastener 53 provided on the other three side surfaces, but the upper cover portion 51 and the lower cover are shown.
  • the part 52 may be configured separately and independently so as to be connected / separated by a fastener that is provided over four side surfaces (entire circumference).
  • the substrate carrying case 7 is attached to the upper side of the carrying case main body 71 so as to cover the carrying case main body 71 containing the board case 1 and the board case 1 housed in the carrying case main body 71.
  • the lid member 72 is mainly used. Both the transport case main body 71 and the lid member 72 are composed of a metal frame forming a skeleton of each member and a metal sheet face material fixed to the metal frame and forming an outer shell, and is stored inside. Thus, foreign matter does not collide with the substrate case 1 or an excessive external force does not act directly.
  • a fork insertion portion 73 for inserting the left and right claws of the forklift extends in the front-rear direction at the lower portion of the transport case main body portion 71. Is provided.
  • a buffer member 76 that absorbs an impact is provided between the transport case main body 71 and the caster 75.
  • the length of one side is b between the base plate 75 a of the swivel caster 75 in which the axle can turn 360 degrees horizontally in a horizontal plane and the pedestal 71 a of the transport case main body 71.
  • a configuration in which a rubber cushioning member 76 having a thickness t is provided is shown.
  • Bolt insertion holes 76b are formed through the buffer member 76 in the thickness direction in accordance with the pitch of bolts for fixing the casters 75, and have a length corresponding to the thickness of the spring washer 77 and the buffer member 76.
  • the shoulder bolt 78 is used to fix the pedestal 71a and the base plate 75a.
  • a disc spring washer may be used instead of the spring washer 77, and a collar and a bolt of a predetermined length may be used instead of the shoulder bolt 78.
  • FIG. 20 shows the results of measuring the impact force acting on the steel ball at this time by causing the steel ball to collide with the rubber cushioning member at various collision speeds in the thickness direction.
  • the horizontal axis represents the collision speed (m / s) of the steel ball
  • the vertical axis represents the impact force (kN) acting on the steel ball.
  • a plurality of buffer members having different thicknesses are identified and plotted. From this figure, it can be seen that the impact force increases as the collision speed increases, and the impact force decreases as the buffer member 76 is thicker.
  • FIG. 21 shows the result of measuring the impact force acting on the steel ball at this time by causing the steel ball to collide with the rubber cushioning members having different shapes in the thickness direction.
  • the horizontal axis represents the shape factor ⁇ of the buffer member
  • the vertical axis represents the impact force (kN) acting on the steel ball.
  • the thickness of the buffer member 76 when the shape ratio ⁇ is 0.3 is t ⁇ 10 mm
  • the thickness of the buffer member 76 when the shape ratio ⁇ is 1 is t ⁇ 30 mm.
  • the thickness of the buffer member 76 is preferably about 5 to 30 mm, more preferably about 10 to 30 mm.
  • vibration acts on the caster 75 from the floor surface of these transportation means.
  • the buffer member 76 is made to act as an anti-vibration rubber, the resonance frequency (natural frequency) becomes a problem.
  • the resonance frequency fn of the anti-vibration rubber is expressed by equation (1), and the spring constant k is expressed by equation (2).
  • fn 1 / 2 ⁇ ⁇ (k / m) 1/2
  • k EA / t ...
  • m the mass (load) of the object acting on the vibration isolating rubber
  • E the Young's modulus of the vibration isolating rubber
  • A the pressure receiving area
  • b ⁇ b and t are the thickness of the anti vibration isolating rubber. is there.
  • the resonance frequency (natural frequency) fn of the buffer member 76 for satisfying this condition can be obtained as follows.
  • the vibration transmissibility Tr of the anti-vibration rubber is expressed by the following equation (3).
  • Tr
  • u is a frequency ratio
  • u f / fn.
  • FIG. 23 shows the relationship of the expression (3).
  • Tr (25 / fn) ⁇ ⁇ 2, fn ⁇ 17.7 Hz.
  • the resonance frequency fn of the buffer member 76 is preferably 17.7 Hz or less.
  • the mass m acting on each buffer member 76 is 75 kg.
  • the length b of one side of the buffer member 76 is 125 mm when the thickness is 10 mm. Then, in order to reduce the resonance frequency to 17.7 Hz or less from the above equations (1) and (2), the Young's modulus of the buffer member 76 needs to be approximately 600 MPa or less.
  • the rubber hardness is approximately 90 or less on the Shore A (JIS-K 6253) scale.
  • the thickness of the buffer member 76 is about 5 to 30 mm and the rubber hardness is 40 to 90 on the Shore A scale on the vibration absorbing surface that absorbs the vibration acting through the caster 75. Accordingly, it is preferable that the thickness of the buffer member 76 is about 5 to 30 mm (more preferably 10 to 30 mm) and the rubber hardness is 40 to 90 on the Shore A scale from the shock absorbing surface and the vibration absorbing surface.
  • the buffer member 76 urethane rubber or silicon rubber can be used.
  • FIG. 24 (a) (b).
  • A) is a model of the structure (conventional board
  • FIG. (B) is a model of the structure (the board
  • the total weight of the substrate carrying case 7 is 300 kg, the size of the buffer member 76 is ⁇ 125 ⁇ 15 mm, and the substrate carrying case is supported at four locations.
  • the Young's modulus of the buffer member 76 is set to 100 MPa from the above range.
  • FIG. 25 shows the simulation results of calculating the transfer characteristics of the external vibration for the models (a) and (b).
  • the horizontal axis represents the frequency of external vibration
  • the vertical axis represents the vibration transmissibility.
  • the resonance frequency fn 331 Hz from the above-described equations (1) and (2), and as is clear from FIG. It is in an excited state in the entire frequency range (25 to 400 Hz).
  • the resonance frequency fn 7 Hz, and it can be seen that the extraneous vibration acting during transportation is greatly attenuated in the entire frequency region.
  • the substrate transport case 7 in the transport process in which the glass substrate 2 is transported by transport means such as a truck or an aircraft, impact, vibration or the like acts on the caster 75 from the floor surface of the truck.
  • these are absorbed by the buffer member 76, and the transmission of shock and vibration to the transport case body 71 of the substrate transport case 7 is suppressed. Therefore, it is possible to protect both the substrate case 1 and the substrate carrying case 7 that are desired to be protected as well as the glass substrate 2 that should be protected from external impacts and the like.
  • the substrate transport case for transporting the glass substrate 2 having a size of 1800 ⁇ 1600 ⁇ 17 mm and a mass of about 110 kg has been described. Further, the shape dimension, the total mass, and the like of the substrate carrying case 7 that change based on these can be appropriately changed and applied.
  • the glass substrate 2 manufactured in a clean room having a cleanness of about class 100 is placed in the lower case unit 20 of the substrate case 1 and fixedly supported by the substrate support unit 23 in the clean room. Then, the upper case unit 10 is covered from above the lower case unit 20 holding the glass substrate 2, and the case units 10 and 20 are connected by bolts or the like. Accordingly, the glass substrate 2 is held in a sealed state in the substrate case 1 (S1).
  • the substrate case 1 holding the glass substrate 2 is moved to the pass box.
  • the cleanness of the pass box is inferior to that in the clean room, and is about 100 to 1000.
  • the case 1 is packed using the case cover 5 (S2).
  • S2 case cover 5
  • the case cover 5 with the upper cover 51 and the lower cover 52 opened is placed on the floor of the pass box.
  • the lower cover portion 52 is placed with the lower cover portion 52 extended so that the four caster insertion holes 55 of the lower cover portion 52 are positioned corresponding to the caster structures 3 of the substrate case 1.
  • the substrate case 1 is moved onto the case cover 5 placed as described above.
  • the four caster insertion holes 55 of the lower cover portion 52 are arranged at positions corresponding to the caster structure 3 of the substrate case 1 as described above, the four caster insertion holes 55 of the substrate case 1 are used by using a forklift or the like.
  • the casters 30 can be easily disposed inside the four caster insertion holes 55 of the lower cover portion 52, respectively. After each caster 30 is disposed in each caster insertion hole 55, the upper cover part 51 and the lower cover part 52 are connected using the connection structure 53, and the substrate case 1 is packed with the case cover 5.
  • each caster insertion hole 55 changes following the cross section of each pedestal portion 25 and closes the gap so as to close the pedestal portion 25 from the outer periphery.
  • the substrate case 1 packed by the case cover 5 is moved from the pass box to the general environment, where it is accommodated in the substrate carrying case 7 (S3).
  • substrate case 1 is mounted in the truck for conveyance etc. with a forklift etc. (S4).
  • the glass substrate 2 When the glass substrate 2 is taken out from the substrate carrying case 7 that has been conveyed, the glass substrate 2 can be taken out by the reverse process.
  • the accommodated glass substrate 2 can be stably moved using the substrate case 1 that ensures the overturning stability and suppresses deformation when the glass substrate 2 is accommodated.
  • the substrate case 1 is packed using the case cover 5 having the caster insertion hole 55 that closes the gap so that the upper cover portion 51, the lower cover portion 52, and the pedestal portion 25 are tightened from the outer periphery. Can be easily packed.
  • the case cover 5 can greatly suppress the adhesion of particles to the substrate case 1 during substrate transportation, the particles adhered to the substrate case 1 when the substrate transportation case 7 is received and the glass substrate 2 is taken out. The process of removing can be reduced.
  • the throughput of manufacturing a photomask or the like using the glass substrate 2 can be improved. Further, since the substrate transport case 7 having the buffer member 76 is used, the substrate case 1 during transport, and thus the glass substrate can be protected from external impacts and the like. Therefore, according to the transportation method of the present embodiment, the glass substrate 2 can be transported more quickly and stably.
