KR102352196B1 - 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스 - Google Patents

체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스 Download PDF

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Abstract

본 발명은 아웃박스에 구성되는 측면프레임을 메인프레임과 체결하는 체결부를 통해 체결력을 상승시키고, 외부로 노출되지 않도록 한 아웃박스에 관한 것으로써, 메인프레임과 측면프레임을 상호 체결하는 체결부에 대한 구조를 통해 체결력을 상승시키고, 상기 체결부에 대한 비돌출형을 적용함으로써 이동 시에도 체결부의 파손을 미연에 방지할 수 있도록 하였으며, 포토마스크 인박스를 아웃박스의 내부로 이동 시 필수 구성요소인 받침대를 아웃박스 내부의 거치대에 고정력을 상승시킨 지지부를 이용하여 고정하고, 아웃박스를 구성하는 프레임에 시트를 리벳으로 연결 시 상기 시트의 접힘 되는 부분을 방지하고자 접힘방지부재를 구성한 받침대를 지지하는 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 관한 것이다.

Description

체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스{Photomask with increased tightening force Inbox Outbox for movement}
본 발명은 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 상기 아웃박스에 구성되는 측면프레임을 메인프레임과 체결하는 체결부를 통해 체결력을 상승시키고, 외부로 노출되지 않도록 한 아웃박스에 관한 것이다.
우선, 종래기술을 살펴보면,
일반적으로 이동용 박스는 사각형 평판 형상의 기판으로서, 액정 디스플레이 (LCD) 패널이나 플라즈마 디스플레이 (PD) 패널의 제조에 사용되는, 유리 기판, 유리 기판의 표면에 차광막이나 레지스트막 등이 적층된 마스크 블랭크, 또한 포토그래피 공정을 거쳐 회로 패턴이 형성된 포토마스크 등이 있다.
이들 기판은, 각 제조 공정에 있어서도, 다음 공정인 성막 공정이나 노광 공정에 있어서도 높은 클린도가 요구되기 때문에, 예를 들어 클래스 100 정도의 클린도로 유지된 클린 룸 내에서 제조된다.
제조된 기판은, 클린 룸 내에서 방진 구조의 기판 케이스 (이너 케이스) 에 수용되어 밀폐된다.
상기와 같은 기판은 중량물이다.
예를 들어, 대각 치수가 18 m 정도인 기판의 질량은 기판 단체로 대체로 50 ㎏ 정도가 되고, 대각 치수가 약 24 m 클래스인 기판의 질량은 기판 단체로 100 ㎏ 을 초과한다.
그 때문에 기판이 수용된 기판 케이스를 사람이 들어 올려 운반하는 것은 현실적이지 않다.
그래서, 기판이 수용된 기판케이스의 이동을 용이하게 하기 위해서, 기판 케이스의 하단에는 캐스터가 형성된다.
종래 기판 케이스에서는, 기판은 표면 및 이면이 연직이 되는 종치 (縱置) 자세로 기판 케이스에 수용된다.
또는 기판을 기판 케이스에 수용한 후에, 기판이 상기 종치 자세가 되도록 기판 케이스가 흘립 (屹立) 된다.
캐스터는, 이때 하단이 되는 케이스 바닥부의 네 귀퉁이에 형성되어 있다.
기판이 수용된 기판 케이스는, 패스 박스라고 칭해지는 중간적 클린도의 클린 룸에 있어서, 클린 웨어에 사용되는 발진성을 억제한 천을 사용하여 제조된 케이스 커버에 의해 포장된다.
*
케이스 커버는, 하면측에 개구부를 가져 상방으로부터 케이스 본체부를 덮는 봉투 형상을 이루고, 하면측에는, 서로 평행하게 상하로 연장되는 일방의 입설 (立設) 면측 (예를 들어, 기판의 표면측)으로부터 타방의 입설면측 (예를 들어, 기판의 이면측)으로 연장되는 바닥면부가 형성된다.
바닥면부는, 예를 들어, 캐스터가 배치 형성되어 있지 않은 영역에 있어서 케이스 본체부의 하측을 통과하여, 상기 입설면 사이를 잇는 설편 (舌片) 형상으로 형성되고, 타방의 입설면측에 면 패스너 등에 의해 걸려 부착 (係着) 된다.
