KR200413397Y1 - 포토마스크 기판용 수송 케이스 - Google Patents

포토마스크 기판용 수송 케이스 Download PDF

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KR200413397Y1
KR200413397Y1 KR2020060001450U KR20060001450U KR200413397Y1 KR 200413397 Y1 KR200413397 Y1 KR 200413397Y1 KR 2020060001450 U KR2020060001450 U KR 2020060001450U KR 20060001450 U KR20060001450 U KR 20060001450U KR 200413397 Y1 KR200413397 Y1 KR 200413397Y1
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가즈히사 이무라
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호야 가부시키가이샤
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Abstract

본 고안은 지구 환경을 보호하면서 포토마스크 기판을 효율적이고 또한 안전하게 수송하는 것이 가능한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 제공을 목적으로 한다.
마스크 케이스를 수용하는 상자 형상 본체(2)와, 상자 형상 본체(2)의 측판의 일부이고, 마스크 케이스(9)의 반입 및 반출을 행하기 위한 도어용 정면판(3)과, 도어용 정면판(3)의 하부에 마련되어 도어용 정면판(3)을 상자 형상 본체(2)에 회전 가능하게 연결하는 회전 수단(4)을 구비하고, 마스크 케이스(9)의 반입 및 반출을 행할 때, 도어용 정면판(3)이 개방 방향으로 회전되어 마루와 접촉하면 마루와 상자 형상 본체(2)의 바닥판과의 사이에 반송 경사면(33)을 형성하고, 또한 마스크 케이스(9)를 수용할 때, 도어용 정면판(3)이 폐쇄 방향으로 회전되면 마스크 케이스(9)가 유지부(6) 및 유지부(62)에 협지된다.
마스크 케이스, 도어용 정면판, 포토마스크 기판용 수송 케이스, 유지부, 상자 형상 본체

Description

포토마스크 기판용 수송 케이스 {TRANSPORT CASE FOR PHOTOMASK SUBSTRATE}
도1은 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 측면도.
도2는 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 평면도.
도3은 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 정면도.
도4는 종래예에 관한 마스크 케이스의 개략 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 포토마스크 기판용 수송 케이스
2 : 상자 형상 본체
3 : 도어용 정면판
4 : 회전 수단
5 : 고정 수단
6 : 유지부
7 : 윈치
9 : 마스크 케이스
21 : 측판
22 : 천정판
23 : 배면판
24 : 바닥판
25 : 위치 결정부
26 : 다리부
31 : 보강판
32 : 가이드판
33 : 반송 경사면
51 : 나비 나사
52 : 고정판
53 : 암나사판
71 : 와이어
72 : 스톱 버튼
73 : 레버
91, 261 : 캐스터
92 : 손잡이
211, 251, 621 : 알루미늄 프레임
212 : 스테인레스판
252, 622 : 쿠션 고무
262 : 스토퍼
263 : 볼트부
본 고안은 포토마스크 기판용 수송 케이스에 관한 것으로, 특히 액정 모니터 패널(LCDP)이나 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등의 제조 공정에서 사용하는 대형의 포토마스크 기판을 수송하기 위한 포토마스크 기판용 수송 케이스에 관한 것이다.
최근, LCDP나 PDP 등의 표시 장치의 제조 공정에 있어서 패널면 부착수의 증가가 제조 비용 저감의 수법으로서 일반화되어 패널용 마더 기판(mother substrate)의 사이즈가 대형화되는 경향이 있다. 이에 수반하여, LCDP나 PDP 등의 표시 장치의 제조 공정에 있어서는 패턴 전사에 이용되는 포토마스크 기판도 대형화되는 경향이 있다. 또한, 상기 대형화된 포토마스크 기판은 공로 또는 항로를 이용하여 수송될 때, 수송 시의 충격으로부터 보호하기 위해, 완충재나 나무 프레임으로 곤포(packaging)된 상태로 수송되어 왔다.
(종래예)
다음에, 포토마스크 기판을 나무 프레임으로 곤포하는 방법에 대해 설명한다.
포토마스크 기판은, 우선 도4에 도시하는 캐스터(91)가 설치된 마스크 케이 스(9)에 세운 상태에서 수용된다. 통상, 이 작업은 공장의 클린룸 내에서 행해지고, 손잡이(92)를 거쳐서 옆으로 쓰러진 마스크 케이스(9)에 포토마스크 기판을 수용한 후, 마스크 케이스(9)가 기립되어 클린룸의 밖으로 반송된다. 이때, 마스크 케이스(9)는 캐스터(91)에 의해 용이하게 반송된다.