  • the accommodated substrate can be stably moved with a small and simple configuration corresponding to the substrate size. Further, according to the case cover of the present invention, it is possible to reduce the number of steps for removing particles adhering to the substrate case in the substrate carrying-in process, and to improve the throughput in the manufacturing process using the substrate. Further, according to the substrate carrying case of the present invention, the substrate can be safely carried with a simple configuration. Moreover, according to the board
  • Substrate case 2 Glass substrate (substrate) 3 Caster structure 5 Case cover 7
  • Substrate carrying case 10 Upper case unit (upper case) 20
  • Lower case unit (lower case) 23 substrate support (23a diagonal support, 23b long side support, 23c short side support) 25
  • Pedestal part 30 Caster 35 Wheel 39
  • Protective cover 51 Upper cover part 52
  • Lower cover part 53
  • Connection structure (Farsner) 55
  • Caster insertion hole 55a Open edge
  • Carrying case main body 72
  • Lid member 75 Caster 76
  • Buffer member B 1 First square

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Abstract

　基板ケース（１）は、対角寸法が２ｍを超える大型の基板を内部に収容し、収容された基板を運搬するためのケースである。基板ケース（１）は、上面側に基板の前後左右の縁部を支持する基板支持部が設けられ下面側に移動用のキャスター（３０）が設けられた下部ケースユニット（２０）と、基板支持部に支持された基板を上方から覆って取り付けられる上部ケースユニット（１０）とを有する。キャスター（３０）は、内部に収容された基板（２）の外形である第１四角形の内側であり、かつ、下部ケースユニット（２０）の外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側の枠状領域に取り付けられて構成される。基板サイズに応じた小型かつ簡便な構成で、収容した基板を安定的に移動させることができる。

Description

基板ケース、基板運搬ケース、ケースカバー、基板運搬システム及び基板運搬方法
　本発明は、大型の矩形平板状の基板を内部に収容し、運搬するための基板ケース、該基板ケースに用いる基板運搬ケース、ケースカバー、これらを含む基板運搬システム、及びこれらを用いる基板運搬方法に関する。
　上記のような矩形平板状の基板として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルやプラズマディスプレイ（ＰＤ）パネルの製造に用いられる、ガラス基板、ガラス基板の表面に遮光膜やレジスト膜等が積層されたマスクブランク、さらにフォトグラフィ工程を経て回路パターンが形成されたフォトマスクなどがある。これらの基板は、各製作工程においても次工程である成膜工程や露光工程においても高いクリーン度が要求されるため、例えばクラス１００程度のクリーン度に維持されたクリーンルーム内で製作される。
　製作された基板は、クリーンルーム内で防塵構造の基板ケース（インナーケース）に収容され密閉される。上記のような基板は重量物である。例えば、対角寸法が１．８ｍ程度の基板の質量は、基板単体で概ね５０kg程度になり、対角寸法が約２．４ｍクラスの基板の質量は基板単体で１００ｋｇを超える。そのため基板が収容された基板ケースを人が持ち上げて運搬するのは現実的ではない。そこで、基板が収容された基板ケースの移動を容易ならしめるため、基板ケースの下端にはキャスターが設けられる。従来の基板ケースでは、基板は表面及び裏面が鉛直となる縦置き姿勢で基板ケースに収容される。または基板を基板ケースに収容した後に、基板が上記縦置き姿勢となるように基板ケースが屹立される。キャスターは、このとき下端となるケース底部の四隅に設けられている（特許文献１を参照）。
　基板が収容された基板ケースは、パスボックスと称される中間的なクリーン度のクリーンルームにおいて、クリーンウェアに使用される発塵性を抑えた生地を用いて作製されたケースカバーにより包装される。ケースカバーは、下面側に開口部を有して上方からケース本体部を覆う封筒状をなし、下面側には、互いに平行に上下に延びる一方の立設面側（例えば、基板の表面側）から他方の立設面側（同、裏面側）に延びる底面部が設けられる。底面部は、例えば、キャスターが配設されていない領域においてケース本体部の下側を通り、上記立設面間を結ぶ舌片状に形成され、他方の立設面側に面ファースナー等により係着される（例えば、特許文献２を参照）。これにより、基板ケースの運搬時に、ケース本体部がケースカバーにより覆われてパーティクル（塵埃）が付着しにくいように構成されている。
　ケースカバーで包装された基板ケースは、パスボックスから一般環境に移動される。出荷工程では、ケースカバーで包装された基板ケース（インナーケース）が、さらに大型の運搬用ケース（アウターケース）に収容され、厳重に保護された状態で出荷される（例えば、特許文献１、特許文献２を参照）。上記の通り基板は重量物であるため、基板運搬ケースを人が持ち上げて移動するのは困難である。よって基板運搬ケースの下端部にもキャスターが設けられる。（特許文献１を参照）。基板ケース、ケースカバー及び基板運搬ケースにより梱包された基板は、キャスターやフォークリフト等を利用して工場内を移動され、トラックや航空機等の輸送手段によって基板製造工場から次工程の工場に輸送運搬される。
登録実用新案第３１１７３６９号公報 特開２００８－７１２７号公報
　近年では、ＬＣＤパネルやＰＤパネルの大型化が更に進展し、対角寸法が２ｍを超える大型の基板も求められるようになっている。基板が大型化すれば質量も増大し、例えば、大きさが１８００×１６００×１７ｍｍの基板は、質量が基板単体で１１０ｋｇにもなる。このように大型化、重量化した基板を保護し、安定的に移動させるには、従来の基板ケースをスケールアップするだけでは解決困難な種々の問題がある。
　まず、従来と同様に、基板を縦置き姿勢で基板ケースに収容する場合、基板ケースの大きさが基板サイズを基準として求められる形状寸法よりも大型化するという問題がある。すなわち、基板の大型化に伴って重心位置が高くなっており、転倒安定性を考慮すると、基板ケースの厚さを本来的に必要な厚さよりも大幅に増加させる必要が生じる。例えば、１８００×１６００×１７ｍｍの基板を収容する場合、この基板サイズを基準として求められる基板ケースの外形寸法は概ね２０００×１８００×２５０ｍｍ程度、基板を含めた基板ケースの質量は概ね３００ｋｇ程度となる。
　基板の短辺を上下方向に延在させる縦置き姿勢としたとき、図２７に示すように、基板ケース１０１の高さは１８００ｍｍとなり、重心は９００ｍｍの高さ位置になる。このとき、床面の傾斜等により基板ケースが約８度傾くと基板ケース１０１は転倒する。この静的な転倒角度を、一般的な家電製品において目安とされる１５度に設定する場合、必要となる基板ケースの厚さは約４８０ｍｍになる。このとき、基板ケースが占める空間の容積は、基板サイズを基準とした基板ケースの約２倍となる。基板を収容した基板ケースは質量が３００ｋｇ程度もある重量物であること、仮に転倒すれば高額な基板が破損するおそれが高いこと等を考慮すれば、転倒角度はさらに大きな角度とすることが望ましい。静的な転倒角度を３０度とした場合、基板ケースが占める空間容積は基板サイズを基準とした基板ケースの４倍を超える。
　一方、基板を表面及び裏面が水平となる横置き姿勢で基板ケースに収容し、投影面積が広い底面の四隅にキャスターを設けた場合には、上記のような問題は生じない。しかし、底面の四隅にキャスターを設けた場合、荷重を支持する支点間隔が広くなるため基板ケースに作用する荷重によって基板ケースが撓み変形しやすくなる。これを付加的な構成で抑制しようとすればケース構造が複雑化するという問題が生じる。
　また、上記のような従来のケースカバーでは、基板運搬時における基板ケースへのパーティクル付着について、その防止効果が未だ十分ではない、という問題が指摘されていた。具体的には、基板運搬先の中間的なクリーン度のクリーンルームにおいてケースカバーを開梱したときに、現実的にはケース本体部の外表面に多数のパーティクルが付着しており、このパーティクルを除去するために多くの工数を要していた。すなわち、基板ケースを開梱して基板を取り出すまでの搬入工程に工数がかかるという課題があった。
　また、上記のように、基板製造工場から次工程の工場への運搬には、トラックや航空機等の輸送手段が利用される。この運搬過程では外部（例えばトラックの床面）から基板運搬ケースに衝撃や振動が作用する。しかし、従来の梱包機材には、これらの衝撃や振動を吸収する手段が設けられていなかった。そのため、外部から作用する衝撃や振動が、基板運搬ケース及び基板ケースを介して基板に伝達され、基板を損傷させるおそれがあると懸念されていた。特に、対角寸法が２ｍを超えるような大型の基板は高価であり、またこのような大型の基板を格納する基板ケース及び基板運搬ケースも高額になることから、その対応が求められていた。
　本発明はこのような事情に鑑みて成されたものであり、大型の基板をより安定した状態で及び／又はより迅速に搬送することのできる搬送用機材及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本発明はまた、基板サイズに応じた小型かつ簡便な構成で、収容した基板を安定的に移動させることができるような基板ケースを提供することを目的とする。
　本発明はまた、基板の搬入工程における工数を削減し、基板を使用した製造工程においてスループットを向上可能な手段を提供することを目的とする。
　本発明はまた、簡便な構成で、基板を安全に運搬できるような梱包機材を提供することを目的とする。
　上記課題を解決するため、本発明を例示する第１の態様は、対角寸法が２ｍを超える矩形平板状の基板を内部に収容し、基板を運搬するための基板ケースである。この基板ケースは、上面側に基板の前後左右の縁部を板厚方向に支持する基板支持部が設けられ、下面側に３つ以上の移動用のキャスターが設けられた下部ケース（例えば、実施形態における下部ケースユニット２０）と、基板支持部に支持された基板を上方から覆って下部ケースに取り付けられる上部ケース（例えば、実施形態における上部ケースユニット１０）とを有し、キャスターは、平面視において基板支持部に支持された基板の外形である第１四角形の内側に配置され、かつ、平面視における下部ケースの外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側である枠状領域に取り付けられて構成される。　