이에 따라, 기판 케이스의 운반시에, 케이스 본체부가 케이스 커버에 의해 덮여 파티클 (먼지) 이 잘 부착하지 않도록 구성되어 있다.
케이스 커버로 포장된 기판 케이스는 패스 박스로부터 일반 환경으로 이동된다.
출하 공정에서는, 케이스커버로 포장된 기판 케이스 (이너 케이스) 가, 한층 더 대형인 운반용 케이스 (아우터 케이스) 에 수용되어, 엄중하게 보호된 상태로 출하된다.
상기와 같이 기판은 중량물이기 때문에, 기판 운반 케이스를 사람이 들어 올려 이동하는 것은 곤란하다.
따라서 기판 운반 케이스의 하단부에도 캐스터가 형성된다.
기판 케이스, 케이스 커버 및 기판 운반 케이스에 의해 곤포된 기판은, 캐스터나 포크 리프트 등을 이용하여 공장 내를 이동하여, 트럭이나 항공기 등의 수송수단에 의해 기판 제조 공장으로부터 다음 공정의 공장으로 수송 운반된다.
최근에는, LCD 패널이나 PD 패널의 대형화가 더욱 진전되어, 대각 치수가 2 m 를 초과하는 대형 기판도 요구되게 되었다.
기판이 대형화하면 질량도 증대하여, 예를 들어, 크기가 1800 × 1600 × 17 ㎜ 인 기판은, 질량이 기판 단체로 110 ㎏ 이나 된다.
이와 같이 대형화, 중량화한 기판을 보호하고, 안정적으로 이동시키려면, 종래의 기판 케이스를 스케일 업하는 것만으로는 해결 곤란한 여러 가지 문제가 있다.
먼저, 종래와 마찬가지로, 기판을 종치 자세로 기판 케이스에 수용하는 경우, 기판 케이스의 크기가 기판 사이즈를 기준으로 하여 요구되는 형상 치수보다 대형화된다는 문제가 있다.
즉, 기판의 대형화에 수반하여 무게 중심 위치가 높아져, 전도 안정성을 고려하면, 기판 케이스의 두께를 본래 필요한 두께보다 대폭 증가시킬 필요가 발생한다.
기판의 단변을 상하 방향으로 연장시키는 종치 자세로 했을 때, 기판 케이스의 높이는 1800 ㎜ 가 되고, 무게 중심은 900 ㎜ 의 높이 위치가 된다. 이 때, 플로어면의 경사 등에 의해 기판 케이스가 약 8 도 기울면, 기판 케이스 (101) 는 전도된다.
이 정적인 전도 각도를, 일반적인 가전 제품에 있어서 기준으로 여겨지는 15 도로 설정하는 경우, 필요해지는 기판 케이스의 두께는 약 480 ㎜ 가 된다.
이 때, 기판 케이스가 차지하는 공간의 용적은, 기판 사이즈를 기준으로 한 기판 케이스의 약 2 배가된다.
기판을 수용한 기판 케이스는 질량이 300 ㎏ 정도나 되는 중량물인 것, 만일 전도되면 고액의 기판이 파손될 우려가 높은 것 등을 고려하면, 전도 각도는 더욱 큰 각도로 하는 것이 바람직하다.
정적인 전도 각도를 30 도로 한 경우, 기판 케이스가 차지하는 공간 용적은 기판 사이즈를 기준으로 한 기판 케이스의 4 배를 초과한다.
한편, 바닥면의 네귀퉁이에 캐스터를 형성한 경우, 하중을 지지하는 지점 간격이 넓어지기 때문에 기판 케이스에 작용하는 하중에 의해 기판 케이스가 휨 변형되기 쉬워진다. 이것을 부가적인 구성으로 억제하고자 하면, 케이스 구조가 복잡화된다는 문제가 발생한다.
또, 상기와 같은 종래의 케이스 커버에서는, 기판 운반시에 있어서의 기판 케이스로의 파티클 부착에 대해, 그 방지 효과가 여전히 충분하지 않다는 문제가 지적되고 있었다.
구체적으로는, 기판 운반처의 중간적 클린도의 클린 룸에 있어서 케이스 커버를 개봉했을 때에, 현실적으로는 케이스 본체부의 외표면에 다수의 파티클이 부착되어 있고, 이 파티클을 제거하기 위해서 많은 공수 (工數) 를 필요로 하고 있었다.