다음에, 포토마스크 기판을 수용한 마스크 케이스(9)는 공장의 곤포실이나 짐처리실에 있어서, 종이 또는 플라스틱제의 골판지 상자에 발포 스티롤 등의 완충재와 함께 수용된다. 여기서, 포토마스크 기판은 트럭에 의한 국내 수송의 경우에는, 통상 상기 골판지 상자에 수용된 상태로 수송된다. 이에 대해 공로 또는 항로를 이용하여 수송되는 경우에는 골판지 상자에 수용된 상태로 수송 회사의 나무 프레임 곤포 공장으로 반송된다. 나무 프레임 곤포 공장에서는, 우선 나무 프레임에 발포 스티롤 등의 완충재를 깔고, 이 완충재 상에 상기 골판지 상자를 적재하고, 계속해서 마스크 케이스와 나무 프레임 사이에 완충재를 채우고, 또한 마스크 케이스의 상면에도 완충재를 깔아 채운 후, 나무 프레임의 상부 덮개가 부착된다.
그런데, 포토마스크 기판은 매우 고액이기 때문에, 마스크 케이스(9), 골판지 상자 내의 완충재, 골판지 상자, 나무 프레임 내의 완충재 및 나무 프레임에 의해 엄격하게 곤포된다.
이로 인해, 예를 들어 포토마스크 기판이 높이(세로 치수) 1220 ㎜, 길이(가로 치수) 1400 ㎜, 폭(두께) 13 ㎜인 경우, 마스크 케이스가 높이 1500 ㎜, 길이 1700 ㎜, 폭 300 ㎜이고, 마스크 케이스를 수용하는 나무 프레임은 높이 2.2 m, 길이 2.5 m, 폭 2 m가 된다.
예를 들어, 특허문헌 1에는 완충재인 스티롤이나 나무 프레임 상자를 사용하지 않고, 단적층 가능한 곤포 강도가 높은 스틸 프레임 상자와, 경량이고 저렴한 골판지 상자의 이점을 서로 살린 새로운 곤포 케이스의 기술이 개시되어 있다.
이 기술에 따르면, 거의 정사각형에 가까운 피곤포물을 나무 프레임 상자를 사용하지 않고 곤포할 수 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 2004-115081호 공보
그러나, 상술한 바와 같이, 한 변이 약 1 m를 넘는 포토마스크 기판을 완충재와 함께 골판지 상자에 넣고, 또한 완충재 및 나무 프레임으로 곤포하여 수송하고자 한 경우, 나무 프레임의 높이 및 길이 치수가 마스크 기판의 약 8할 정도 증가한 치수, 즉 한 변이 2 m에 가까운 치수가 되어 수송 비용이 고액이 된다는 문제가 있었다.
또한, 포토마스크 기판이 각형 평판 형상 등의 특수한 형상이므로, 대량의 곤포 자재가 필요해 골판지 상자, 완충재 및 나무 프레임 등의 곤포 자재 비용의 비용 저감을 도모할 수 없는 등의 문제가 있었다. 또한, 골판지 상자, 완충재 및 나무 프레임 등의 곤포 자재는 대량의 먼지를 발생시키기 때문에, 지구 환경을 보호하거나, 혹은 한정된 자원을 귀중하게 사용하고자 하는 운동에 역행하고 있다.
또한, 공장 내에서 마스크 케이스를 골판지 상자에 곤포하고, 계속해서 나무 프레임 곤포 공장에서 골판지 상자를 곤포해야만 하므로, 작업 효율이 나쁘다는 등의 문제나, 수송 후에 이를 개봉하는 작업성이 나쁘다는 등의 문제가 있었다.
본 고안은 상기 여러 문제를 해결하기 위해, 지구 환경을 보호하면서 포토마스크 기판을 효율적이고 또한 안전하게 수송하는 것이 가능한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 제공을 목적으로 한다.