　上記目的を達成するため、本発明を例示する第２の態様は、内部に基板が保持された基板ケースを格納し運搬するための基板運搬ケースである。この基板運搬ケースは、下面側にキャスターが設けられ基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、運搬ケース本体部に収容された基板ケースを覆って運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、運搬ケース本体部とキャスターとの間に、運搬時に外部からキャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材を設けて構成される。
　上記課題を解決して目的を達成するため、本発明を例示する第３の態様は、内部に基板が収容された基板ケースの外周を覆って、基板の運搬時における基板ケースへのダストの付着を抑制する袋状のケースカバーである。このケースカバーにおいて、基板ケースは、基板を収容する基板ケース本体部と、下端に車輪を有し基板ケース本体部から下方に突出して設けられた複数のキャスター構造とを有する。ケースカバーは、基板ケース本体部における複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、このキャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通るキャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、キャスター挿通孔にキャスター構造を通して車輪をカバー外方に露出させたときに、開口縁がキャスター構造の通過断面に倣って変化し、キャスター構造とキャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成される。
　上記課題を解決して目的を達成するため、本発明を例示する第４の態様は、大型の基板を運搬するための基板運搬システムであって、第１の態様の基板ケースと、前記基板ケースを梱包するケースカバーと、前記基板ケースを格納する基板運搬ケースとを有する基板運搬システムである。この基板運搬システムにおいて、
　前記基板ケースは、前記キャスターをそれぞれ含み前記下部ケースから下方に突出して設けられた複数のキャスター構造を有し、
　前記ケースカバーは、
　前記下部ケースにおける前記複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各前記キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、
　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通る前記キャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、
　前記キャスター挿通孔に前記キャスター構造を通して前記車輪をカバー外方に露出させたときに、前記開口縁が前記キャスター構造の通過断面に倣って変化し、前記キャスター構造と前記キャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成されているケースカバーであり、
　前記基板運搬ケースは、
　下面側にキャスターが設けられ前記基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、前記運搬ケース本体部に収容された前記基板ケースを覆って前記運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、
　前記運搬ケース本体部と前記キャスターとの間に、運搬時に外部から前記キャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられた基板運搬ケースである。
　上記課題を解決して目的を達成するため、本発明を例示する第５の態様は、　第１の態様の基板ケースに基板を収容する工程と、前記基板ケースをケースカバーで梱包する工程と、前記梱包された基板ケースを基板運搬ケースに格納する工程とを有する基板運搬方法である。この基板運搬方法において、
　前記基板ケースは、前記キャスターをそれぞれ含み前記下部ケースから下方に突出して設けられた複数のキャスター構造を有し、
　前記ケースカバーは、
　前記下部ケースにおける前記複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各前記キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、
　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通る前記キャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、
　前記キャスター挿通孔に前記キャスター構造を通して前記車輪をカバー外方に露出させたときに、前記開口縁が前記キャスター構造の通過断面に倣って変化し、前記キャスター構造と前記キャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成されているケースカバーであり、
　前記基板運搬ケースは、
　下面側にキャスターが設けられ前記基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、前記運搬ケース本体部に収容された前記基板ケースを覆って前記運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、
　前記運搬ケース本体部と前記キャスターとの間に、運搬時に外部から前記キャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられた基板運搬ケースである。
　第１の態様の基板ケースにおいては、下部ケースに取り付けられるキャスターは、基板支持部に支持された基板の外形である第１四角形の内側であり、かつ、平面視における下部ケースの前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側である枠状領域に取り付けられる。ここで、第１四角形は基板の荷重が作用する四角形である。第２四角形は基板ケースに荷重が作用したときに前後方向及び左右方向の撓み変形が最も小さくなる支点の位置を結んだ四角形である。そのため、本構成によれば、基板サイズに応じた小型かつ簡便な構成で、収容した基板を安定的に移動可能な基板ケースを提供することができる。
　第２の態様の基板運搬ケースにおいては、基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、この運搬ケース本体部の下面側に設けられるキャスターとの間に、運搬時に外部からキャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられている。この構成により、トラックや航空機等の輸送手段により基板が運搬される運搬過程において、トラックの床面等から衝撃や振動がキャスターに作用したとしても、この外来の衝撃等が緩衝部材により吸収され、基板運搬ケースの運搬ケース本体部への衝撃およびその繰り返しである振動の伝達が抑制される。そのため、本来的に保護すべき基板はもとより、保護することが望まれる基板ケース及び基板運搬ケースの両方を外来の衝撃等から保護することができ、簡便な構成で、安全に基板を運搬可能な梱包機材を提供することができる。
　第３の態様のケースカバーにおいては、基板ケース本体部のキャスター構造の配設位置に合わせて、各キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成される。キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通るキャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、キャスター挿通孔にキャスター構造を通して車輪をカバー外方に露出させたときに、開口縁がキャスター構造の通過断面に倣って変化し、キャスター構造とキャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成される。このため、基板の運搬時等に、ケースカバーの内側に進入するパーティクルを大幅に抑制することができ、これにより、基板の搬入工程において基板ケースに付着したパーティクルを除去するための工数を削減し、基板を使用した製造工程においてスループットを向上させることができる。
　第４の態様の基板運搬システム、及び第５の態様の基板運搬方法においては、第１の態様の基板ケース、第２の態様の基板運搬ケース、第３の態様のケースカバーについてそれぞれ上記した効果により、大型の基板をより安定した状態で、より迅速に搬送することができる。
本発明の一実施形態として示す基板ケースの外観図であり、（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図である。 上記基板ケースの斜視図である。 下部ケースユニットにおける下部ボックス部材の概略平面図である。 台座部に取り付けられたキャスター構造の斜視図である。 基板ケースの端部に下方に押し下げる外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図である。 基板ケースの端部に上方に持ち上げる外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図である。 基板ケースの端部に水平方向に衝撃的な外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図である。 前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される四角形（第２四角形）を説明するための説明図である。 転倒安定性の見地から求められるキャスターの配設位置領域を示す説明図である。 基板ケースの変形を抑制する見地から求められるキャスターの配設位置領域である枠状領域を示す説明図である。 枠状領域とフォーク挿入領域との平面視における位置関係を示す説明図である。 本発明の一実施形態として示すケースカバーを模式的に表した外観斜視図である。 上記ケースカバーにおける連結構造の図面代用写真である。 上記ケースカバーにおけるキャスター挿通孔の開口縁近傍部を撮影した図面代用写真である。 キャスターをキャスター挿通孔に挿通させて開口縁を台座部に係止した状態の図面代用写真である。 上記ケースカバーにより梱包された状態の基板ケースの外観斜視図である。 本発明の一実施形態として示す基板運搬ケースの三面図であり、（ａ）平面図、（ｂ）正面図、（ｃ）側面図である。 上記基板運搬ケースの斜視図である。 上記基板運搬ケースにおけるキャスターの取り付け部の断面図である。 緩衝部材に種々の衝突速度で鋼球を衝突させたときの鋼球に作用する衝撃力を測定したグラフである。 形状が異なる複数の緩衝部材に鋼球を衝突させたときの鋼球に作用する衝撃力を測定したグラフである。 □１２５mmの緩衝部材について、形状率とゴムの厚さとの関係を示すグラフである。 振動伝達率と振動数比の関係を示すグラフである。 緩衝部材の有無による防振効果の相違について説明するための説明図であり、（ａ）はキャスターを台座部に直接固定した構成のモデル、（ｂ）は緩衝部材を介してキャスターを台座部に取り付けた構成のモデルである。 上記モデル（ａ）及び（ｂ）について、外来振動の伝達特性を計算したシミュレーション結果である。 本実施形態の基板運搬方法を示すフローチャートである。 基板を縦置き姿勢で収容する基板ケースの転倒角度を説明するための説明図である。