즉, 기판 케이스를 개봉하여 기판을 꺼낼 때까지의 반입 공정에 공수가 걸린다는 과제가 있었다.
또, 상기와 같이, 기판 제조 공장으로부터 다음 공정의 공장으로의 운반에는 트럭이나 항공기 등의 수송 수단이 이용된다.
이 운반 과정에서는 외부 (예를 들어 트럭의 플로어면) 로부터 기판 운반 케이스에 충격이나 진동이 작용한다.
그러나, 종래의 공보 기재에는, 이들 충격이나 진동을 흡수하는 수단이 형성되어 있지 않았다.
그 때문에, 외부로부터 작용하는 충격이나 진동이 기판 운반 케이스 및 기판 케이스를 통해서 기판에 전달되어, 기판을 손상시킬 우려가 있는 것으로 염려되고 있었다.
케이스에 구성되는 프레임과 상기 프레임에 연결되는 시트를 고정 시, 일반적으로 리벳을 이용하는데, 상기 리벳의 작동에 따른 시트의 휨이 발생하여 상기 휨의 틈새로 인해 케이스의 외부에서 내부로 이물질이 유입되는 결과를 초래하여 결과적으로 기판에 이물질이 묻게 되는 문제점이 발생하였다.
또한, 기판을 케이스 내부로 이동 시에 일정 경사면을 이루는 받침대를 이용하는데, 상기 받침대는 케이스 내부로 이동 후에 케이스 내부의 일 측에 비치하게 되는데, 비치 시, 고정력이 저하되어 기판에 파손을 일으키는 요인이 되기도 하였다.
또한, 아웃박스에 구성되는 메인프레임과 측면프레임을 상호 체결하는 체결부분에 대해서도 단순 장착과 고정으로 이루어지고 있어, 이동 시 상기 아웃박스가 파손 또는 뒤틀림 또는 열림되는 현상이 빈번하게 일어나고, 단순장착과 고정을 이루는 체결부의 파손으로 인해 측면프레임이 열림되는 문제점이 있었다.
이에 종래에는 공개번호 제10-2014-0065874호의 '블랭크 마스크 및 포토마스크 포장용기'와, 공개번호 제10-2015-0013515호의 '기판케이스, 기판 운반 케이스, 케이스 커버, 기판 운반 시스템 및 기판 운반 방법'이 개시되어 있지만, 상기한 문제점에 대해서는 여전히 개선되고 있지 않은 실정이다.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출해낸 것으로써, 메인프레임과 측면프레임을 상호 체결하는 체결부에 대한 구조를 통해 체결력을 상승시키고, 상기 체결부에 대한 비돌출형을 적용함으로써 이동 시에도 체결부의 파손을 미연에 방지할 수 있도록 하였으며, 포토마스크 인박스를 아웃박스의 내부로 이동 시 필수 구성요소인 받침대를 아웃박스 내부의 거치대에 고정력을 상승시킨 지지부를 이용하여 고정하고, 아웃박스를 구성하는 프레임에 시트를 리벳으로 연결 시 상기 시트의 접힘 되는 부분을 방지하고자 접힘방지부재를 구성한 받침대를 지지하는 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스를 제공함에 주안점을 두고 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.
이에 본 발명은 내부에 포토마스크가 위치되고 하부에 바퀴가 구성된 포토마스크 인박스를 보관하며 이동하되 내부공간을 형성하는 프레임과, 상기 프레임의 내부 하측에 구성되는 거치대와, 상기 프레임의 외측에 결합되는 단프라시트와, 상기 프레임의 하부에 다수개 연결 구성되는 바퀴와, 상기 거치대의 상부에 위치되며 포토마스크 인박스가 이동되는 레일 및 상기 포토마스크 인박스를 레일을 이용하여 내부와 외부로 이동시키기 위한 받침대로 구성된 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 있어서, 상기 프레임은 전체틀이 형성된 메인프레임과, 상기 메인프레임의 양측에 상기 메인프레임의 양측면에 측면프레임이 각각 구성되고, 상기 메인프레임의 전면과 후면에는 양측의 측면프레임을 고정하는 체결부가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스를 그 기술적 특징으로 한다.