이 목적을 달성하기 위해, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 캐스터가 설치된 마스크 케이스에 수용된 포토마스크 기판을 수송하기 위한 포토마스크 기판용 수송 케이스이며, 상기 마스크 케이스의 주표면과 직교하는 방향의 위치 결정을 소정의 간극을 갖는 상태로 행하는 동시에, 이 마스크 케이스에 가해지는 충격을 흡수하는 위치 결정부 및 마루와의 사이에 소정 높이의 간극을 형성하는 다리부를 갖고, 상기 마스크 케이스를 수용하는 상자 형상 본체와, 상기 상자 형상 본체의 일부이고, 상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행하기 위한 도어용 정면판과, 상기 도어용 정면판의 하부에 마련되어 상기 도어용 정면판을 상기 상자 형상 본체에 회전 가능하게 연결하는 회전 수단과, 상기 도어용 정면판을 상기 상자 형상 본체에 고정하는 고정 수단과, 상기 도어용 정면판의 내측 및 상기 상자 형상 본체의 배면판의 내측에 부착되어 반입된 상기 마스크 케이스의 길이 방향의 위치 결정을 행하는 동시에, 이 마스크 케이스에 가해지는 충격을 흡수하는 유지부를 구비하고, 상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행할 때, 상기 도어용 정면판이 개방 방향으로 회전되어 상기 도어용 정면판의 상부가 상기 바닥과 접촉하면, 상기 바닥과 상기 상자 형상 본체의 바닥판과의 사이에 반송 경사면을 형성하고, 또한 상기 마스크 케이스를 수용할 때, 상기 도어용 정면판이 폐쇄 방향으로 회전되어 상기 도어용 정면판이 상기 상자 형상 본체에 고정되면, 상기 유지부가 상기 마스크 케이스와 접촉하여 상기 마스크 케이스를 유지하는 구성으로 하고 있다.
이와 같이 하면, 상자 형상 본체가 충분히 강한 기계적 강도를 가질 수 있으므로, 포토마스크 기판을 해외로 수출하는 경우 등에 사용되어 온 나무 프레임 곤포 대신에, 기판용 수송 케이스로서 사용할 수 있다. 또한, 나무 프레임은, 통상, 개봉되면 파손되기 때문에 폐기되는 데 반해, 포토마스크 기판용 수송 케이스는 회전하는 도어용 정면판에 의해 마스크 케이스가 자유 자재로 반입 및 반출되기 때문에 몇 번이나 재이용할 수 있다. 또한, 도어용 정면판의 내측에 부착되는 유지부에 의해 마스크 케이스를 유지할 수 있으므로, 발포 스티롤 등의 완충재를 사용하지 않게 되어, 곤포 자재 비용을 대폭으로 삭감시킬 수 있다. 또한, 나무 프레임에 비해 포토마스크 기판용 수송 케이스가 대폭으로 소형화되기 때문에, 수송 비용을 저감시킬 수 있다.
또한, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상기 다리부가 캐스터와, 스토퍼와, 상기 캐스터 및 스토퍼 중 적어도 한쪽의 높이를 조절하는 높이 조절 수단을 구비한 구성으로 하고 있다.
이와 같이 하면, 상자 형상 본체를 캐스터 또는 스토퍼로 선택적으로 지지할 수 있으므로, 캐스터로 지지하여 용이하게 이동시키거나, 스토퍼로 지지하여 움직이지 않도록 적재할 수 있다.
또한, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상기 도어용 정면판의 내측에 상기 마스크 케이스의 캐스터를 소정 방향으로 유도하는 가이드판을 설치한 구성으로 하고 있다.
이와 같이 하면, 마스크 케이스가 가이드판에 의해 정확한 반입 방향 및 반출 방향으로 유도되기 때문에, 마스크 케이스를 상자 형상 본체에 반입할 때에는 마스크 케이스를 용이하고 또한 안전하게 상자 형상 본체에 반입할 수 있고, 반출시킬 때에는 도어용 정면판으로부터 마스크 케이스의 캐스터가 어긋나 떨어지는 등의 문제점을 방지할 수 있다.
또한, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상기 포토마스크 기판이 포토마스크용 글래스 기판, 포토마스크 블랭크 및 포토마스크를 포함하고, 또한 주표면의 짧은 변의 길이가 800 ㎜를 넘는 구성으로 하고 있다.
이와 같이, 포토마스크 기판이 대형화될수록 곤포 자재 비용의 비용 저감을 도모할 수 있고, 또한 곤포나 개봉의 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상기 유지부가 착탈 가능하게 상기 도어용 정면판의 내측에 부착되고, 상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행할 때, 상기 도어용 정면판으로부터 제거되고, 또한 상기 마스크 케이스를 상기 상자 형상 본체에 수용할 때, 상기 도어용 정면판에 부착되는 구성으로 하고 있다.