　以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。本発明を適用した基板ケースの一例を図１及び図２に、本発明を適用したケースカバーの一例を図１２に、本発明を適用した基板運搬ケースの一例を図１７、１８に示す。図１、図１７において、（ａ）は基板ケース１、基板運搬ケース７を上方から見た平面図、（ｂ）は前方から見た正面図（ｃ）は右側方から見た側面図である。図２、１８は基板ケース１、基板運搬ケース７を斜め上方から見た斜視図である。なお、以降の説明においては、図１（ａ）、図１２、図１７（ａ）に付記した矢印方向をもって、それぞれ基板ケース１、ケースカバー５、基板運搬ケース７の前・後・左・右と称して説明するが、これらの方向の取り方は任意である。
＜基板ケース＞
　例示する基板ケース１は、大きさが１８００×１６００×ｔ１７ｍｍ（対角寸法が約２．４ｍ）、質量が約１１０ｋｇの大型のガラス基板２を、基板の表面及び裏面が水平となる横置き姿勢でケース内部に収容し、収容されたガラス基板２を保護し、運搬するためのケースである。基板ケース１は、概観的には、前後方向及び左右方向の長さに比べて上下方向の厚さが薄い箱状であり、上下方向の略中間部で分離される上部ケースユニット１０と下部ケースユニット２０とを主体として構成される。
　上部ケースユニット１０は全体的に見て下方に開口する箱状、下部ケースユニット２０は全体的に見て上方に開口する箱状をなし、下部ケースユニット２０の上方から上部ケースユニット１０を覆い被せてボルト等の締結手段により両者を連結することにより、図１及び図２に示す基板ケース１が形成される。
　上部ケースユニット１０及び下部ケースユニット２０は、ともに、各ケースユニットの骨格を形成する金属製のフレームと、各フレームに取り付けられてガラス基板２をダストやパーティクルから保護する樹脂製のボックス部材とから構成される。すなわち、図２に示すように、上部ケースユニット１０は、このケースユニットの骨格を形成する金属製の上部フレーム１１と、上部フレーム１１に取り付けられた樹脂製の上部ボックス部材１２とから構成される。また、下部ケースユニット２０は、このケースユニットの骨格を形成する金属製の下部フレーム２１と、下部フレーム２１に取り付けられた樹脂製の下部ボックス部材２２とから構成される。
　上部フレーム１１は、図１、２に示すように基板の外周を囲む外枠に加えて、前後左右及び斜めに延びる複数の補強桟を有して構成される。外枠及び補強桟は、例えば、所定板厚のステンレス鋼板をＣ字状またはＵ字状に折り曲げたチャンネル材、あるいは所定断面形状のアルミニウム合金製の引き抜き材等により形成され、これらをボルト等の締結手段により一体的に連結することによって上部フレーム１１が構成される。
　上部ボックス部材１２は、ガラス基板２の上面を覆う蓋板と、蓋板の側端部と繋がって下方に延びる前後左右の側板とを有し、下方に開口する箱状に構成される。蓋板及び前後左右の側板は、各々所定板厚の樹脂板を所定形状に切断して形成され、これらを接着あるいは融着等の手段により気密的に接続することによって上部ボックス部材１２が構成される。
　下部フレーム２１は、基本的には、上部フレーム１１と同様に構成され、基板の外周を囲む外枠に加えて前後左右及び斜めに延びる複数の補強桟を有して構成される。一方、下部フレーム２１には、移動用のキャスター３０が設けられている。例示する基板ケース１においては、下部フレーム２１の下面側に下方に突出する台座部２５が４カ所設けられており、各台座部２５の下端に移動用のキャスター３０が取り付けられている。以下において、台座部２５とキャスター３０とからなる構造をキャスター構造３（図４）と呼ぶ。台座部２５は、例えば、所定板厚のステンレス鋼板を角筒状に曲げ成形して形成され、下部フレーム２１の下面にボルト等の締結手段により固定される（図４を参照）。なお、図４では、台座部２５として、断面形状が角筒状の例を示したが、台座部２５の断面形状は円筒状や円柱状、角柱状等であっても良い。
　図４に図示する構成例において、台座部２５は、所定板厚のステンレス合金板を曲げ成形して上面開放の箱枠状に形成した構成を例示しており、この台座部２５の底面にキャスター３０がボルト等の締結手段により固定されている。キャスター３０は、車輪３５が水平面内で３６０度旋回可能な旋回型であり、図では基板ケース１が移動しないように車輪３５の回動を規制するストッパ機構３９が付帯されたタイプを示す。
　キャスター３０は、車軸が水平面内で任意方向に旋回する旋回型のキャスターと、車軸が固定された固定型のキャスターとがあり、少なくとも前方または後方の２つのキャスターが旋回型であればよいが、本構成例においては、良好な移動性を得るため、４輪とも旋回型のキャスターを用いている。なお、台座部２５を介して下部フレーム２１に取り付けられるキャスター３０の配設位置については後に詳述する。
　基板ケース１においては、キャスター３０に、車輪３５の側面及び進行方向前後の転動面を保護する保護カバー３８を設けている。保護カバー３８は、平面視において車輪３５の側面及び転動面を囲む矩形枠状の保護枠部３８ａと、車輪側方の保護枠部３８ａから上方に突出して形成された舌片状の固定片部３８ｂとからなり、例えば所定板厚のステンレス合金板を打ち抜き及び曲げ成形して図示する形状に形成される。保護カバー３８は、保護枠部３８ａが車輪３５の側面及び転動面を囲むようにキャスター３０に装着し、上方に延びる固定片部３８ｂをキャスター３０の車軸を保持する板金部材にボルト等で固定することにより取り付けられる。
　このように、キャスター３０に保護カバー３８を取り付けた基板ケース１においては、キャスター３０を利用して基板ケース１を移動させる際に、移動方向の床面にパレットや工具等の障害物があった場合でも、車輪３５が障害物に衝突することを抑制でき、車輪３５における高分子材料製のタイヤ部の損傷を防止するとともに、タイヤ部の破断片や摩耗片のクリーンルーム内への拡散を抑制することができる。また、基板ケース１をフォークリフトで運搬するにあたり、フォーク挿入領域ＳFにフォークリフトの爪を挿入、抜去する際にフォークリフトの爪が車輪３５に当接して車輪を破損させるような事態を未然に防止することができる。
　下部ボックス部材２２についても、基本的には、上部ボックス部材１２と同様に構成される。図３に下部ボックス部材２２の概略の平面図を示す。下部ボックス部材２２は、ガラス基板２の下面を覆う底板２２ａと、底板の側端部と繋がって上方に延びる前後左右の側板２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅとを有し、上方に開口する箱状に構成される。底板２２ａ及び前後左右の側板２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，２２ｅとは、各々所定板厚の樹脂板を所定形状に切断して形成され、これらを接着あるいは融着等の手段により気密的に接続することによって下部ボックス部材２２が構成される。
　下部ボックス部材２２の内部には、底板２２ａから上方に突出して、ガラス基板２の前後左右の縁部を板厚方向に支持する基板支持部２３が設けられている。図３には、ガラス基板２の角部を支持するように設けた４カ所のＬ字状の対角支持部２３ａ、ガラス基板２の長辺の中央部を支持するように設けた前後２カ所の長辺支持部２３ｂ、及びガラス基板２の短辺の中央部を支持するように設けた左右２カ所の短辺支持部２３ｃの計８カ所の支持部により、基板支持部２３を形成した構成例を示す。
　本構成例の基板支持部２３は、ガラス基板２の前後左右の縁部、すなわち、ガラス基板２の前後の長辺及び左右の短辺の縁部を、計８カ所の支持部によって板厚方向に支持するように構成される。そのため、対角位置の４カ所のＬ字状の対角支持部２３ａ、長辺に沿った前後２カ所の長辺支持部２３ｂ、及び短辺に沿った左右２カ所の短辺支持部２３ｃを相互に結んで形成される基板支持部２３の輪郭形状は、平面視におけるガラス基板２の外形形状（１８００×１６００ｍｍ）と略同一の四角形になる。なお、詳細図示を省略するが、下部ボックス部材２２には、基板支持部２３に支持されたガラス基板２がボックス内で移動しないように固定保持する保持構造が設けられている。
　上部ボックス部材１２の下端部と下部ボックス部材２２の上端部との合わせ面には、相互に嵌合する嵌合構造が形成されており、下部ケースユニット２０の上方から上部ケースユニット１０を覆い被せてボルト等により両者を連結したときに、ボックス内部に収容されたガラス基板２が密閉状態で保持されるようになっている。
　このように、ガラス基板２は上部ボックス部材１２及び下部ボックス部材２２により形成される保護ボックスの内部に密閉状態で収容保持され、保護ボックスは金属製の上部フレーム１１及び下部フレーム２１に囲まれて保護される。このような、基板ケース１の基本的な機能を果たすため、基板ケース１の外形寸法はガラス基板２の外形寸法よりも一定程度大きくなる。例示する基板ケース１においては各部の最適化を図り、上部ケースユニット１０と下部ケースユニット２０とを連結したときの、キャスター構造３（台座部２５及びキャスター３０）を除いた基板ケース本体部（すなわち、上部ケースユニット１０及び下部ケースユニット２０からなり、ガラス基板２を収容保持する本体の構造部分）の外形寸法を、２０３０×１８１０×２５０ｍｍに抑制している。
　以上のように概要構成される基板ケース１において、下部フレーム２１に取り付けられるキャスター３０の配設位置は、以下のように設定される。
［転倒安定性］
　基板ケース１は、ガラス基板２を、基板の表面及び裏面が水平となる横置き姿勢でケース内部に収容する。基板ケース（基板ケース本体部）の底面は２０３０×１８１０ｍｍと広く、短辺方向でも長さが１８１０ｍｍほどある。そのため、ガラス基板２を縦置き姿勢で収容した場合（底面は２０３０×２５０ｍｍ）のように、静的な転倒角度が問題となるようなおそれは殆どない（図２７及びその関連説明を参照）。そこで、底面にキャスター３０を有する基板ケース１について、外力が作用した場合の転倒安定性を考慮して、キャスター３０の配設位置条件を検討する。
（１）基板ケースの端部に下方に押し下げる外力が作用した場合
　基板ケース１の端部に下方に押し下げる外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図を図５に示す。図５において、キャスター３０は、質量Ｗの基板ケース１の重心ＢＣの位置から水平方向左右に距離ｒだけ離れた位置に設けられ、外力Ｆは、重心位置から左方に距離Ｒだけ離れたケース端部に下向きに作用している。このとき、基板ケース１には、外力Ｆにより左側のキャスター３０を中心として、基板ケース１を反時計回りに回転させる（基板ケース１の右端側を浮き上がらせる）モーメントが発生する。
　この場合において、基板ケース１の右端側が浮き上がらないようにするためには、左側のキャスター３０まわりのモーメントの関係から、ｒ×Ｗ≧（Ｒ－ｒ）×Ｆを満たす必要がある。そのため、基板ケース１の端部を下方に押し下げる外力Ｆが作用した場合でも、基板ケース１が転倒しないためのキャスター３０の配設位置条件（以下、第１条件という）は、ｒ≧ＲＦ／（Ｗ＋Ｆ）となる。
　いま、重心ＢＣの位置を基板ケース本体部の中心とし、作業時に作用する外力Ｆ＝１０ｋｇ、外力Ｆが作用する位置をＲ＝１０１５ｍｍとする。基板ケース１が最も転倒しやすいのは、基板ケース１にガラス基板２が収容されていない空ケースのときであるから、基板ケース１の質量Ｗは空ケースのときの質量Ｗ＝１８０ｋｇとする。これらの具体的な数値を代入し、ケース端部に押し下げ方向の外力が作用した場合について、転倒を防止するためのキャスター３０の配設位置条件（第１条件）を求めると、ｒ≧５４ｍｍと算出される。
（２）基板ケースの端部に上方に持ち上げる外力が作用した場合
　基板ケース１の端部に上方に持ち上げる外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図を図６に示す。（１）の場合と同様にキャスター３０は質量Ｗの基板ケース１の重心ＢＣの位置から水平方向左右に距離ｒだけ離れた位置に設けられるものとし、外力Ｆは重心位置から左方に距離Ｒだけ離れたケース端部に上向きに作用するものとする。このとき、基板ケース１には、外力Ｆにより右側のキャスター３０を中心として、基板ケース１を時計回りに回転させる（図における左端側を浮き上がらせる）モーメントが発生する。