본 발명인 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 따르면, 메인프레임과 측면프레임의 체결부 구조를 통해 체결력을 상승시켰고, 비돌출형 체결부를 통해 아웃박스의 이동에도 상기 체결부의 부딪힘이 없어 파손을 미연에 방지하였으며, 포토마스크 인박스를 아웃박스 내부와 외부로 이동 시에 필요한 받침대를 아웃박스 내부에서 측면, 전면 및 후면까지 지지되도록 하여 지지력을 상승시켰고, 프레임과 시트를 결합 시 결합부분에 접힘방지부재를 구성하여 시트의 접힘을 미연에 방지할 수 있어 상기 접힘 부분으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 등 그 효과가 큰 발명이다.
도 1은 본 발명인 이동용 아웃박스를 나타내는 정단면도
도 2는 도 1의 A-A를 나타내는 평단면도
도 3은 본 발명의 이동용 아웃박스를 나타내는 측단면도
도 4는 본 발명인 지지부(A)와 받침대(B)를 나타내는 평면도
도 5는 본 발명인 전면지지대와 후면지지대의 실시 예를 나타내는 측면도
도 6은 도 4의 A와 B가 결합된 것을 나타내는 평면도
도 7은 종래의 리벳 연결을 나타내는 측면도
도 8은 본 발명인 리벳 연결을 나타내는 측면도
도 9는 본 발명인 아웃박스의 실시 예를 나타내는 정단면도
이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대해 도 1 내지 도 9를 참고로 설명하면 다음과 같다.
우선, 본 발명인 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스는 내부에 포토마스크가 위치되고 하부에 바퀴(21)가 구성된 포토마스크 인박스를 보관하며 이동하되 내부공간을 형성하는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 내부 하측에 구성되는 거치대(200)와, 상기 프레임(100)의 외측에 결합되는 단프라시트(300)와, 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성되는 바퀴(400)와, 상기 거치대(200)의 상부에 위치되며 포토마스크 인박스가 이동되는 레일(500) 및 상기 포토마스크 인박스를 레일(500)을 이용하여 내부와 외부로 이동시키기 위한 받침대(600)로 구성된 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 있어서, 상기 프레임(100)은 전체틀이 형성된 메인프레임(110)과, 상기 메인프레임(110)의 양측에 상기 메인프레임(110)의 양측면에 측면프레임(120)이 각각 구성되고, 상기 메인프레임(110)의 전면과 후면에는 양측의 측면프레임(120)을 고정하는 체결부(30)가 구성되어 있다.
상기한 본 발명에 대해 보다 상세히 설명하면,
우선, 본 발명인 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스는 내부에 포토마스크가 위치되고 하부에 바퀴(21)가 구성된 포토마스크 인박스를 보관하며 이동하되 프레임(100), 거치대(200), 단프라시트(300), 바퀴(400), 레일(500) 및 받침대(600)로 대분 구성된다.
상기 프레임(100)은 메인프레임(110)과, 상기 메인프레임(110)의 양측면에 각각 구성되는 측면프레임(120)으로 구성되며, 상기 메인프레임(110)과 측면프레임(120)을 상호 체결, 고정하는 체결부(30)가 구성된다.
상기 측면프레임(120)은 메인프레임(110)에 체결 시, 상부가 메인프레임(110)의 상부에 구성된 경첩 또는 힌지 를 통해 1차 체결되고, 측면프레임(120)이 닫힘 된 후에는 상기 체결부(30)를 통해 2차 체결 후 잠금이 완료된다.
상기 체결부(30)는 측면프레임(120)을 메인프레임(110)에 고정 후, 열림 되지 않도록 하기 위함이며, 메인프레임(110)의 전면과 후면에 각각 다수개가 구성된다.
상기 체결부(30)는 메인프레임(110)과 측면프레임(120)을 상호 연결하며 고정하되 외측으로 돌출된 돌출형 또는 비돌출형으로 구성된다.
상기 돌출형 체결부(30)는 측면프레임(120)에 구성되는 체결고리(31)와, 메인프레임(110)에 구성되며 상기 체결고리(31)에 걸림 되는 걸림부재(33a)가 구성된 체결부재(33)로 구성되어 있다.
상기 체결고리(31)는 단순 돌출로 형성되거나 또는 돌출 후, 걸림되는 반대방향으로 꺾임부가 형성되어 체결 후에도 손쉽게 이탈되지 않도록 하였다.
또한, 상기 체결고리(31)에는 걸림부재(33a)의 걸림 완료 후, 이탈을 방지하기 위해 닫힘부가 별도로 구성된다.