이와 같이 하면, 마스크 케이스를 상자 형상 본체에 반입 및 반출할 때, 도어용 정면판으로부터 유지부가 제거되므로, 유지부가 마스크 케이스와 접촉하여 마스크 케이스의 이동을 방해하는 등의 문제점을 방지할 수 있다.
또한, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상기 도어용 정면판을 폐 쇄 방향 및 개방 방향으로 회전시키는 회전 구동 수단을 구비한 구성으로 하고 있다.
이와 같이 하면, 윈치 등의 회전 구동 수단을 거쳐서 도어용 정면판의 개폐를 행할 수 있으므로, 도어용 정면판의 개폐를 안전하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
[실시 형태]
도1은 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 측면도를 도시하고 있다.
또한, 도2는 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 평면도를 도시하고 있다.
또한, 도3은 본 고안의 일실시 형태에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스의 정면도를 도시하고 있다.
도1, 도2, 도3에 있어서, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 캐스터(91)가 설치된 마스크 케이스(9)(도4 참조)에 수용된 직사각형의 포토마스크 기판(도시하지 않음)을 수송하기 위한 직육면체 형상의 수송 케이스이며, 상자 형상 본체(2), 도어용 정면판(3), 회전 수단(4), 고정 수단(5) 및 유지부(6)를 구비하고 있다.
(포토마스크 기판)
본 실시 형태의 포토마스크 기판은 주표면의 짧은 변의 길이가 800 ㎜를 넘는 크기[예를 들어, 높이(짧은 변) 1220 ㎜, 길이(긴 변) 1400 ㎜, 폭(두께) 13 ㎜]로 하고 있다. 이와 같이, 포토마스크 기판이 대형화될수록 곤포 자재 비용의 비 용 저감을 도모할 수 있고, 또한 곤포나 개봉의 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 포토마스크 기판은 포토마스크용 글래스 기판, 포토마스크 블랭크 및 포토마스크를 포함하는 것으로 한다.
(상자 형상 본체)
상자 형상 본체(2)는 세운 상태의 마스크 케이스(9)를 수용하는 상자 형상으로 하고 있다. 또한, 상자 형상 본체(2)는 정면측에 개폐 가능한 도어용 정면판(3)이 설치되어 있고, 도어용 정면판(3)을 개방함으로써 형성되는 개구부를 통해 마스크 케이스(9)가 반입 및 반출된다.
상자 형상 본체(2)는 대향하는 한 쌍의 측판(21), 천정판(22), 배면판(23), 바닥판(24) 및 도어용 정면판(3)을 구비하고 있다. 측판(21)은 격자 형상으로 조립된 알루미늄 프레임(211)과, 이 알루미늄 프레임(211)에 외측으로부터 나사 부착된 스테인레스판(212)으로 이루어져 있다. 또한, 천정판(22), 배면판(23), 바닥판(24) 및 도어용 정면판(3)은 두꺼운 판 두께(예를 들어, 두께가 10 ㎜ 이상)의 알루미늄판이고, 측판(21)의 알루미늄 프레임(211)에 나사 부착된다. 이와 같이, 상자 형상 본체(2)의 주요부를 금속제로 함으로써, 상자 형상 본체(2)가 충분히 강한 기계적 강도를 가질 수 있으므로, 포토마스크 기판을 해외로 수출하는 경우 등에 사용되어 온 나무 프레임 곤포 대신에, 기판용 수송 케이스로서 사용할 수 있다.
상자 형상 본체(2)는 양측판(21)의 내측의 상부, 중간단 및 하부에 대향하고 또한 수평 방향에 위치 결정부(25)가 설치되어 있다. 이 위치 결정부(25)는 알루미늄 프레임(251)에 충격 흡수 부재로서의 쿠션 고무(252)가 부착되어 있고, 마스 크 케이스(9)가 충돌해도 충격을 흡수한다. 또한, 대향하는 위치 결정부(25)끼리의 거리는 마스크 케이스(9)의 횡폭보다 약간 길게 설정하고 있다, 즉 위치 결정부(25)는 마스크 케이스(9)의 주표면과 직교하는 방향(도4 참조)의 위치 결정을, 소정의 간극을 갖는 상태에서 행한다. 이에 의해, 마스크 케이스(9)를 상자 형상 본체(2)에 원활하게 반입 및 반출할 수 있다.