　この場合において、基板ケース１の左端側が浮き上がらないようにするためには、右側のキャスター３０まわりのモーメントの関係から、ｒ×Ｗ≧（Ｒ＋ｒ）×Ｆを満たす必要がある。そのため、基板ケース１の端部を上方に持ち上げる外力Ｆが作用した場合でも、基板ケース１が転倒しないためのキャスター３０の配設位置条件（以下、第２条件という）は、ｒ≧ＲＦ／（Ｗ－Ｆ）となる。
　（１）の場合と同様に、重心ＢＣの位置を基板ケース本体部の中心とし、作業時に作用する外力Ｆ＝１０ｋｇ、外力Ｆが作用する位置をＲ＝１０１５ｍｍとし、基板ケース１の質量Ｗを空ケースのときの質量Ｗ＝１８０ｋｇとする。これらの数値を代入し、ケース端部に持ち上げ方向の外力が作用した場合について、転倒を防止するためのキャスター３０の配設位置条件（第２条件）を求めると、ｒ≧６０ｍｍと算出される。
（３）基板ケースの端部に水平方向に衝撃的な外力が作用した場合
　基板ケース１の端部に水平方向に衝撃的な外力が作用した場合の力学的な関係を説明するための説明図を図７（ａ）に示す。（１）及び（２）の場合と同様に、キャスター３０は質量Ｗの基板ケース１の重心ＢＣから水平方向左右に距離ｒだけ離れた位置に設けられるものとし、衝撃的な外力（すなわち加速度）αは重心位置から右方に距離Ｒだけ離れたケース端部に左向きに作用するものとする。また、重心ＢＣの高さ位置からキャスター３０における車輪３５の接地点３５ｐまでの鉛直方向の高さをｈとする。
　このとき、基板ケース１の重心ＢＣに水平方向左向きに作用する加速度αと、鉛直方向に作用する重力加速度１Ｇとの合力Ｎは、これらの力学的関係を図７（ｂ）に示すように、重力加速度が作用する鉛直方向に対して角度θ1の方向に作用する。
　基板ケース１に衝撃力が作用した場合、キャスター３０は、車輪３５が回動自在な転動体として作用せず、車輪の接地点３５ｐが支点となって作用する。このとき、重心ＢＣと左側車輪の接地点３５ｐとの幾何学的な関係は、図７（ｃ）に示すように、鉛直方向とのなす角度がθ2になる。
　そのため、基板ケース１に水平方向左向きに作用する加速度αによって、基板ケース１が左側の車輪の接地点３５ｐを支点として転倒しない（基板ケース１の右端側が浮き上がらない）ようにするためには、基板ケース１の重心ＢＣに作用する重力加速度１Ｇと加速度αとを合成した合力Ｎのベクトルが、左側車輪３５の接地点３５ｐの下方を通ること、すなわちθ1＜θ2である必要がある。
　（１），（２）の場合と同様に、重心ＢＣの位置を基板ケース本体部の中心とする。また、キャスター３０は、重心位置から水平方向に距離ｒだけ離れた位置に設けられ、重心位置から車輪の接地点３５ｐまでの鉛直方向の高さはｈとする。このとき、θ1＜θ2を満たすためには、図７（ｂ）及び図７（ｃ）から、（α／１Ｇ）＜（ｒ／ｈ）。そのため、基板ケース１の端部に水平方向に加速度αが作用した場合でも、基板ケース１が転倒しないためのキャスター３０の配設位置条件（以下、第３条件という）は、ｒ＞αｈ／１Ｇとなる。
　いま、運搬中に作用する衝撃力の水平方向の加速度αを１Ｇ（＝９．８ｍ/ｓｅｃ２）とし、重心位置から車輪の接地点３５ｐまでの鉛直方向の高さをｈ＝４３０ｍｍとする。これらの数値を代入し、ケース端部に水平方向に衝撃的な外力が作用した場合について、転倒を防止するためのキャスター３０の配設位置条件（第３条件）を求めると、ｒ≧４３０ｍｍと算出される。
［基板ケースの変形］
　基板ケース１には、質量が１１０ｋｇもあるガラス基板２が収容される。そのため、基板ケース１は、ガラス基板２を収納するときに変形が小さく、またガラス基板２が収容された状態において基板ケース１全体の変形が小さいことが求められる。そのため、キャスター３０の配設位置は、ガラス基板２の収納作業時に変形が小さいこと、及び、ガラス基板２が収容された状態でケース全体の変形が小さいことの両者を満たすように設定される。
（４）ガラス基板の収納作業時に変形が小さいこと
　平坦な床面上に配置された下部ケースユニット２０にガラス基板２を収納する場合を考える。図３を参照して説明したように、下部ケースユニット２０の下部ボックス部材２２の内部には、底板から上方に突出して基板支持部２３（対角支持部２３ａ、長辺支持部２３ｂ、短辺支持部２３ｃ）が設けられており、ガラス基板２は基板支持部２３により前後左右の縁部が板厚方向に支持された状態で下部ケースユニット２０に収納される。
　ガラス基板２を下部ケースユニット２０に搬入し、静かに基板支持部２３に支持させたときに、ガラス基板２の荷重が作用するのは、対角位置の４カ所のＬ字状の対角支持部２３ａ、長辺に沿った前後２カ所の長辺支持部２３ｂ、及び短辺に沿った左右２カ所の短辺支持部２３ｃを相互に結んで形成される基板支持部２３の輪郭形状の領域である。そのため、この基板支持部２３の輪郭形状の真下にキャスター３０を設けることにより、ガラス基板２の収納作業時に下部ケースユニット２０に捻りや撓み等の無理な力が作用せず、ケースの変形が抑制される。
　ここで、基板支持部２３の輪郭形状は、実質的に、基板支持部２３に支持されたガラス基板２の外形形状と同一といえる。以上から、ガラス基板の収納作業時に作用する荷重に対して、ケースの変形を抑制するためのキャスター３０の配設位置条件（以下、第４条件という）は、基板支持部２３に支持されたガラス基板２を投影した四角形（本構成例において１８００×１６００ｍｍ：第１四角形という）Ｂ1の外周領域となる。
（５）ガラス基板が収容された状態で基板ケース全体の変形が小さいこと
　ガラス基板２が収容された基板ケース１は、下部ケースユニット２０の下面側に設けられた４つのキャスター３０により全質量が支持される。換言すれば、下部ケースユニット２０にはガラス基板２及び上部ケースユニット１０の荷重が作用し、４カ所のキャスター配設位置で全質量が支持される。そして、このような荷重が作用した状態で、基板ケース１全体の変形が小さいこと、より端的には下部ケースユニット２０の変形が小さいことが求められる。ガラス基板２及び上部ケースユニット１０の荷重は、下部ケースユニット２０全体に等分布荷重で作用するものとし、下部ケースユニット２０の強度は長辺方向及び短辺方向ともに均一であるとする。
　基板ケース１を前方または後方から見た場合に、基板ケース１は長辺方向に沿って設けられた左右２カ所のキャスター３０，３０により支持されている。また、基板ケース１を右方または左方から見た場合に、基板ケース１は短辺方向に沿って設けられた前後２カ所のキャスター３０，３０により支持されている。
　いま、長辺方向に沿って左右に取り付けられた２カ所のキャスター３０，３０の取り付け位置（台座部２５，２５、以下同様）を支点とし、下部ケースユニット２０を左右に延びる梁とした場合、この梁の撓みは、２カ所のキャスター３０，３０を左右方向のベッセル点に配設したときに最小になる。同様に、短辺方向に沿って前後に取り付けられた２カ所のキャスター３０，３０を支点とし、その上方に支持される基板ケース１を左右に延びる梁とした場合、この梁の撓みは、２カ所のキャスター３０，３０を前後方向のベッセル点に配設したときに最小になる。
　ここで、ベッセル点とは、等分布荷重が作用する梁を２点で支持したときに、梁の中立軸上の撓みが最小になる支持位置であり、梁の全長をＬとしたときに２つのベッセル点の支点間距離は０．５５９Ｌで表される。
　従って、図８に示すように、下部ケースユニット２０における本体部の長辺方向（左右方向）の長さをＬxとし、短辺方向（前後方向）の長さをＬyとしたときに、左右２カ所のベッセル点ＰBの支点間距離は０．５５９Ｌx、前後２カ所のベッセル点ＰBの支点間距離は０．５５９Ｌyとなる。そして、このように下部ケースユニット２０の外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点ＰB及び左右方向のベッセル点ＰBを各々結ぶことにより、撓みが最小となる四角形（第２四角形という）Ｂ2が形成される。
　本構成例において、下部ケースユニット２０の本体部の外形寸法は、長辺方向（左右方向）の長さＬxが２０３０ｍｍ、短辺方向（前後方向）の長さＬyが１８１０ｍｍである。これより、左右２カ所のベッセル点ＰB，ＰBの支点間距離はＬx＝１１３５ｍｍ、前後２カ所のベッセル点ＰB，ＰBの支点間距離はＬy＝１０１２ｍｍとなる。以上から、ガラス基板２が収容された状態で基板ケース１全体の変形を抑制するためのキャスター３０の配設位置条件（以下、第５条件という）は、下部ケースユニット２０の外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点ＰB及び左右方向のベッセル点ＰBを各々結んで形成される四角形（第２四角形、本構成例においては１１３５×１０１２ｍｍ）Ｂ2の外周領域となる。
　以上、キャスター３０の配設位置について、外力が作用したときの転倒安定性と、荷重による基板ケース１の変形の面から位置条件を検討してきた。以上検討した条件をまとめると以下のようになる。
　まず、基板ケース１に外力が作用した場合の転倒安定性について、（１）～（３）で検討した第１条件～第３条件をまとめる。（１）で検討した第１条件は、基板ケース１の側端部に、作業時に作用し得る外力Ｆとして押し下げ方向の外力Ｆ＝１０ｋｇが作用した場合の転倒を防止するための条件であり、このとき、キャスター３０の配設位置は、基板ケース１の重心ＢＣの位置からの水平距離がｒ≧５４ｍｍの領域、具体的には、平面視における基板ケース１の図心から半径５４ｍｍよりも外側の領域であった。（２）で検討した第２条件は、基板ケース１の側端部に持ち上げ方向の外力Ｆ＝１０ｋｇが作用した場合の転倒を防止するための条件であり、このとき、キャスター３０の配設位置は、基板ケース１の重心位置からの水平距離がｒ≧６０ｍｍの領域、具体的には、平面視における基板ケース１の図心から半径６０ｍｍよりも外側の領域であった。（３）で検討した第３条件は、基板ケース１の側端部に水平方向に衝撃的な外力α＝１Ｇが作用した場合の転倒を防止するための条件であり、このとき、キャスター３０の配設位置は、基板ケース１の重心位置からの水平距離がｒ≧４３０mm、具体的には、平面視における基板ケース１の図心から半径４３０ｍｍよりも外側の領域であった。
　これらから、基板ケース１に外力が作用した場合の転倒安定性を確保する第１条件～第３条件をまとめると、（１）～（３）で検討した何れの外力が作用した場合でも基板ケース１が転倒しないキャスター３０の配設位置条件は、基板ケース１の重心位置からの水平距離がｒ≧４３０ｍｍ、すなわち、図９に示すように、平面視における基板ケース１（下部ケースユニット２０）の図心を中心とした直径φ８６０ｍｍの円よりも外側の領域Ｓ1となる。
　次に、ガラス基板２の収納作業時における下部ケースユニット２０の変形を抑制し、且つガラス基板２収納後のケース全体の変形を抑制する面から（４）及び（５）で検討した第４，第５条件をまとめる。第４条件は、ガラス基板２の収納作業時に、基板支持部２３に荷重が作用することによる下部ケースユニット２０の変形を抑制するための条件である。このとき、キャスター３０の配設位置は、基板支持部２３に支持されたガラス基板２の外形投影領域、具体的には、１８００×１６００ｍｍの第１四角形Ｂ1（図３）の外周領域であった。第５条件は、ガラス基板２が収容された状態で下部ケースユニット２０全体の変形を抑制するための条件である。このとき、キャスター３０の配設位置は、下部ケースユニット２０の外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点ＰB及び左右方向のベッセル点ＰBを各々結んで形成される四角形の外周領域、具体的には１１３５×１０１２ｍｍの第２四角形Ｂ2（図８）の外周領域であった。
　これらから、第４条件と第５条件とをまとめると、両者をともに抑制する条件、すなわち、ガラス基板２の収納作業時における変形を抑制し、且つ、ガラス基板２が収容された状態でのケース全体の変形を抑制する条件は、図１０に示すように、第４条件によって規定される第１四角形Ｂ1の内側、且つ、第５条件によって規定される第２四角形Ｂ2の外側である枠状領域Ｓ2となる。