상기 닫힘부의 구성으로 걸림부재(33a)의 체결은, 상기 닫힘부에 1차적으로 누름하면, 상기 닫힘부의 일부분이 누름되어 공간이 발생하고, 상기 공간을 통해 걸림부재(33a)가 체결고리(31)와 닿게 되며, 이때, 상기 닫힘부의 누름된 부분은 일 측에 구성된 스프링을 통해 원위치 하게 된다.
이로 인해, 외력 또는 파손을 제외하면 걸림부재(33a)는 닫힘부와 체결고리(31) 사이에서 이탈되지 않게 되어 체결력이 상승하게 된다.
상기 비돌출형 체결부(30)는 측면프레임(120)의 내측 일부분에는 걸림홈(31a)이 형성된 체결고리(31)와, 상기 메인프레임(110)에는 상기 걸림홈(31a)을 거쳐 측면프레임(120)을 걸림 하는 제1꺾임부가 형성된 걸림부재(33a), 상기 걸림부재(33a)의 회동을 위한 회동부재(33b), 상기 회동부재(33b)의 작동을 위한 열림, 닫힘부재가 구성된 체결부재(33)로 구성되어 있다.
상기 체결고리(31)는 걸림부재(33a)가 걸림 되도록 하기 위함이고, 걸림홈(31a)은 회동하여 걸림 하는 걸림부재(33a)가 상기 체결고리(31)에 걸림 되도록 회동할 수 있도록 공간확보를 위한 홈이 된다.
상기 걸림부재(33a)는 걸림홈(31a)을 거쳐 체결고리(31)에 걸림 되도록 끝부에 제1꺾임부가 형성되어 있다.
상기 걸림부재(33a)는 회동부재(33b)를 통해 회동하게 되는데, 상기 회동부재(33b)의 회동을 위해 별도의 열림부재와 닫힘부재가 구성된다.
도 6을 참고로 설명하면,
닫힘부재를 누름 시, 회동부재(33b)가 세워지게 되어 걸림부재(33a)가 올려지게 되어 상기 올려진 걸림부재(33a)가 걸림홈(31a)을 거쳐 체결고리(31)에 체결하게 된다.
열림부재를 누름 시, 회동부재(33b)가 내려지게 되어 걸림부재(33a)가 내려지게 되어 상기 걸림부재(33a)가 체결고리(31)에서 이탈하게 되어 측면프레임(120)이 열림하게 된다.
상기 돌출형 체결부(30) 또는 비돌출형 체결부(30)의 외측을 감싸며 덮는 커버가 구성되어 있다.
상기 커버는 돌출형 또는 비돌출형 체결부(30)의 외측을 감싸게 되어 1차적인 파손을 미연에 방지하고, 노출로 인해 발생되는 문제점을 2차적으로 방지하였다.
또한, 비돌출형 체결부(30)의 경우, 상기 체결부(30)를 메인프레임(110)의 면에서 내측에 위치시킴으로써 커버의 구성에도 메인프레임(110)의 면에서 외부로 돌출되지 않도록 할 수 있다.
프레임(100)은 이동용 아웃박스(10)를 구성하기 위한 전체적인 외형틀이며, 일반적으로 알루미늄 또는 철 재질로 이루어진다.
거치대(200)는 상기 프레임(100)의 내부공간에 구성되되 바닥면의 중심부에 구성되어 있다.
상기 거치대(200)에는 하기 설명하는 받침대(600)가 거치 된다.
상기 거치대(200)에는 지지부(210)가 구성되는데, 상기 지지부(210)는 거치대(200)에 하기 설명하려는 받침대(600)가 위치되도록 한다.
상기 지지부(210)는 받침대(600)의 외형과 동일한 형상으로 전면이 넓은 형상이고 후면으로 갈수록 좁아지는 형상으로 형성된다.
상기 지지부(210)에는 받침대(600)가 안착되는 안착대, 측면지지대(211), 전면지지대(213) 및 후면지지대가 구성된다.
측면지지대(211)는 상기 받침대(600)가 안착대에 안착 시, 상기 받침대(600)의 측면부를 지지하도록 양측에 각각 구성된다.
상기 측면지지대(211)는 받침대(600)의 측면을 이루는 각도와 동일하게 각도를 이루며 구성된다.
전면지지대(213)는 상기 받침대(600)의 안착대에 안착 시, 상기 받침대(600)의 전면 단부를 지지한다.