또한, 상자 형상 본체(2)는 배면판(23)의 내측의 4군데에 수납된 마스크 케이스(9)의 손잡이(92)와 접촉하는 유지부(62)가 설치되어 있고, 마스크 케이스(9)의 길이 방향(도4 참조)의 위치 결정을 행한다. 즉, 이 유지부(62)는 알루미늄 프레임(621)에 충격 흡수 부재로서의 쿠션 고무(622)가 부착되어 있고, 도어용 정면판(3)에 설치된 유지부(6)와 함께 마스크 케이스(9)를 협지함으로써 마스크 케이스(9)가 움직이지 않도록 위치 결정한다. 또한, 쿠션 고무(622)는 마스크 케이스(9)에 가해지는 충격을 흡수한다.
상자 형상 본체(2)는 마루와의 사이에 소정 높이의 간극을 형성하는 다리부(26)를 갖고 있다. 상기 소정 높이의 간극이라 함은, 포크리프트의 갈고리 또는 핸드 리프터의 갈고리를 삽입 가능한 간극을 말한다. 이와 같이 하면, 포크 리프트 또는 핸드 리프터를 이용하여 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)를 용이하게 이동시킬 수 있다.
또한, 본 실시 형태의 다리부(26)는 캐스터(261)와, 높이 조절 가능한 스토퍼(262)를 구비하고 있다. 다리부(26)는 측판(21)의 양단부측의 하부로부터 수평 방향으로 돌출 설치된 구조로 하고 있고, 상자 형상 본체(2)가 쓰러지지 않도록 안 정성을 높이고 있다. 또한, 스토퍼(262)는 볼트부(263)를 갖고 있고, 볼트부(263)를 회전시킴으로써 스토퍼(262)의 높이 조절을 행할 수 있다. 이와 같이 하면, 스토퍼(262)의 높이를 조절함으로써 상자 형상 본체(2)를 캐스터(261) 또는 스토퍼(262)로 선택적으로 지지할 수 있으므로, 상자 형상 본체(2)를 캐스터(261)로 지지하여 용이하게 이동시키거나, 상자 형상 본체(2)를 스토퍼(262)로 지지하여 움직이지 않도록 적재할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 볼트부(263)에 의해 스토퍼(262)를 높이 조절 가능한 구조로 하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조의 높이 조절 수단을 이용할 수 있다.
(도어용 정면판)
도어용 정면판(3)은 두꺼운 판 두께의 알루미늄판으로 이루어지는 상자 형상 본체(2)의 정면판이고, 상자 형상 본체(2)에 개폐 가능하게 설치되어 있다. 본 실시 형태의 도어용 정면판(3)은 하부가 경첩 등의 회전 수단(4)에 의해 상자 형상 본체(2)의 바닥판(24)과 회전 가능하게 연결되어 있다. 또한, 도어용 정면판(3)은 주연부가 고정 수단(5)에 의해 상자 형상 본체(2)에 고정된다. 본 실시 형태의 고정 수단(5)은 나비 나사(51), 도어용 정면판(3)의 주연부에 설치된 고정판(52) 및 상자 형상 본체(2)의 고정판(52)에 대응하는 위치에 설치된 암나사 판(53)으로 이루어져 있다. 고정판(52)의 관통 구멍(도시하지 않음)에 삽입된 나비 나사(51)가 상자 형상 본체(2)의 측판(21)에 설치된 암나사 판(53)의 암나사(도시하지 않음)에 단단히 조여짐으로써 도어용 정면판(3)이 상자 형상 본체(2)에 고정된다. 또한, 고정 수단(5)은 상기 구성으로 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조의 고정 수단을 사용해도 좋다.
또한, 도어용 정면판(3)은 내측 표면에 마스크 케이스(9)의 대향하는 캐스터(91)를 양측으로부터 협지하도록 하여 마스크 케이스(9)를 소정 방향으로 유도하는 한 쌍의 가이드판(32)을 설치하고 있다. 여기서, 상기 소정의 방향이라 함은, 대향하는 위치 결정부(25) 사이에 마스크 케이스(9)가 송입되는 방향을 말한다. 이와 같이 하면, 마스크 케이스(9)가 가이드판(32)에 의해 정확한 반입 방향 및 반출 방향으로 유도되므로, 마스크 케이스(9)를 상자 형상 본체(2)로 반입할 때에는 마스크 케이스(9)를 용이하고 또한 안전하게 상자 형상 본체(2)에 반입할 수 있고, 반출시킬 때에는 도어용 정면판(3)으로부터 마스크 케이스(9)의 캐스터(91)가 어긋나 떨어지는 등의 문제점을 방지할 수 있다.