　本構成例における枠状領域Ｓ2は、具体的には、ガラス基板を投影した１８００×１６００ｍｍの第１四角形Ｂ1の内側であり、且つ、下部ケースユニット２０の外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される１１３５×１０１２ｍｍの第２四角形Ｂ2の外側となる。
　以上から、好ましいキャスター３０の配設位置は、転倒安定性の見地から、第１～第３条件を満たす基板ケース１の図心から半径４３０ｍｍ（直径８６０ｍｍ）よりも外側の領域Ｓ1と求められ、より好ましくは、第１～第５条件の全てを満たす領域、すなわち１８００×１６００ｍｍの第１四角形Ｂ1の内側であり、且つ１１３５×１０１２ｍｍの第２四角形Ｂ2の外側である枠状領域Ｓ2と求められる。この枠状領域Ｓ2内にキャスター３０を取り付けることにより、転倒安定性を確保し、且つガラス基板２収容時の変形を抑制した基板ケース１を得ることが可能となる。
　例示する基板ケース１においては、前後左右の４つのキャスター３０を、矩形枠状である枠状領域Ｓ2の４カ所のコーナー部（四隅）に配置している。そして、長辺方向に沿って左右に並ぶ２つのキャスター３０，３０の内側に隣接して、フォークリフトの爪（フォーク）を挿入可能なフォーク挿入領域ＳFを設けている（図１を参照）。下部ケースユニット２０の前方側面及び後方側面には、フォーク挿入領域ＳFを示すフォーク挿入領域マーク４０が左右に並んで表示されている（図１）。左右のフォーク挿入領域ＳF，ＳFは、上述した第２四角形Ｂ2において前後に延びる左右の二辺を含む領域に形成される。
　具体的には、長辺方向に沿って左右に並ぶ２つのキャスター３０，３０の配設ピッチを１５００ｍｍ、短辺方向に沿って前後に並ぶ２つのキャスター３０，３０の配設ピッチを１１４０ｍｍとし、左右のフォーク挿入領域ＳF，ＳFの中心ピッチを１０００ｍｍ、各フォーク挿入領域の幅を３００ｍｍとしている。また、下部ケースユニット２０の本体下面から床面までの高さは約３００ｍｍとしている。このとき、枠状領域Ｓ2とフォーク挿入領域ＳFとの平面視における位置関係を図１１に示す。なお、図１１ではキャスター３０の取り付け位置として台座部２５を記載し、キャスター３０の記載を省略している。
　図１１から明らかなように、左側のフォーク挿入領域ＳFは、第２四角形Ｂ2の左辺を含む領域に形成されて枠状領域Ｓ2と一部重複しており、右側のフォーク挿入領域ＳFは、第２四角形Ｂ2の右辺を含む領域に形成されて枠状領域Ｓ2と一部重複している。また、図示を省略するが、左右のフォーク挿入領域ＳFは、前述した領域Ｓ1とも重複している。
　このような構成により、基板ケース１は、キャスター３０を利用した移動時のみならず、フォークリフト等を利用した運搬時についても枠状領域Ｓ2を含む領域で支持される。そのため、基板ケース１によれば、転倒安定性が高く、且つガラス基板収納時のみならずキャスターによる移動やフォークリフトによる運搬時を含めてケースの変形を抑制した基板ケースを提供することができる。
　なお、以上の実施形態の説明においては、一例として、大きさが１８００×１６００×１７ｍｍのガラス基板２を収容する場合について説明したが、基板の種類やアスペクト比、対角寸法等は適宜変更して適用することができる。また、キャスター３０を枠状領域Ｓ2における各コーナー部に設けた構成を示したが、キャスターの配設位置は枠状領域Ｓ2内であれば良く、例えば、キャスター３０を枠状領域Ｓ2における長辺及び短辺の各中央部に設けて構成しても良い。さらに、フォークリフト運搬時の荷の安定性を考慮して、フォーク挿入領域ＳFを長辺側の左右に並んで前後に延びる構成を例示したが、短辺側の前後に並んで左右に延びる構成としても良く、これら両方を設ける構成としても良い。
　以上説明したように、基板ケース１においては、下部ケースユニット２０に取り付けられるキャスター３０は、基板支持部に支持されたガラス基板２の外形である第１四角形Ｂ1の内側であり、かつ、平面視における下部ケースユニット２０の前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形Ｂ2の外側である枠状領域Ｓ2に取り付けられる。そのため、本構成によれば、内部に収容されるガラス基板の基板サイズに応じた小型かつ簡便な構成で、収容したガラス基板を安定的に移動可能な基板ケースを提供することができる。
＜ケースカバー＞
　以上のように概要構成される基板ケース１に対して、この基板ケース１を包装するケースカバー５は以下のように構成される。ケースカバー５を模式的に表した外観斜視図を図１２に示す。例示するケースカバー５は、基板ケース本体部の上半分を上方から覆う上カバー部５１と、基板ケース本体部の下半分を下方から覆う下カバー部５２と、上カバー部５１と下カバー部５２とを開閉可能に連結して閉止状態で基板ケース本体部全体を包む一体の袋状にする連結構造５３とを主体として構成される。
　上カバー部５１及び下カバー部５２は、前後または左右方向の一側面（例えば、後方の側面）で一体に繋がっており、他の三側面（同、前方及び左右の側面）にわたって設けられた連結構造５３により開閉可能に構成される。上カバー部５１及び下カバー部５２は、ともにクリーンルームにおいて好適に使用されるクリーンウェアの生地を用いる。この生地は、クラス１００～１０００程度のクリーン度を有するクリーンルームで使用できることが望ましい。一例として、発塵源となる短繊維が少なく、長繊維（フィラメント）を使用したポリエルテル素材であって、導電性繊維の織り込み等により制電効果が与えられた素材を用いることができる。またこの生地は、ＩＥＣ（国際電気標準会議）規格で表面抵抗が１Ｅ＋１２Ω（１×１０１２Ω）以下であることが好ましい。具体的には、帝人繊維株式会社のエレクティ（登録商標）、帝人フロンティア株式会社のウェーブロン（登録商標）、デュポン株式会社のノーメックス（登録商標）等を用いることができる。
　連結構造５３は、クリーンルームにおいて好適に使用されるファースナー（線ファースナー、ジッパー、あるいはチャックと称される）を用い、連結構造５３を閉止して上カバー部５１と下カバー部５２とを連結したときに、基板ケース本体部を包む直方体の袋状に縫製される。連結構造５３（以下、ファースナーと称する）の図面代用写真を図１３に示す。
　ケースカバー５の下カバー部５２には、基板ケース１のキャスター構造３の配設位置に合わせて、各キャスター構造３を上下に挿通させるキャスター挿通孔５５が形成されている。キャスター挿通孔５５の開口縁５５ａは、当該キャスター挿通孔５５を通るキャスター構造３の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成される。
　本構成例においては、キャスター構造３を、基板ケース本体部から下方に突出する台座部２５と、この台座部２５に取り付けられたキャスター３０とから構成しており（キャスター３０を、基板ケース本体部から下方に突出する台座部２５を介して基板ケース本体部に取り付けており）、キャスター挿通孔５５の開口縁５５ａは、当該キャスター挿通孔５５を上下に通る台座部２５の通過断面に倣って変化するように構成される。
　具体的な構成例として、キャスター挿通孔５５における開口縁５５ａの近傍部を撮影した図面代用写真を図１４に示し、キャスター３０をキャスター挿通孔５５に挿通させて開口縁５５ａを台座部２５に係止した状態の図面代用写真を図１５に示す。図１４に示すように、キャスター挿通孔５５は、開口縁５５ａの部分にゴムあるいは引っ張りコイルバネ等の弾性部材が袋縫いされて開口形状及び開口径が所定範囲で変化自在に形成される。
　具体的には、キャスター挿通孔５５の開口径は、キャスター挿通孔５５に外力が作用しない自由状態では、開口縁部に袋縫いされた弾性部材の弾性（引っ張り力）によって開口径が縮小し、台座部２５の対角寸法（あるいは直径）よりも小さくなるように設定される。一方、キャスター挿通孔５５を弾性部材の弾性に抗して拡大するような外力が作用したときには、キャスター挿通孔５５の開口径は拡大し、キャスター３０及び台座部２５を自由に挿通させることができるように設定される。
　そのため、キャスター挿通孔５５にキャスター３０及び台座部２５を通して車輪３５をカバー外方に露出させたときに、図１５に示すように、キャスター挿通孔の開口縁５５ａが台座部２５の通過断面に倣って開口形状及び開口寸法が変化し、弾性部材の弾性により台座部２５を外周から締め込むように隙間を閉塞して係止される。
　キャスター挿通孔５５は、基板ケース本体部に下方に突出して設けられたキャスター構造３の配設位置に合わせて４カ所形成されており、各キャスター挿通孔５５にキャスター構造３を挿通させたときに、弾性部材の弾性により台座部２５を締め込むように隙間を閉塞して各キャスター挿通孔５５が係止される。そして、基板ケース１の上方から基板ケース本体部に上カバー部５１を覆い被せ、ファースナー５３を閉じて上カバー部５１と下カバー部５２とを連結することにより、図１６に示すように、基板ケース本体部の全体がケースカバー５により包装され、ケースカバー５からはキャスター３０（及び台座部２５の下部）のみが外部に露出して配設される。
　そのため、ケースカバー５によって包装された基板ケース１は、キャスター３０を利用して自由に移動させることができる。キャスター挿通孔５５は、開口縁部に設けられた弾性部材により台座部２５を外周から締め込むように隙間を閉塞して係止されるため、基板運搬時における基板ケース本体部へのパーティクル付着を大幅に抑制することができ、また、キャスター３０を利用した基板ケース１の移動に際してキャスター３０の水平旋回や車輪３５の回動が妨げられるようなことが無い。
　また、ケースカバー５は、基板ケース本体部の上部を覆う上カバー部５１と、下部を覆う下カバー部５２と、これらを開閉可能に連結するファースナー５３とを有し、下カバー部５２にキャスター挿通孔５５が形成されるため、基板ケース１の梱包、及び開梱作業を容易且つ迅速に行うことができる。
　従って、以上説明したようなケースカバー５によれば、基板運搬後のクリーンルームへの搬入工程等において、基板ケース１に付着したパーティクルを除去するための工数を削減することができ、ガラス基板を利用したフォトマスクや各種ディスプレイ製造のスループットを向上させることができる。
　なお、実施形態では、上カバー部５１と下カバー部５２とが一側面で繋がり他の三側面に設けたファースナー５３で開閉自在とした構成例を示したが、上カバー部５１と下カバー部５２とを別個独立に構成し、四側面（全周）にわたって設けたファースナーにより連結／分離されるように形成しても良い。また、上カバー部５１と下カバー部５２とを、基板ケース本体部の上下中間位置で上下に分けた構成を例示したが、これらを基板ケース本体部の上端位置あるいは下端位置で分けてもよい。
＜基板運搬ケース＞
　基板運搬ケース７は、図１８に示すように基板ケース１を収容する運搬ケース本体部７１と、運搬ケース本体部７１に収容された基板ケース１を覆って運搬ケース本体部７１の上面側に取り付けられる蓋部材７２とを主体として構成される。運搬ケース本体部７１及び蓋部材７２は、ともに、各部材の骨格を形成する金属製のフレームと、金属フレームに固定されて外殻をなす金属薄板製の面材とからなり、内部に格納された基板ケース１に異物が衝突したり無理な外力が直接作用したりしないようになっている。運搬ケース本体部７１の下部には、フォークリフトの左右の爪を挿通させるフォーク挿入部７３が前後に延びて形成され、運搬ケース本体部７１の下面側には、前後左右の４カ所にキャスター７５が設けられている。
　キャスター７５の取り付け部にあっては、図１９に鉛直面で切断した断面図を示すように、運搬ケース本体部７１とキャスター７５との間に、衝撃を吸収する緩衝部材７６が設けられている。図１９に例示する取り付け構造は、車軸が水平面内で３６０度水平旋回可能な旋回型キャスター７５のベースプレート７５ａと、運搬ケース本体部７１の台座部７１ａとの間に、一辺の長さがｂ、厚さがｔのゴム製の緩衝部材７６を設けた構成を示す。
　緩衝部材７６には、キャスター７５を固定するボルトの配設ピッチに併せてボルト挿通孔７６ｂが厚さ方向に貫通形成されており、バネ座金７７及び緩衝部材７６の厚さに応じた長さのショルダーボルト７８を用いて、台座部７１ａとベースプレート７５ａとの間に挟み込まれるように固定される。なお、バネ座金７７に換えて皿バネ座金を用いても良く、ショルダーボルト７８に換えて所定長さのカラーとボルトとを用いても良い。