상기 전면지지대(213)는 안착대에 안착되고 측면지지대(211)로 받침대(600)의 측면이 지지되면, 상기 받침대(600)의 전면부분이 전면방향으로 유동되는 것을 방지하기 위해 전면지지대(213)가 구성된다.
상기 전면지지대(213)는 받침대(600)의 전면 단부를 지지할 수 있도록 걸림부가 형성된다.
상기 걸림부는 단턱을 형성하거나 또는 일정 각도를 이루며 'ㄱ'자 형상으로 형성될 수도 있다.
상기 걸림부로 걸림 된 후에도 상기 받침대(600)가 전면부분으로 유동되는 것을 방지하기 위해 체결부재를 이용하여 상기 전면지지대(213)를 관통 후 안착대와 체결할 수 있도록 구성한다.
상기 전면지지대(213)에 구성되는 걸림부와 체결부재는 동시에 적용되거나 또는 단일로 적용될 수도 있다.
후면지지대(215)는 상기 받침대(600)의 후면과 연결되어 지지한다.
* 상기 후면지지대(215)는 받침대(600) 후면의 바닥면을 상부에서 감싸는 구조로 지지한다.
이때, 상기 전면지지대(213)와 동일하게 후면지지대(215)에도 걸림부를 구성하거나 또는 체결부재가 구성될 수 있다.
또한, 상기 전면지지대(213)와 후면지지대(215)는 도면 5에 도시된 바와 같이 받침대(600)의 전면과 후면에 각각 구성되어 전, 후면의 상부를 각각 감싸는 구조로 지지할 수도 있다.
이때에도 상기 걸림부와 체결부재가 동시에 구성되거나 별도로 구성될 수도 있다.
도면 5를 통해서는 상기 전면지지대(213)와 후면지지대(215)를 수평방향으로 회전하며 상기 받침대(600)를 지지시킬 수도 있다.
수평방향으로 회전 시에도 받침대(600)의 전면과 후면이 닿는 부분에는 별도의 걸림부를 형성시킬 수도 있다.
상기 지지대(211, 213, 215)는 개별적으로 구성되거나 또는 상호 연결되어 일체형으로 구성될 수 있다.
일체형으로 구성 시에는 3개의 지지대가 통합하여 단일로 구성되거나 도는 3개의 지지대 중 2개가 상호 연결되어 단일로 이루어질 수도 있다.
단프라시트(300)는 상기 프레임(100)의 외측에 결합한다.
일반적으로 사용되는 각파이프를 이용하여 외형틀인 프레임(100)이 제작되면, 상기 프레임의 남은 공간부분을 커버하기 위한 단프라시트(300)가 상기 프레임(100)에 결합한다.
이때, 일반적으로 리벳(700)을 이용하여 프레임(100)과 단프라시트(300)를 결합 고정한다.
바퀴(400)는 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성된다.
상기 바퀴(400)는 이동용 아웃박스(10)의 이동수단으로 일반적으로 사용되고 있는 바퀴(400)를 적용하였다.
레일(500)은 포토마스크 인박스를 이동용 아웃박스(10)의 내부 또는 외부로 이동시키기 위해 구성된다.
상기 레일(500)은 거치대(200)를 중심으로 일 측 또는 양측에 각각 구성된다.
받침대(600)는 상기 포토마스크 인박스를 아웃박스(10) 내부로 인입시키기 위해 바닥면과 레일(500)을 연결한다.
또한, 이동용 아웃박스(10)가 도착지에 도착 후에는 상기 아웃박스(10) 내부에서 외부로 인출시키기 위해 바닥면과 레일(500)을 연결하게 된다.
리벳(700)은 상기 프레임(100)과 단프라시트(300)를 상호 연결하도록 구성된다.
이때, 도면 7에 도시된 바와 같이, 리벳(700)이 연결되는 부분의 힘으로 인해, 리벳(700)이 연결되는 연결부분의 주위가 일측 방향으로 돌출을 이루게 된다.
상기 돌출은 그에 따른 틈새를 형성하게 되고, 상기 틈새로 미세한 이물질이 아웃박스(10)의 내부로 유입되어 포토마스크 인박스에 이물질이 부착되는 요인이 된다.
본 발명에서는 상기한 문제점을 해소하기 위해,
상기 리벳(700)이 연결되는 부분에 별도의 접힘방지부재(800)를 우선적으로 끼움 결합되도록 하였다.