또한, 도어용 정면판(3)은 외측 표면에 한 쌍의 쐐기 형상의 보강판(31)이 설치되어 있다. 이에 의해, 도어용 정면판(3)이 개방되었을 때, 보강판(31)이 바닥과 접촉하기 때문에, 마스크 케이스(9)를 도어용 정면판(3) 상에 적재해도 도어용 정면판(3)이 휘는 등의 문제점을 방지한다.
또한, 도어용 정면판(3)은 내측 표면의 4군데에 수납된 마스크 케이스(9)의 손잡이(92)와 접촉하는 유지부(6)가 착탈 가능하게 설치되어 있다. 이 유지부(6)는 상기 유지부(62)와 대략 같은 구조로 하고 있고, 알루미늄 프레임(621)에 충격 흡수 부재로서의 쿠션 고무(622)가 부착되어 있다.
유지부(6)는 마스크 케이스(9)의 반입 및 반출을 행할 때, 도어용 정면판(3) 으로부터 제거되고, 또한 마스크 케이스(9)를 상자 형상 본체(2)에 수용할 때, 도어용 정면판(3)에 부착된다. 이와 같이 하면, 마스크 케이스(9)를 상자 형상 본체(2)로 반입 및 반출할 때, 도어용 정면판(3)으로부터 유지부(6)가 제거되므로, 유지부(6)가 마스크 케이스(9)와 접촉하여 마스크 케이스(9)의 이동을 방해하는 등의 문제점을 방지한다.
또한, 본 실시 형태에서는 유지부(6)를 도어용 정면판(3)에 나사 부착하는 구조로 하고 있지만, 이 구조로 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 유지부(6)를 도어용 정면판(3)에 끼워 넣거나, 걸거나 함으로써 용이하게 부착하는 구조로 해도 좋다.
또한, 바람직하게는, 도어용 정면판(3)은 회전 구동 수단인 윈치(7)에 의해 회전되는 구성으로 하면 좋다. 이 윈치(7)는 정지 기능을 갖는 권취 윈치로 하고 있고, 와이어(71)의 선단부가 도어용 정면판(3)의 중간단부 우측단부에 연결되어 있다. 작업자가 스톱 버튼(72)을 해제하여 레버(73)를 회전시키면, 윈치(7)의 와이어(71)가 되감기거나 송출되거나 하므로, 도어용 정면판(3)을 폐쇄 방향 및 개방 방향으로 회전시킨다. 이와 같이 하면, 윈치(7)를 거쳐서 도어용 정면판(3)의 개폐를 행할 수 있으므로, 도어용 정면판(3)의 개폐를 안전하고 또한 용이하게 행할 수 있다.
다음에, 상기 구성의 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)의 사용 방법 및 효과에 대해 설명한다.
우선, 포토마스크 기판은 공장의 클린룸 내에서 마스크 케이스(9)에 수용되 어 클린룸으로부터 반출된다.
다음에, 마스크 케이스(9)는 공장의 짐처리실로 운반되어 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)에 수용된다. 이때, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 도어용 정면판(3)을 고정하고 있던 고정 수단(5)이 해제되고, 계속해서 윈치(7)의 스톱 버튼(72)이 해제되어 레버(73)가 개방 방향으로 회전되고, 도어용 정면판(3)이 개방 방향으로 회전한다. 여기서, 예를 들어 도어용 정면판(3)의 외측 표면으로부터 삽입되는 나사(도시하지 않음)에 의해 유지부(6)가 도어용 정면판(3)에 나사 부착되어 있는 경우에는 도어용 정면판(3)을 약 30°개방한지 얼마 지나지 않아 스톱 버튼(72)을 누른다. 이에 의해, 도어용 정면판(3)의 회전을 일시적으로 정지시킬 수 있으므로, 안전하고 또한 용이하게 유지부(6)를 제거할 수 있다.