　基板運搬ケース７が運搬される運搬過程において、緩衝部材７６にはキャスター７５を介して上下方向に衝撃が作用する。ゴム製の緩衝部材に対して種々の衝突速度で鋼球を厚さ方向に衝突させ、このとき鋼球に作用する衝撃力を測定した結果を図２０に示す。図２０における横軸は鋼球の衝突速度（ｍ／ｓ）、縦軸は鋼球に作用する衝撃力（ｋＮ）である。図中には厚さが異なる複数の緩衝部材を識別してプロットしている。この図から、衝突速度が大きいほど衝撃力が大きくなること、緩衝部材７６が厚いほど衝撃力が小さくなることが分かる。
　衝撃力はまた、緩衝部材７６の形状によっても異なったものとなる。形状が異なる複数のゴム製の緩衝部材に鋼球を厚さ方向に衝突させ、このとき鋼球に作用する衝撃力を測定した結果を図２１に示す。図２１における横軸は緩衝部材の形状率α、縦軸は鋼球に作用する衝撃力（ｋＮ）である。図中には衝突速度が異なる場合を識別してプロットしている。ここで、形状率αは、α＝衝突面に垂直な側面の全面積／衝突面の面積であり、緩衝部材７６の平面視における形状がｂ×ｂの正方形とすれば、α＝４ｂｔ／ｂ2＝４ｔ／ｂとなる。この図から、形状率αが大きいほど衝撃力は小さくなることが分かる。但し、衝撃力が大きく変化するのは形状率αが０～０．３程度の範囲であること、及び形状率αが１を超えた範囲では衝撃力は殆ど変化しないことが分かる。
　いま、緩衝部材７６の平面視における形状をｂ＝１２５ｍｍの正方形としたとき、形状率αとゴムの厚さｔとの関係は図２２のようになる。この図から、形状率αが０．３になるときの緩衝部材７６の厚さはｔ≒１０ｍｍ、形状率αが１になるときの緩衝部材７６の厚さはｔ≒３０ｍｍである。以上からキャスター７５を介して作用する衝撃を吸収する衝撃吸収面では、緩衝部材７６の厚さは概ね５～３０ｍｍ程度とすることが好ましく、１０～３０ｍｍ程度とすることがさらに好ましい。
　一方、基板運搬ケース７がトラックや航空機で運搬される輸送中には、これらの輸送手段の床面からキャスター７５に振動が作用する。輸送中に作用する外来振動の周波数ｆは、概ねｆ＝２５～４００Ｈｚの範囲とされている。緩衝部材７６を防振ゴムとして作用させる場合には、共振周波数（固有振動数）が問題となる。
　防振ゴムの共振周波数ｆｎは（１）式で、バネ定数ｋは（２）式で表される。
　ｆｎ＝１／２π×（ｋ／ｍ）1/2・・・・・・・・・・・・・・・・（１）
　ｋ＝ＥＡ／ｔ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（２）
　式中のｍは防振ゴムに作用する物体の質量（荷重）、Ｅは防振ゴムのヤング率、Ａは受圧面積であり本構成例においてｂ×ｂ、ｔは防振ゴムの厚さである。
　基板の輸送中にキャスター７５に作用する外来振動の周波数ｆは、概ねｆ＝２５～４００Ｈｚの範囲であるため、緩衝部材７６を防振ゴムとして効果的に機能させるためには、周波数ｆ＝２５Ｈｚにおいて振動伝達率Ｔｒが１以下となることが望ましい。この条件を満たすための緩衝部材７６の共振周波数（固有振動数）ｆｎは以下のように求めることができる。
　防振ゴムの振動伝達率Ｔｒは、次の（３）式で表されることが知られている。
　Ｔｒ＝｜１／（１－ｕ２）｜・・・・・・・・・・・・・・・・・（３）
　（３）式において、ｕは振動数比であり、ｕ＝ｆ／ｆｎである。（３）式の関係を図２３に示す。（３）式及び図２３によって示される関係から明らかなとおり、振動伝達率Ｔｒ≦１とするためには、振動数比ｕ≧√２以上であることを要し、外来振動の周波数ｆを２５Ｈｚとすると、ｕ＝（２５／ｆｎ）≧√２より、ｆｎ≦１７．７Ｈｚとなる。よって、外来振動の周波数ｆ＝２５Ｈｚにおいて振動伝達率Ｔｒが１以下とするためには、緩衝部材７６の共振周波数ｆｎは１７．７Ｈｚ以下であることが好ましい。なお、外来振動の周波数ｆの下限値が２５Ｈｚよりも大きいことが見込まれる場合は、ｕ＝（ｆ／ｆｎ）≧√２の関係より、緩衝部材７６の共振周波数ｆｎを１７．７Ｈｚよりも大きな値とすることが可能である。
　ここで、ガラス基板２を輸送する際の基板運搬ケース７の総重量は３００ｋｇ程度であることから、各緩衝部材７６に作用する質量ｍは７５ｋｇとなる。また緩衝部材７６の一辺の長さｂは、厚さが１０ｍｍのときは１２５ｍｍである。すると、上記（１）（２）式から共振周波数を１７．７Ｈｚ以下にするためには、緩衝部材７６のヤング率は概ね６００ＭＰａ以下とする必要がある。
　ゴム材料のヤング率と硬さとの関係は、ベースとなるエラストマーの種類や加硫の程度により必ずしも一義的ではないが、ヤング率を６００ＭＰａ以下とするためには、厚さがｔ＝３０ｍｍの場合においてゴム硬度はショアＡ（ＪＩＳ-Ｋ　６２５３）スケールで概ね９０以下となる。一方、ヤング率が小さければ小さいほど共振周波数ｆｎが低下して防振効果は高くなるが、外力に応じて容易に変形するためキャスターの固定面で安定性に欠けることになる。この点から、厚さがｔ＝５ｍｍの場合におけるヤング率は１０ＭＰａ以上、ゴム硬度はショアＡスケールで概ね４０以上とすることが望まれる。
　以上から、キャスター７５を介して作用する振動を吸収する振動吸収面では、緩衝部材７６の厚さを５～３０ｍｍ程度とし、ゴム硬度はショアＡスケールにおいて４０～９０とすることが好ましい。従って、衝撃吸収面及び振動吸収面から、緩衝部材７６の厚さは５～３０ｍｍ（より好ましくは１０～３０ｍｍ）程度、ゴム硬度はショアＡスケールにおいて４０～９０とすることが好ましい。なお、緩衝部材７６としては一例として、ウレタンゴムやシリコンゴムを用いることができる。
　以下、緩衝部材７６の有無による防振効果の相違について具体的なモデルを例に説明する。図２４（ａ）（ｂ）にモデルを示す。（ａ）は緩衝部材７６を設けずにキャスター７５を台座部７１ａに直接固定した構成（従来の基板運搬ケース）のモデルである。（ｂ）は緩衝部材７６を介してキャスター７５を台座部７１ａに取り付けた構成（本実施形態の基板運搬ケース７）のモデルである。
　基板運搬ケース７の総重量は３００ｋｇ、緩衝部材７６の大きさは、□１２５×１５mmとし、４カ所で基板運搬ケースを支持するものとする。キャスター７５を台座部７１ａに直接固定したモデル（ａ）では、鋼材と鋼材とが直接接続されることから、ヤング率はＥ＝２００ＧＰａとした。また、緩衝部材７６を介してキャスター７５を台座部７１ａに取り付けたモデル（ｂ）において、緩衝部材７６のヤング率は上記範囲内から１００ＭＰａとした。
　モデル（ａ）及び（ｂ）について、外来振動の伝達特性を計算したシミュレーション結果を図２５に示す。図中の横軸は外来振動の周波数、縦軸は振動伝達率である。キャスター７５を台座部７１ａに直接固定したモデル（ａ）においては、前述の（１）（２）式から共振周波数ｆｎは３３１Ｈｚとなり、図２５からも明らかなように、輸送中に作用する外来振動（２５～４００Ｈｚ）の全周波数領域で励振状態になっている。一方、緩衝部材７６を設けたモデル（ｂ）においては、共振周波数ｆｎ＝７Ｈｚとなり、輸送中に作用する外来振動が全周波数領域で大幅に減衰されることが分かる。
　従って、以上説明したような基板運搬ケース７によれば、トラックや航空機等の輸送手段によりガラス基板２が運搬される運搬課程において、トラックの床面等から衝撃や振動等がキャスター７５に作用したとしても、これらが緩衝部材７６により吸収され、基板運搬ケース７の運搬ケース本体部７１への衝撃および振動の伝達が抑制される。そのため、本来的に保護すべきガラス基板２はもとより、保護することが望まれる基板ケース１及び基板運搬ケース７の両方を外来の衝撃等から保護することができる。
　なお、以上の実施形態の説明においては、一例として、大きさが１８００×１６００×１７ｍｍ、質量が約１１０ｋｇのガラス基板２を運搬する基板運搬ケースについて説明したが、ガラス基板２の形状寸法や質量、及びこれらに基づいて変化する基板運搬ケース７の形状寸法や全質量等は適宜変更して適用することができる。
　次に本実施形態の基板ケース１、ケースカバー５、基板運搬ケース７を有する基板運搬システムを用いてガラス基板２を搬送する方法について、図２６を参照して説明する。クラス１００程度のクリーン度を有するクリーンルーム内で製造されたガラス基板２を、クリーンルーム内において、基板ケース１の下部ケースユニット２０内に載置し、基板支持部２３によって固定支持する。そしてガラス基板２を保持した下部ケースユニット２０の上方から上部ケースユニット１０を覆い被せて、ボルト等により両ケースユニット１０、２０を連結する。これにより、ガラス基板２は基板ケース１内に密封状態で保持される（Ｓ１）。
　次に、ガラス基板２を保持した基板ケース１を、パスボックスに移動する。パスボックスのクリーン度は、クリーンルーム内よりも劣り、１００～１０００程度である。パスボックスにおいて、ケースカバー５を用いて基板ケース１を梱包する（Ｓ２）。梱包の際は、まずパスボックスの床に上カバー部５１と下カバー部５２とを開いた状態のケースカバー５を載置する。このとき、下カバー部５２の４つのキャスター挿通孔５５が、それぞれ基板ケース１のキャスター構造３に対応する位置となるよう、下カバー部５２を広げた状態で載置する。
　次に、上記の通り載置したケースカバー５の上に、基板ケース１を移動する。この時、下カバー部５２の４つのキャスター挿通孔５５が、前記の通り、基板ケース１のキャスター構造３に対応する位置に配置されているため、フォークリフト等を用いて、基板ケース１の４つのキャスター３０を、それぞれ下カバー部５２の４つのキャスター挿通孔５５の内部に容易に配置することができる。各キャスター３０を各キャスター挿通孔５５内にそれぞれ配置した後、連結構造５３を用いて上カバー部５１と下カバー部５２とを連結し、基板ケース１をケースカバー５で梱包する。この時、下カバー部５２は上方に持ち上げられ、基板ケース１の４つのキャスター３０及び４つの台座部２５が、それぞれケースカバー５の４つのキャスター挿通孔５５を通過する。そして各キャスター挿通孔５５は、各台座部２５の断面に倣って変化して、台座部２５を外周から閉めこむように隙間を閉塞する。
　次に、ケースカバー５により梱包された基板ケース１を、パスボックスから一般環境に移動し、ここで基板運搬ケース７の内部に収容する（Ｓ３）。そして、基板ケース１を収容した基板運搬ケース７を、フォークリフト等により、運搬用のトラック等に搭載する（Ｓ４）。
　搬送されてきた基板運搬ケース７からガラス基板２を取り出す際には、上記の逆の工程により、ガラス基板２を取り出すことができる。
　本実施形態の運搬方法によれば、転倒安定性を確保し、且つガラス基板２収容時の変形を抑制した基板ケース１を用いて、収容したガラス基板２を安定的に移動することができる。また、上カバー部５１、下カバー部５２、及び台座部２５を外周から締め込むように隙間を閉塞するキャスター挿通孔５５を有するケースカバー５を用いて基板ケース１を梱包するため、基板ケース１を容易に梱包することができる。また、ケースカバー５により、基板運搬時における基板ケース１へのパーティクル付着を大幅に抑制することができるため、基板運搬ケース７を受け取ってガラス基板２を取り出す際に、基板ケース１に付着したパーティクルを除去する工程を削減することができる。よってガラス基板２を利用したフォトマスク等の製造のスループットを向上することができる。また、緩衝部材７６を有する基板運搬ケース７を用いるため、運搬中における基板ケース１、引いてはガラス基板を外来の衝撃等から保護することができる。よって本実施形態の運搬方法によれば、ガラス基板２をより安定した状態で、かつ迅速に運搬することが可能となる。
　本発明の基板ケースによれば、基板サイズに応じた小型かつ簡便な構成で、収容した基板を安定的に移動可能である。また本発明のケースカバーによれば、基板の搬入工程において基板ケースに付着したパーティクルを除去するための工数を削減し、基板を使用した製造工程においてスループットを向上させることができる。また本発明の基板運搬ケースによれば、簡便な構成で、安全に基板を運搬することができる。また本発明の基板運搬システム及び基板運搬方法によれば、大型の基板をより安定した状態で、より迅速に搬送することができる。よって本発明によれば、大型の基板を使用したフォトマスク等の製造や製造後の搬送をより迅速かつ容易なものとすることが可能である。