상기 접힘방지부재(800)는 내주가 리벳(700)의 외주와 크기가 동일하고, 본 발명에서는 우레탄 재질을 적용하였으나, 틈새를 방지할 수 있는 구성요소는 부가적으로 구성시킬 수도 있다.
상기 접힘방지부재(800)는 2겹으로 구성되되 내측부분이 외측부분보다 짧게 형성된다.
상기 접힘방지부재(800)의 내측, 외측 길이는 틈새를 미연에 방지하는 효과와 더불어 프레임(100)과 단프라시트(300)의 형상변형을 미연에 방지하기 위함이다.
본 발명인 아웃박스(10)의 내부에 위치되는 포토마스크 인박스는 내부에 포토마스크가 위치되어 있고, 하부 양측에 바퀴(21)가 구성되어 있어 상기 받침대(600)와 레일(500)을 거쳐 상기 아웃박스(10)의 내부에 위치하게 된다.
상기 포토마스크 인박스가 아웃박스(10)에 위치되면, 바퀴(21)는 레일(500)의 상부에 위치되며, 포토마스크 인박스는 거치대(200)의 상부에 일정 간격 이격을 이루는 부분에 위치하게 된다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 포토마스크 인박스를 아웃박스 내부와 외부로 이동 시에 필요한 받침대를 아웃박스 내부에서 측면, 전면 및 후면까지 지지되도록 하여 지지력을 상승시켰고, 프레임과 시트를 결합 시 결합부분에 접힘방지부재를 구성하여 시트의 접힘을 미연에 방지할 수 있어 상기 접힘 부분으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
10 : 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스
20 : 포토마스크 인박스 21 : 바퀴
30 : 체결부 31 : 체결고리 31a : 걸림홈
33 : 체결부재 33a : 걸림부재 33b : 회동부재
100 : 프레임 110 : 메인프레임 120 : 측면프레임
200 : 거치대 210 : 지지부
211 : 측면지지대 213 : 전면지지대 215 : 후면지지대
300 : 단프라시트 400 : 바퀴 500 : 레일
600 : 받침대 700 : 리벳 800 : 접힘방지부재

Claims (7)

  1. 내부에 포토마스크가 위치되고 하부에 바퀴(21)가 구성된 포토마스크 인박스를 보관하며 이동하되 내부공간을 형성하는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)의 내부 하측에 구성되는 거치대(200)와, 상기 프레임(100)의 외측에 결합되는 단프라시트(300)와, 상기 프레임(100)의 하부에 다수개 연결 구성되는 바퀴(400)와, 상기 거치대(200)의 상부에 위치되며 포토마스크 인박스가 이동되는 레일(500) 및 상기 포토마스크 인박스를 레일(500)을 이용하여 내부와 외부로 이동시키기 위한 받침대(600)로 구성된 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스에 있어서,
    상기 프레임(100)은 전체틀이 형성된 메인프레임(110)과, 상기 메인프레임(110)의 양측면에 측면프레임(120)이 각각 구성되고,
    상기 메인프레임(110)의 전면과 후면에는 양측의 측면프레임(120)을 고정하는 체결부(30)가 구성되어 있으며,
    상기 체결부(30)의 외측을 감싸며 덮는 커버가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 체결부(30)는 측면프레임(120)의 내측 일부분에는 걸림홈(31a)이 형성된 체결고리(31)와,
    상기 메인프레임(110)에는 상기 걸림홈(31a)을 거쳐 측면프레임(120)을 걸림 하는 제1꺾임부가 형성된 걸림부재(33a), 상기 걸림부재(33a)의 회동을 위한 회동부재(33b), 상기 회동부재(33b)의 작동을 위한 열림, 닫힘부재가 구성된 체결부재(33)로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 거치대(200)에는 받침대(600)가 위치되도록 지지부(210)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 외형과 동일한 형상으로 형성되되 상기 받침대(600)의 측면부를 지지하는 측면지지대(211)가 양측에 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
  6. 제 4항에 있어서,
    상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 전면 단부를 지지하는 전면지지대(213)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
  7. 제 4항에 있어서,
    상기 지지부(210)에는 받침대(600)의 후면과 연결되어 지지하는 후면지지대(215)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 체결력을 상승시킨 포토마스크 인박스 이동용 아웃박스.
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