포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 레버(73)가 개방 방향으로 계속해서 회전되면 도어용 정면판(3)이 개방 방향으로 회전하여 도어용 정면판(3)의 상단부가 마루와 접촉한다. 이에 의해, 도어용 정면판(3)은 상자 형상 본체(2)의 바닥판(24)과 마루의 단차를 없애는 반송 경사면(33)을 형성한다.
다음에, 마스크 케이스(9)의 대향하는 캐스터(91)가 한 쌍의 가이드판(32)에 협지되도록 마스크 케이스(9)를 이동시키고, 도어용 정면판(3)의 반송 경사면(33) 상을 상자 형상 본체(2)를 향해 송입시킨다. 이때, 마스크 케이스(9)는 가이드판(32)에 의해 가이드되어 있으므로, 마스크 케이스(9)는 위치 결정부(25)와 충돌하지 않아, 안전하고 또한 용이하게 상자 형상 본체(2) 내로 반입된다.
다음에, 레버(73)가 폐쇄 방향으로 회전되고, 도어용 정면판(3)이 폐쇄 방향 으로 회전한다. 여기서, 예를 들어 도어용 정면판(3)의 외측 표면으로부터 삽입되는 나사(도시하지 않음)에 의해 유지부(6)가 도어용 정면판(3)에 나사 부착되어 있던 경우에는 도어용 정면판(3)이 약 30°개방된지 얼마 지나지 않아 스톱 버튼(72)을 누른다. 이에 의해, 도어용 정면판(3)의 회전을 일시적으로 정지시킬 수 있으므로, 안전하고 또한 용이하게 유지부(6)를 나사 부착할 수 있다.
포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 레버(73)가 폐쇄 방향으로 계속해서 회전되면, 도어용 정면판(3)이 폐쇄 방향으로 회전하고, 도어용 정면판(3)이 상자 형상 본체(2)와 접촉한다. 계속해서, 스톱 버튼(72)을 누르고, 또한 고정 수단(5)으로 도어용 정면판(3)을 상자 형상 본체(2)에 고정한다. 이때, 마스크 케이스(9)는 배면판(23)에 설치된 유지부(62)와, 도어용 정면판(3)에 부착된 유지부(6)에 의해 협지된다. 즉, 마스크 케이스(9)는 유지부(6) 및 유지부(62)에 정면측 방향 및 배면측 방향으로부터 협지됨으로써 유지된 상태에서 상자 형상 본체(2)에 수납된다.
다음에, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 공장의 짐처리실로부터 트럭에 의해 수송 회사로 반송된다. 계속해서, 포토마스크 기판을 수납한 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 공로 또는 항로를 이용하여 수송되고, 이송처인 공장의 짐처리실까지 트럭으로 수송된다. 여기서, 수송 중인 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 스토퍼(262)에 의해 지지되므로, 안정된 상태로 수송된다. 또한, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 높이 1.7 m, 길이 1.9 m, 폭 1 m이고, 종래의 나무 프레임에 비해 대폭으로 소형화되어 있다.
다음에, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 이송처인 공장의 짐처리실에서 상기 반입 순서를 되돌아가도록 하고, 마스크 케이스(9)가 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)로부터 반출된다. 계속해서, 마스크 케이스(9)는 공기 세정을 경유하여 클린룸 내로 반송된다.
또한, 빔의 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 이송처인 공장으로부터 이송되어 본래 공장으로 반환되어 몇 번이나 사용할 수 있다.
이와 같이, 본 실시 형태의 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)에 따르면, 상자 형상 본체(2)가 충분히 강한 기계적 강도를 가질 수 있으므로, 포토마스크 기판을 해외로 수출하는 경우 등에 사용되어 온 나무 프레임 곤포 대신에, 기판용 수송 케이스로서 사용할 수 있다. 또한, 나무 프레임은, 통상 개봉되면 파손되기 때문에 폐기되는 데 반해, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 회전하는 도어용 정면판(3)에 의해 마스크 케이스(9)가 자유자재로 반입 및 반출되므로, 몇 번이나 재이용할 수 있다. 또한, 도어용 정면판(3)의 내측에 부착되는 유지부(6)에 의해 마스크 케이스(9)를 유지할 수 있으므로, 발포 스티롤 등의 완충재를 사용하지 않게 되어, 곤포 자재 비용을 대폭으로 삭감시킬 수 있다. 또한, 나무 프레임에 비해 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)가 대폭으로 소형화되므로, 수송 비용을 저감시킬 수 있다.