１　基板ケース
２　ガラス基板（基板）
３　キャスター構造
５　ケースカバー
７　基板運搬ケース
１０　上部ケースユニット（上部ケース）
２０　下部ケースユニット（下部ケース）
２３　基板支持部（２３ａ　対角支持部、２３ｂ　長辺支持部、２３ｃ　短辺支持部）
２５　台座部
３０　キャスター
３５　車輪
３９　保護カバー
５１　上カバー部
５２　下カバー部
５３　連結構造（ファースナー）
５５　キャスター挿通孔
５５ａ　開口縁
７１　運搬ケース本体部
７２　蓋部材
７５　キャスター
７６　緩衝部材
Ｂ1　第１四角形
Ｂ2　第２四角形
ＰB　ベッセル点
Ｓ2　枠状領域
ＳF　フォーク挿入領域

Claims (21)

  1. 　対角寸法が２ｍを超える矩形平板状の基板を内部に収容し、前記基板を運搬するための基板ケースであって、
    　上面側に前記基板の前後左右の縁部を板厚方向に支持する基板支持部が設けられ、下面側に３つ以上の移動用のキャスターが設けられた下部ケースと、
    　前記基板支持部に支持された前記基板を上方から覆って前記下部ケースに取り付けられる上部ケースとを有し、
    　前記キャスターは、平面視において前記基板支持部に支持された前記基板の外形である第１四角形の内側に配置され、かつ、平面視における前記下部ケースの外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側である枠状領域に取り付けられる基板ケース。
  2. 　前記キャスターは、前記枠状領域に前後及び左右に並んで取り付けられており、
    　前後及び／または左右に並ぶ２つの前記キャスターの内側に隣接して、フォークリフトの爪を挿入可能なフォーク挿入領域が設けられている請求項１に記載の基板ケース。
  3. 　前記フォーク挿入領域は、前記第２四角形における前後に延びる左右の二辺、及び／または左右に延びる前後の二辺を含む領域に形成されている請求項２に記載の基板ケース。
  4. 　前記下部ケースは、前記フォーク挿入領域の位置を示すマークを有する請求項２又は３に記載の基板ケース。
  5. 　前記キャスターは、前記枠状領域の四隅にそれぞれ１つずつ取り付けられている請求項１～４のいずれか一項に記載の基板ケース。
  6. 　前記キャスターには、車輪の側面及び進行方向前後の転動面を保護する保護カバーが取り付けられていることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載の基板ケース。
  7. 　前記基板の重量が１００ｋｇ以上である請求項１～６のいずれか一項に記載の基板ケース。
  8. 　内部に基板が保持された基板ケースを格納して運搬するための基板運搬ケースであって、
    　前記基板運搬ケースは、下面側にキャスターが設けられ前記基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、前記運搬ケース本体部に収容された前記基板ケースを覆って前記運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、
    　前記運搬ケース本体部と前記キャスターとの間に、運搬時に外部から前記キャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられた基板運搬ケース。
  9. 　前記緩衝部材は、前記基板が保持された基板ケースを格納した状態における共振周波数が１７．７Ｈｚ以下である請求項８に記載の基板運搬ケース。
  10. 　前記緩衝部材の厚さは、５～３０mmである請求項８又は９に記載の基板運搬ケース。
  11. 　前記緩衝部材の硬さは、ショアＡ（ＪＩＳ－Ｋ６２５３）スケールで４０～９０である請求項８～１０のいずれか一項に記載の基板運搬ケース。
  12. 　前記基板の重量が１００ｋｇ以上である請求項８～１１のいずれか一項に記載の基板運搬ケース。
  13. 　前記基板ケースは、
    　上面側に前記基板の前後左右の縁部を板厚方向に支持する基板支持部が設けられ、下面側に３つ以上の移動用のキャスターが設けられた下部ケースと、
    　前記基板支持部に支持された前記基板を上方から覆って前記下部ケースに取り付けられる上部ケースとを有し、
    　前記基板ケースの前記キャスターが、平面視において前記基板支持部に支持された前記基板の外形である第１四角形の内側に配置され、かつ、平面視における前記下部ケースの外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側である枠状領域に取り付けられた基板ケースである、請求項８～１２のいずれか一項に記載の基板運搬ケース。
  14. 　内部に基板が収容された基板ケースの外周を覆って、前記基板の運搬時における前記基板ケースへのダストの付着を抑制する袋状のケースカバーであって、
    　前記基板ケースは、前記基板を収容する基板ケース本体部と、下端に車輪を有し前記基板ケース本体部から下方に突出して設けられた複数のキャスター構造とを有し、
    　前記ケースカバーは、前記基板ケース本体部における前記複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各前記キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、
    　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通る前記キャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、
    　前記キャスター挿通孔に前記キャスター構造を通して前記車輪をカバー外方に露出させたときに、前記開口縁が前記キャスター構造の通過断面に倣って変化し、前記キャスター構造と前記キャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成されているケースカバー。
  15. 　前記ケースカバーは、前記基板ケース本体部の上部外周を覆う上カバー部と、前記基板ケース本体部の下部外周を覆う下カバー部と、前記上カバー部と前記下カバー部とを開閉可能に連結し閉止状態で前記基板ケース本体部全体を包む一体の袋状にする連結構造とを有し、
    　前記下カバー部に、前記複数のキャスター挿通孔が形成されている請求項１４に記載のケースカバー。
  16. 　前記上カバー部及び前記下カバー部は、クリーンルームにおいて使用されるクリーンウェアの生地を用いて形成されており、前記連結構造は、クリーンルームにおいて使用されるファースナーを用いて構成されている請求項１４または１５に記載のケースカバー。
  17. 　前記キャスター構造は、前記基板ケース本体部の下面に下方に突出して設けられた台座部と、前記台座部に取り付けられたキャスターとからなり、
    　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を上下に通る前記台座部の通過断面に倣って変化するように構成されている請求項１４～１６の何れか一項に記載のケースカバー。
  18. 　前記基板の重量が１００ｋｇ以上である請求項１４～１７のいずれか一項に記載のケースカバー。
  19. 　前記基板ケースは、
    　上面側に前記基板の前後左右の縁部を板厚方向に支持する基板支持部が設けられ、下面側に３つ以上の移動用のキャスターが設けられた下部ケースと、
    　前記基板支持部に支持された前記基板を上方から覆って前記下部ケースに取り付けられる上部ケースとを有し、
    　前記キャスターが、平面視において前記基板支持部に支持された前記基板の外形である第１四角形の内側に配置され、かつ、平面視における前記下部ケースの外形に基づいて算出される前後方向のベッセル点及び左右方向のベッセル点を各々結んで形成される第２四角形の外側である枠状領域に取り付けられた基板ケースであり、
    　前記複数のキャスター構造がそれぞれ前記キャスターを含む請求項１４～１８のいずれか一項に記載のケースカバー。
  20. 　大型の基板を運搬するための基板運搬システムであって、
    　請求項１～７のいずれか一項に記載の基板ケースと、
    　前記基板ケースを梱包するケースカバーと、
    　前記基板ケースを格納する基板運搬ケースとを有し、
    　前記基板ケースは、前記キャスターをそれぞれ含み前記下部ケースから下方に突出して設けられた複数のキャスター構造を有し、
    　前記ケースカバーは、
    　前記下部ケースにおける前記複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各前記キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、
    　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通る前記キャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、
    　前記キャスター挿通孔に前記キャスター構造を通して前記車輪をカバー外方に露出させたときに、前記開口縁が前記キャスター構造の通過断面に倣って変化し、前記キャスター構造と前記キャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成されているケースカバーであり、
    　前記基板運搬ケースは、
    　下面側にキャスターが設けられ前記基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、前記運搬ケース本体部に収容された前記基板ケースを覆って前記運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、
    　前記運搬ケース本体部と前記キャスターとの間に、運搬時に外部から前記キャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられた基板運搬ケースである基板運搬システム。
  21. 　請求項１～７のいずれか一項に記載の基板ケースに基板を収容する工程と、
    　前記基板ケースをケースカバーで梱包する工程と、
    　前記梱包された基板ケースを基板運搬ケースに格納する工程とを有する基板運搬方法であって、
    　前記基板ケースは、前記キャスターをそれぞれ含み前記下部ケースから下方に突出して設けられた複数のキャスター構造を有し、
    　前記ケースカバーは、
    　前記下部ケースにおける前記複数のキャスター構造の配設位置に合わせて、各前記キャスター構造を上下に挿通させる複数のキャスター挿通孔が形成されるとともに、
    　前記キャスター挿通孔の開口縁は、当該キャスター挿通孔を通る前記キャスター構造の通過断面に応じて形状寸法が変化自在に構成されており、
    　前記キャスター挿通孔に前記キャスター構造を通して前記車輪をカバー外方に露出させたときに、前記開口縁が前記キャスター構造の通過断面に倣って変化し、前記キャスター構造と前記キャスター挿通孔との間に生じ得る隙間を閉塞するように構成されているケースカバーであり、
    　前記基板運搬ケースは、
    　下面側にキャスターが設けられ前記基板ケースを収容する運搬ケース本体部と、前記運搬ケース本体部に収容された前記基板ケースを覆って前記運搬ケース本体部の上面側に取り付けられる蓋部材とを有し、
    　前記運搬ケース本体部と前記キャスターとの間に、運搬時に外部から前記キャスターに作用する衝撃を吸収する緩衝部材が設けられた基板運搬ケースである基板運搬方法。
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