이상, 본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스에 대해 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하였지만, 본 고안에 관한 포토마스크 기판용 수송 케이스는 상술한 실시 형태로만 한정되는 것은 아니고, 본 고안의 범위에서 다양한 변경 실시가 가능한 것은 물론이다.
예를 들어, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 상자 형상 본체(2)의 대향하는 한 쌍의 측판(21), 천정판(22), 배면판(23), 바닥판(24) 및 도어용 정면판(3)을 분해 가능한 구조로 하면 좋다. 이와 같이 하면, 이송처인 공장으로부터 반환할 때에 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)를 분해하여 더 소형화할 수 있으므로, 반환에 수반하는 수송 비용을 더 저감시킬 수 있다.
또한, 포토마스크 기판용 수송 케이스(1)는 상자 형상 본체(2)의 정면판을 도어로서 개폐 가능한 구조로 하고 있지만, 또한 배면판(23)을 도어로서 개폐 가능한 구조로 해도 좋다. 이와 같이 하면, 마스크 케이스(9)의 반입 및 반출을 보다 용이하게 행할 수 있다.
본 고안에 있어서의 포토마스크 기판용 수송 케이스에 따르면, 지구 환경을 보호하면서 포토마스크 기판을 효율적이고 또한 안전하게 수송할 수 있다.
본 고안의 포토마스크 기판용 수송 케이스는 포토마스크 기판을 수송하는 수송 케이스로 하고 있지만, 수송 대상물은 포토마스크 기판으로 한정되는 것은 아니고, 대형의 판형 부재의 수송에도 적용이 가능하다.

Claims (6)

  1. 캐스터가 설치된 마스크 케이스에 수용된 포토마스크 기판을 수송하기 위한 포토마스크 기판용 수송 케이스이며,
    상기 마스크 케이스의 주표면과 직교하는 방향의 위치 결정을 소정의 간극을 갖는 상태에서 행하는 동시에, 이 마스크 케이스에 가해지는 충격을 흡수하는 위치 결정부 및 마루 사이에 소정 높이의 간극을 형성하는 다리부를 갖고, 상기 마스크 케이스를 수용하는 상자 형상 본체와,
    상기 상자 형상 본체의 일부이고, 상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행하기 위한 도어용 정면판과,
    상기 도어용 정면판의 하부에 설치되어 상기 도어용 정면판을 상기 상자 형상 본체에 회전 가능하게 연결하는 회전 수단과,
    상기 도어용 정면판을 상기 상자 형상 본체에 고정하는 고정 수단과,
    상기 도어용 정면판의 내측 및 상기 상자 형상 본체의 배면판의 내측에 부착되어 반입된 상기 마스크 케이스의 길이 방향의 위치 결정을 행하는 동시에, 이 마스크 케이스에 가해지는 충격을 흡수하는 유지부를 구비하고,
    상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행할 때, 상기 도어용 정면판이 개방 방향으로 회전되어 상기 도어용 정면판의 상부가 상기 바닥과 접촉하면, 상기 바닥과 상기 상자 형상 본체의 바닥판과의 사이에 반송 경사면을 형성하고, 또한 상기 마스크 케이스를 수용할 때, 상기 도어용 정면판이 폐쇄 방향으로 회전되어 상기 도어용 정면판이 상기 상자 형상 본체에 고정되면, 상기 유지부가 상기 마스크 케이스와 접촉하여 상기 마스크 케이스를 유지하는 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다리부가 캐스터와, 스토퍼와, 상기 캐스터 및 스토퍼 중 적어도 한쪽의 높이를 조절하는 높이 조절 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도어용 정면판의 내측에 상기 마스크 케이스의 캐스터를 소정 방향으로 유도하는 가이드판을 설치한 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 포토마스크 기판이 포토마스크용 글래스 기판, 포토마스크 블랭크 및 포토마스크를 포함하고, 또한 주표면의 짧은 변의 길이가 800 ㎜를 넘는 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유지부가 착탈 가능하게 상기 도어용 정면판의 내측에 부착되고, 상기 마스크 케이스의 반입 및 반출을 행할 때, 상기 도어용 정면판으로부터 제거되고, 또한 상기 마스크 케이스를 상기 상자 형상 본체에 수용할 때, 상기 도어용 정면판에 부착되는 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도어용 정면판을 폐쇄 방향 및 개방 방향으로 회전시키는 회전 구동 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 포토마스크 기판용 수송 케이스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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